JP2009513923A - 複数のクリーンルームの運転方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
Claims (17)
- 筐体建造物の共用領域の中の区画の複数のクリーンルームを運転するための方法であって、前記各クリーンルームが、柔軟且つ実質的に空気不浸透性のシート材により上壁及び側壁が覆われた全体として矩形状の開放型フレームを有する移動式筐体と、前記クリールルームの外側に取り付けられ前記ルームの中にフィルタ処理した空気を供給するための空気供給ブロワ手段と、側壁を介して前記クリーンルームへの進入路を与える入口手段と、から成り、
前記方法が、平行な2列に間隔を空けたクリーンルームから成りこれらクリーンルーム間の進入用通路及び前記進入用通路に開口する各列の前記クリーンルームへの入口を具えた区画に前記クリーンルームを配置するステップと、
前記各クリーンルームにフィルタ処理した清浄な空気を供給して空気が前記クリーンルームの前記側壁の下から抜けることができるようにするために各クリーンルームに作動可能に取り付けられた複数のブロワを設置するステップと、
前記ブロワを連続的に作動させて、前記クリーンルームから抜け出た再循環するフィルタ処理した空気を少なくとも約75%含む空気の塊から成るクリーンエアバブルを形成するステップと、
各ブロワによって形成された前記クリーンエアバブルが少なくとも2の他のブロワによって形成された前記クリーンエアバブルと重なり合うことで、クリーンルームの区画全体が前記ブロワによって形成された前記重なり合うバブルの中に包含されるようなパターンに、前記クリーンルーム及び前記ブロワを配置するステップと、
を具えることを特徴とする方法。 - 各クリーンルームに取り付けられる少なくとも3のブロワを用意するステップを具えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記2列のクリーンルーム間の通路に設置されていることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記2列のクリーンルーム間の通路に設置されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- さらに、前記上壁の開口部から上方に向けて前記クリーンルームから空気の一部を排出するステップを具えることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- さらに、前記上壁の開口部から上方に向けて前記クリーンルームから空気の一部を排出するステップを具えることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 前記各クリーンルームが、その入口手段にエアロックを有しており、各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記エアロックの近くに設置されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記各クリーンルームが、その入口手段にエアロックを有しており、各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記エアロックの近くに設置されており、各クリーンルームの空気の一部が前記上壁の開口部を介して上方に向けて排出されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記上壁の開口部が前記エアロックの近くに設置されていることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記各クリーンルームがその入口手段にエアロックを有しており、各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記エアロックの近くに設置されていることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記各クリーンルームがその入口手段にエアロックを有しており、各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記エアロックの近くに設置されていることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記各クリーンルームがその入口手段にエアロックを有しており、各クリーンルームに取り付けられた1のブロワが前記エアロックの近くに設置されていることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記ブロワのうちの2つが、前記クリーンルームの列の長手方向に対して略垂直な壁であって、1つが各クリーンルームの正反対に対向する隅部に、隣接するよう取り付けられていることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記ブロワのうちの2つが、クリーンルームの前記列の長手方向に対して略垂直な壁であって、1つが各クリーンルームの正反対に対向する隅部に、隣接するよう取り付けられていることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記ブロワが、前記クリーンルーム列間の前記通路の領域に前記クリーンエアバブルのより大きな重なりを形成するよう設置されていることによって、前記クリーンルーム間の相互汚染の可能性を減らすことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ブロワが、前記クリーンルーム列間の前記通路の領域に前記クリーンエアバブルのより大きな重なりを形成するよう設置されていることによって、前記クリーンルーム間の相互汚染の可能性を減らし、各クリーンルームの空気の一部がその上壁の開口部を通って上方に向けて排出されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ブロワが、前記クリーンルーム列間の前記通路の領域に前記クリーンエアバブルのより大きな重なりを形成するよう設置されていることによって、前記クリーンルーム間の相互汚染の可能性を減らし、前記上壁の前記開口部を通って排出される空気の一部が、前記ブロワによって前記クリーンルームの中に送り出される空気の10から30パーセントの間であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
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