JP2009302001A - 真空バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円筒状の絶縁容器1を有する真空容器の内部に、固定電極と可動電極とが対向配置され、可動電極に一端が固着され他端が真空容器の外部に引き出された可動電極棒8が、ベローズ3を介して真空容器4に気密に支持された真空バルブにおいて、ベローズ3は、軸方向に伸縮する円筒状の蛇腹部3aと、蛇腹部3aの一端側に形成された第1取付部3bと、蛇腹部3aの他端側に形成されて蛇腹部3bの外径aより大きい外径bを有する平坦部3cと、平坦部3cの外縁に形成された第2取付部3dとを備え、第1取付部3bを可動側電極棒8に気密に接合し、第2取付部3dを絶縁容器1の一端に気密に接合した。
【選択図】図2
Description
通常、ベローズ27は、一端側はベローズカバー30を介して可動側電極28と溶着されており、他端側は、図3(b)の拡大図に示すように、可動側端板23に、ろう付け接合や溶接などで溶着されている。
また一方、ろう材の種類は、例えば、銀系のろう材や金系のろう材があり、いずれも貴金属と呼ばれる高価な材質を使用したものが多いので、上記のような真空バルブの製品のコストダウンを図るためには、組立て部品の削減や、ろう材の使用量の削減が重要な課題となる。
図1は、実施の形態1による真空バルブを示す断面図であり、図2は、ベローズ部分の拡大断面図である。
図1に示すように、円筒状の絶縁容器1の一端側に固定側端板2が固着され、他端側にベローズ3(詳細は後述する)が固着されて真空容器4が形成されている。この真空容器4の内部の軸線上に固定電極5と可動電極6とが対向配置されている。固定電極5には固定側電極棒7の一端が接合され、その他端は真空容器4から突出させて固定側端板2にろう付け等により気密に接合されている。可動電極6には可動側電極棒8の一端が接合され、その他端は真空容器4の外部に引き出されてベローズ3に気密に接合されて支持されている。
また、真空容器4の内部には、固定電極5と可動電極6との開極時に発生する金属アークが絶縁容器1の内面に付着するのを防止するためのアークシールド11とベローズカバー12とが配置されている。
このように構成された真空バルブは、可動側電極棒8を、駆動装置(図示せず)によって軸方向に駆動させることにより、両電極5,6が接離可能になっている。
ベローズ3は、軸方向に伸縮する円筒状の蛇腹部3aと、蛇腹部3aの一端側に形成された第1取付部3bと、蛇腹部3aの他端側に形成されて蛇腹部3aの外径aより大きい外径bを有する平坦部3cと、その平坦部3cの外縁を絶縁容器1の端面側に向けて屈曲させて形成された第2取付部3dとを有し、これが1つの器材から一体に形成されている。実際の製作に当たっては、例えばSUS系の素材を、平板から中央部を深絞り加工で突出させ、更に、蛇腹部を形成する。出来上がったベローズ3は、1つの器材から一体に形成されているので継目を持っていない。
第1取付部3bは、蛇腹部3aの内側に貫通した可動側電極棒8に、ろう付け等により気密に接合されている。本実施の形態の場合は、ベローズカバー12を有しているので、実際には、ベローズカバー12と溶着し、ベローズカバー12が可動側電極棒8と溶着されている。
第2取付部3dは、絶縁容器1の一端にろう付け等により気密に接合されている。また、平坦部3cにはガイド取付板9がろう付け等で固着されている。
そこで、本実施の形態では、図2に示すように、ベローズ3の平坦部3c及び第2取付部3d部の肉厚を、蛇腹部3aの肉厚よりも厚くしている。
具体的な寸法として、例えば、蛇腹部3aの肉厚を0.2mm程度、平坦部3cの肉厚を1mm程度とする。
また、ベローズ3の蛇腹部3aから平坦部3cに移る部位の曲げ箇所の曲率半径を、応力を集中させないために、1mm以上としている。したがって、この箇所では、肉厚は0.2mmから1mmへとなだらかに増加する形状となっている。
また、ろう付け作業に使用する高価なろう材も削減できる。したがって、真空バルブのコスト低減を図ることが可能となる。
また、真空バルブ内部の高真空を保つための溶接やろう付けが少なくなるために、信頼性と耐久性が向上する。
3ベローズ 3a 蛇腹部
3b 第1取付部 3c 平坦部
3d 第2取付部 4 真空容器
5 固定電極 6 可動電極
7 固定側電極棒 8可動側電極棒
9 ガイド取付板 10 ガイド
11 アークシールド 12 ベローズカバー。
Claims (3)
- 円筒状の絶縁容器の端部を封止して形成された真空容器の内部に、固定電極と可動電極とが軸方向に対向配置され、前記可動電極に一端が固着され他端が前記真空容器の外部に引き出された可動側電極棒が、ベローズを介して前記真空容器に気密に支持されて構成された真空バルブにおいて、
前記ベローズは、1つの器材から一体に形成され、前記軸方向に伸縮する円筒状の蛇腹部と、前記蛇腹部の一端側に形成された第1取付部と、前記蛇腹部の他端側に形成されて前記蛇腹部の外径より大きい外径の平坦部と、前記平坦部の外縁に形成された第2取付部とを有し、
前記第1取付部は前記蛇腹部の内側に貫通した前記可動側電極棒に気密に接合され、前記第2取付部は前記絶縁容器の一端に気密に接合されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1記載の真空バルブにおいて、前記ベローズは、前記平坦部及び前記第2取付部の肉厚が、前記蛇腹部の肉厚よりも厚く形成されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1又は請求項2記載の真空バルブにおいて、前記ベローズは、前記蛇腹部から前記平坦部に移る曲げ箇所の曲率半径が1mm以上であることを特徴とする真空バルブ。
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