JP2009294602A - Method of manufacturing display device - Google Patents

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JP2009294602A JP2008150663A JP2008150663A JP2009294602A JP 2009294602 A JP2009294602 A JP 2009294602A JP 2008150663 A JP2008150663 A JP 2008150663A JP 2008150663 A JP2008150663 A JP 2008150663A JP 2009294602 A JP2009294602 A JP 2009294602A
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Kenji Miyamoto
健治 宮本
Akihiro Hata
明宏 畑
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily form a substrate constituting a display device extremely thin. <P>SOLUTION: The method of manufacturing display device includes: a first substrate forming process of applying a resin onto a support substrate 25, curing the resin and, thereby, forming a first substrate 21 made of layer of the resin; a bonding process of bonding a second substrate 22 to the first substrate 21 formed on the support substrate 25 so as to oppose the first substrate 21; and a removal process of removing the support substrate 25 from the first substrate 21 bonded to the second substrate 22. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、薄型化された表示装置の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a thin display device.

携帯電話等のモバイル機器に用いる小型の表示装置として、液晶表示装置やEL表示装置を用いることが知られており、近年、その薄型化及び軽量化が特に強く要望されている。   It is known that a liquid crystal display device or an EL display device is used as a small display device used for a mobile device such as a cellular phone. In recent years, there has been a strong demand for reduction in thickness and weight.

例えば液晶表示装置は、複数のTFT(薄膜トランジスタ)や配線等を形成したTFT基板と、カラーフィルタや共通電極等を形成した対向基板とが、液晶層を介して貼り合わされた構造を有している。   For example, a liquid crystal display device has a structure in which a TFT substrate on which a plurality of TFTs (thin film transistors), wirings, and the like are formed and a counter substrate on which a color filter, a common electrode, and the like are formed are bonded via a liquid crystal layer. .

TFT基板及び対向基板には偏光板が貼り付けられ、TFT基板の背面側には照明装置であるバックライトが配置されている。装置全体の薄型化を図るために、上記偏光板やバックライトの厚みを低減することも行われている。   A polarizing plate is attached to the TFT substrate and the counter substrate, and a backlight as an illumination device is disposed on the back side of the TFT substrate. In order to reduce the thickness of the entire apparatus, the thickness of the polarizing plate or the backlight is also reduced.

また、上記TFT基板及び対向基板は、ガラス基板によって構成することが知られている。そこで、例えば、TFT基板及び対向基板の厚みがそれぞれ0.2mmである場合に、ケミカルエッチングすることにより、対向基板の厚みを0.1mmにまで薄く加工することが知られている。   Further, it is known that the TFT substrate and the counter substrate are made of glass substrates. Therefore, for example, when the thickness of the TFT substrate and the counter substrate is 0.2 mm, respectively, it is known that the counter substrate is thinned to 0.1 mm by chemical etching.

ところが、一般に、ガラス基板の全体に亘ってエッチング度合いを一定に維持することは難しいため、ガラス基板の厚みをあまりにも薄く加工すれば、ガラス基板に部分的に穴が形成されてしまったり、割れが生じ易い。その結果、ガラス基板の薄型化プロセスにおいて歩留まりが低下してしまう問題がある。   However, in general, it is difficult to keep the etching degree constant over the entire glass substrate. Therefore, if the glass substrate is processed too thinly, holes are partially formed in the glass substrate or cracked. Is likely to occur. As a result, there is a problem that the yield decreases in the glass substrate thinning process.

これに対し、特許文献1には、比較的薄い最終基板を接着剤層を介して支持基板に貼り付けた後、当該最終基板上にTFTや配線等を形成し、その後に、支持基板をエッチングして除去することが開示されている。このことにより、最終基板を薄型化しながらも、TFT形成プロセスでは剛性の高い支持基板上でTFT等を形成しようとしている。
特開2003−66858号公報
On the other hand, in Patent Document 1, after a relatively thin final substrate is attached to a support substrate via an adhesive layer, TFTs, wirings, and the like are formed on the final substrate, and then the support substrate is etched. And removing it. This makes it possible to form TFTs and the like on a highly rigid support substrate in the TFT formation process, while making the final substrate thinner.
JP 2003-66858 A

ところが、上記特許文献1の方法では、支持基板に対して、例えば0.05mm程度の超薄型の最終基板をムラ無く高精度に貼り付けることは、極めて困難であると言わざるを得ない。また、仮に、そのような超薄型の最終基板を接着剤層を介して支持基板に貼り合わせたとしても、当該支持基板と最終基板とが製造プロセスにおける熱処理によって、位置ずれが生じる虞れがあるため、所望のパターンを位置ずれ無く高精度に形成することは難しい。   However, in the method of Patent Document 1, it must be said that it is extremely difficult to attach an ultra-thin final substrate of, for example, about 0.05 mm to the support substrate with high accuracy without unevenness. In addition, even if such an ultra-thin final substrate is bonded to a support substrate through an adhesive layer, the support substrate and the final substrate may be displaced due to heat treatment in the manufacturing process. For this reason, it is difficult to form a desired pattern with high accuracy without misalignment.

本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、表示装置を構成する基板を極めて薄く且つ容易に形成して、表示装置全体の薄型化を図ることにある。   The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to reduce the thickness of the entire display device by forming the substrate constituting the display device extremely thinly and easily. .

上記の目的を達成するために、この発明では、支持基板上に樹脂を塗布して硬化させることにより、表示装置を構成する第1基板を形成するようにした。   In order to achieve the above object, in the present invention, the first substrate constituting the display device is formed by applying and curing a resin on the support substrate.

具体的に、本発明に係る表示装置の製造方法は、第1基板及び第2基板が表示媒体層を介して互いに対向配置された表示装置を製造する方法であって、支持基板上に樹脂を塗布して硬化させることにより、当該樹脂層からなる上記第1基板を形成する第1基板形成工程と、上記支持基板上に形成された上記第1基板に対し、上記第2基板を対向するように貼り合わせる貼り合わせ工程と、上記第2基板に貼り合わされた上記第1基板から上記支持基板を除去する除去工程とを有する。   Specifically, a method for manufacturing a display device according to the present invention is a method for manufacturing a display device in which a first substrate and a second substrate are arranged to face each other with a display medium layer interposed therebetween. By applying and curing, the first substrate forming step of forming the first substrate made of the resin layer and the second substrate facing the first substrate formed on the support substrate And a removing step of removing the support substrate from the first substrate bonded to the second substrate.

上記除去工程では、エッチングによって、上記支持基板の除去と同時に上記第2基板の薄型化を行うことが好ましい。   In the removing step, it is preferable to reduce the thickness of the second substrate simultaneously with the removal of the support substrate by etching.

上記支持基板はガラス基板であることが好ましい。   The support substrate is preferably a glass substrate.

上記樹脂はUV感光性樹脂であることが好ましい。   The resin is preferably a UV photosensitive resin.

上記第2基板はガラス基板であってもよい。   The second substrate may be a glass substrate.

上記支持基板の表面に撥水性を有する第1バリア膜を形成する第1バリア膜形成工程を有し、上記第1基板形成工程では、上記第1バリア膜の表面に上記樹脂層を形成するようにしてもよい。   A first barrier film forming step of forming a first barrier film having water repellency on the surface of the support substrate, wherein the resin layer is formed on the surface of the first barrier film in the first substrate forming step; It may be.

上記第1基板の表面に撥水性を有する第2バリア膜を形成する第2バリア膜形成工程を有し、上記貼り合わせ工程では、上記第2バリア膜が形成された上記第1基板に上記第2基板を貼り合わせるようにしてもよい。   A second barrier film forming step of forming a second barrier film having water repellency on the surface of the first substrate; and in the bonding step, the first substrate on which the second barrier film is formed is formed on the first substrate. Two substrates may be bonded together.

上記支持基板上の上記第1基板に平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程を有し、上記貼り合わせ工程では、上記平坦化膜が形成された上記第1基板に上記第2基板を貼り合わせるようにしてもよい。   A flattening film forming step of forming a flattening film on the first substrate on the support substrate; and in the bonding step, the second substrate is bonded to the first substrate on which the flattening film is formed. You may make it match.

上記支持基板は着色されていることが好ましい。   The support substrate is preferably colored.

上記第1基板形成工程では、上記支持基板上に複数の上記第1基板を含む第1基板母材を形成し、上記貼り合わせ工程では、上記第1基板母材に対して、複数の上記第2基板を含む第2基板母材を貼り合わせ、上記除去工程では、上記第2基板母材に貼り合わされた上記第1基板母材から上記支持基板を除去し、互いに貼り合わされた上記第1基板母材及び第2基板母材を分断して、複数の表示装置を形成する分断工程を有するようにしてもよい。   In the first substrate forming step, a first substrate base material including a plurality of the first substrates is formed on the support substrate, and in the bonding step, a plurality of the first substrate base materials are formed on the first substrate base material. The second substrate base material including two substrates is bonded, and in the removing step, the support substrate is removed from the first substrate base material bonded to the second substrate base material, and the first substrate is bonded to each other. You may make it have a cutting process which divides | segments a base material and a 2nd board | substrate base material, and forms a some display apparatus.

上記第1基板形成工程では、上記支持基板の表面に対し、上記第1基板の厚みよりも低い高さの壁部材を該各第1基板を囲むように配置した後に、上記壁部材を覆うように上記支持基板の表面に上記樹脂を塗布し、上記除去工程では、上記支持基板と共に上記壁部材を除去するようにしてもよい。   In the first substrate forming step, a wall member having a height lower than the thickness of the first substrate is disposed on the surface of the support substrate so as to surround each first substrate, and then the wall member is covered. The resin may be applied to the surface of the support substrate, and the wall member may be removed together with the support substrate in the removal step.

上記表示媒体層は液晶層であってもよい。   The display medium layer may be a liquid crystal layer.

−作用−
次に、本発明の作用について説明する。
-Action-
Next, the operation of the present invention will be described.

上記表示装置を製造する場合には、まず、第1基板形成工程を行い、支持基板上に樹脂を塗布して硬化させることにより、当該樹脂層からなる第1基板を形成する。したがって、第1基板は薄膜の樹脂層によって形成することが可能である。当該樹脂には、例えばUV感光性樹脂を適用することができる。また、支持基板には、例えばガラス基板を適用することができる。   When manufacturing the display device, first, a first substrate forming step is performed, and a first substrate made of the resin layer is formed by applying and curing a resin on the support substrate. Therefore, the first substrate can be formed by a thin resin layer. For example, a UV photosensitive resin can be applied to the resin. Further, for example, a glass substrate can be applied to the support substrate.

次に、貼り合わせ工程を行って、支持基板上に形成された第1基板に対し、第2基板を対向するように貼り合わせる。第2基板には、例えばガラス基板を適用することができる。なお、例えば液晶層等の表示媒体層は、当該貼り合わせ工程の前において第1基板上に供給するようにしてもよく、後の除去工程の後において第1基板と第2基板との間に供給するようにしてもよい。   Next, a bonding process is performed, and the second substrate is bonded to the first substrate formed on the support substrate so as to face the first substrate. For example, a glass substrate can be applied to the second substrate. Note that a display medium layer such as a liquid crystal layer may be supplied onto the first substrate before the bonding step, and between the first substrate and the second substrate after the subsequent removal step. You may make it supply.

次に、除去工程を行い、第2基板に貼り合わされた第1基板から支持基板を除去する。除去工程では、例えば、エッチングによって行うことが可能であり、支持基板の除去と同時に第2基板の薄型化を行うことが好ましい。   Next, a removal step is performed to remove the support substrate from the first substrate bonded to the second substrate. In the removing step, for example, etching can be performed, and it is preferable to reduce the thickness of the second substrate simultaneously with the removal of the support substrate.

また、支持基板が着色されていれば、支持基板の残量が容易に視認されるため、容易且つ確実に支持基板を除去することが可能になる。   Further, if the support substrate is colored, the remaining amount of the support substrate is easily visually recognized, so that the support substrate can be easily and reliably removed.

また、第1バリア膜形成工程を予め行って、支持基板の表面に撥水性を有する第1バリア膜を形成し、その後の第1基板形成工程において、第1バリア膜の表面に樹脂層を形成するようにしてもよい。そうすれば、表示装置における第1基板の外側表面に第1バリア膜が設けられることとなり、外部の水分等が第1基板を透過しないようにすることが可能になる。   Also, a first barrier film forming step is performed in advance to form a first barrier film having water repellency on the surface of the support substrate, and a resin layer is formed on the surface of the first barrier film in the subsequent first substrate forming step. You may make it do. If it does so, a 1st barrier film will be provided in the outer surface of the 1st board | substrate in a display apparatus, and it will become possible to prevent an external water | moisture content etc. to permeate | transmit a 1st board | substrate.

また、第2バリア膜形成工程を予め行って、第1基板の表面に撥水性を有する第2バリア膜を形成するようにしてもよい。そうすれば、表示装置における第1基板の内側表面に第2バリア膜が設けられることとなり、外部の水分等が表示媒体層に侵入しないようにすることが可能になる。   Alternatively, a second barrier film forming step may be performed in advance to form a second barrier film having water repellency on the surface of the first substrate. Then, the second barrier film is provided on the inner surface of the first substrate in the display device, and it becomes possible to prevent external moisture and the like from entering the display medium layer.

また、上記貼り合わせ工程の前に、平坦化膜形成工程を行って、支持基板上の第1基板に平坦化膜を形成するようにしてもよい。第1基板が極めて薄い場合、支持基板上に塗布された樹脂の膜厚にばらつきが生じる虞があるが、平坦化膜を形成するようにすれば、第1基板の表示媒体層側表面を平坦化できて好ましい。   In addition, a planarization film forming process may be performed before the bonding process to form a planarization film on the first substrate on the support substrate. If the first substrate is very thin, the film thickness of the resin applied on the support substrate may vary, but if a flattening film is formed, the display medium layer side surface of the first substrate is flattened. This is preferable.

また、大判の基板母材から複数の表示装置を製造することも可能である。すなわち、この場合には、第1基板形成工程において、支持基板上に複数の第1基板を含む第1基板母材を形成する。貼り合わせ工程では、第1基板母材に対して、複数の第2基板を含む第2基板母材を貼り合わせる。そして、除去工程では、第2基板母材に貼り合わされた第1基板母材から支持基板を除去する。その後、分断工程を行い、互いに貼り合わされた第1基板母材及び第2基板母材を分断して、複数の表示装置を形成する。   It is also possible to manufacture a plurality of display devices from a large substrate base material. That is, in this case, in the first substrate forming step, a first substrate base material including a plurality of first substrates is formed on the support substrate. In the bonding step, a second substrate base material including a plurality of second substrates is bonded to the first substrate base material. In the removing step, the support substrate is removed from the first substrate base material bonded to the second substrate base material. Thereafter, a dividing step is performed to divide the first substrate base material and the second substrate base material bonded together to form a plurality of display devices.

このとき、第1基板形成工程では、支持基板の表面に対し、第1基板の厚みよりも低い高さの壁部材を該各第1基板を囲むように配置した後に、壁部材を覆うように支持基板の表面に樹脂を塗布する一方、除去工程において、支持基板と共に壁部材を除去するようにしてもよい。このことにより、支持基板の除去と同時に、第1基板母材を各第1基板毎に分断することが可能になる。その結果、工数が低減されて製造コストが低下することとなる。   At this time, in the first substrate forming step, a wall member having a height lower than the thickness of the first substrate is disposed so as to surround each first substrate with respect to the surface of the support substrate, and then the wall member is covered. While the resin is applied to the surface of the support substrate, the wall member may be removed together with the support substrate in the removal step. Accordingly, the first substrate base material can be divided for each first substrate simultaneously with the removal of the support substrate. As a result, man-hours are reduced and manufacturing costs are reduced.

本発明によれば、支持基板上に樹脂を塗布して硬化させることによって第1基板を形成し、その後に支持基板を除去するようにしたので、当該第1基板を極めて薄く且つ容易に形成することができる。したがって、表示装置全体を極めて薄型化しながらも、その薄型化を容易に行うことができる。   According to the present invention, the first substrate is formed by applying and curing a resin on the support substrate, and then the support substrate is removed, so that the first substrate is formed extremely thin and easily. be able to. Therefore, it is possible to easily reduce the thickness of the entire display device while reducing the thickness of the entire display device.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiment.

《発明の実施形態1》
図1〜図5は、本発明の実施形態1を示している。
Embodiment 1 of the Invention
1 to 5 show Embodiment 1 of the present invention.

図1は、支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。図2は、支持基板上の第1基板母材に貼り合わされた第2基板母材を示す断面図である。図3は、エッチングにより支持基板が除去された第1基板母材及び第2基板母材を示す断面図である。図4は、分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。図5は、液晶表示装置の構造を示す断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first substrate base material formed on a support substrate. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the second substrate base material bonded to the first substrate base material on the support substrate. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the first substrate base material and the second substrate base material from which the support substrate has been removed by etching. FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the structure of the liquid crystal display device.

まず、本実施形態1の表示装置としての液晶表示装置1の構成について説明する。   First, the configuration of the liquid crystal display device 1 as the display device of Embodiment 1 will be described.

図5に示すように、液晶表示装置1は、TFT基板12と、TFT基板12に対向して配置された対向基板11と、上記対向基板11及びTFT基板12の間に設けられた表示媒体層としての液晶層13とを備えている。液晶層13は、対向基板11とTFT基板12との間で環状のシール部材14によって封止されている。   As shown in FIG. 5, the liquid crystal display device 1 includes a TFT substrate 12, a counter substrate 11 disposed to face the TFT substrate 12, and a display medium layer provided between the counter substrate 11 and the TFT substrate 12. As a liquid crystal layer 13. The liquid crystal layer 13 is sealed between the counter substrate 11 and the TFT substrate 12 by an annular seal member 14.

対向基板11は、透明な樹脂からなる第1基板21と、第1基板21の液晶層13側に形成されたカラーフィルタ層15、遮光膜16及び共通電極(図示省略)と、第1基板21の液晶層13とは反対側の表面に積層された偏光板17とを有している。   The counter substrate 11 includes a first substrate 21 made of a transparent resin, a color filter layer 15 formed on the liquid crystal layer 13 side of the first substrate 21, a light shielding film 16, a common electrode (not shown), and the first substrate 21. The polarizing plate 17 is laminated on the surface opposite to the liquid crystal layer 13.

一方、TFT基板12は、ガラス基板により構成された第2基板22と、第2基板22の液晶層13側に形成された薄膜デバイス層(図示省略)と、第2基板22の液晶層13とは反対側の表面に積層された偏光板18とを有し、いわゆるアクティブマトリクス基板に構成されている。   On the other hand, the TFT substrate 12 includes a second substrate 22 made of a glass substrate, a thin film device layer (not shown) formed on the liquid crystal layer 13 side of the second substrate 22, and the liquid crystal layer 13 of the second substrate 22. Has a polarizing plate 18 laminated on the opposite surface, and is configured as a so-called active matrix substrate.

図示を省略するが、TFT基板12には、上記薄膜デバイス層を構成する複数のゲート配線及びソース配線が格子状に形成され、例えば、その格子状に区画された領域に画素がそれぞれ形成されている。各画素には、薄膜デバイス層を構成する画素電極やスイッチング素子としてのTFT(薄膜トランジスタ)等がそれぞれ形成されている。   Although not shown, a plurality of gate wirings and source wirings constituting the thin film device layer are formed in a grid pattern on the TFT substrate 12. For example, pixels are respectively formed in regions partitioned in the grid pattern. Yes. Each pixel is formed with a pixel electrode constituting the thin film device layer, a TFT (thin film transistor) as a switching element, and the like.

TFT基板12の一辺側の領域は、基板表面の法線方向から見て、対向基板11よりも側方に突出した端子領域19になっている。端子領域19には、上記薄膜デバイス層から引き出し配線(図示省略)が引き出され、その端部に端子(図示省略)がそれぞれ形成されている。この端子領域19の端子には、FPC(フレキシブルプリント基板)20が実装されている。   A region on one side of the TFT substrate 12 is a terminal region 19 projecting laterally from the counter substrate 11 when viewed from the normal direction of the substrate surface. In the terminal region 19, lead wires (not shown) are drawn from the thin film device layer, and terminals (not shown) are formed at the ends thereof. An FPC (flexible printed circuit board) 20 is mounted on the terminals in the terminal area 19.

そうして、液晶表示装置1は、FPC20からゲート配線及びソース配線を介して各画素のTFTに所定の信号が供給されることによって、各画素毎に液晶層13を駆動制御し、所望の表示を行うように構成されている。   Then, the liquid crystal display device 1 drives and controls the liquid crystal layer 13 for each pixel by supplying a predetermined signal from the FPC 20 to the TFT of each pixel through the gate wiring and the source wiring, and performs a desired display. Is configured to do.

ここで、TFT基板12の第2基板22は、厚みが0.2mmであるガラス基板によって構成され、対向基板11の第1基板21は、厚みが0.05mmである透明有機樹脂層によって構成されている。そのことにより、液晶表示装置1の厚みは約0.25mmになっている。   Here, the second substrate 22 of the TFT substrate 12 is constituted by a glass substrate having a thickness of 0.2 mm, and the first substrate 21 of the counter substrate 11 is constituted by a transparent organic resin layer having a thickness of 0.05 mm. ing. Thereby, the thickness of the liquid crystal display device 1 is about 0.25 mm.

−製造方法−
次に、上記液晶表示装置1の製造方法について説明する。
-Manufacturing method-
Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device 1 will be described.

本実施形態では、大判の一対の基板を分断することにより、複数の液晶表示装置1を製造する。   In the present embodiment, a plurality of liquid crystal display devices 1 are manufactured by dividing a large pair of substrates.

まず、第1基板形成工程を行い、大判の支持基板25上に複数の第1基板21を含む第1基板母材31を形成する。複数の第1基板21は、第1基板母材31において、所定の間隔でマトリクス状に配置されるように形成する。   First, a first substrate forming step is performed to form a first substrate base material 31 including a plurality of first substrates 21 on a large support substrate 25. The plurality of first substrates 21 are formed on the first substrate base material 31 so as to be arranged in a matrix at predetermined intervals.

すなわち、例えば透明なガラス基板からなる支持基板25上に、例えばUV感光性樹脂等の液体の透明有機樹脂を、スピンコーター等によって薄膜状に一様に塗布し、その薄膜樹脂層を紫外線の照射等によって硬化させる。上記有機樹脂の厚みは、0.01mm〜0.2mm程度に形成することが好ましい。そうして、UV感光性樹脂からなる薄膜樹脂層によって、第1基板21を支持基板25上に形成する。   That is, for example, a liquid transparent organic resin such as a UV photosensitive resin is uniformly applied in a thin film shape on a support substrate 25 made of, for example, a transparent glass substrate, and the thin film resin layer is irradiated with ultraviolet rays. Cured by etc. The thickness of the organic resin is preferably about 0.01 mm to 0.2 mm. Then, the first substrate 21 is formed on the support substrate 25 by a thin film resin layer made of UV photosensitive resin.

その後、第1基板母材31の支持基板25とは反対側の表面に、各第1基板21毎に、図示省略のITO等からなる共通電極を形成すると共に、カラーフィルタ層15及び遮光膜16等を形成する。カラーフィルタ層15はR,G,Bの三原色の着色層を規則的に配置して形成し、第1基板21の周囲四辺に沿って遮光膜16を枠状に形成する。また、これらの液晶層13に接する表面には、図示省略の配向膜を形成する。   Thereafter, a common electrode made of ITO or the like (not shown) is formed for each first substrate 21 on the surface of the first substrate base 31 opposite to the support substrate 25, and the color filter layer 15 and the light shielding film 16. Etc. The color filter layer 15 is formed by regularly arranging three primary color layers of R, G, and B, and a light shielding film 16 is formed in a frame shape along the four sides around the first substrate 21. An alignment film (not shown) is formed on the surface in contact with the liquid crystal layer 13.

このとき、支持基板25の厚みは例えば0.45mmであり、第1基板母材31(第1基板21)の厚みは例えば0.05mmである。   At this time, the thickness of the support substrate 25 is 0.45 mm, for example, and the thickness of the first substrate base material 31 (first substrate 21) is 0.05 mm, for example.

次に、貼り合わせ工程を行って、上記第1基板母材31に対して、複数の第2基板22を含む第2基板母材32を貼り合わせる。複数の第2基板22は、第2基板母材32において、所定の間隔でマトリクス状に配置されるように形成する。   Next, a bonding step is performed to bond the second substrate base material 32 including the plurality of second substrates 22 to the first substrate base material 31. The plurality of second substrates 22 are formed on the second substrate base material 32 so as to be arranged in a matrix at predetermined intervals.

すなわち、比較的厚みが大きい例えばガラス基板からなる第2基板母材32には、各第2基板22毎に、図示省略の薄膜デバイス層(つまり、TFT、画素電極、ゲート配線及びソース配線等)を予め形成しておく。また、薄膜デバイス層の液晶層13に接する表面には、図示省略の配向膜を形成する。   That is, for the second substrate base material 32 made of a glass substrate having a relatively large thickness, for example, a thin film device layer (not shown) (that is, TFT, pixel electrode, gate wiring, source wiring, etc.) is provided for each second substrate 22. Is formed in advance. An alignment film (not shown) is formed on the surface of the thin film device layer that is in contact with the liquid crystal layer 13.

その後、第2基板母材32に対し、各第2基板22毎に矩形枠状のシール部材14をシリンジ等により描画して形成する。続いて、各シール部材14の内側に液晶材料を滴下して供給する(ODF法)。なお、液晶材料は、各第1基板21のカラーフィルタ層15上に滴下するようにしてもよい。シール部材14には、例えばUV感光性樹脂を適用することが可能である。   Thereafter, a rectangular frame-shaped sealing member 14 is formed on the second substrate base material 32 by drawing with a syringe or the like for each second substrate 22. Subsequently, a liquid crystal material is dropped and supplied inside each seal member 14 (ODF method). The liquid crystal material may be dropped on the color filter layer 15 of each first substrate 21. For example, a UV photosensitive resin can be applied to the seal member 14.

続いて、上記支持基板25上に形成された第1基板21に各第2基板22がそれぞれ対向するように、第2基板母材32を第1基板母材31に貼り合わせる。その後、シール部材14を硬化させることによって、液晶材料が第1基板21と第2基板22との間でシール部材14により封止されることとなる。   Subsequently, the second substrate base material 32 is bonded to the first substrate base material 31 so that each of the second substrates 22 faces the first substrate 21 formed on the support substrate 25. Thereafter, the sealing member 14 is cured, so that the liquid crystal material is sealed between the first substrate 21 and the second substrate 22 by the sealing member 14.

互いに貼り合わされた第1基板母材31及び第2基板22の外縁部分には、その全周に亘って、エッチング溶液が侵入しないようにシール材を設けておくことが好ましい。   It is preferable to provide a sealing material on the outer edge portions of the first substrate base material 31 and the second substrate 22 bonded together so that the etching solution does not enter the entire periphery.

このとき、第2基板母材32(第2基板22)の厚みは、例えば0.7mmである。   At this time, the thickness of the second substrate base material 32 (second substrate 22) is, for example, 0.7 mm.

次に、除去工程を行い、第2基板母材32に貼り合わされた第1基板母材31から支持基板25を除去することによって、第2基板22に貼り合わされた第1基板21から支持基板25を除去する。   Next, a support substrate 25 is removed from the first substrate 21 bonded to the second substrate 22 by removing the support substrate 25 from the first substrate preform 31 bonded to the second substrate matrix 32 by performing a removing step. Remove.

この除去工程では、エッチングによって、支持基板25の除去と同時に第2基板22の薄型化を行う。すなわち、上記支持基板25上で貼り合わされた第1基板母材31及び第2基板母材32の全体を、エッチング溶液としてのフッ酸に例えば約100分間程度浸漬し、第2基板母材32の外側部分を例えば0.5mmの厚み分だけエッチングして除去する。そのことにより、図3に示すように、第2基板母材32の厚みを0.2mmに薄型化すると共に、厚みが0.45mmであった支持基板25を全てエッチングにより除去し、第1基板母材31の表面全体を露出させる。エッチング処理後には、上記第1基板母材31及び第2基板母材32を十分に水洗浄して、エッチング溶液が各基板母材31,32に残らないようにする。   In this removal step, the second substrate 22 is thinned simultaneously with the removal of the support substrate 25 by etching. That is, the entire first substrate base material 31 and second substrate base material 32 bonded together on the support substrate 25 are immersed in hydrofluoric acid as an etching solution for about 100 minutes, for example. The outer portion is removed by etching, for example, by a thickness of 0.5 mm. As a result, as shown in FIG. 3, the thickness of the second substrate base material 32 is reduced to 0.2 mm, and the support substrate 25 having a thickness of 0.45 mm is all removed by etching, whereby the first substrate The entire surface of the base material 31 is exposed. After the etching process, the first substrate base material 31 and the second substrate base material 32 are sufficiently washed with water so that the etching solution does not remain on the substrate base materials 31 and 32.

次に、分断工程を行って、互いに貼り合わされた第1基板母材31及び第2基板母材32を、ホイールカッター等によって第1基板21毎に(第2基板22毎に)分断して、図4に示すように、複数の液晶表示装置1を形成する。この場合、まず第1基板母材31を分断した後に、第2基板母材32を分断することが好ましい。   Next, a dividing step is performed, and the first substrate base material 31 and the second substrate base material 32 bonded to each other are divided for each first substrate 21 (for each second substrate 22) with a wheel cutter or the like, As shown in FIG. 4, a plurality of liquid crystal display devices 1 are formed. In this case, it is preferable to first divide the first substrate base material 31 and then sever the second substrate base material 32.

第1基板21及び第2基板22の外側表面には、偏光板17,18をそれぞれ貼り付けて、TFT基板12及び対向基板11を形成する。TFT基板12の端子領域には、図5に示すように、FPC20を実装する。以上のようにして、液晶表示装置1を製造する。   Polarizing plates 17 and 18 are attached to the outer surfaces of the first substrate 21 and the second substrate 22 to form the TFT substrate 12 and the counter substrate 11. As shown in FIG. 5, the FPC 20 is mounted on the terminal area of the TFT substrate 12. The liquid crystal display device 1 is manufactured as described above.

したがって、この実施形態1によると、支持基板25上にUV感光性樹脂を塗布して硬化させることによって第1基板母材31(第1基板21)を形成し、その後に支持基板25を第1基板母材31(第1基板21)から除去するようにしたので、当該第1基板21を極めて薄く且つ容易に形成することができる。したがって、液晶表示装置1の全体を極めて薄型化しながらも、その薄型化を容易に行うことができる。   Therefore, according to the first embodiment, the first substrate base material 31 (first substrate 21) is formed by applying and curing the UV photosensitive resin on the support substrate 25, and then the support substrate 25 is attached to the first substrate. Since it is removed from the substrate base material 31 (first substrate 21), the first substrate 21 can be formed extremely thin and easily. Therefore, it is possible to easily reduce the thickness of the entire liquid crystal display device 1 while reducing the thickness of the entire liquid crystal display device 1.

さらに、透明有機樹脂からなる第1基板母材31(第1基板21)が支持基板25の表面に密着して硬化しているため、カラーフィルタ層15の形成等における位置ずれによるパターンずれやパターンの歪みを防止することができる。また、支持基板25を第2基板母材32と同じガラス基板によって形成し、互いに同じ熱膨張係数の基板としたため、貼り合わせ工程における位置ずれも好適に防止することができる。   Further, since the first substrate base material 31 (first substrate 21) made of a transparent organic resin is in close contact with the surface of the support substrate 25 and hardened, pattern displacement or pattern due to positional displacement in the formation of the color filter layer 15 or the like. Can be prevented. In addition, since the support substrate 25 is formed of the same glass substrate as the second substrate base material 32 and has the same thermal expansion coefficient, misalignment in the bonding process can be suitably prevented.

そうして、本実施形態1によれば、ガラスや通常のプラスチック基板では実現が困難な薄さの液晶表示装置を製造することができる。また、樹脂層を自由な形状に容易に加工できるため、第1基板21に集光レンズや散乱層等を形成することも可能である。   Thus, according to the first embodiment, it is possible to manufacture a thin liquid crystal display device that is difficult to realize with glass or a normal plastic substrate. In addition, since the resin layer can be easily processed into a free shape, a condensing lens, a scattering layer, and the like can be formed on the first substrate 21.

例えば、支持基板25の表面に凹凸面状の型を形成しておくことにより、第1基板21の支持基板25側に凹凸面を容易に形成できる。したがって、第1基板21自体に集光レンズを容易に形成できることとなる。また、透明有機樹脂に散乱材を混入させておくことで、第1基板21自体を散乱層として形成することができる。   For example, by forming an uneven surface mold on the surface of the support substrate 25, the uneven surface can be easily formed on the support substrate 25 side of the first substrate 21. Therefore, the condensing lens can be easily formed on the first substrate 21 itself. Moreover, the 1st board | substrate 21 itself can be formed as a scattering layer by mixing a scattering material in transparent organic resin.

また、従来のように、一対のガラス基板をそれぞれエッチングして薄型化する場合には、エッチングの過多や、ディンプル状の穴が形成されるエッチングムラ、さらにはガラスの欠け等が生じやすい問題があるが、本実施形態1の製造方法によれば、このような問題を未然に防止することができる。また、従来のように、プラスチック基板をガラス基板等に貼り合わせる場合に比べて、本実施形態1では極めて薄型化することができ、パターンずれも顕著に低減できる。   In addition, when a pair of glass substrates is etched and thinned as in the prior art, there is a problem that excessive etching, uneven etching in which dimple holes are formed, and chipping of the glass are likely to occur. However, according to the manufacturing method of the first embodiment, such a problem can be prevented in advance. Further, as compared with the conventional case where the plastic substrate is bonded to a glass substrate or the like, the first embodiment can be made extremely thin and the pattern deviation can be significantly reduced.

なお、本実施形態1では、第1基板21である透明樹脂層の表面上にカラーフィルタ層15を形成するようにしたが、上記透明樹脂層自体を染色することによって、第1基板21自体にカラーフィルタを形成するようにしてもよい。このことにより、カラーフィルタ層15を別途形成する必要がないため、さらなる薄型化を図ることが可能となる。   In the first embodiment, the color filter layer 15 is formed on the surface of the transparent resin layer, which is the first substrate 21, but the first substrate 21 itself is dyed by dyeing the transparent resin layer itself. A color filter may be formed. Accordingly, it is not necessary to separately form the color filter layer 15, so that the thickness can be further reduced.

《発明の実施形態2》
図6及び図7は、本発明の実施形態2を示している。
<< Embodiment 2 of the Invention >>
6 and 7 show Embodiment 2 of the present invention.

図6は、本実施形態2における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。図7は、本実施形態2における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。尚、以降の各実施形態では、図1〜図5と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device according to the second embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the second embodiment. In the following embodiments, the same portions as those in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

本実施形態2では、上記実施形態1において、第1基板21に第1バリア膜26を形成するようにしたものである。   In the second embodiment, the first barrier film 26 is formed on the first substrate 21 in the first embodiment.

すなわち、液晶表示装置1は、第1基板21の液晶層13と反対側の表面に、撥水性を有する第1バリア膜26が形成されている。第1バリア膜26は、例えばフッ素系樹脂によって形成することが好ましい。   That is, in the liquid crystal display device 1, the first barrier film 26 having water repellency is formed on the surface of the first substrate 21 opposite to the liquid crystal layer 13. The first barrier film 26 is preferably formed of, for example, a fluorine resin.

本実施形態2の液晶表示装置1を製造する場合には、まず、第1バリア膜形成工程を行って、大判の支持基板25の表面にフッ素樹脂等の第1バリア膜26を形成する。その後、上記実施形態1と同様に、第1基板形成工程を行い、第1バリア膜26の表面に、UV感光性樹脂等の透明有機樹脂を塗布して樹脂層を形成し、第1基板21を形成する。その後の製造工程は、上記実施形態1と同様である。   When manufacturing the liquid crystal display device 1 of the second embodiment, first, a first barrier film forming step is performed to form a first barrier film 26 such as a fluororesin on the surface of a large support substrate 25. Thereafter, in the same manner as in the first embodiment, a first substrate forming step is performed, and a transparent organic resin such as a UV photosensitive resin is applied to the surface of the first barrier film 26 to form a resin layer. Form. Subsequent manufacturing steps are the same as those in the first embodiment.

したがって、この実施形態2によると、液晶表示装置1における第1基板21の外側表面に第1バリア膜26が設けられることとなり、外部の水分やイオン等が第1基板21を透過しないようにすることができる。その結果、液晶層13の劣化を防止して、表示品位を高く維持することができる。   Therefore, according to the second embodiment, the first barrier film 26 is provided on the outer surface of the first substrate 21 in the liquid crystal display device 1, so that external moisture, ions, and the like are not transmitted through the first substrate 21. be able to. As a result, deterioration of the liquid crystal layer 13 can be prevented, and display quality can be maintained high.

《発明の実施形態3》
図8及び図9は、本発明の実施形態3を示している。
<< Embodiment 3 of the Invention >>
8 and 9 show Embodiment 3 of the present invention.

図8は、本実施形態3における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。図9は、本実施形態3における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device according to the third embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the third embodiment.

本実施形態3では、上記実施形態1において、第1基板21に第2バリア膜27を形成するようにしたものである。   In the third embodiment, the second barrier film 27 is formed on the first substrate 21 in the first embodiment.

すなわち、液晶表示装置1は、第1基板21の液晶層13側の表面に、撥水性を有する第2バリア膜27が形成されている。第2バリア膜27は、例えばSiO等の無機膜によって形成することが好ましい。 That is, in the liquid crystal display device 1, the second barrier film 27 having water repellency is formed on the surface of the first substrate 21 on the liquid crystal layer 13 side. The second barrier film 27 is preferably formed of an inorganic film such as SiO 2 .

本実施形態3の液晶表示装置1を製造する場合には、まず、上記実施形態1と同様に、第1基板形成工程を行い、大判の支持基板25上にUV感光性樹脂等の透明有機樹脂を塗布して、第1基板21を含む第1基板母材31を形成する。   When manufacturing the liquid crystal display device 1 of the third embodiment, first, as in the first embodiment, a first substrate forming step is performed, and a transparent organic resin such as a UV photosensitive resin is formed on the large support substrate 25. Is applied to form a first substrate base material 31 including the first substrate 21.

次に、第2バリア膜形成工程を行って、第1基板母材31における支持基板25とは反対側の表面に、SiO等の無機膜からなる第2バリア膜27を形成する。その後、第2バリア膜27の表面に対し、上記実施形態1と同様に、共通電極、カラーフィルタ層15及び遮光膜16を形成する。 Next, a second barrier film forming step is performed to form a second barrier film 27 made of an inorganic film such as SiO 2 on the surface of the first substrate base material 31 opposite to the support substrate 25. Thereafter, the common electrode, the color filter layer 15 and the light shielding film 16 are formed on the surface of the second barrier film 27 in the same manner as in the first embodiment.

その後、貼り合わせ工程では、第2バリア膜27が形成された第1基板母材31に対して、第2基板母材32を貼り合わせる。その後の製造工程は、上記実施形態1と同様である。   Thereafter, in the bonding step, the second substrate base material 32 is bonded to the first substrate base material 31 on which the second barrier film 27 is formed. Subsequent manufacturing steps are the same as those in the first embodiment.

したがって、この実施形態3によると、液晶表示装置1における第1基板21の内側表面に第2バリア膜27が設けられることとなり、外部の水分やイオン等が液晶層13に侵入しないようにすることができる。その結果、液晶層13の劣化を防止して、表示品位を高く維持することができる。   Therefore, according to the third embodiment, the second barrier film 27 is provided on the inner surface of the first substrate 21 in the liquid crystal display device 1 so that external moisture, ions, and the like do not enter the liquid crystal layer 13. Can do. As a result, deterioration of the liquid crystal layer 13 can be prevented, and display quality can be maintained high.

《発明の実施形態4》
図10及び図11は、本発明の実施形態4を示している。
<< Embodiment 4 of the Invention >>
10 and 11 show Embodiment 4 of the present invention.

図10は、本実施形態4における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。図11は、本実施形態4における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。   FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating the structure of the divided liquid crystal display device according to the fourth embodiment. FIG. 11 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the fourth embodiment.

本実施形態4では、上記実施形態1において、第1基板母材31に複数の壁部材28を設けるようにしたものである。   In the fourth embodiment, a plurality of wall members 28 are provided on the first substrate base material 31 in the first embodiment.

液晶表示装置1は、図10に示すように、第1基板21の四辺外周部分に、その全周に亘って切欠部29が形成されている点で、上記実施形態1における液晶表示装置1と異なっている。   As shown in FIG. 10, the liquid crystal display device 1 is different from the liquid crystal display device 1 according to the first embodiment in that a cutout portion 29 is formed on the outer periphery of the four sides of the first substrate 21 over the entire periphery. Is different.

本実施形態4の液晶表示装置1を製造する場合には、まず、第1基板形成工程において、支持基板25の表面に対し、第1基板母材31の厚みよりも低い高さの壁部材28を各第1基板21を囲むように配置した後に、壁部材28を覆うように支持基板25の表面に上記透明有機樹脂を塗布する。   When manufacturing the liquid crystal display device 1 of Embodiment 4, first, in the first substrate forming step, the wall member 28 having a height lower than the thickness of the first substrate base material 31 with respect to the surface of the support substrate 25. Is disposed so as to surround each first substrate 21, and the transparent organic resin is applied to the surface of the support substrate 25 so as to cover the wall member 28.

壁部材28は、支持基板25と共にエッチングされる材料によって形成する。本実施形態4では、支持基板25がガラス基板により構成され、エッチング溶液がフッ酸であるために、壁部材28を例えばガラスや金属又は樹脂等によって構成することが可能である。壁部材28はその長さ方向に直交する断面が矩形状に形成されている。また、壁部材28はそれぞれ矩形枠状に形成し、全体として格子状に形成してもよい。   The wall member 28 is formed of a material that is etched together with the support substrate 25. In the fourth embodiment, since the support substrate 25 is made of a glass substrate and the etching solution is hydrofluoric acid, the wall member 28 can be made of glass, metal, resin, or the like. The wall member 28 has a rectangular cross section perpendicular to its length direction. The wall members 28 may be formed in a rectangular frame shape, and may be formed in a lattice shape as a whole.

そうして、図11に示すように、壁部材28が埋設された第1基板母材31が支持基板25上に形成されることとなる。   Thus, as shown in FIG. 11, the first substrate base material 31 in which the wall member 28 is embedded is formed on the support substrate 25.

その後、上記実施形態1と同様に、第1基板母材31の表面に対し、上記実施形態1と同様に、共通電極、カラーフィルタ層15及び遮光膜16を形成する。次に、上記実施形態1と同様に、貼り合わせ工程を行って、第1基板母材31に第2基板母材32を貼り合わせる。   Thereafter, as in the first embodiment, the common electrode, the color filter layer 15 and the light shielding film 16 are formed on the surface of the first substrate base material 31 as in the first embodiment. Next, as in the first embodiment, a bonding step is performed to bond the second substrate base material 32 to the first substrate base material 31.

次に、除去工程では、支持基板25と共に壁部材28を除去する。すなわち、互いに貼り合わされた第1基板母材31及び第2基板母材32をエッチング溶液に浸漬して、支持基板25の全体を除去する。このとき、壁部材28が露出するため、当該壁部材28もエッチングされて除去される。そのことにより、分断工程では、第2基板母材32を分断することによって容易に各液晶表示装置が形成される。   Next, in the removing step, the wall member 28 is removed together with the support substrate 25. That is, the first substrate base material 31 and the second substrate base material 32 bonded together are immersed in an etching solution to remove the entire support substrate 25. At this time, since the wall member 28 is exposed, the wall member 28 is also etched away. Thereby, in the dividing step, each liquid crystal display device is easily formed by dividing the second substrate base material 32.

したがって、本実施形態4によれば、支持基板25の除去と同時に、第1基板母材31を各第1基板21毎に分断することが可能になるため、液晶表示装置1を極めて薄く形成しながらも、工数を低減して製造コストを低下することができる。   Therefore, according to the fourth embodiment, since the first substrate base material 31 can be divided for each first substrate 21 simultaneously with the removal of the support substrate 25, the liquid crystal display device 1 is formed extremely thin. However, the manufacturing cost can be reduced by reducing the man-hours.

《発明の実施形態5》
図12及び図13は、本発明の実施形態5を示している。
<< Embodiment 5 of the Invention >>
12 and 13 show Embodiment 5 of the present invention.

図12は、本実施形態5における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。図13は、本実施形態5における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。   FIG. 12 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device according to the fifth embodiment. FIG. 13 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the fifth embodiment.

本実施形態5では、上記実施形態1において、第1基板21に平坦化膜30を設けるようにしたものである。   In the fifth embodiment, the planarizing film 30 is provided on the first substrate 21 in the first embodiment.

すなわち、第1基板21の液晶層13側には、カラーフィルタ層15及び遮光膜16等を覆う平坦化膜30が形成されている。平坦化膜30は、例えば、透明なエポキシ系樹脂によって構成し、3μm程度に形成されている。平坦化膜30は、第1基板21よりも薄い膜厚であることが好ましく、第1基板21の表面を平坦化するように形成されている。   That is, the planarizing film 30 that covers the color filter layer 15, the light shielding film 16, and the like is formed on the liquid crystal layer 13 side of the first substrate 21. The planarizing film 30 is made of, for example, a transparent epoxy resin and is formed to have a thickness of about 3 μm. The planarization film 30 is preferably thinner than the first substrate 21 and is formed so as to planarize the surface of the first substrate 21.

そうして、対向基板11の平坦化膜30にシール部材14及び液晶層13を介してTFT基板12が貼り合わされることにより、液晶表示装置1が形成されている。   Thus, the TFT substrate 12 is bonded to the planarizing film 30 of the counter substrate 11 via the seal member 14 and the liquid crystal layer 13, thereby forming the liquid crystal display device 1.

上記液晶表示装置1を製造する場合には、上記実施形態1における第1基板形成工程を経てカラーフィルタ層15及び遮光膜16等を形成した第1基板母材31に対し、平坦化膜形成工程を行って、エポキシ系樹脂からなる平坦化膜30を、上記カラーフィルタ層15等を覆うように一様に塗布して形成する。   When the liquid crystal display device 1 is manufactured, a planarization film forming step is performed on the first substrate base material 31 on which the color filter layer 15 and the light shielding film 16 are formed through the first substrate forming step in the first embodiment. The flattening film 30 made of an epoxy resin is uniformly applied so as to cover the color filter layer 15 and the like.

平坦化膜30を硬化させた後に、貼り合わせ工程において、その平坦化膜30が形成された第1基板母材31に対して第2基板母材32を貼り合わせる。その後、上記実施形態1と同様に、除去工程及び分断工程を行う。そのことによって、液晶表示装置1を製造する。   After the planarization film 30 is cured, in a bonding process, the second substrate base material 32 is bonded to the first substrate base material 31 on which the planarization film 30 is formed. Thereafter, similarly to the first embodiment, the removing step and the dividing step are performed. Thereby, the liquid crystal display device 1 is manufactured.

第1基板21が極めて薄い場合、支持基板25上に塗布された透明有機樹脂の膜厚にばらつきが生じる虞があるが、本実施形態5によれば、第1基板21に平坦化膜30を積層するようにしたので、第1基板21の液晶層13側表面を平坦化することができる。その結果、液晶表示装置1を極めて薄く形成しながらも、その表示品位を高く維持することができる。   When the first substrate 21 is extremely thin, there is a possibility that the film thickness of the transparent organic resin applied on the support substrate 25 may vary. According to the fifth embodiment, the planarization film 30 is formed on the first substrate 21. Since the layers are stacked, the surface of the first substrate 21 on the liquid crystal layer 13 side can be planarized. As a result, the display quality can be kept high while the liquid crystal display device 1 is formed extremely thin.

《その他の実施形態》
上記各実施形態では、支持基板25を透明なガラス基板によって構成した例について説明したが、支持基板25は無色透明に限らず、断面図である図14に示すように、着色されたガラス基板によって構成してもよい。このようにすれば、除去工程において、エッチングされる支持基板25の残量を容易に視認できるため、容易且つ確実に支持基板25の全てを除去することができる。
<< Other Embodiments >>
In each of the above embodiments, the example in which the support substrate 25 is configured by a transparent glass substrate has been described. However, the support substrate 25 is not limited to being colorless and transparent, and as illustrated in FIG. 14 that is a cross-sectional view, It may be configured. In this way, since the remaining amount of the support substrate 25 to be etched can be easily visually recognized in the removing step, the entire support substrate 25 can be easily and reliably removed.

また、上記実施形態4では、壁部材28の長さ方向に直交する断面を矩形状に形成した例について説明したが、その他にも、例えば、図15に示すように断面三角形状に形成してもよく、図16に示すように断面五角形状に形成してもよい。そうして、壁部材28の断面における支持基板25と反対側の部分が鋭角形状となるようにすることが好ましい。このことにより、エッチングにより壁部材28が除去された後に、第1基板母材31に断面鋭角状の溝が形成されることから、当該第1基板母材31を各第1基板21により容易に分断しやすくすることができる。   In the fourth embodiment, the example in which the cross section orthogonal to the length direction of the wall member 28 is formed in a rectangular shape has been described. However, for example, as shown in FIG. Alternatively, it may be formed in a pentagonal cross section as shown in FIG. Thus, it is preferable that a portion of the cross section of the wall member 28 opposite to the support substrate 25 has an acute angle shape. Thus, after the wall member 28 is removed by etching, a groove having an acute cross section is formed in the first substrate base material 31, so that the first substrate base material 31 can be easily moved to each first substrate 21. It can be easily divided.

また、上記各実施形態では、液晶材料を第1基板母材31又は第2基板母材32に滴下して供給する滴下注入法による例について説明したが、その他にも、いわゆる真空注入法によって液晶層を形成するようにしてもよい。   Further, in each of the above embodiments, the example of the dropping injection method in which the liquid crystal material is dropped and supplied to the first substrate base material 31 or the second substrate base material 32 has been described. A layer may be formed.

すなわち、第1基板母材31と第2基板母材32とを注入口としての切欠部を有する複数のシール部材を介して貼り合わせた後に、その第1及び第2基板母材31,32を各第1基板21毎に(第2基板22毎に)分断する。その後、分断された一対の第1基板21及び第2基板22の間に液晶材料を注入し、液晶層13を形成するようにしてもよい。   That is, after bonding the first substrate base material 31 and the second substrate base material 32 through a plurality of seal members having notches as injection ports, the first and second substrate base materials 31 and 32 are bonded together. Dividing is performed for each first substrate 21 (for each second substrate 22). Thereafter, a liquid crystal material may be injected between the paired first substrate 21 and second substrate 22 to form the liquid crystal layer 13.

また、上記各実施形態では、液晶表示装置を例に挙げて説明したが、本発明に係る表示装置の製造方法は、表示媒体層を介して対向する一対の基板を有する表示装置についても同様に適用することができ、例えば表示媒体層が発光層であるEL表示装置等についても好適である。   In each of the above embodiments, the liquid crystal display device has been described as an example. However, the display device manufacturing method according to the present invention is similarly applied to a display device having a pair of substrates facing each other with a display medium layer interposed therebetween. For example, it is also suitable for an EL display device in which the display medium layer is a light emitting layer.

以上説明したように、本発明は、薄型化された表示装置の製造方法について有用である。   As described above, the present invention is useful for a method for manufacturing a thin display device.

図1は、支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first substrate base material formed on a support substrate. 図2は、支持基板上の第1基板母材に貼り合わされた第2基板母材を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the second substrate base material bonded to the first substrate base material on the support substrate. 図3は、エッチングにより支持基板が除去された第1基板母材及び第2基板母材を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the first substrate base material and the second substrate base material from which the support substrate has been removed by etching. 図4は、分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device. 図5は、液晶表示装置の構造を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the structure of the liquid crystal display device. 図6は、本実施形態2における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device according to the second embodiment. 図7は、本実施形態2における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the second embodiment. 図8は、本実施形態3における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device according to the third embodiment. 図9は、本実施形態3における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the third embodiment. 図10は、本実施形態4における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating the structure of the divided liquid crystal display device according to the fourth embodiment. 図11は、本実施形態4における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the fourth embodiment. 図12は、本実施形態5における分断された液晶表示装置の構造を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing the structure of the divided liquid crystal display device according to the fifth embodiment. 図13は、本実施形態5における支持基板上に形成された第1基板母材を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view showing the first substrate base material formed on the support substrate in the fifth embodiment. 図14は、その他の実施形態における着色された支持基板上の第1基板母材を示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view illustrating a first substrate base material on a colored support substrate according to another embodiment. 図15は、その他の実施形態における支持基板上の第1基板母材を示す断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view showing a first substrate base material on a support substrate in another embodiment. 図16は、その他の実施形態における支持基板上の第1基板母材を示す断面図である。FIG. 16 is a cross-sectional view showing a first substrate base material on a support substrate in another embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 液晶表示装置
11 対向基板
12 TFT基板
13 液晶層
14 シール部材
15 カラーフィルタ層
16 遮光膜
21 第1基板
22 第2基板
25 支持基板
26 第1バリア膜
27 第2バリア膜
28 壁部材
30 平坦化膜
31 第1基板母材
32 第2基板母材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display device 11 Opposite substrate 12 TFT substrate 13 Liquid crystal layer 14 Sealing member 15 Color filter layer 16 Light shielding film 21 First substrate 22 Second substrate 25 Support substrate 26 First barrier film 27 Second barrier film 28 Wall member 30 Flattening Film 31 First substrate base material 32 Second substrate base material

Claims (12)

第1基板及び第2基板が表示媒体層を介して互いに対向配置された表示装置を製造する方法であって、
支持基板上に樹脂を塗布して硬化させることにより、当該樹脂層からなる上記第1基板を形成する第1基板形成工程と、
上記支持基板上に形成された上記第1基板に対し、上記第2基板を対向するように貼り合わせる貼り合わせ工程と、
上記第2基板に貼り合わされた上記第1基板から上記支持基板を除去する除去工程とを有する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
A method of manufacturing a display device in which a first substrate and a second substrate are arranged to face each other via a display medium layer,
A first substrate forming step of forming the first substrate comprising the resin layer by applying and curing a resin on the support substrate;
A bonding step of bonding the second substrate so as to face the first substrate formed on the support substrate;
And a removing step of removing the support substrate from the first substrate bonded to the second substrate.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記除去工程では、エッチングによって、上記支持基板の除去と同時に上記第2基板の薄型化を行う
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
In the removing step, the second substrate is thinned simultaneously with the removal of the support substrate by etching.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記支持基板はガラス基板である
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the support substrate is a glass substrate.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記樹脂はUV感光性樹脂である
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the resin is a UV photosensitive resin.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記第2基板はガラス基板である
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the second substrate is a glass substrate.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記支持基板の表面に撥水性を有する第1バリア膜を形成する第1バリア膜形成工程を有し、
上記第1基板形成工程では、上記第1バリア膜の表面に上記樹脂層を形成する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A first barrier film forming step of forming a first barrier film having water repellency on the surface of the support substrate;
In the first substrate forming step, the resin layer is formed on the surface of the first barrier film.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記第1基板の表面に撥水性を有する第2バリア膜を形成する第2バリア膜形成工程を有し、
上記貼り合わせ工程では、上記第2バリア膜が形成された上記第1基板に上記第2基板を貼り合わせる
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A second barrier film forming step of forming a second barrier film having water repellency on the surface of the first substrate;
In the bonding step, the second substrate is bonded to the first substrate on which the second barrier film is formed.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記支持基板上の上記第1基板に平坦化膜を形成する平坦化膜形成工程を有し、
上記貼り合わせ工程では、上記平坦化膜が形成された上記第1基板に上記第2基板を貼り合わせる
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A planarization film forming step of forming a planarization film on the first substrate on the support substrate;
In the bonding step, the second substrate is bonded to the first substrate on which the planarizing film is formed.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記支持基板は着色されている
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the support substrate is colored.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記第1基板形成工程では、上記支持基板上に複数の上記第1基板を含む第1基板母材を形成し、
上記貼り合わせ工程では、上記第1基板母材に対して、複数の上記第2基板を含む第2基板母材を貼り合わせ、
上記除去工程では、上記第2基板母材に貼り合わされた上記第1基板母材から上記支持基板を除去し、
互いに貼り合わされた上記第1基板母材及び第2基板母材を分断して、複数の表示装置を形成する分断工程を有する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
In the first substrate forming step, a first substrate base material including a plurality of the first substrates is formed on the support substrate,
In the bonding step, a second substrate base material including a plurality of the second substrates is bonded to the first substrate base material,
In the removing step, the support substrate is removed from the first substrate base material bonded to the second substrate base material,
A method for manufacturing a display device, comprising: a dividing step of dividing the first substrate base material and the second substrate base material bonded together to form a plurality of display devices.
請求項10に記載された表示装置の製造方法において、
上記第1基板形成工程では、上記支持基板の表面に対し、上記第1基板の厚みよりも低い高さの壁部材を該各第1基板を囲むように配置した後に、上記壁部材を覆うように上記支持基板の表面に上記樹脂を塗布し、
上記除去工程では、上記支持基板と共に上記壁部材を除去する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 10,
In the first substrate forming step, a wall member having a height lower than the thickness of the first substrate is disposed on the surface of the support substrate so as to surround each first substrate, and then the wall member is covered. And applying the resin to the surface of the support substrate,
In the removing step, the wall member is removed together with the support substrate.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
上記表示媒体層は液晶層である
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the display medium layer is a liquid crystal layer.
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