JP2009293953A - 異物検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異物検査装置は、所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する異物検出部と、露光装置の使用条件に応じた検出感度情報を取得する検出感度情報取得部と、前記検出感度情報に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する感度変更部とを備える。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る異物検査装置及び方法が適用された露光装置を示す図である。なお、同図において、X、Y、Zは、互いに直交する方向を示す。
異物検査装置1は、第1及び第2の検査用光源2A,2Bと、第1及び第2の受光素子3A,3Bと、異物検出部4と、判定部5と、バーコードリーダ6と、記憶部7と、異物径算出部(検出感度情報取得部)8と、制御部(感度変更部、判定閾値変更部)9とを備える。
次に、異物検査装置1の動作を図1〜図5を参照して説明する。
オペレータは、フォトマスク13(又はケース)に設けられたバーコードをバーコードリーダ6で読み取る。バーコードリーダ6は、読み取ったバーコードを制御部9に出力する。次に、オペレータは、フォトマスク13を露光装置10のフォトマスクステージ14上に設置し、制御部9に異物検査開始を指示する。制御部9は、読み取られたバーコードを異物径算出部8に出力する。
次に、制御部9は、第1の検査用光源2Aから検査光を発生させるとともに、フォトマスクステージ駆動部18を制御して、フォトマスクステージ14をX方向及びY方向に移動させ、検査光でフォトマスク13の表面13aを2次元に走査する。第1の受光素子3Aは、第1の検査用光源2Aからの検査光を受けてフォトマスク13の表面13aに付着する異物20で発生した散乱光を受光し、受光した光の強度に応じた散乱光強度信号を異物検出部4に出力する。
次に、制御部9は、第2の検査用光源2Bから検査光を発生させるとともに、フォトマスクステージ駆動部18を制御して、フォトマスクステージ14をX方向及びY方向に移動させ、検査光でフォトマスク13の裏面13bを2次元に走査する。第2の受光素子3Bは、第2の検査用光源2Bからの検査光を受けてフォトマスク13の裏面13bに付着する異物20で発生した散乱光を受光し、受光した光の強度に応じた散乱光強度信号を異物検出部4に出力する。
フォトマスク13の表面13a又は裏面13bが不良品と判定された場合には、オペレータは、フォトマスク13をフォトマスクステージ14から取り外し、フォトマスク13を洗浄して異物20を取り除き、フォトマスク13をフォトマスクステージ14に設置し、再び異物検査を行う。
第1の実施の形態によれば、露光装置10の使用条件に応じて設定した検出閾値を用いて異物の検査を行っているので、様々な照明条件下で露光しても、フォトマスク上の異物による欠陥の発生を防止し、露光装置の稼働率低下を抑制することができる。
図6は、本発明の第2の実施の形態に係る異物検査装置が適用された露光装置を示す図である。なお、同図において、X、Y、Zは、互いに直交する方向を示す。
第2の実施の形態によれば、異物径の計算処理を省略することができるので、検査時間を短縮することができる。
Claims (5)
- 所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する異物検出部と、
露光装置の使用条件に応じた検出感度情報を取得する検出感度情報取得部と、
前記検出感度情報に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する感度変更部とを備えたことを特徴とする異物検査装置。 - 所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する異物検出部と、
露光装置の使用条件に基づいて検出目標の最小異物径を算出する異物径算出部と、
算出された前記最小異物径に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する感度変更部とを備えたことを特徴とする異物検査装置。 - 所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する異物検出部と、
前記フォトマスクの識別情報に対応して検出感度情報を記憶する記憶部と、
入力された前記フォトマスクの識別情報に対応する前記検出感度情報を前記記憶部から取得する検出感度情報取得部と、
前記検出感度情報に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する感度変更部とを備えたことを特徴とする異物検査装置。 - 所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する異物検出部と、
前記異物検出部の検出結果に対し、判定閾値を用いて良否判定を行う判定部と、
露光装置の使用条件に応じた検出感度情報を取得する検出感度情報取得部と、
前記検出感度情報に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する感度変更部と、
前記検出感度情報に基づいて前記判定部の前記判定閾値を変更する判定閾値変更部とを備えたことを特徴とする異物検査装置。 - 所定の感度でフォトマスク上の異物を検出する工程と、
露光装置の使用条件に応じた検出感度情報を取得する工程と、
前記検出感度情報に基づいて前記異物検出部の前記感度を変更する工程とを含むことを特徴とする異物検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008144922A JP2009293953A (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | 異物検査装置及び方法 |
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JP2009293953A true JP2009293953A (ja) | 2009-12-17 |
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JP (1) | JP2009293953A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11175239B2 (en) | 2018-11-06 | 2021-11-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Foreign substance inspection apparatus, processing apparatus, and article manufacturing method |
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2008
- 2008-06-02 JP JP2008144922A patent/JP2009293953A/ja not_active Withdrawn
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