JP2009293105A - 無機el素子用高強度バリウムアルミニウム合金系スパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 無機EL素子のEL発光層の形成において、反応性スパッタリング法に用いるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、大気中に長期間放置しても強度が低下することのない、高強度のスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】 24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとからなるホットプレス体からなるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、不可避不純物として含まれる水素の量を50ppm以下に制御する。このスパッタリングターゲットの製造は、原料粉末をホットプレスする際に、差圧0.1MPaでの窒素ガスのガス透過率が1×10−3cm2/s以上のホットプレス型を用いて行う。
【選択図】 なし
【解決手段】 24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとからなるホットプレス体からなるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットについて、不可避不純物として含まれる水素の量を50ppm以下に制御する。このスパッタリングターゲットの製造は、原料粉末をホットプレスする際に、差圧0.1MPaでの窒素ガスのガス透過率が1×10−3cm2/s以上のホットプレス型を用いて行う。
【選択図】 なし
Description
本発明は、無機エレクトロルミネッセンス(以下、無機ELとも略記する)素子のEL発光層を形成するためのバリウムアルミニウム合金系スパッタリングターゲット、及びその製造方法に関するものである。
電界の印加によって発光する無機EL素子はフルカラー化の研究が進められ、そのためのEL発光層に用いられる青色発光用の蛍光体として、BaAl2S4:Euなどのチオアルミネート系の硫化物が提案されてきている(特開平8−134440号公報参照)。
これらの蛍光体材料を用いてEL発光層を形成するには、通常、電子ビーム蒸着法やスパッタリング法が用いられている。スパッタリング法は電子ビーム蒸着法と比較して生産効率が高く、安定性及び再現性にも優れているこのため、EL発光層の量産性という観点から好ましい方法である。このスパッタリング法は、原則的に蛍光体と同じ組成を有する焼結体であるスパッタリングターゲットの表面にプラズマ状態にしたイオンを叩きつけることにより、スパッタリングターゲットの表面から分子あるいは原子を飛び出させ、基板上に堆積させて蛍光体膜を形成する方法である。
ところで、前記したBaAl2S4:Euなどの金属硫化物のスパッタリングターゲットを用いてスパッタリング法により蛍光体膜を形成すると、得られた蛍光体膜中の硫黄(S)の割合がスパッタリングターゲット中のSの割合に比して少なくなる。従って、所望の蛍光体膜組成と同じ組成のスパッタリングターゲットを用いても、所望の膜組成とはならず、Sの割合の乏しいものしか得られない。このように蛍光体膜のSが不足すると、EL素子の輝度寿命(発光寿命)あるいは発光輝度等の各種発光特性に悪影響を及ぼすため好ましくない。
このS不足を解消する方法として、例えばSID、1994、DIGEST、p129には、H2Sガスの共存下でスパッタリングする方法が提案されている。また、「高精細TV向け大型無機EL」、月刊ディスプレイ、テクノタイムズ社、2005年、7月号、p66には、Sを含有しないBaAl:Eu合金ターゲットを用い、Sを含む雰囲気中でスパッタリングする反応性スパッタリング法が報告されている。
この反応性スパッタリング法において用いるBaAl:Eu合金ターゲットの製造方法としては、例えば、BaAl4金属間化合物と金属Eu、あるいは更に金属Baや金属Alを原料とし、これらを溶解・鋳造後、粉砕して得た粉末を、ホットプレスする方法が提案されている(特開2006−342420号公報参照)。この方法によれば、Euが固溶したAlとBaの金属間化合物相を有し、大気中に放置しても強度が劣化しないスパッタリングターゲットが得られるとしている。
無機EL素子のEL発光層である蛍光体膜を形成する方法として、上記反応性スパッタリング法が蛍光体膜のS不足を解消できることから注目されている。また、この反応性スパッタリング法で用いるスパッタリングターゲットは、上記特許文献2に記載のように、原料粉末を溶融・鋳造し、鋳塊を不活性ガス中で粉砕し、得られた原料粉末をホットプレスしてホットプレス体を作製し、このホットプレス体を切削加工する方法によって製造されている。
しかし、この反応性スパッタリング法で用いるBaAl:Eu合金のスパッタリングターゲットについては、上記特許文献2に記載の方法で製造したものであっても、大気中に長期間放置すると著しく強度が低下してしまうという問題があった。
本発明は、このような従来の事情に鑑み、反応性スパッタリング法に用いるBaAl:Eu合金スパッタリングターゲットについて、大気中に長期間放置しても強度が低下することのない、高強度のバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明者らは、バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットを大気中に長期間放置したとき強度が低下する原因について検討を重ねた。まず、上記特許文献2に記載の方法により、原料粉末を溶融・鋳造し、鋳塊を不活性ガス中で粉砕して、得られた原料粉末をホットプレスしてバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの試作を試みた。得られたバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットを大気中に放置した場合、強度が低下すると共にターゲットの体積が徐々に膨張していることが観察された。また、強度低下が激しいバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットほど、多量の水素が含まれていることが分った。
一般的に、スパッタリングターゲットの構成元素のうち、アルカリ土類金属であるBaは水素と反応しやすいことが知られている。ホットプレスの原料となる粉砕粉には、粉砕時の雰囲気を不活性ガス雰囲気とした場合でも、その後のホットプレス型への給粉までのハンドリング時に水分の吸着が避けられない。吸着した水分は、真空中で加熱してホットプレスすれば粉末から脱離し、真空ポンプにより系外に排出される。しかし、Baの蒸気圧が大きいため、真空中にて500℃以上でホットプレスするとBaが蒸発してしまう。
従って、ホットプレスによるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの製造では、真空中での加熱を避けて、不活性ガスフローか不活性ガスパージの状態で実施する必要がある。そのため、粉末に吸着している水分は系外に排出されにくい状況となり、高温でBaが水素を吸収してしまうものと考えられる。ホットプレスでの加熱保持が終了した後、降温段階で過飽和に固溶している水素の一部はホットプレス体から放出されるが、一部は過飽和に固溶したままの状態となるため、得られたホットプレス体中に高濃度の水素が残留してしまうものと思われる。
このようにして、ホットプレスの原料粉末中に含まれる水素がホットプレス中に十分に除去されず、ホットプレス体中に高濃度で水素が残存した場合、そのホットプレス体(バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット)は、その後に大気中に放置されたとき著しい強度低下が起こることが判明した。更に、ホットプレス体中に高濃度の水素が残存する原因として、ホットプレス時に使用するグラファイト型のガス透過率が関係していることを見出し、本発明に至ったものである。
即ち、本発明が提供する高強度バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットは、無機EL素子における蛍光体膜形成用のバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットであって、24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとからなるホットプレス体であり、不可避不純物として含まれる水素の量が50ppm以下であることを特徴とするものである。
また、本発明が提供する高強度スパッタリングターゲットの製造方法は、エレクトロルミネッセンス素子における蛍光体膜形成用のスパッタリングターゲットをホットプレス法により製造する方法であって、24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとを含む原料粉末を、差圧0.1MPaでの窒素ガスのガス透過率が1×10−3cm2/s以上のホットプレス型を用いてホットプレスすることを特徴とする。
本発明によれば、大気中に長期間放置しても強度が低下しない高強度のバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供することができる。従って、本発明のバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットを用いることで、スパッタリングターゲットの保管や貯蔵が簡単になるうえ、スパッタリング装置のターゲット交換時などにおけるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットのハンドリングが容易になるため、効率よく蛍光体膜を製造することができる。
本発明が対象とするバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットは、Sを含有せず、24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとからなるホットプレス体であって、Sを含む雰囲気中でスパッタリングする反応性スパッタリング法に用いるものである。尚、バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットには、Sr、Ca、Mgなどのアルカリ土類金属や、水分ないし水素などの不可避不純物が含まれている。
スパッタリングターゲットの上記成分組成範囲は、ユーロピウム添加バリウムチオアルミネート(BaAl2S4:Eu)の蛍光体膜を形成するために計算で導き出される範囲であって、公知の成分組成である。また、上記成分組成範囲において、原料を溶融・凝固した後の粉砕粉、そのホットプレス体、即ちスパッタリングターゲットは、Euが固溶したBaとAlの金属間化合物相を有している。
本発明においては、ホットプレス法により得られるホットプレス体中の水素の量を低減させることにより、大気中に長期間放置しても強度の劣化が生じないバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットとすることができる。バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット(ホットプレス体)中に含まれる水素量を50ppm以下に制御する理由は、50ppmを超える水素が含有されている場合、大気中に放置されたときバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの強度が著しく低下してしまうからである。
バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット(ホットプレス体)中に不可避不純物として含まれる水素の量は、少ないほどバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの強度を維持できるため好ましい。しかしながら、通常のホットプレス装置ではホットプレス体中の水素量を1ppmよりも少なくすることは難しいうえ、水素量を1ppmより少なくしてもバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの更なる強度維持効果は得られないことから、バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット(ホットプレス体)中の水素量は1〜50ppmの範囲が好ましい。
このようにホットプレス体中の水素量を50ppm以下に制御することにより、大気中に長期間放置してもバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの強度が低下しない理由は明らかではないが、BaとAlの金属間化合物にEuが固溶した状態となっているうえに、含有される水素量が少ないために、Baなどの成分と大気中の水分との反応が抑制され、バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの強度が低下しなくなるものと思われる。
ホットプレス体中の水素を低減させるためには、ホットプレス時に使用する型(ホットプレス型と称する)のガス透過率が重要である。即ち、ホットプレスの昇温時ないし高温保持時に粉末から脱離した水分は、型を透過しようとするが、型のガス透過率が小さい場合には、外部に排出されず内部に閉じ込められてしまう。ホットプレス型内に閉じ込められた水分は、ホットプレス体中に残存し、一部は高温保持時に水素としてホットプレス体中のBaに吸収されてしまうものと考えられる。
そこで、本発明においては、バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットをホットプレス法により製造する際に、ホットプレス体中に高濃度の水素が残存することを防ぐため、ガス透過率の高いホットプレス型を用いる。具体的には、ホットプレス型のガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)を1×10−3cm2/s以上とすることによって、昇温時ないし高温保持時に水分ないし水素が型を透過して外部に排出されるため、得られるホットプレス体中の水素量を50ppm以下とすることができる。ガス透過率が1×10−3cm2/s未満では、得られるホットプレス体中の水素量が50ppmを超えてしまい、バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットを大気中に保持したとき強度が著しく低下してしまう。
ただし、ホットプレス型のガス透過率が高くなりすぎると、型の強度が低下したり、型の表面状態が悪化したりするため好ましくない。ホットプレス型として一般的なグラファイト型を用いる場合、そのガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)は1×10−2〜2×10−1cm2/sの範囲が好ましい。また、ホットプレス型のガス透過率が1×10−3cm2/s以上であれば、ガスの透過を妨げない酸化物粉末、例えばアルミナ粉末などを離型剤として型表面に塗布してもかまわない。
本発明によるバリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの製造は、使用するホットプレス型を除いて、従来と同様のホットプレス法により行うことができる。例えば、Baメタル(塊状)及びAlメタル(粒状)、若しくはBaAl金属間化合物(塊状)と、Euメタル(塊状)とを所定の組成を秤量し、秤量物を不活性雰囲気中で加熱溶融し、冷却凝固させた後、不活性ガス雰囲気中で粉砕して、ホットプレスの原料粉末とする。尚、上記秤量物の加熱溶融に先立って、真空引きしながら予備加熱することにより、秤量物表面に吸着している水分を除去しておくことが望ましい。
上記原料粉末は、ガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)が1×10−3cm2/s以上のホットプレス型に充填し、通常のごとくホットプレスする。ホットプレスの条件は従来と同様であってよく、具体的には、温度500〜900℃、圧力10〜50MPa、保持時間1〜8時間とすることが好ましい。尚、ホットプレス型の材質についても、従来と同様であってよく、一般的なグラファイトを好適に使用することができる。
いずれも純度99%以上であるBaメタル(高純度化学(株)製、5mm×30mm×0.5mmの短冊状塊)、Alメタル(住友化学(株)製、5mm径の粒状塊)、Euメタル(フルウチ化学(株)製、5mm角の塊)を用い、下記表1に示す組成となるように秤量した。得られた秤量物(全量1.5kg)を坩堝に入れ、コールドクルーシブル高周波誘導加熱炉内に収納した。
拡散ポンプを用いて炉内を5×10−2Paまで真空引きし、500℃で予備加熱を行った後、炉内に高純度Arガスを導入し、1150℃に加熱して溶融した。そのまま5分間炉内に保持して溶体の合金化を行った後、坩堝内で放冷して溶体を凝固させた。得られた合金をArガス中にて粉砕機(東京アトマイザー製造(株)製、ナイフハンマーミル)を用いて粉砕し、グローブボックス中で分級して、粒径が50μmから200μmの原料粉末を回収した。
得られた原料粉末を、真空ホットプレス装置(大亜真空(株)製、最高温度2300℃)を用いて、温度850℃、圧力30MPa、保持時間1時間の条件でホットプレスすることにより、直径60mm×厚さ5mmの円板状の試料1〜5を得た。その際使用したホットプレス型は、ガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)が2×10−1cm2/sのグラファイト(東洋炭素(株)製、グラファイトIG11)、または1×10−2cm2/sのグラファイト(東洋炭素(株)製、ISO−88)から削り出して作製した。
また、比較例として、上記グラファイト(東洋炭素(株)製、ISO−88)から削り出して作製した型で、原料粉末と接触する内表面にガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)が1.3×10−6cm2/sのグラファイトシート(東洋炭素(株)製、PF−UHPL)を装着したホットプレス型を用いた以外は上記実施例と同様の方法により、上記と同じ形状の試料6〜8を製造した。
次に、上記実施例の試料1〜5及び比較例の試料6〜8の円板から小片を砕いて採取し、ガス分析装置(LECO(株)製、RH−404)を使用して水素分析を行った。また、上記実施例の試料1〜5及び比較例の試料6〜8の原料粉末についても、同様に水素分析を行った。測定により得られた水素量を、原料粉末及びホットプレス体について下記表2に示した。
更に、上記実施例の試料1〜5及び比較例の試料6〜8の円板から、5mm×5mm×40mmの試験片を試料ごとに5本切り出し、支点間距離を20mmとした3点曲げ試験により抗折力を測定した。抗折力の測定は、試験片の作製直後(初期値)と、試験片を30℃、50%R.H.の恒温恒湿槽内に24時間保持した後に実施して、それぞれ平均値を求めた。測定により得られた抗折力を、初期値及び24時間保持後について下記表2に示した。
上記の結果ら分るように、実施例の試料1〜5では、ガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)が1×10−2〜2×10−1cm2/sのグラファイトからなるホットプレス型を用いていることから、原料粉末の水素量は200〜500ppm程度であるが、ホットプレス体中の水素量は34ppm以下となっている。その結果、30℃、50%R.H.の恒温恒湿槽内に24時間放置した後でも、抗折力の変化が殆ど認められない。
一方、グラファイト型内にガス透過率(窒素ガス、差圧0.1MPa)が1.3×10−6cm2/sのグラファイトシートを装着したホットプレス型を用いた比較例の試料6〜8では、上記実施例と同程度の水素量の原料粉末を用いた場合でも、ホットプレス体の水素量は68ppm以上となってしまい、30℃、50%R.H.の恒温恒湿槽内に24時間放置した後の抗折力は初期値に対して著しく低下した。
Claims (3)
- 無機エレクトロルミネッセンス素子における蛍光体膜形成用のスパッタリングターゲットであって、24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとからなるホットプレス体であり、不可避不純物として含まれる水素の量が50ppm以下であることを特徴とする高強度バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲット。
- 無機エレクトロルミネッセンス素子における蛍光体膜形成用のスパッタリングターゲットをホットプレス法により製造する方法であって、24〜43質量%のAlと、1〜10質量%のEuと、残部のBaとを含む原料粉末を、差圧0.1MPaでの窒素ガスのガス透過率が1×10−3cm2/s以上のホットプレス型を用いてホットプレスすることを特徴とする高強度バリウムアルミニウム系スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記ホットプレス型として、ガス透過率1×10−2〜2×10−1cm2/sのグラファイト型を用いることを特徴とする、請求項2に記載の高強度スパッタリングターゲットの製造方法。
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JP2008150241A JP2009293105A (ja) | 2008-06-09 | 2008-06-09 | 無機el素子用高強度バリウムアルミニウム合金系スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
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JP2014122140A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Showa Denko Kk | 炭化珪素単結晶製造用坩堝、炭化珪素単結晶製造装置及び炭化珪素単結晶の製造方法 |
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2008
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