JP2009285610A - 水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法および処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にH形カチオン交換樹脂を添加混合して脱アルカリ処理するに先立ち、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を除去するか或いは破砕して、不溶解成分を除去した液又は不溶解成分が破砕された液を脱アルカリ工程に導入する。
【選択図】図1
Description
これに対して、廃液にH形カチオン交換樹脂を混合して懸濁させ、被処理廃液の入れ替えを行うことなくバッチ式でイオン交換反応によりアルカリ成分を除去することにより、過度にpHを低下させることなく、アルカリ成分を除去することができ、これにより水溶性樹脂成分を析出させることなく、脱アルカリ処理することが可能となる。
この固形物は大きいもので2mm四方のフィルム滓である。
本発明において処理対象となる被処理水は、水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液、すなわち水溶性樹脂成分を含有するアルカリ性の廃液であって、不溶解成分を含むものである。
このような廃液としては、pHが低下すると析出する水溶性樹脂成分およびアルカリ成分を含み、更に、前述のレジストフィルムの残渣等の固形物を含む廃液が挙げられ、特に半導体や電子部品の製造工程で発生するレジスト含有廃液などが処理対象として好適である。
このような水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液のpHは通常10〜14程度であり、またそのTOC濃度は通常100〜2000mg/L程度である。
本発明においては、特に、このようなレジストフィルムの残渣等の不溶解成分を100mg/L以上、例えば100〜1000mg/L程度含み、処理を継続することにより系内での不溶解成分の蓄積が問題となるような廃液の処理に有効である。
水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を除去する方法としては特に制限はないが、
(1) 遠心分離装置等を用いて固液分離する方法
(2) スクリーン又は分離膜を用いて濾過分離する方法
などが挙げられる。
従って、不溶解成分の除去に際しては、粒径0.2mm以上の不溶解成分を除去し得るように、用いるスクリーンの目開きや膜の孔径、遠心分離装置の運転条件等を設定することが好ましい。
即ち、例えば、遠心分離装置等の固液分離装置で廃液から固液分離された不溶解成分は、後述の水溶性樹脂成分処理工程において濃縮された濃縮廃液と共に必要に応じて分解処理等の処理を施した後系外へ排出し、廃棄するか焼却処分することが好ましい。
なお、このスクリーンや分離膜の逆洗には、後述の脱アルカリ液を用いることが、系内の水を有効利用して、節水と処理の効率化を図る上で好ましい。
水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を破砕する方法としては特に制限はないが、破砕ポンプを用い、破砕ポンプで廃液を送液すると共に、廃液中の不溶解成分を破砕する方法が好ましい。
廃液中の不溶解成分を除去又は破砕した後の廃液の脱アルカリ工程においては、廃液にH形カチオン交換樹脂を添加混合して懸濁させ、液の入れ替えを行うことなくバッチ式でイオン交換反応によりNaイオン等のアルカリ成分をH形カチオン交換樹脂にイオン交換吸着させる。これにより、過度にpHを低下させることなくアルカリ成分を除去することができ、水溶性樹脂成分を析出させることなく、容易に塩類濃度を低下させてpH調整することができる。
撹拌時間は廃液の性状や用いるカチオン交換樹脂の量やその他の処理条件により、所望のpHの脱アルカリ液が得られるように適宜決定されるが、通常3〜30分程度である。
上述の脱アルカリ処理で得られる、カチオン交換樹脂を含む脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離するための分離手段としては、沈降分離装置、濾過分離装置などを採用することができる。この分離工程により、アルカリ成分が除去されてpH調整された液と、アルカリ成分を吸着したカチオン交換樹脂とが分離される。
分離工程で脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離して得られる分離液は、被処理廃液のアルカリ成分が除去され、水溶性樹脂成分を含むものである。この水溶性樹脂成分は、濃縮、分解等で処理される。
分解を行う場合、超臨界または亜臨界水熱処理、焼却などの加熱を伴う処理による分解などが採用できる。
これらの処理は、それぞれ単独で行ってもよく、また組み合わせて行ってもよいが、分解を行う場合は、通常、それに先立ち濃縮処理が行われる。
これらの処理に用いる処理装置は、従来より用いられている装置が採用できる。
脱アルカリ処理後に分離工程で分離されたカチオン交換樹脂は、再生して廃液の脱アルカリ処理に再利用することが好ましい。この場合、カチオン交換樹脂の再生剤として酸が用いられる。酸としては、塩酸、硫酸等が使用でき、通常のカチオン交換樹脂の再生と同様の条件、装置で再生することができる。再生はバッチ式でなくてもよく、また、カチオン交換樹脂の分離装置を再生装置と兼用して分離装置に再生剤を通液して再生することもできる。
以下に図1〜3を参照して本発明の水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置の実施の形態を具体的に説明する。
図1〜3は、本発明の装置の実施の形態を示す系統図であり、図1〜3において、図4におけると同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
図1において、固液分離装置1で不溶解成分が分離された分離液の処理は、前述の図4におけると同様であり、同様に脱アルカリ槽1における脱アルカリ処理、分離再生槽2におけるカチオン交換樹脂の分離および再生、並びに樹脂成分処理装置3における分離液の処理等が行われる。
図2において、濾過装置12で不溶解成分が分離された分離液の処理は、前述の図4におけると同様であり、同様に脱アルカリ槽1における脱アルカリ処理、分離再生槽2におけるカチオン交換樹脂の分離および再生、並びに樹脂成分処理装置3における分離液の処理等が行われる。
図3において、破砕ポンプ13で不溶解成分が破砕された分離液の処理は、前述の図4におけると同様であり、同様に脱アルカリ槽1における脱アルカリ処理、分離再生槽2におけるカチオン交換樹脂の分離および再生、並びに樹脂成分処理装置3における分離液の処理等が行われる。
なお、以下の実施例および比較例で処理した水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液は、ポリメタクリル酸系の水溶性樹脂成分を含むアルカリ性のレジスト液であり、この廃液中には、粒径0.2〜2.0mm程度の大きさの不溶解性のレジストフィルムの残渣が160mg/L程度含まれている。
説明の便宜上まず比較例を挙げる。
図4に示す装置により、レジスト廃液50Lと、計量槽5で計量したH形弱酸性カチオン交換樹脂(ランクセス社製「レバチットCNP80WS」粒径0.3〜1.6mm)5Lとを脱アルカリ槽1に導入し、30分間撹拌した。30分後、撹拌を停止し、脱アルカリ槽1内の液を樹脂再生槽2に抜き出し、脱アルカリ液をストレーナ8で濾過した。濾過により得られた分離液の水質を、被処理廃液の水質と共に、表1に示す。
表1より、脱アルカリ処理により、有機物(TOC)を殆ど除去することなく、アルカリ成分(Na)のみをイオン交換により除去して、pHを低下させることができたことが分かる。
その結果、運転を継続することにより、廃液に含まれるフィルム滓が系内に蓄積し、半月に1回の頻度で運転を停止し、装置を開放して点検、清掃する必要があった。
図1に示す装置を用い、レジスト廃液を固液分離装置11として設けた遠心分離装置(タナベウィルテック社製、バスケット型遠心分離機(Co型))で固液分離したこと以外は、比較例1と同様にして処理を行った。廃液を遠心分離装置で固液分離した後の分離液中には、粒径0.2mm以上の固形物は存在しなかった。
その結果、一ヶ月間安定に運転を継続することができた。
なお、遠心分離装置で分離した固形物は、樹脂成分処理装置3の濃縮廃液と共に焼却処分した。
図2に示す装置を用い、レジスト廃液を濾過装置(目開き0.3mmのステンレスストレーナー)12で固液分離したこと以外は、比較例1と同様にして処理を行った。その結果、一ヶ月間安定運転を継続することができた。
なお、フィルター12は、脱アルカリ液を分離再生槽2でカチオン交換樹脂と分離して得られた分離液を用いて定期的に逆洗し、固形分を含む逆洗排液は樹脂成分処理装置3に送給し、樹脂成分処理装置3に導入された分離液と共に濃縮処理した後焼却処分した。
図3に示す装置を用い、レジスト廃液を破砕ポンプ(小松ゼノア社製ディスインテグレーター)13に通して廃液中の固形分を破砕したこと以外は、比較例1と同様にして処理を行った。この破砕ポンプで破砕した後の廃液中には粒径0.2mm以上の固形物は存在しなかった。
その結果、一ヶ月間安定運転を継続することができた。
2 分離再生槽
3 樹脂成分処理装置
4 樹脂槽
5 計量槽
6 再生剤槽
7 攪拌機
8 ストレーナ
9 カチオン交換樹脂層
10 廃液貯留槽
11 固液分離装置
12 濾過装置
13 破砕ポンプ
Claims (14)
- 不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にH形カチオン交換樹脂を添加混合してアルカリ成分を除去する脱アルカリ工程と、
該脱アルカリ工程からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離工程と、
該分離工程で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理工程と
を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法において、
該水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を除去する不溶解成分除去工程を有し、該不溶解成分除去工程で不溶解成分を除去した液を前記脱アルカリ工程に導入することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。 - 請求項1において、前記不溶解成分除去工程で除去された不溶解成分を、前記水溶性樹脂成分処理工程において、前記分離液と共に処理するか、或いは、前記分離液の濃縮物と共に処理することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。
- 請求項1又は2において、前記不溶解成分除去工程が、スクリーン又は膜を用いる分離工程であり、不溶解成分の分離に用いたスクリーン又は膜を前記分離液で逆洗する逆洗工程を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。
- 不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にH形カチオン交換樹脂を添加混合してアルカリ成分を除去する脱アルカリ工程と、
脱アルカリ工程からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離工程と、
分離工程で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理工程と
を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法において、
該水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を破砕する不溶解成分破砕工程を有し、該不溶解成分破砕工程で不溶解成分を破砕した液を前記脱アルカリ工程に導入することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記水溶性樹脂成分処理工程は、前記分離液を濃縮する濃縮工程を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、前記水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液は、pHが低下すると析出する水溶性樹脂成分とアルカリ成分とを含むことを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。
- 請求項6において、前記水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液がレジスト含有廃液であることを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。
- 請求項1ないし7のいずれか1項において、前記分離工程で分離したカチオン交換樹脂を、再生して前記脱アルカリ工程に供給する再生工程を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理方法。
- 不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にH形カチオン交換樹脂を添加混合してアルカリ成分を除去する脱アルカリ手段と、
該脱アルカリ手段からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離手段と、
該分離手段で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理手段と
を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置において、
該水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を除去する不溶解成分除去手段と、該不溶解成分除去手段で不溶解成分が除去された液を前記脱アルカリ手段に導入する手段とを有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。 - 請求項9において、前記不溶解成分除去手段で除去された不溶解成分を、前記水溶性樹脂成分処理手段に送給する手段を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。
- 請求項9又は10において、前記不溶解成分除去手段が、スクリーン又は膜を用いる分離手段であり、不溶解成分の分離に用いたスクリーン又は膜を前記分離液で逆洗する逆洗手段を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。
- 不溶解成分を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液にH形カチオン交換樹脂を添加混合してアルカリ成分を除去する脱アルカリ手段と、
該脱アルカリ手段からの脱アルカリ液からカチオン交換樹脂を分離する分離手段と、
該分離手段で分離された分離液中の水溶性樹脂成分を処理する水溶性樹脂成分処理手段と
を含む水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置において、
該水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液に含まれる不溶解成分を破砕する不溶解成分破砕手段と、該不溶解成分破砕手段で不溶解成分が破砕された液を前記脱アルカリ手段に導入する手段とを有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。 - 請求項9ないし12のいずれか1項において、前記水溶性樹脂成分処理手段は、前記分離液を濃縮する濃縮手段を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。
- 請求項9ないし13のいずれか1項において、前記分離手段で分離したカチオン交換樹脂を、再生して前記脱アルカリ手段に供給する再生手段を有することを特徴とする水溶性樹脂成分含有アルカリ廃液の処理装置。
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