JP2009277833A - 半導体レーザ発光装置および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、半導体レーザ素子から発光されるレーザ光の発光波長の安定化、例えば環境の温度変化によってレーザ光の波長が変化するのを抑えて安定化させることを可能にする。
【解決手段】基板11上に形成された光導波路15と、前記光導波路15上に実装された半導体レーザ素子20を有し、前記光導波路15に周期構造を有する回折格子18が形成され、前記半導体レーザ素子20は前記回折格子18上に実装されている。
【選択図】図1
【解決手段】基板11上に形成された光導波路15と、前記光導波路15上に実装された半導体レーザ素子20を有し、前記光導波路15に周期構造を有する回折格子18が形成され、前記半導体レーザ素子20は前記回折格子18上に実装されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体レーザ発光装置および電子機器に関するものである。
現在、光通信の広帯域化や高密度な波長多重化が要求される分野において、非常に小さいスペクトル幅、優れた波長安定性を持つ分布帰還型(DFB:Distributed Feedback)レーザ発光装置が広く使用されている。
図15に示すように、DFBレーザ発光装置201は、活性層221近傍に、光伝搬方向に沿って光の波長オーダー(百nm程度)の凹凸構造223を設け、活性層221内の屈折率に空間的な周期性を持たせた構造である。活性層221内で左右へ伝搬する波動が結合することにより、ブラッグ反射が生じ、凹凸の周期構造により決定される特定波長の光のみが一方向へ伝搬するようになる。レーザ中央部に波長λの1/4に相当する位相シフトを入れることで、ブラッグ周波数において厳密に共振条件を満たし、安定した単一モード発振が可能となる(例えば、非特許文献1参照。)。
また、図16に示すようなシリコン(Si)エバネッセントレーザ装置301がある。これは、基板331に形成されたシリコン(Si)導波路311上に化合物半導体レーザ素子321をボンディングしたものである。この化合物半導体レーザ素子321には13族−15族化合物半導体レーザ素子を用いている。
これは、化合物半導体レーザ素子321の活性層で発生した光がSi導波路311にエバネッセント結合して導波し、Si導波路311端面にて反射して共振器を形成するものである(例えば、非特許文献2参照。)。例えばシリコンフォトニクスデバイスに用いられる。
これは、化合物半導体レーザ素子321の活性層で発生した光がSi導波路311にエバネッセント結合して導波し、Si導波路311端面にて反射して共振器を形成するものである(例えば、非特許文献2参照。)。例えばシリコンフォトニクスデバイスに用いられる。
また、回折格子を利用したホログラフィックレンズは、Siフォトニクスデバイスにおいて石英ファイバとSi導波路の結合に使用されている。
DFBレーザ発光装置では、百nmオーダーの周期構造を化合物半導体に作り込む技術が必要である。この技術としては、結晶成長を適当な段階で中断し、干渉露光や電子線(EB)露光による直接描画によりレーザ構造中に凹凸をもつ界面を導入し、再成長することが一般的である。ここで、2回成長という複雑なプロセス、生産性が悪い電子線露光が、DFBレーザ発光装置の高コスト化の一因となっている。
また、上記Siエバネッセントレーザ装置では、ファブリペロー(FP)型共振器構造のため、発光波長の安定性に欠ける。
ホログラフィックレンズでは、回折格子を利用した構造のため、波長依存性や角度依存性が大きい。そのため、例えば環境の温度変化によってレーザ光の波長が変化する。またファイバ実装時の角度ズレに対して非常に高い実装精度が要求され、非常に調整が難しい。
米津宏雄著 「光通信素子工学」工学図書 昭和59年
Brian R. Kocha et al.."A 40GHz Mode Locked Silicon Evanescent Laser", IEEE/LEOS 4th International Conference on Group IV Photonics , Tokyo, Japan, September 19-21, 2007
解決しようとする問題点は、レーザ発光装置、例えばファブリペロー(FP)型共振器構造のレーザ発光装置では、発光波長の安定性に欠ける点である。
本発明は、発光波長の安定化、例えば環境の温度変化によってレーザ光の波長が変化するのを抑えて安定化させることを可能にする。
本発明の半導体レーザ発光装置(第1半導体レーザ発光装置)は、基板上に形成された光導波路と、前記光導波路上に実装された半導体レーザ素子を有し、前記光導波路に周期構造を有する回折格子が形成され、前記半導体レーザ素子は前記回折格子上に実装されている。
本発明の第1半導体レーザ発光装置では、回折格子が形成された光導波路上に半導体レーザ素子を有することから、半導体レーザ素子で発振された光は光導波路を通って射出される。また、光導波路上に回折格子を形成していることから、光導波路は分布帰還型(DFB)構造の導波路となるので、導波されるレーザ光の波長が安定する。また半導体レーザ素子に安価な発光波長に安定性が欠けるFP型共振器構造のレーザ発光装置を用いても、回折格子が形成された光導波路によって、射出される光の波長が安定化される。
本発明の半導体レーザ発光装置(第2半導体レーザ発光装置)は、基板上に形成された光導波路と、前記光導波路上に実装された半導体レーザ素子を有し、前記光導波路に反射ブラッグ反射型領域を有する。
本発明の第2半導体レーザ発光装置では、光導波路上に半導体レーザ素子を有することから、半導体レーザ素子で発振された光は光導波路を通って射出される。また、光導波路に反射ブラッグ反射型領域を形成していることから、導波されるレーザ光の波長が安定する。また半導体レーザ素子に安価な発光波長に安定性が欠けるFP型共振器構造のレーザ発光装置を用いても、反射ブラッグ反射型領域が形成された光導波路によって、射出される光の波長が安定化される。
本発明の電子機器装置は、電子機器装置に備えられた端子に接続される光信号配線を有し、前記端子と前記光信号配線との接続部に半導体レーザ発光装置を有し、前記半導体発光レーザ装置は、基板上に形成された光導波路と、前記光導波路上に実装された半導体レーザ素子を有し、前記光導波路に周期構造を有する回折格子が形成され、前記半導体レーザ素子は前記回折格子上に実装されていて、前記半導体レーザ素子が前記端子に接続され、前記光導波路が前記光信号配線に接続されている。
本発明の電子機器装置では、電子機器装置に備えられた端子に接続される光信号配線を有し、端子と光信号配線との接続部に本発明の半導体レーザ発光装置を有していることから、端子から出力された信号は半導体レーザ素子で光に変換されて発振され、その発振された光は光導波路を通って射出され、光信号配線を通って伝送される。また、光導波路上に回折格子を形成していることから、光導波路は分布帰還型(DFB)構造の導波路となるので、導波されるレーザ光の波長が安定する。また半導体レーザ素子に安価な発光波長に安定性が欠けるFP型共振器構造のレーザ発光装置を用いても、回折格子が形成された光導波路によって、射出される光の波長が安定化される。
本発明の第1、第2半導体レーザ発光装置は、発光波長を安定化させることが可能になるという利点がある。例えば、光通信用の光源として用いた場合、安定した光通信特性が得られる。
本発明の電子機器装置は、端子と光信号配線との接続部に本発明の半導体レーザ発光装置を用いているので、発光波長を安定化させることが可能になるという利点がある。例えば、光信号用の光源として用いた場合、安定した光信号伝送特性が得られる。
本発明のレーザ発光装置に係る一実施の形態(第1実施形態)を、図1の概略構成断面図および図2の平面レイアウト図によって説明する。
図1および図2に示すように、半導体レーザ発光装置1は以下のように構成されている。
基板11上には光導波路15が形成されている。上記基板11は、例えばシリコン基板12表面に絶縁膜13が形成され、その絶縁膜13上に上記光導波路15が形成されているものである。上記絶縁膜13は、例えば酸化シリコン膜からなる。
基板11上には光導波路15が形成されている。上記基板11は、例えばシリコン基板12表面に絶縁膜13が形成され、その絶縁膜13上に上記光導波路15が形成されているものである。上記絶縁膜13は、例えば酸化シリコン膜からなる。
上記光導波路15には、例えばシリコン導波路を用いる。例えば、導波路コアをシリコンで形成し、導波路クラッドを空気とする。この導波路コアには、シリコンに限らず、二酸化シリコン、窒化シリコン、窒化リチウム、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ポリマー等を用いることができる。また、上記導波路クラッドには、導波路コアと屈折率が異なる材料を用いる。例えば、空気(Air)、二酸化シリコン、窒化シリコン、窒化リチウム、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ポリマー等から適宜選択される。なお、導波路コアに用いるポリマーには、半導体レーザ素子20の発光波長の光を透過するものである必要がある。例えば、ポリメタクリル酸メチル系樹脂、フッ素化ポリマー、チオウレタン樹脂等がある。
上記光導波路15には、周期構造を有する回折格子18が形成されている。
例えば、上記光導波路15の導波路コアをシリコンで形成し、導波路クラッドを二酸化シリコンとすることにより、上記回折格子18を、例えばMOSデバイスを形成するプロセスで形成することができる。通常のMOSデバイスプロセスでは、トレンチ構造のキャパシタを形成する場合に、シリコン層にキャパシタを形成するための溝を形成する工程がある。この工程で、回折格子18を形成することが可能である。また、導波路クラッドを空気とするならば、トレンチ素子分離を形成する工程で、回折格子18を形成することが可能である。
上記回折格子18上には半導体レーザ素子20が実装されている。
上記半導体レーザ素子20は、例えば、回折格子18側より、P型半導体層21、活性層を含む層22、N側半導体層23となっている。なお、P型半導体層21、N型半導体層23は、層中にノンドープ半導体層、電流狭窄層のような逆導電型半導体層を含む場合もある。
上記N型半導体層23は、例えば、N型化合物半導体基板上にN型バッファ層、N型クラッド層を形成してなる。上記化合物半導体基板には、インジウムリン(InP)、ガリウムヒ素(GaAs)、窒化ガリウム(GaN)、酸化アルミニウム(サファイア)、炭化ケイ素(SiC)等が用いられ、発光波長に応じて適宜、選択される。例えば赤色レーザ光を発光する半導体レーザ素子では、例えばガリウムヒ素基板が用いられ、青色レーザ光を発光する半導体レーザ素子では、例えば窒化ガリウム基板が用いられる。
また、上記活性層を含む層の活性層22には、インジウムガリウムヒ素リン(InGaAsP)、インジウムヒ素リン(InAsP)、アルミニウムガリウムインジウムヒ素(AlGaInAs)、ガリウムインジウム窒素ヒ素(GaInNAs)、ガリウムヒ素アンチモン(GaAsSb)、インジウムガリウムヒ素(InGaAs)、インジウムガリウムリン(InGaP)、アルミニウムガリウムインジウムリン(AlGaInP)、アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、ガリウムヒ素(GaAs)、インジウムガリウム窒素(InGaN)、アルミニウムインジウムガリウム窒素(AlInGaN)等が用いられ、レーザ光の発光波長によって、適宜選択される。
上記反射レーザ素子20は、上記光導波路15の回折格子18上にボンディングされる。そのボンディング方法の一つとしては、接合材料(図示せず)を用いる方法がある。
上記接合材料には、例えば、スピンオンガラス(SOG)、エポキシ系樹脂、アクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステルの重合体(例えばメタクリル酸メチル樹脂(PMMA))、金スズ(AuSn)、インジウム(In)、パラジウム(Pd)、金インジウム(AuIn)等がある。
上記接合材料には、例えば、スピンオンガラス(SOG)、エポキシ系樹脂、アクリル酸エステルもしくはメタクリル酸エステルの重合体(例えばメタクリル酸メチル樹脂(PMMA))、金スズ(AuSn)、インジウム(In)、パラジウム(Pd)、金インジウム(AuIn)等がある。
上記接合材料に、例えば、ポリマーやSOG(スピンオンガラス)による接合(接着)では、接合表面の表面粗さに影響されずに接合(接着)が可能である。そして電気的・熱的に絶縁することが可能である。
上記接合材料に金属を用いた金属共晶による接合(接着)では、高い光吸収、反射を得ることができる。
例えば、インジウム金(In−Au)共晶では、ボンディング時のメカニカルな力で表面酸化膜を除去し、その温度上昇により共晶化させることができる。
また、インジウムリン−パラジウム−シリコン(InP−Pd−Si)もしくはガリウムヒ素(GaAs)では、オーミックコンタクトとなり、表面粗さが数nmの表面まで接合(接着)させることができる。
またアノードボンディング法では、500V−1000Vの電界をかけ、400℃でSiO2(Na含)とSiをボンディングすることができる。このボンディング方法では、界面でナトリウム(Na)イオンがカソード側へ、酸素(O)イオンがシリコン(Si)のアノード側へ移動することで、接合される。なお、ウェーハボンディングより表面粗さに対する許容が大きいという利点がある。
また、ウェーハボンディング法では、表面粗さが例えば1nm以下、いわゆる鏡面状態での接合となる。この方法の一例として、酸素プラズマアシストボンディングがある。
さらに、上記半導体レーザ素子20は、この半導体レーザ素子20から発光される光がエバネッセント結合する部分以外の光導波路15の領域に、金属ハンダでボンディングを行ってもよい。
上記接合材料に金属を用いた金属共晶による接合(接着)では、高い光吸収、反射を得ることができる。
例えば、インジウム金(In−Au)共晶では、ボンディング時のメカニカルな力で表面酸化膜を除去し、その温度上昇により共晶化させることができる。
また、インジウムリン−パラジウム−シリコン(InP−Pd−Si)もしくはガリウムヒ素(GaAs)では、オーミックコンタクトとなり、表面粗さが数nmの表面まで接合(接着)させることができる。
またアノードボンディング法では、500V−1000Vの電界をかけ、400℃でSiO2(Na含)とSiをボンディングすることができる。このボンディング方法では、界面でナトリウム(Na)イオンがカソード側へ、酸素(O)イオンがシリコン(Si)のアノード側へ移動することで、接合される。なお、ウェーハボンディングより表面粗さに対する許容が大きいという利点がある。
また、ウェーハボンディング法では、表面粗さが例えば1nm以下、いわゆる鏡面状態での接合となる。この方法の一例として、酸素プラズマアシストボンディングがある。
さらに、上記半導体レーザ素子20は、この半導体レーザ素子20から発光される光がエバネッセント結合する部分以外の光導波路15の領域に、金属ハンダでボンディングを行ってもよい。
次に、酸素プラズマアシストボンディングについて、以下に説明する。
酸素プラズマアシストボンディングを行うボンディング装置について、図3の概略構成図によって説明する。
図3に示すように、ボンディング装置101は、半導体レーザ素子20をシリコン導波路にボンディングを行うチャンバ111を備えている。
このチャンバ111内には、シリコン導波路(図示せず)が形成された基板11を固定するステージ112を有する。このステージ112は、例えばx−y面内に移動可能な、通常のx−yステージを有する。また、ステージ112内には、ステージ112上に基板11を加熱するためのヒータ(図示せず)を備えていてもよい。
また、上記ステージ112上には、このステージ112に固定された基板11のシリコン導波路上の所定の位置に半導体レーザ素子20を押し当てるポート113が備えられている。このポート113は昇降自在になっており、所望の圧力で半導体レーザ素子20を基板11の所定の位置に押し当てることができる。
また、上記ステージ112上と上記ポート113に支持される半導体レーザ素子20間にプラズマを発生させるための電源114が設けられている。例えば、高周波(RF)電源である。
さらに、チャンバ111には、チャンバ111内で発生させるプラズマのガス源を供給するガス供給部115が備えられている。
またチャンバ111内の雰囲気を一定の状態に保持するため、およびチャンバ111内のガスを排気するための排気部116を有する。この排気部116には、図示はしていないが、例えば真空ポンプが接続されている。したがって、チャンバ111内は真空ポンプによって、排気が可能になっている。
図示はしていないが、ガス供給部115のチャンバ111へのガス供給側には流量を制御するバルブが設定されている。また排気部116には、チャンバ111内のガスの排気量を制御するバルブが備えられている。
図3に示すように、ボンディング装置101は、半導体レーザ素子20をシリコン導波路にボンディングを行うチャンバ111を備えている。
このチャンバ111内には、シリコン導波路(図示せず)が形成された基板11を固定するステージ112を有する。このステージ112は、例えばx−y面内に移動可能な、通常のx−yステージを有する。また、ステージ112内には、ステージ112上に基板11を加熱するためのヒータ(図示せず)を備えていてもよい。
また、上記ステージ112上には、このステージ112に固定された基板11のシリコン導波路上の所定の位置に半導体レーザ素子20を押し当てるポート113が備えられている。このポート113は昇降自在になっており、所望の圧力で半導体レーザ素子20を基板11の所定の位置に押し当てることができる。
また、上記ステージ112上と上記ポート113に支持される半導体レーザ素子20間にプラズマを発生させるための電源114が設けられている。例えば、高周波(RF)電源である。
さらに、チャンバ111には、チャンバ111内で発生させるプラズマのガス源を供給するガス供給部115が備えられている。
またチャンバ111内の雰囲気を一定の状態に保持するため、およびチャンバ111内のガスを排気するための排気部116を有する。この排気部116には、図示はしていないが、例えば真空ポンプが接続されている。したがって、チャンバ111内は真空ポンプによって、排気が可能になっている。
図示はしていないが、ガス供給部115のチャンバ111へのガス供給側には流量を制御するバルブが設定されている。また排気部116には、チャンバ111内のガスの排気量を制御するバルブが備えられている。
次に、上記ボンディング装置101を用いた基板11に形成されたシリコン導波路に半導体レーザ素子20をボンディングする方法を説明する。上記ボンディング装置101では、プラズマによる親水化処理後の半導体レーザ素子20とシリコンフォトニクス素子であるシリコン導波路が形成された基板11とを大気中に暴露せず、ボンディングすることが可能となる。
まず、基板11をステージ112上にセットし、半導体レーザ素子20をポート113にセットする。
そして、基板11と半導体レーザ素子20との間にプラズマが発生するように、基板11と半導体レーザ素子20との間隔を調整する。この調整は、ポート113を昇降させることで行う。
そして、一旦、チャンバ111内を真空引きした後、チャンバ111内にプラズマを発生させるためのガスを、上記ガス供給部115より供給する。このとき、排気部116からチャンバ111内が所定の圧力になるように、排気を行う。
上記プラズマを発生させるためのガスには、例えば、酸素(O2)、六フッ化イオウ(SF6)、アルゴン(Ar)、塩素(Cl2)、三フッ化メタン(CHF3)等、種々のガスを用いることができる。しかし、ボンディングの邪魔となるゴミ(炭化水素(ハイドロカーボン:Hydrocarbon)系や水)を除去するには、酸素(O2)プラズマご効果的である。したがって。ここでは、酸素をチャンバ111内に供給して、酸素プラズマを発生させた。
そして、基板11と半導体レーザ素子20との間にプラズマが発生するように、基板11と半導体レーザ素子20との間隔を調整する。この調整は、ポート113を昇降させることで行う。
そして、一旦、チャンバ111内を真空引きした後、チャンバ111内にプラズマを発生させるためのガスを、上記ガス供給部115より供給する。このとき、排気部116からチャンバ111内が所定の圧力になるように、排気を行う。
上記プラズマを発生させるためのガスには、例えば、酸素(O2)、六フッ化イオウ(SF6)、アルゴン(Ar)、塩素(Cl2)、三フッ化メタン(CHF3)等、種々のガスを用いることができる。しかし、ボンディングの邪魔となるゴミ(炭化水素(ハイドロカーボン:Hydrocarbon)系や水)を除去するには、酸素(O2)プラズマご効果的である。したがって。ここでは、酸素をチャンバ111内に供給して、酸素プラズマを発生させた。
上記のように酸素プラズマを発生させ、基板11のシリコン導波路表面、半導体レーザ素子20のボンディング面を親水化処理した後、直ぐにポート113を下降させて、基板11のシリコン導波路の所定の位置に半導体レーザ素子20を接触させる。このとき、基板11および半導体レーザ素子20が損傷しない程度に、半導体レーザ素子20に圧力を加えてもよい。
また、さらに強固な接合をさせるためには、この後、ステージ112を加熱することで、例えば120℃に加熱することで、アニール処理を行う。このアニール処理によって、基板11のシリコン導波路表面と半導体レーザ素子20のボンディング面との接合を強固にすることができる。
その後、半導体レーザ素子20からポート113を離す。
また、さらに強固な接合をさせるためには、この後、ステージ112を加熱することで、例えば120℃に加熱することで、アニール処理を行う。このアニール処理によって、基板11のシリコン導波路表面と半導体レーザ素子20のボンディング面との接合を強固にすることができる。
その後、半導体レーザ素子20からポート113を離す。
次に、上記回折格子18について、図3および図4の概略構成断面図によって説明する。
上記回折格子18では、前進波と後退波の結合を共振器光軸方向全体にわたって連続的に行うため、以下のブラッグ(Bragg)条件を満たすように設計される。回折格子18の周期(1ピッチの長さ)をΛ、光導波路15を伝播する光の波長をλとすると、下記式が得られる。
Λ=m(λ/2)、ただしm=自然数
ここで、周期Λで分布帰還型(DFB:Distributed Feedback)レーザ発光装置を作製した場合について考察する。
図4に示すように、レーザ発振条件r1(ω)r2(ω)=1に対し、屈折角の差分Δβ=0となるブラッグ周波数ω0ではr1*r2は負となることから発振できず、発振はブラッグ周波数ωを中心に対称に位置した周波数で生じる。これら二つの周波数における発振しきい値利得は等しく、同等に発振できるため、不安定な状態となる。
これを解決するため、図5に示すように、半導体レーザ素子20の中央部にΛ/2(Λは回折格子18の1ピッチの長さ)の位相シフト31を挿入する。これによって、−r1*r2となりブラッグ周波数ω0での発振が可能となる。
図4に示すように、レーザ発振条件r1(ω)r2(ω)=1に対し、屈折角の差分Δβ=0となるブラッグ周波数ω0ではr1*r2は負となることから発振できず、発振はブラッグ周波数ωを中心に対称に位置した周波数で生じる。これら二つの周波数における発振しきい値利得は等しく、同等に発振できるため、不安定な状態となる。
これを解決するため、図5に示すように、半導体レーザ素子20の中央部にΛ/2(Λは回折格子18の1ピッチの長さ)の位相シフト31を挿入する。これによって、−r1*r2となりブラッグ周波数ω0での発振が可能となる。
上記構成の半導体レーザ発光装置1は、回折格子18が形成された光導波路15上に半導体レーザ素子20を有することから、半導体レーザ素子20で発振された光は光導波路15を通って射出される。また、光導波路15上に回折格子18を形成していることから、光導波路15は分布帰還型(DFB)構造の導波路となるので、導波されるレーザ光の波長が安定する。また半導体レーザ素子に安価な発光波長に安定性が欠けるFP型共振器構造のレーザ発光素子を用いても、回折格子18が形成された光導波路15によって、射出される光の波長が安定化される。よって、光通信用の光源として用いた場合、安定した光通信特性が得られる。
また、光導波路をシリコン導波路で形成することによって、シリコン導波路上に回折格子をCOMSプロセスによって形成することが可能になる。
また、光導波路15の回折格子18が形成された部分をテーパ形状(先細り形状)とすることで、光導波路15の光が伝搬される部分(光導波路15の細い幅の部分)のコアに対して、コアを大きくすることができる。これによって半導体レーザ素子の実装のアライメントがしやすくなるという利点がある。
また、光導波路をシリコン導波路で形成することによって、シリコン導波路上に回折格子をCOMSプロセスによって形成することが可能になる。
また、光導波路15の回折格子18が形成された部分をテーパ形状(先細り形状)とすることで、光導波路15の光が伝搬される部分(光導波路15の細い幅の部分)のコアに対して、コアを大きくすることができる。これによって半導体レーザ素子の実装のアライメントがしやすくなるという利点がある。
次に、上記光導波路15の形状の変形例について、図6〜図8の平面図および図9の概略構成断面図によって説明する。
光導波路15は、上記半導体レーザ素子20から発光される光が導波する方向に先細りになる形状に形成されている。
例えば、図6に示すように、光導波路15の回折格子18が形成される部分は、テーパ形状を有する。そのテーパ形状の部分に回折格子18が形成されている。上記テーパ角θは、例えば0°〜30°に設定する。このテーパ角は、光導波路15内に光を閉じ込めることができる角度以下に設定する必要がある。上記テーパ角θは、30°を超えると光導波路15内に光を閉じ込めにくくなるので、上記のように30°以下とした。
例えば、図6に示すように、光導波路15の回折格子18が形成される部分は、テーパ形状を有する。そのテーパ形状の部分に回折格子18が形成されている。上記テーパ角θは、例えば0°〜30°に設定する。このテーパ角は、光導波路15内に光を閉じ込めることができる角度以下に設定する必要がある。上記テーパ角θは、30°を超えると光導波路15内に光を閉じ込めにくくなるので、上記のように30°以下とした。
または、図7に示すように、上記光導波路15の回折格子18が形成される部分は、一部にテーパ形状を有する。そのテーパ形状の部分のテーパ角θは、例えば0°〜30°に設定する。このテーパ角は、光導波路15内に光を閉じ込めることができる角度以下に設定する必要がある。上記テーパ角θは、30°を超えると光導波路15内に光を閉じ込めにくくなるので、上記のように30°以下とした。
さらには、図8に示すように、上記光導波路15の回折格子18が形成される部分は、一部にテーパ形状を有し、そのテーパ形状部分が湾曲形状に形成されていてもよい。
上記説明したように、光導波路15にテーパ形状が形成されて、光導波路15の幅が広げられることにより、半導体レーザ素子20のアライメントがし易くなるという利点がある。
例えば、図9(1)に示すように、光導波路15の回折格子18が形成されている領域に、半導体レーザ素子20を接合するための基板側接合部材41が、例えば、はんだパターンで形成されている。一方、半導体レーザ素子20の実装面には、接合のための素子側接合部材42が形成されている。
光導波路15上の実装領域がテーパ形状となっていることから、実装領域が広がっていることがわかる。したがって、半導体レーザ素子20が実装し易くなる。
光導波路15上の実装領域がテーパ形状となっていることから、実装領域が広がっていることがわかる。したがって、半導体レーザ素子20が実装し易くなる。
次に、図9(2)に示すように、基板側接合部材41に素子側接合部材42を合わせて接合させ、半導体レーザ素子20を光導波路15上に実装する。これによって、半導体レーザ素子20から発振される光が光導波路15の回折格子18に確実に入力される。
一方、光導波路15上の実装領域がテーパ形状となっておらず、直線状に形成されている場合、狭い光導波路15に半導体レーザ素子20の発光領域を合わせなければならず、実装余裕が少なくなるという不利な点がある。
一方、光導波路15上の実装領域がテーパ形状となっておらず、直線状に形成されている場合、狭い光導波路15に半導体レーザ素子20の発光領域を合わせなければならず、実装余裕が少なくなるという不利な点がある。
また、テーパ形状部分をアライメントマークとして用いることもできる。このように、テーパ形状部分をアライメントマークとして用いることで、半導体レーザ素子20を光導波路15の光の導波方向に合わせやすくなる。要するに、半導体レーザ素子20の位置決めが用意になる。
また、半導体レーザ素子20の実装を行い易くするため、図10の断面図に示すように、光導波路15に溝19を形成してもよい。この溝19は、実装される半導体レーザ素子20の大きさに合わせて形成される。また、溝19の側面は、傾斜面に形成することが好ましい。このように傾斜面に形成することで、半導体レーザ素子20を機械的にアライメントすることが容易になる。
また、上記半導体レーザ素子20には、p型半導体層21側に接続するp側電極が形成され、n型半導体層23側に接続するn側電極が形成されている。そして、必要に応じてレーザドライバ(図示せず)との間が配線で接続されている。
上記半導体レーザ素子20はp型半導体層21、n型半導体層23のどちらでも、上記光導波路15側としても構わない。
基本的にはn型半導体基板を使用するので、p型半導体層21側を光導波路15側にしてボンディングすることにより、いわゆるジャンクションダウンとなり、効率的である。また、n型半導体基板の接合表面を平面に鏡面加工することで、このn型半導体基板を光導波路15に接合させてもよい。上記鏡面加工は、例えば化学的機械研磨により行うことができる。
上記半導体レーザ素子20はp型半導体層21、n型半導体層23のどちらでも、上記光導波路15側としても構わない。
基本的にはn型半導体基板を使用するので、p型半導体層21側を光導波路15側にしてボンディングすることにより、いわゆるジャンクションダウンとなり、効率的である。また、n型半導体基板の接合表面を平面に鏡面加工することで、このn型半導体基板を光導波路15に接合させてもよい。上記鏡面加工は、例えば化学的機械研磨により行うことができる。
次に、本発明のレーザ発光装置に係る一実施の形態(第2実施形態)を、図11の平面レイアウト図によって説明する。
図11に示すように、半導体レーザ発光装置2は以下のように構成されている。
基板11上には光導波路35が形成されている。上記光導波路35は、半導体レーザ素子20が実装される実装領域が幅広に形成されていて、その領域の両側がテーパ形状に形成され、さらにその両側は上記実装領域よりも狭い幅の領域に形成されている。また、上記実装領域の両側の光導波路35の狭い幅の領域には、反射ブラッグ反射型領域38として、例えば周期構造を有する回折格子が形成されている。この回折格子は、例えばλ/4(λは半導体レーザ素子20の発光波長)ピッチを有する。
基板11上には光導波路35が形成されている。上記光導波路35は、半導体レーザ素子20が実装される実装領域が幅広に形成されていて、その領域の両側がテーパ形状に形成され、さらにその両側は上記実装領域よりも狭い幅の領域に形成されている。また、上記実装領域の両側の光導波路35の狭い幅の領域には、反射ブラッグ反射型領域38として、例えば周期構造を有する回折格子が形成されている。この回折格子は、例えばλ/4(λは半導体レーザ素子20の発光波長)ピッチを有する。
上記光導波路15には、例えばシリコン導波路を用いる。例えば、導波路コアをシリコンで形成し、導波路クラッドを空気とする。この導波路コアには、シリコンに限らず、二酸化シリコン、窒化シリコン、窒化リチウム、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ポリマー等を用いることができる。また、上記導波路クラッドには、導波路コアと屈折率が異なる材料を用いる。例えば、空気(Air)、二酸化シリコン、窒化シリコン、窒化リチウム、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛(PLZT)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、ポリマー等から適宜選択される。なお、導波路コアに用いるポリマーには、半導体レーザ素子20の発光波長の光を透過するものである必要がある。例えば、ポリメタクリル酸メチル系樹脂、フッ素化ポリマー、チオウレタン樹脂等がある。
そして、上記実装領域上には半導体レーザ素子20が実装されている。この半導体レーザ素子20は、上記第1実施形態で説明した構成のものを用いることができる。
また、上記半導体レーザ素子20を光導波路15に接合する方法は、上記第1実施形態で説明したのと同様な方法で接合できる。よって、接合材料も、上記第1実施形態で説明した材料を用いることができる。
また、上記半導体レーザ素子20を光導波路15に接合する方法は、上記第1実施形態で説明したのと同様な方法で接合できる。よって、接合材料も、上記第1実施形態で説明した材料を用いることができる。
上記構成の半導体レーザ発光装置2は、回折格子18が形成された光導波路15上に半導体レーザ素子20を有することから、半導体レーザ素子20で発振された光は光導波路35を通って射出される。また、光導波路15上に分布ブラッグ反射型(DFB)領域38を有するので、導波されるレーザ光の波長が安定する。また半導体レーザ素子20に安価な発光波長に安定性が欠けるFP型共振器構造のレーザ発光素子を用いても、分布ブラッグ反射型領域38が形成された光導波路35によって、射出される光の波長が安定化される。よって、光通信用の光源として用いた場合、安定した光通信特性が得られる。
また、光導波路をシリコン導波路で形成することによって、シリコン導波路上に回折格子をCOMSプロセスによって形成することが可能になる。
また、光導波路35の半導体レーザ素子20の実装領域が幅広に形成されていることよって、半導体レーザ素子20の実装のアライメントがしやすくなるという利点がある。
また、光導波路をシリコン導波路で形成することによって、シリコン導波路上に回折格子をCOMSプロセスによって形成することが可能になる。
また、光導波路35の半導体レーザ素子20の実装領域が幅広に形成されていることよって、半導体レーザ素子20の実装のアライメントがしやすくなるという利点がある。
次に、本発明の電子機器装置に係る一実施の形態を、図12の斜視図によって説明する。
図12に示すように、電子機器装置501内には、複数のボード511、512、513)が実装されている。上記ボード511に形成された端子521とボード511に形成され522間は光信号配線531により接続されている。またボード512に形成された端子522とボード513に形成され端子513間は光信号配線532により接続されている。
上記端子521と上記光信号配線531との間には接続部541が設けられている。また上記端子522と上記光信号配線531、532との間には接続部542が設けられ、上記端子523と上記光信号配線532との間には接続部543が設けられている。
例えば、上記接続部541内には、前記説明したのと同様な半導体レーザ発光装置1(図示せず)を有している。すなわち、上記端子521が該半導体レーザ発光装置1の半導体レーザ素子(前記図1参照)に接続されていて、該半導体レーザ発光装置1の光導波路(前記図1参照)が上記光信号配線531の一端に接続されている。
また、上記光信号配線531の他端は、例えば、上記接続部541内で、光信号を電気信号に変換する光電変換素子(図示せず)を介して、ボード512に形成された端子5122に接続されている。
上記端子521と上記光信号配線531との間には接続部541が設けられている。また上記端子522と上記光信号配線531、532との間には接続部542が設けられ、上記端子523と上記光信号配線532との間には接続部543が設けられている。
例えば、上記接続部541内には、前記説明したのと同様な半導体レーザ発光装置1(図示せず)を有している。すなわち、上記端子521が該半導体レーザ発光装置1の半導体レーザ素子(前記図1参照)に接続されていて、該半導体レーザ発光装置1の光導波路(前記図1参照)が上記光信号配線531の一端に接続されている。
また、上記光信号配線531の他端は、例えば、上記接続部541内で、光信号を電気信号に変換する光電変換素子(図示せず)を介して、ボード512に形成された端子5122に接続されている。
同様に、例えば、上記接続部542内には、前記説明したのと同様な半導体レーザ発光装置1(図示せず)を有している。すなわち、上記端子522が該半導体レーザ発光装置1の半導体レーザ素子(前記図1参照)に接続されていて、該半導体レーザ発光装置1の光導波路(前記図1参照)が上記光信号配線532の一端に接続されている。
また、上記光信号配線532の他端は、例えば、上記接続部542内で、光信号を電気信号に変換する光電変換素子(図示せず)を介して、ボード513に形成された端子523に接続されている。
また、上記光信号配線532の他端は、例えば、上記接続部542内で、光信号を電気信号に変換する光電変換素子(図示せず)を介して、ボード513に形成された端子523に接続されている。
また、電子機器装置501内に実装されている例えばボード511内の複数のモジュール(図示せず、例えばボード裏面に形成されている)に形成された端子524、525間を接続する光信号配線533を有している。上記端子524、525と上記光信号配線533との間には接続部544、545が設けられ、接続部544、545のそれぞれは、前記説明したのと同様な半導体レーザ発光装置1を有している。すなわち、上記一方の端子524が該半導体レーザ発光装置1の半導体レーザ素子(前記図1参照)に接続されていて、該半導体レーザ発光装置1の光導波路(前記図1参照)が上記光信号配線533の一端に接続されている。
また、上記光信号配線533の他端は、例えば、上記接続部545内で、光信号を電気信号に変換する光電変換素子(図示せず)を介して、ボード511に形成された端子525に接続されている。
また、上記光信号配線533の他端は、例えば、上記接続部545内で、光信号を電気信号に変換する光電変換素子(図示せず)を介して、ボード511に形成された端子525に接続されている。
さらに、電子機器装置501内に実装されている例えばボード513に形成された端子(図示せず)と別の電子機器装置505とを接続する光信号配線534を有している。上記端子526と上記光信号配線534との間には接続部546が設けられ、接続部546は、前記説明したのと同様な半導体レーザ発光装置1(図示せず)を有している。すなわち、上記端子526が該半導体レーザ発光装置1の半導体レーザ素子(前記図1参照)に接続されていて、該半導体レーザ発光装置1の光導波路(前記図1参照)が上記光信号配線534の一端に接続されている。
また、上記光信号配線534の他端は、例えば、上記別の電子機器装置505の光入力端子551に接続されている。
図面では、電子機器装置501から別の電子機器装置505に信号を伝送する構成を示したが、逆に別の電子機器装置505から電子機器装置501に信号を伝送する構成にも、同様に適用することができる。
また、上記光信号配線534の他端は、例えば、上記別の電子機器装置505の光入力端子551に接続されている。
図面では、電子機器装置501から別の電子機器装置505に信号を伝送する構成を示したが、逆に別の電子機器装置505から電子機器装置501に信号を伝送する構成にも、同様に適用することができる。
上記のような構成では、例えば、電子機器装置501でテレビジョンチューナを構成し、別の電子機器装置505でテレビジョン受像機を構成することで、テレビジョン受信装置を構成することができる。また、電子機器装置501でコンピュータ本体部を構成し、別の電子機器装置505でディスプレイを構成することで、例えばデスクトップ型パーソナルコンピュータを構成することができる。
また、上記接続例は一例であって、上記接続レイアウトに限定されるものではない。要するに、電気的出力端子に接続される光信号配線のすべての接続部に対して適用することができる。
さらに、上記説明では、半導体レーザ発光装置1を用いたが、前記説明した半導体レーザ発光装置2を用いることもできる。
上記光信号配線531〜534には、例えば光ファイバケーブルを用いることができる。また、1本の光信号配線に複数本の光ファイバケーブルを設けることもできる。例えば10Gbpsの光ファイバケーブルをN本(Nは任意)設けることもできる。
さらに、上記説明では、半導体レーザ発光装置1を用いたが、前記説明した半導体レーザ発光装置2を用いることもできる。
上記光信号配線531〜534には、例えば光ファイバケーブルを用いることができる。また、1本の光信号配線に複数本の光ファイバケーブルを設けることもできる。例えば10Gbpsの光ファイバケーブルをN本(Nは任意)設けることもできる。
また、図13(1)に示すように、例えば、複数の上記光信号配線531と上記接続部541とを一体に形成することもできる。
例えば、接続部541の光信号配線531が接続されている側とは反対側に面に端子561を設けてもよい。この端子561は、接続部541の裏面側にかけて形成されていてもよい。このような構成とすることで、接続部541をコネクタ571として機能させることができる。
したがって、図13(2)に示すように、デバイス581に形成されたソケット部582に上記コネクタ571を差し込むことによって、容易に本発明の半導体レーザ発光装置1または2(図示せず)を備えた光信号配線531を接続することができる。
例えば、接続部541の光信号配線531が接続されている側とは反対側に面に端子561を設けてもよい。この端子561は、接続部541の裏面側にかけて形成されていてもよい。このような構成とすることで、接続部541をコネクタ571として機能させることができる。
したがって、図13(2)に示すように、デバイス581に形成されたソケット部582に上記コネクタ571を差し込むことによって、容易に本発明の半導体レーザ発光装置1または2(図示せず)を備えた光信号配線531を接続することができる。
本発明の半導体レーザ発光装置1または2をコネクタ571に備えた光信号配線531を用いた場合、伝送距離を30mとすると、伝送容量が5Gbps〜40Gbpsであり、そのときのエラーレートは10-12以下であった。また、消費電力は40Gbps当たり1.2W程度である。また、コネクタ部のパッケージサイズは、17mm×12mm×2mmである。このパッケージサイズはさらに縮小化することが可能である。
また、本発明の半導体レーザ発光装置1または2をコネクタ571に備えた光信号配線531は、図14に示すように、家庭用光ケーブル(領域A)や放送局等で使用される業務用光ケーブル(領域B)として用いられる。図14では、縦軸にビットレート(Gbps)を示し、横軸に色深度(bit)を示した。また、パラメータとして、1080i
の場合の30fps、60fps、120fps、240fps、4K2Kの場合の30fps、60fps、120fps、240fpsをとった。
の場合の30fps、60fps、120fps、240fps、4K2Kの場合の30fps、60fps、120fps、240fpsをとった。
本発明の電子機器装置501では、端子521、522、524、526から出力された信号は半導体レーザ素子で光に変換されて発振され、その発振された光は光導波路を通って射出され、それぞれ光信号配線531〜534を通って伝送される。また、光導波路上に回折格子を形成していることから、光導波路は分布帰還型(DFB)構造の導波路となるので、導波されるレーザ光の波長が安定する。また半導体レーザ素子に安価な発光波長に安定性が欠けるFP型共振器構造のレーザ発光装置を用いても、回折格子が形成された光導波路によって、射出される光の波長が安定化される。例えば、光信号用の光源として用いた場合、安定した光信号伝送特性が得られる。また、低コストかつ低TATでの配線形成が可能になる。
1…半導体レーザ発光装置、11…基板、15…光導波路、18…回折格子、20…半導体レーザ素子
Claims (9)
- 基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路上に実装された半導体レーザ素子を有し、
前記光導波路に周期構造を有する回折格子が形成され、
前記半導体レーザ素子は前記回折格子上に実装されている
半導体レーザ発光装置。 - 基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路上に実装された半導体レーザ素子を有し、
前記シリコン導波路に分布ブラッグ反射型領域を有する
半導体レーザ発光装置。 - 前記光導波路はシリコン導波路である
請求項1または請求項2記載の半導体レーザ発光装置。 - 前記半導体レーザ素子は前記光導波路上に配置され、前記基板上に接合材料によって接合されている
請求項1または請求項2記載の半導体レーザ発光装置。 - 前記接合材料は前記半導体レーザ素子の発光波長を透過する材料からなる
請求項4記載の半導体レーザ発光装置。 - 前記半導体レーザ素子が実装される領域の前記光導波路は、前記半導体レーザ素子から発光される光が導波する方向に先細りになる形状に形成されている
請求項1または請求項2記載の半導体レーザ発光装置。 - 前記半導体レーザ素子が実装される領域の前記光導波路に溝が形成されている
請求項1または請求項2記載の半導体レーザ発光装置。 - 前記屈折率差による複数の反射要素は分布ブラッグ反射型である
請求項2記載の半導体レーザ発光装置。 - 電子機器装置に備えられた端子に接続される光信号配線を有し、
前記端子と前記光信号配線との接続部に半導体レーザ発光装置を有し、
前記半導体発光レーザ装置は、
基板上に形成された光導波路と、
前記光導波路上に実装された半導体レーザ素子を有し、
前記光導波路に周期構造を有する回折格子が形成され、
前記半導体レーザ素子は前記回折格子上に実装されていて、
前記半導体レーザ素子が前記端子に接続され、
前記光導波路が前記光信号配線に接続されている
電子機器装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012151327A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法 |
WO2020066780A1 (ja) | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | 発光素子搭載用基板、アレイ基板および発光装置 |
-
2008
- 2008-05-14 JP JP2008126821A patent/JP2009277833A/ja active Pending
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