JP2009276452A - テーパ構造フレキシブル光導波路およびその製造方法、並びにフレキシブル光配線部品 - Google Patents

Abstract

【課題】フレキシブル光導波路と外部の光伝送路との接続損失を低減したテーパ構造フレキシブル光導波路およびその製造方法、並びにフレキシブル光配線部品を提供する。
【解決手段】エラストマーからなる下クラッド層２の上にコア層３が形成され、そのコア層３および下クラッド層２の上に上クラッド層４を積層したフレキシブル光導波路であって、コア層３の入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向に沿って、コア層３の高さ方向及び幅方向、又は高さ方向にテーパ状に形成したものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、可撓性を有するフレキシブル光導波路であって、特に、テーパ構造フレキシブル光導波路およびその製造方法、並びにフレキシブル光配線部品に関するものである。

携帯電話やデジタルカメラなどモバイル電子機器において、高画質の画像や動画が大量に扱われるようになるのに伴い、電子機器内では更なる高密度で高速・大容量のデータのやり取りが必要となっている。高速・大容量のデータを扱う手段として、近年、光配線技術が注目されている。

光配線部材に可撓性を有する材料、例えば、フレキシブル光導波路を用いることで、高速・大容量の通信を実現すると共に、電子機器内での自由な配線が可能になり、電子機器を小型化することができる。

高い屈曲性能を有し、変形が容易な材料としては、エラストマー（elastomer）が挙げられる。エラストマーとは、常温でゴム状弾性を有する高分子材料の総称であって、一般に、ゴム類のように曲げ弾性率が低いものをいう。エラストマーは、固体でありながら容易に屈曲可能という性質を有している。

従来のフレキシブル光導波路の製造方法を図８（ａ）〜（ｉ）に示す。

まず、ガラス基板などの透光性を有する平坦な基板８１を用意する。この基板８１の上には、図８（ａ）に示すように、クラッド材料８２が塗布される。クラッド材料８２は、例えば、ウレタンモノマーまたはウレタンオリゴマーと、重合開始剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエラストマーの前駆体である。また、このクラッド材料８２は、紫外線により硬化する。

その後、図８（ｂ）に示すように、クラッド材料８２の上からスタンパ（成形型）８３を押し当て、スタンパ８３に圧力をかけて基板８１とスタンパ８３との間にクラッド材料８２を薄く押し広げ、クラッド材料８２の膜厚を薄くする。スタンパ８３の下面には凸型パターン８４が形成されているので、スタンパ８３により押圧されているクラッド材料８２の上面には、凹溝８５が形成される。

その後、図８（ｃ）に示すように、基板８１を通して下面からクラッド材料
８２に紫外線を照射してクラッド材料８２を硬化させ、下クラッド層８６を形成する。

そして下クラッド層８６を形成した後、図８（ｄ）に示すように、下クラッド層８６からスタンパ８３を分離させる。スタンパ８３を分離すると、下クラッド層８６の上面には、凹溝８５が成形されている。

下クラッド層８６からスタンパ８３を分離した後、図８（ｅ）に示すように、下クラッド層８６の凹溝８５内にコア材料８７を充填する。このコア材料８７は、下クラッド層８６より屈折率の高いポリマーの前駆体であるモノマーやオリゴマーからなるものであって、紫外線により硬化する。

凹溝８５にコア材料８７を充填し、適宜方法（例えば、平板を用いて押圧、または下クラッド層８６の上面を平板などで掃引）によりコア材料８７の上面を平滑に均した後、図８（ｆ）に示すように、コア材料８７に紫外線を照射してコア材料８７を硬化させ、凹溝８５内にコア８８を形成する。

この後、図８（ｇ）に示すように、下クラッド層８６およびコア８８の上に、下クラッド層８６と同じクラッド材料８２を塗布し、図８（ｈ）に示すように、クラッド材料８２の上から平坦なスタンパ８９を押し当てて圧力を加え、クラッド材料８２の膜厚を薄くする。ついで、クラッド材料８２に紫外線を照射することによって、クラッド材料８２を硬化させて上クラッド層９０を形成する。

その後、スタンパ８９を上クラッド層９０から分離すると共に、基板８１を下クラッド層８６から剥がしてフィルム化し、図８（ｉ）のフレキシブル光導波路８０を得る。

下クラッド層８６および上クラッド層９０の膜厚を薄くするためには、クラッド材料８２の粘度は低いほうが望ましい。しかし、フレキシブル光導波路８０では、下クラッド層８６や上クラッド層９０の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下と小さいので、クラッド材料８２の粘度が高くなってしまう。

しかし、図８（ａ）〜（ｉ）に示すフレキシブル光導波路８０の製造方法では、スタンパ８３，８９でクラッド材料８２を押さえて加圧しているので、クラッド材料８２の膜厚を強制的に薄くすることができ、粘度が３０Ｐａ・ｓ（３００００ｃＰ）程度であっても下クラッド層８６および上クラッド層９０の膜厚を１５０μｍ以下にすることができる。

よって、フレキシブル光導波路８０の厚みは３００μｍ以下になり、フレキシブル光導波路８０を小さい曲率半径で曲げることが可能となる。

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。

特許第３９０６８７０号公報

従来の製造方法では、均一な深さである凹溝８５にコア材料８７を充填して光信号の伝送路となるコア８８を形成するため、コア８８の高さは均一なものとなる。また、フレキシブル光導波路は製造の容易さから、一般的に、コアは横断面視で一辺が５０μｍ以上の矩形状に形成される。

しかし、フレキシブル光導波路のコア径と外部の光伝送路のコア径とが等しいとは限らず、例えば、コア径がフレキシブル光導波路よりも小さい、コア径１０μｍのシングルモード光ファイバ（ＳＭＦ）と接続される場合も有り得る。また、逆に、コア径がフレキシブル光導波路よりも大きい、コア径５０〜１５０μｍのマルチモード光ファイバ（ＭＭＦ）と接続される場合も有り得る。

フレキシブル光導波路のコア径（またはモードフィールド径）と外部の光伝送路のコア径（またはモードフィールド径）とが異なると、フレキシブル光導波路と外部の光伝送路との接続点においてモードフィールド径が異なるため、接続損失が発生して光信号が劣化する問題が生じる。

フレキシブル光導波路のコア径（またはモードフィールド径）と外部の光伝送路のコア径（またはモードフィールド径）の差が大きくなると接続損失も大きくなり、伝送特性に大きな影響を与えることになる。

そこで、本発明の目的は、フレキシブル光導波路のコア径（またはモードフィールド径）を外部の光伝送路のコア径（またはモードフィールド径）と一致するようにすることで、フレキシブル光導波路と外部の光伝送路との接続損失の低減を図ったテーパ構造フレキシブル光導波路およびその製造方法、並びにフレキシブル光配線部品を提供することにある。

本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項１の発明は、エラストマーからなる下クラッド層の上にコア層が形成され、前記コア層および前記下クラッド層の上に上クラッド層を積層したフレキシブル光導波路であって、前記コア層の入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向に沿って、前記コア層の高さ方向及び幅方向、又は高さ方向にテーパ状に形成したテーパ構造フレキシブル光導波路である。

請求項２の発明は、平板基材に下クラッド材を滴下し、その下クラッド材に下用スタンパを押圧して下クラッド層を形成した後、その下クラッド層の上にコア材を滴下し、そのコア材に上用スタンパを押圧してコア層を形成し、そのコア層の上に上クラッド材を滴下した後、その上クラッド材に平板を押圧して上クラッド層を形成するフレキシブル光導波路の製造方法であって、前記下用スタンパおよび前記上用スタンパの前記コア層の入力端となる端部及び／又は出力端となる端部を形成する部分をテーパ状に形成し、これら下用スタンパおよび上用スタンパを用いて、前記コア層の入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向に沿って、前記コア層の高さ方向及び幅方向、又は高さ方向にテーパ状に形成するテーパ構造フレキシブル光導波路の製造方法である。

請求項３の発明は、請求項１記載のテーパ構造フレキシブル光導波路に光素子、電子部品が実装されているフレキシブル光配線部品である。

本発明によれば、フレキシブル光導波路のコア径（またはモードフィールド径）を外部の光伝送路のコア径（またはモードフィールド径）と一致するようにすることで、フレキシブル光導波路と外部の光伝送路との接続損失を低減することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面にしたがって説明する。

まず、本実施形態に係るテーパ構造フレキシブル光導波路について説明する。

図１（ａ）は、本実施形態に係るテーパ構造フレキシブル光導波路の幅方向から見た側断面図であり、図１（ｂ）は、その高さ方向（上方向）から見た幅方向断面図である。

図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、テーパ構造フレキシブル光導波路１は、下クラッド層２と、その下クラッド層２の上に形成されたコア層３と、そのコア層３および下クラッド層２の上に形成された上クラッド層４とを備える。

下クラッド層２および上クラッド層４は、エポキシ系、アクリル系、シリコーン樹脂系、ウレタン樹脂系などのエラストマーからなり、曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下である。コア層３は、下クラッド層２および上クラッド層４よりも屈折率の高いポリマーからなり、もちろん、伝送する光の波長に対して透明な材料である。本実施形態では、コア層３として、曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下のエポキシ系のエラストマーからなるものを用いた。

コア層３は、その入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向（図示左右方向）に沿って、コア層３の高さ方向および幅方向、または高さ方向にテーパ状に形成される。本実施形態では、コア層３の入出力端側の両端部を、中央から端部に向かって高さ方向および幅方向に徐々に広がるようにテーパ状に形成した。ここでテーパ角度としては、１度以下にするとテーパ構造による光の伝搬損失を無視することができる。しかし、光伝送路の許容される光損失が大きい場合、又は光伝送路が短い場合などには、テーパ角度は１度を超えてもよい。コア層３の両端部（テーパ状の部分）以外の部分は、横断面視で一辺が約５０μｍの矩形状に形成される。

下クラッド層２および上クラッド層４の厚さは、１２５μｍ以下である。これは、下クラッド層２および上クラッド層４の厚さが１２５μｍを超えると、コア層３の厚さが約５０μｍであるため、テーパ構造フレキシブル光導波路１の厚さが３００μｍを超えてしまい、テーパ構造フレキシブル光導波路１を小さい曲率半径で曲げることができなくなるためである。一方、テーパ構造フレキシブル光導波路１を小さい曲率半径で曲げる必要がない用途では、下クラッド層２および上クラッド層４の厚さは１２５μｍを超えてもよい。

次に、図２（ａ）〜（ｉ）により、このテーパ構造フレキシブル光導波路１の製造方法を説明する。

まず、図２（ａ）に示すように、平板基材２１の上に液状の下クラッド材２２を滴下する。平板基材２１は石英、シリコンなどの材料を用いることができる。

下クラッド材２２は、硬化後にエラストマーとなるモノマーまたはオリゴマーと、重合開始剤との混合物であって、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエラストマーの前駆体である。

この下クラッド材２２としては、硬化可能なエポキシ系、アクリル系、シリコーン樹脂系、ウレタン樹脂系などのモノマーやオリゴマーが挙げられ、必要に応じてこれらの混合物を用いてもよい。また、本実施形態では、重合開始剤として光重合開始剤を用いた。光重合開始剤としては、下クラッド材２２のモノマーに応じて光酸発生剤、ラジカル発生剤などを用いることができる。もちろん、下クラッド材２２はこれらに限定されない。

平板基材２１の上に下クラッド材２２を滴下した後、図２（ｂ）に示すように、下用スタンパ２３を下クラッド材２２に押圧することにより、下クラッド材２２を、下用スタンパ２３の下クラッド材２２と接する面側（図示下側）の形状に対して反転した形状に形成する。

この下用スタンパ２３は、下クラッド層２を所定の形状に形成すると共に、コア層３の入出力側の端部をテーパ状に形成するためのものである。図３（ａ）に示すように、下用スタンパ２３は、その下クラッド材２２と接する面側（図示下側）に所定の形状が加工形成されている。本実施形態では、下用スタンパ２３のコア層３の入出力端側の両端部にあたる位置を、コア層３の入出力端に向かって高さ方向および幅方向に徐々に広がるよう、テーパ状に形成した。

下用スタンパ２３を押圧して下クラッド材２２を所定の形状に形成した後、下用スタンパ２３側から紫外線を照射して下クラッド材２２を硬化させ、下クラッド層２を形成する。従って、この場合には、下用スタンパ２３として紫外線を透過する透明基板を用いる。この下用スタンパ２３としては、例えば、石英基板などを用いるとよい。

本実施形態では下用スタンパ２３側から紫外線を照射して下クラッド材２２を硬化させたが、平板基材２１側から紫外線を照射して下クラッド材２２を硬化してもよく、その場合には、平板基材２１として石英基板などの透明基板を用いる。

下クラッド層２が形成された後、図２（ｃ）に示すように、下クラッド層２から下用スタンパ２３を分離する。

その後、図２（ｄ）に示すように、液状のコア材２４を下クラッド層２の上に滴下する。この際、コア材２４が下クラッド層２の上からはみ出さないよう、下クラッド層２の周囲に平板側壁２５を設けるとよい。

コア材２４は、下クラッド層２および上クラッド層４より屈折率の高いポリマーの前駆体であるモノマーやオリゴマーからなるものであって、紫外線により硬化する。もちろん、コア材２４はこれらに限定されない。本実施形態では、コア材２４として、硬化後の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下となるエポキシ系のエラストマーの前駆体からなるものを用いた。

コア材２４を下クラッド層２の上に滴下した後、図２（ｅ）に示すように、上用スタンパ２６をコア材２４に押圧することにより、コア材２４を、上用スタンパ２６のコア材２４と接する面側（図示下側）の形状に対して反転した形状に形成する。

上用スタンパ２６は、コア層３の入出力側の端部をテーパ状に形成すると共に、上クラッド層４を所定の形状に形成するためのものである。図３（ｂ）に示すように、上用スタンパ２６は、そのコア材２４と接する面側（図示下側）に所定の形状が加工形成されている。本実施形態では、上用スタンパ２６のコア層３の入出力端側の両端部にあたる位置を、コア層３の入出力端に向かって高さ方向および幅方向に徐々に広がるよう、テーパ状に形成した。

上用スタンパ２６を押圧してコア材２４が所定の形状に形成された後、上用スタンパ２６側から紫外線を照射してコア材２４を硬化させ、コア層３を形成する。従って、この場合には、上用スタンパ２６は紫外線を透過する石英基板などの透明基板を用いる。

コア層３を形成した後、図２（ｆ）に示すように、上用スタンパ２６をコア層３から剥離すると共に、平板側壁２５を取り除く。これにより、コア層３の形成が完了する。

コア層３を形成した後、図２（ｇ）に示すように、液状の上クラッド材２７をコア層３の上に滴下する。この際、上クラッド材２７がコア層３からはみ出さないよう、平板側壁をコア層３の周囲に設けてもよい。本実施形態では、上クラッド材２７として、上述の下クラッド材２２と同じものを用いた。

その後、図２（ｈ）に示すように、上クラッド材２７の上面を透明平板２８により押圧し、その透明平板２８側から紫外線を照射して上クラッド材２７を硬化させて、上クラッド層４を形成する。

上クラッド層４を形成した後、透明平板２８を上クラッド層４から剥離すると共に、平板基材２１を下クラッド層２から分離すると、図２（ｉ）に示すテーパ構造フレキシブル光導波路１が得られる。

以上により、入出力端側の両端部にその光軸方向に沿って高さ方向および幅方向に拡大されたテーパ形状のコア層３を有するテーパ構造フレキシブル光導波路１が製造される。図２（ａ）〜（ｉ）は、全て幅方向から見た側断面図であり、上方向から見た断面図は図示されていないが、下用スタンパ２３、上用スタンパ２６の幅方向にテーパ形状を形成することにより、コア層３に幅方向のテーパ形状を形成できることは自明である。

次に、テーパ構造フレキシブル光導波路１を用いたフレキシブル光配線部品について説明する。

図４に示すように、フレキシブル光配線部品４１は、テーパ構造フレキシブル光導波路１の上に光素子である発光素子（レーザダイオードなど）４２や、受光素子（フォトダイオードなど）４３が実装され、さらに、これら光素子を駆動、制御するための電子部品（ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ドライバなど）４４が実装されている。図４では、電子部品４４として、発光素子４２を駆動するドライバ４５と、受光素子４３からの電気信号を増幅するアンプ４６とを実装した例を示す。

テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア層３の一部には、光軸方向（図示左右方向）に対して４５度傾斜した傾斜面４７ａ，４７ｂが形成されている。この傾斜面４７ａ，４７ｂにより、発光素子４２や受光素子４３の光軸と、テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア層３の光軸との光路を変換して一致させている。

このフレキシブル光配線部品４１の入力側（図４では左側）には、外部の光伝送路４８ａが接続され、出力側（図４では右側）には、外部の光伝送路４８ｂが接続される。これら外部の光伝送路４８ａ，４８ｂは、そのコア径（あるいはモードフィールド径）がコア層３（両端部（テーパ状部分）以外の部分）のコア径（あるいはモードフィールド径）よりも大きいものであり、例えば、コア径が１５０μｍのマルチモード光ファイバ（ＭＭＦ）などである。

テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア層３は、接続する外部の光伝送路４８ａ，４８ｂのコア径（あるいはモードフィールド径）に合わせて、その端部で外部の光伝送路４８ａ，４８ｂのコア径（あるいはモードフィールド径）と一致するようにテーパ状に形成される。

外部の光伝送路４８ａから入射した受信光は、テーパ構造フレキシブル光導波路１のテーパ構造を有するコア層３に入射し、テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア層３を伝播し、コア層３に形成された傾斜面４７ａにて光路を９０度変換されて受光素子４３に入射して受信される。

一方、テーパ構造フレキシブル光導波路１の上に実装された発光素子（本実施形態では面発光レーザダイオード）からの送信光は、コア層３に形成された傾斜面４７ｂにて光路を９０度変換されてテーパ構造フレキシブル光導波路１のコア層３を伝播し、外部の光伝送路４８ｂに入射して外部に伝送される。

フレキシブル光配線部品４１では、テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア層３を、その入出力側の端部で、接続される外部の光伝送路４８ａ，４８ｂのコア径（あるいはモードフィールド径）と一致するようにテーパ状に形成しているため、コア径（あるいはモードフィールド径）の違いによる接続損失を低減することができる。

以上説明したように、本実施形態では、コア層３の入出力端側の両端部を、その光軸方向に沿って、コア層３の高さ方向および幅方向にテーパ状に形成している。

これにより、テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア径（またはモードフィールド径）を、接続する外部の光伝送路のコア径（またはモードフィールド径）と一致させることができるため、テーパ構造フレキシブル光導波路１と外部の光伝送路との接続損失を低減することができる。

また、本発明では、下用スタンパ２３および上用スタンパ２６を用いて、コア層３の入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向に沿って、コア層３の高さ方向および幅方向にテーパ状に形成している。

下クラッド層２および上クラッド層４の膜厚を薄くするためには、クラッド材２２，２７の粘度は低いほうが望ましいが、テーパ構造フレキシブル光導波路１では、下クラッド層２や上クラッド層４の曲げ弾性率が１０００ＭＰａ以下と小さいため、クラッド材２２，２７の粘度が高くなってしまう。

しかし、本発明では、下用スタンパ２３、上用スタンパ２６、および透明平板２８でクラッド材２２，２７を押さえて加圧しているので、クラッド材２２，２７の膜厚を強制的に薄くすることができ、例えば、粘度が３０Ｐａ・ｓ（３００００ｃＰ）程度であっても、下クラッド層２および上クラッド層４の膜厚を１２５μｍ以下にすることができる。よって、テーパ構造フレキシブル光導波路１の厚みを３００μｍ以下にすることができ、テーパ構造フレキシブル光導波路１を小さい曲率半径で曲げることが可能となる。

上記実施形態では、コア層３の入出力端側の両端部を高さ方向および幅方向に徐々に広がるようテーパ状に形成したが、接続する外部の光伝送路（光導波路など）のコア構造が高さ方向（あるいは幅方向）に広く形成されている場合には、コア層３を高さ方向（あるいは幅方向）のみにテーパ構造にすればよく、接続される外部の光伝送路のコア構造に応じて、テーパ構造フレキシブル光導波路１のコア構造（コア層３のテーパ形状）を決定すればよい。

また、上記実施形態では、コア層３の入出力端側の端部を、中央から端部に向かって徐々に広がるようテーパ状に形成したが、コア層３の入出力端側の端部を中央から端部に向かって徐々に狭まるようにテーパ状に形成してもよい。

図５（ａ）に示すテーパ構造フレキシブル光導波路５１は、コア層５２の入出力端側の一端部（図示左側）を徐々に広がるようにテーパ状に形成すると共に、その他端部（図示右側）を徐々に狭まるようにテーパ状に形成したものである。

このテーパ構造フレキシブル光導波路５１を製造する際には、下用スタンパ２３に替えて図５（ｂ）に示す下用スタンパ５３を用い、さらに、上用スタンパ２６に替えて図５（ｃ）に示す上用スタンパ５４を用いるとよい。

また、図６（ａ）に示すテーパ構造フレキシブル光導波路６１は、コア層６２の入出力端側の両端部を徐々に狭まるようにテーパ状に形成したものである。このテーパ構造フレキシブル光導波路６１を製造する際には、図６（ｂ）に示す下用スタンパ６３、および図６（ｃ）に示す上用スタンパ６４を用いるとよい。

テーパ構造フレキシブル光導波路５１，６１のように、コア層５２，６２の入出力端側の端部を中央から端部に向かって徐々に狭まるようにテーパ状に形成することで、コア径（あるいはモードフィールド径）がコア層３（両端部（テーパ状部分）以外の部分）よりも小さい外部の光伝送路（例えば、シングルモード光ファイバ（ＳＭＦ）など）を接続しても、接続損失を低減することができる。

さらに、外部の光伝送路との光学的な接続によっては、入力部のみまたは出力部のみがテーパ構造となっていてもよい。

図７（ａ）に示すテーパ構造フレキシブル光導波路７１は、コア層７２の入出力端側の一端部（図示左側）のみを徐々に広がるようにテーパ状に形成したものである。このテーパ構造フレキシブル光導波路５１の一端は、例えば、マルチモード光ファイバ（ＭＭＦ）などコア径（あるいはモードフィールド径）が大きい光伝送路に接続され、テーパ形状が形成されていない他端は、例えば、コア径（あるいはモードフィールド径）が略同一の光導波路などに接続される。このテーパ構造フレキシブル光導波路７１を製造する際には、図７（ｂ）に示す下用スタンパ７３、および図７（ｃ）に示す上用スタンパ７４を用いるとよい。

これらテーパ構造フレキシブル光導波路１，５１，６１，７１のコア層のテーパ形状の寸法は、接続する外部の光伝送路の形状に応じて、光結合損失が小さくなるように適宜決定すればよい。一例として、シングルモード光ファイバ（ＳＭＦ）と接続するのであれば、シングルモード光ファイバのコア径１０μｍと同等の１０μｍ程度までコア層の径を縮小する。また、外部の光伝送路のコア径が１５０μｍ程度のマルチモード光ファイバ（ＭＭＦ）である場合には、コア層の径を１５０μｍ程度にまで拡大すればよい。

本発明は、これらの実施例には限定されず、当業者にとって想到し得る本明細書に説明された基本的教示の範囲に含まれる全ての変更、および代替的構成を具体化するものとして解釈されるべきである。

図１（ａ）は本発明の一実施形態に係るテーパ構造フレキシブル光導波路の幅方向から見た側断面図であり、図１（ｂ）はその高さ方向（上方向）から見た断面図である。 図２（ａ）〜（ｉ）は、本発明のテーパ構造フレキシブル光導波路の製造方法を説明する図である。 図３（ａ）は本発明のテーパ構造フレキシブル光導波路の製造方法で用いる下用スタンパの側断面図であり、図３（ｂ）は上用スタンパの側断面図である。 図１のテーパ構造フレキシブル光導波路を用いたフレキシブル光配線部品の側断面図である。 図５（ａ）は本発明の一実施形態に係るテーパ構造フレキシブル光導波路の幅方向から見た側断面図であり、図５（ｂ）はそのテーパ構造フレキシブル光導波路を製造する際に用いる下用スタンパの側断面図、図５（ｃ）は上用スタンパの側断面図である。 図６（ａ）は本発明の一実施形態に係るテーパ構造フレキシブル光導波路の幅方向から見た側断面図であり、図６（ｂ）はそのテーパ構造フレキシブル光導波路を製造する際に用いる下用スタンパの側断面図、図６（ｃ）は上用スタンパの側断面図である。 図７（ａ）は本発明の一実施形態に係るテーパ構造フレキシブル光導波路の幅方向から見た側断面図であり、図７（ｂ）はそのテーパ構造フレキシブル光導波路を製造する際に用いる下用スタンパの側断面図、図７（ｃ）は上用スタンパの側断面図である。 図８（ａ）〜（ｉ）は、従来のフレキシブル光導波路の製造方法を説明する図である。

符号の説明

１ テーパ構造フレキシブル光導波路
２ 下クラッド層
３ コア層
４ 上クラッド層

Claims (3)

1. エラストマーからなる下クラッド層の上にコア層が形成され、前記コア層および前記下クラッド層の上に上クラッド層を積層したフレキシブル光導波路であって、
   前記コア層の入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向に沿って、前記コア層の高さ方向及び幅方向、又は高さ方向にテーパ状に形成したことを特徴とするテーパ構造フレキシブル光導波路。
2. 平板基材に下クラッド材を滴下し、その下クラッド材に下用スタンパを押圧して下クラッド層を形成した後、その下クラッド層の上にコア材を滴下し、そのコア材に上用スタンパを押圧してコア層を形成し、そのコア層の上に上クラッド材を滴下した後、その上クラッド材に平板を押圧して上クラッド層を形成するフレキシブル光導波路の製造方法であって、
   前記下用スタンパおよび前記上用スタンパの前記コア層の入力端となる端部及び／又は出力端となる端部を形成する部分をテーパ状に形成し、これら下用スタンパおよび上用スタンパを用いて、前記コア層の入出力端側の少なくとも１方の端部を、その光軸方向に沿って、前記コア層の高さ方向及び幅方向、又は高さ方向にテーパ状に形成することを特徴とするテーパ構造フレキシブル光導波路の製造方法。
3. 請求項１記載のテーパ構造フレキシブル光導波路に光素子、電子部品が実装されていることを特徴とするフレキシブル光配線部品。

Images