JP2009276308A - ガス計測装置 - Google Patents
ガス計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009276308A JP2009276308A JP2008130319A JP2008130319A JP2009276308A JP 2009276308 A JP2009276308 A JP 2009276308A JP 2008130319 A JP2008130319 A JP 2008130319A JP 2008130319 A JP2008130319 A JP 2008130319A JP 2009276308 A JP2009276308 A JP 2009276308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- gas
- laser
- wavelength
- difference frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】ポンプ光を発生する第1レーザ光源14と、シグナル光を発生する第2レーザ光源15と、ポンプ光とシグナル光の差周波光を発生する差周波光発生部16と、ガス計測領域2に照射されたレーザ光を検知して受光強度に応じた出力を発生する光検知部18と、光検知部18の出力に基づいて計測対象ガスの濃度を測定するコントロールユニット11とを備え、ポンプ光、シグナル光及び差周波光の各波長を、計測対象ガスの異なる光吸収波長帯のモル吸光係数の高い光吸収波長にそれぞれ設定してガス計測領域2に照射する。
【選択図】図1
Description
また、特許文献2に記載されたガス計測装置は、1つのポンプ光と互いに周波数の異なる複数のシグナル光を用いて、複数のガスの光吸収帯にそれぞれ対応する波長を有する複数の差周波光を生成し、この複数の差周波光を測定ガスが充填されたセルに入射し、その時の透過率を計測することにより、複数のガスの濃度を同時に計測する構成である。
logT=−εCL (1)
ここで、εはガス媒質のモル吸光係数であり、光をガス媒質に入射したときにそのガス媒質がどれくらいの光を吸収するかを示す波長毎の係数である。Cはガス媒質のモル濃度であり、Lは光が通過するガス媒質の厚さである。
上記(1)式から、透過率Tは、カラム濃度CL(ガス媒質のモル濃度Cとガス媒質の厚さをLの積)とモル吸光係数εに依存し、ガス媒質は複数の光吸収波長を有し、各光吸収波長毎にモル吸収係数εが異なる。このことは、測定ガスの透過率Tの変化による濃度の計測感度が光吸収波長毎に異なることを示している。そして、一般的に、波長が短い程モル吸収係数εは小さくなる。従って、上記(1)式に基づけば、波長が短い程、ガス濃度が高いときに透過率の変化が大きく高濃度検出に適しており、波長が長い程、ガス濃度が低いときに透過率の変化が大きく低濃度検出に適している。
かかる構成では、複数種のガスを同時に計測でき、しかも、それぞれ広い範囲の濃度を計測できるようになる。
かかる構成では、ポンプ光、シグナル光及び差周波光の3つのレーザ光を用いることで、より広い範囲で計測対象ガスのガス濃度を計測できるようになる。
図1は、本発明に係るガス計測装置の実施形態を示す概略構成図である。
図1において、本実施形態のガス計測装置は、装置本体1と、装置本体1から出射されガス計測領域2を通過したレーザ光を反射する反射体3とを備える。
尚、ガス濃度の計測方法としては、レーザ光の波長を計測対象ガスの光吸収波長を含めて掃引し、その時の光検知出力の変化状態に基づいてガス濃度を計測するは波長掃引方式による方法と、計測対象ガスの光吸収波長と一致した波長のレーザ光の受光強度と光吸収波長帯以外の波長のレーザ光の受光強度をそれぞれ計測して両者の比率からガス濃度を計測する2波長方式による方法がある。ここでは、前者の計測方法について説明する。
また、図8は、図7におけるポンプ光、シグナル光及び差周波光それぞれの光吸収波長帯とモル吸光係数の関係を示す。
2波長方式により濃度計測を行う場合について説明する。
2波長方式では、コントロールユニット11において、ポンプ光とシグナル光のいずれか一方の波長を、計測対象ガスの光吸収波長帯のモル吸光係数の高い波長λonに設定し、他方を計測対象ガスの光吸収波長帯以外の波長λoffに設定する。この際、波長λonと波長λoffをポンプ光とシグナル光の両者から生成される差周波光の波長が、計測対象ガスの光吸収波長帯のモル吸光係数の高い波長λonとなるように選定する。
2 ガス計測領域
3 反射体
11 コントロールユニット
12 第1駆動制御部
13 第2駆動制御部
14 第1レーザ光源
15 第2レーザ光源
16 差周波光発生部
18 光検知部
40 光走査部
50 受信部
Claims (14)
- ガス計測領域にレーザ光を照射して計測対象ガスの濃度を計測するガス計測装置において、
ポンプ光を発生する第1レーザ光源と、
シグナル光を発生する第2レーザ光源と、
前記ポンプ光と前記シグナル光から前記両者の差周波光を発生する差周波光発生手段と、
前記ガス計測領域に照射されたレーザ光を検知して受光強度に応じた出力を発生する光検知手段と、
該光検知手段の出力に基づいて前記計測対象ガスの濃度を測定する濃度計測手段と、
を備え、
前記ポンプ光、シグナル光及び差周波光のうち、差周波光を含む2以上のレーザ光の各波長を、前記計測対象ガスの異なる光吸収波長帯のモル吸光係数の高い光吸収波長にそれぞれ設定して前記ガス計測領域に照射する構成としたことを特徴とするガス計測装置。 - 差周波光を含む2以上のレーザ光の前記各設定波長は、モル吸光係数値の比が所定の範囲内の光吸収波長帯とすることを特徴とする請求項1に記載のガス計測装置。
- 前記モル吸光係数値の比は、100〜10000倍程度とする請求項2に記載のガス計測装置。
- 前記差周波光を含む2以上のレーザ光の組を、2以上の計測対象ガス数に対応する組数設け、各組の前記差周波光を含む2以上のレーザ光の波長を、各計測対象ガスの異なる光吸収波長帯のモル吸光係数の高い光吸収波長に設定する構成とした請求項1〜3のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記ポンプ光、シグナル光及び差周波光の各波長を、前記計測対象ガスの異なる光吸収波長帯のモル吸光係数の高い光吸収波長に設定して前記ガス計測領域に照射する構成とした請求項1〜4のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記第1及び第2光源からのレーザ光の波長を掃引制御して前記差周波光を含む2以上のレーザ光の各波長を前記各設定波長を含めてそれぞれ掃引し、前記濃度計測手段は、前記光検知手段からの出力変化に基づいて計測対象ガスの濃度を計測する構成とした請求項1〜5のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記第1及び第2光源からのレーザ光の波長を制御して、前記ポンプ光及びシグナル光のいずれか一方のレーザ光と前記差周波光の各波長を前記計測対象ガスの異なる光吸収波帯のモル吸光係数の高い光吸収波長にそれぞれ設定すると共に残りのレーザ光を前記計測対象ガスの光吸収波長帯以外の波長に設定し、前記濃度計測手段は、前記光検知手段からの前記一方のレーザ光と差周波光に基づく各出力値と前記残りのレーザ光に基づく出力値との比率から計測対象ガスの濃度を計測する構成とした請求項1〜5のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記第1及び第2光源から発生するレーザ光を連続波とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記第1及び第2光源から発生するレーザ光をパルス波とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記パルス波を時間変調する請求項9に記載のガス計測装置。
- 前記第1及び第2レーザ光源、前記差周波光発生手段、前記光検知手段及び前記濃度計測手段を備えた装置本体と、該装置本体から出射して前記ガス計測領域を通過したレーザ光を反射する反射体とを備え、前記反射体からの反射光を前記装置本体側で検知する構成とした請求項1〜10のいずれか1つに記載のガス計測装置。
- 前記装置本体に、当該装置本体から出射するレーザ光を走査する光走査手段を設けた請求項11に記載のガス計測装置。
- 前記反射体は、再帰反射体とする請求項11又は12に記載のガス計測装置。
- 前記第1及び第2レーザ光源、前記差周波光発生手段及び前記濃度計測手段を備えた装置本体と前記光検知手段とを、前記ガス計測領域を挟んで配置し、前記装置本体から出射して前記ガス計測領域を通過したレーザ光を前記光検知手段で検知し、光検知手段の検知出力を前記装置本体側に送信する構成とした請求項1〜10のいずれか1つに記載のガス計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008130319A JP5121566B2 (ja) | 2008-05-19 | 2008-05-19 | ガス計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008130319A JP5121566B2 (ja) | 2008-05-19 | 2008-05-19 | ガス計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009276308A true JP2009276308A (ja) | 2009-11-26 |
JP5121566B2 JP5121566B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=41441863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008130319A Active JP5121566B2 (ja) | 2008-05-19 | 2008-05-19 | ガス計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5121566B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163676A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | Nippon Signal Co Ltd:The | シート乾燥制御装置及び乾燥制御方法並びにシート乾燥装置 |
JP2012154854A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Nippon Signal Co Ltd:The | 液体漏洩検出方法及び液体漏洩検出装置 |
CN102853914A (zh) * | 2011-06-29 | 2013-01-02 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于饱和光谱学的简单、低功率的微系统 |
JP2013015409A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Toshiba Corp | ガスセンサ |
WO2013182735A1 (en) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | Metso Power Oy | Measurement of gaseous compound using spectroscopy |
JP2014055858A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp | ガス濃度測定装置 |
KR101546342B1 (ko) | 2013-04-12 | 2015-08-24 | (주)아센 | 분석 장치 |
WO2017164033A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | コニカミノルタ株式会社 | ガス測定装置 |
JP2018072341A (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-10 | ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンDraegerwerk AG & Co.KGaA | 呼吸ガス混合気中の少なくとも1つのガス成分の濃度特定のための装置 |
JP2018185190A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | ガス検出方法およびガス検出システム |
CN114486808A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-05-13 | 山东大学 | 一种增强谱线吸收强度型气体检测方法 |
-
2008
- 2008-05-19 JP JP2008130319A patent/JP5121566B2/ja active Active
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011163676A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | Nippon Signal Co Ltd:The | シート乾燥制御装置及び乾燥制御方法並びにシート乾燥装置 |
JP2012154854A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Nippon Signal Co Ltd:The | 液体漏洩検出方法及び液体漏洩検出装置 |
CN102853914A (zh) * | 2011-06-29 | 2013-01-02 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于饱和光谱学的简单、低功率的微系统 |
JP2013015409A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Toshiba Corp | ガスセンサ |
US9778176B2 (en) | 2012-06-08 | 2017-10-03 | Valmet Technologies Oy | Measurement of gaseous compound using spectroscopy |
WO2013182735A1 (en) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | Metso Power Oy | Measurement of gaseous compound using spectroscopy |
JP2014055858A (ja) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Tokyo Metropolitan Sewerage Service Corp | ガス濃度測定装置 |
KR101546342B1 (ko) | 2013-04-12 | 2015-08-24 | (주)아센 | 분석 장치 |
WO2017164033A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | コニカミノルタ株式会社 | ガス測定装置 |
JPWO2017164033A1 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-01-31 | コニカミノルタ株式会社 | ガス測定装置 |
JP2018072341A (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-10 | ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト アウフ アクチェンDraegerwerk AG & Co.KGaA | 呼吸ガス混合気中の少なくとも1つのガス成分の濃度特定のための装置 |
JP2018185190A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | ガス検出方法およびガス検出システム |
CN114486808A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-05-13 | 山东大学 | 一种增强谱线吸收强度型气体检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5121566B2 (ja) | 2013-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5121566B2 (ja) | ガス計測装置 | |
EP2753915B1 (en) | High-accracy mid-ir laser-based gas sensor | |
US7180595B2 (en) | Gas detection method and gas detector device | |
Ngai et al. | Automatically tunable continuous-wave optical parametric oscillator for high-resolution spectroscopy and sensitive trace-gas detection | |
EP3978906A1 (en) | Detection method and detection device for trace gas | |
US10718706B2 (en) | Laser dispersion spectroscopy for non-intrusive combustion diagnostics | |
CN102768198A (zh) | 一种利用锁频激光的光腔衰荡光谱技术测量气体组分含量的系统和方法 | |
JP4588520B2 (ja) | 多種類のガス媒質を同時に検出するガス媒質分析装置およびガス媒質分析方法 | |
US20090185161A1 (en) | Optical Measurement Apparatus And Wideband Light Source Apparatus Employable Therein | |
JP2008026190A (ja) | ガス検知装置 | |
CN101963577A (zh) | 测量气体浓度的方法和系统 | |
US4818102A (en) | Active optical pyrometer | |
JP2008268064A (ja) | 多成分対応レーザ式ガス分析計 | |
JP2012220250A (ja) | ガス濃度測定装置及びガス濃度測定方法 | |
JP2014235103A (ja) | 光吸収測定用レーザ光源およびそれを用いた光吸収測定装置 | |
US20110199611A1 (en) | Detector for cavity ring-down spectroscopy | |
Ciaffoni et al. | 3.5-μm high-resolution gas sensing employing a LiNbO 3 QPM-DFG waveguide module | |
JP2012181554A (ja) | 中赤外光源およびそれを用いた赤外光吸収分析装置 | |
JP2007120971A (ja) | 光式水素ガス及び炭化水素ガスセンサ | |
JP2011033941A (ja) | 中赤外光源およびそれを用いた赤外光吸収分析装置 | |
CN205786268U (zh) | 一种基于中红外差分吸收的甲烷浓度检测装置 | |
JP6673774B2 (ja) | 中赤外レーザ光源およびレーザ分光装置 | |
JP2015176072A (ja) | 中赤外レーザ光発生装置及びガス検出装置並びに中赤外レーザ光発生方法及びガス検出方法 | |
JP2004004112A (ja) | 分光測定方法及び分光測定装置 | |
JP2001289785A (ja) | 赤外線レーザ成分検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110506 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121023 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121024 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121023 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5121566 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |