JP2009275110A - Resin composition for encapsulating semiconductor and semiconductor device using the same - Google Patents

Resin composition for encapsulating semiconductor and semiconductor device using the same Download PDF

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弘典 小林
Toshimichi Suzuki
利道 鈴木
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    • H01L23/295Organic, e.g. plastic containing a filler

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition for encapsulating semiconductors which imparts excellent marking property in compact semiconductor packages. <P>SOLUTION: The resin composition for encapsulating semiconductors is used as materials for encapsulating semiconductor devices with a size of the following dimension (x) or below. The resin composition for encapsulating semiconductors contains the following components (C)-(E) and also the following components (A) and (B). Where (x) means the length 2 mm×the width 2 mm×the height 1 mm; (A) is a metal hydroxide compound with an average particle size (α) of 1-30 μm; (B) is a crushed type inorganic filler with an average particle size in the range of 0.7α-1.3α μm excluding the component (A) [wherein α represents an average particle size of a metal hydroxide compound which is the component (A)]; (C) is carbon black; (D) is an epoxy resin and (E) is a phenol novolak resin. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、小型の半導体パッケージの封止用途において、パッケージ表面のマーキング性に優れた半導体封止用樹脂組成物およびそれを用いて半導体素子を封止してなる半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor sealing resin composition excellent in marking properties on the surface of a package and a semiconductor device formed by sealing a semiconductor element using the same for sealing a small semiconductor package.

従来から、IC、LSI等の半導体素子が、樹脂組成物を用いて樹脂封止され半導体装置化されている。近年では、携帯電話等のように小型化、薄型化された電子機器が多用されており、これに伴い、半導体装置自身も小型化されたものが多用されている。このように樹脂組成物を用いて樹脂封止することにより得られる小型の半導体パッケージにおいて、重要な特性の一つとして、パッケージに対するマーキング性があげられる。すなわち、近年の小型パッケージでは、そのサイズの小ささに比例して、微細な文字をレーザー等によりマーキングする必要がある。   2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor elements such as IC and LSI are resin-sealed using a resin composition to form a semiconductor device. In recent years, electronic devices that have been reduced in size and thickness, such as mobile phones, have been widely used, and accordingly, semiconductor devices themselves that have been downsized are also frequently used. In such a small semiconductor package obtained by resin-sealing using a resin composition, one of important characteristics is a marking property for the package. That is, in recent small packages, it is necessary to mark fine characters with a laser or the like in proportion to the small size.

しかしながら、従来の通常サイズのパッケージにおける封止を考慮した封止材料となる樹脂組成物、例えば、エポキシ樹脂に、硬化剤としてのフェノール樹脂、さらにカーボンブラック、通常の無機質充填剤を使用してなる封止用樹脂組成物(特許文献1参照)では、従来のような大きなサイズのパッケージに対しては、マーキング性に関しては問題はなかったが、より小型化の図られた半導体パッケージにおいては、小型パッケージにマーキングを施した際に、印字幅が大きくなってしまい鮮明なマーキングを施すことが困難であるという問題を有している。
特開2006−36941号公報
However, a resin composition that becomes a sealing material considering sealing in a conventional normal size package, for example, an epoxy resin, a phenol resin as a curing agent, carbon black, and a normal inorganic filler are used. In the sealing resin composition (see Patent Document 1), there was no problem with the marking property for the conventional large-sized package, but in the semiconductor package which is further reduced in size, it is small. When the package is marked, there is a problem that the print width becomes large and it is difficult to give a clear marking.
JP 2006-36941 A

このように、従来の封止用樹脂組成物を用いて樹脂封止して得られる小型パッケージに、鮮明な所望のマーキングを施すことは困難であり、小型パッケージに対しても良好なマーキング性を備えた封止材料の要望されているのが実情である。   Thus, it is difficult to give a clear desired marking to a small package obtained by resin-sealing using a conventional sealing resin composition. The actual situation is that a sealing material provided is desired.

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、小型半導体パッケージにおける、優れたマーキング性を付与することのできる半導体封止用樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置の提供をその目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and its object is to provide a semiconductor sealing resin composition capable of imparting excellent marking properties in a small semiconductor package and a semiconductor device using the same. To do.

上記の目的を達成するため、本発明は、下記の寸法(x)以下の大きさの半導体装置の封止材料として用いられる半導体封止用樹脂組成物であって、下記の(C)〜(E)成分を含有するとともに、さらに下記の(A)成分および(B)成分を含有する半導体封止用樹脂組成物を第1の要旨とする。
(x)縦2mm×横2mm×高さ1mm。
(A)平均粒子径(α)が1〜30μmである水酸化金属化合物。
(B)上記(A)成分を除く、平均粒子径が0.7α〜1.3αμmの範囲内である破砕状無機質充填剤〔ただし、αは(A)成分である水酸化金属化合物の平均粒子径を示す〕。
(C)カーボンブラック。
(D)エポキシ樹脂。
(E)フェノールノボラック樹脂。
In order to achieve the above object, the present invention provides a semiconductor sealing resin composition used as a sealing material for a semiconductor device having a size of the following dimension (x) or less, wherein the following (C) to ( A semiconductor sealing resin composition containing the component (E) and further containing the following components (A) and (B) is a first gist.
(X) 2 mm long × 2 mm wide × 1 mm height.
(A) A metal hydroxide compound having an average particle diameter (α) of 1 to 30 μm.
(B) Crushed inorganic filler having an average particle diameter in the range of 0.7α to 1.3α μm excluding the component (A) [where α is the average particle of the metal hydroxide compound as the component (A) Shows the diameter].
(C) Carbon black.
(D) Epoxy resin.
(E) Phenol novolac resin.

そして、本発明は、上記第1の要旨の半導体封止用樹脂組成物を用いて、半導体素子を封止してなる、下記の寸法(x)以下の大きさの半導体装置を第2の要旨とする。
(x)縦2mm×横2mm×高さ1mm。
Then, the present invention provides a semiconductor device having a size equal to or smaller than the following dimension (x) obtained by sealing a semiconductor element by using the resin composition for semiconductor encapsulation according to the first aspect. And
(X) 2 mm long × 2 mm wide × 1 mm height.

本発明者らは、小型半導体パッケージの封止に際して、優れたマーキング性を発揮することのできる半導体封止用樹脂組成物を得るために一連の研究を重ねた。そして、従来の、カーボンブラックの粒子径や添加量を適宜調整するという思想とは全く異なる観点からより効果的に解決する手段を検討した結果、特定の平均粒子径からなる水酸化金属化合物をいわゆるマーキングの微細化補助剤として用い、この特定の平均粒子径の水酸化金属化合物に関連づけた平均粒子径を有する破砕状無機質充填剤を併用すると、微細なマーキングの精度が向上することを見出し本発明に到達した。   The inventors of the present invention have made a series of studies in order to obtain a resin composition for encapsulating a semiconductor that can exhibit excellent marking properties when encapsulating a small semiconductor package. And, as a result of examining means for more effectively solving from the viewpoint of completely adjusting the particle size and addition amount of carbon black as appropriate, a metal hydroxide compound having a specific average particle size is so-called. It has been found that the use of a crushed inorganic filler having an average particle size associated with a metal hydroxide compound having a specific average particle size is used as an auxiliary agent for refining marking, and the accuracy of fine marking is improved. Reached.

このように、本発明は、前記特定の寸法(x)以下の大きさの半導体装置の封止用樹脂組成物であり、特定の平均粒子径を有する水酸化金属化合物〔(A)成分〕と、この水酸化金属化合物の平均粒子径に関連した平均粒子径を有する破砕状無機質充填剤〔(B)成分〕と、カーボンブラック〔(C)成分〕を用いた半導体封止用樹脂組成物である。このため、小型パッケージに対する優れたマーキング性を確保することが可能となる。   Thus, the present invention is a resin composition for encapsulating a semiconductor device having a size equal to or smaller than the specific dimension (x), and a metal hydroxide compound having a specific average particle diameter (component (A)) and A resin composition for semiconductor encapsulation using a crushed inorganic filler [component (B)] having an average particle size related to the average particle size of the metal hydroxide compound and carbon black (component (C)) is there. For this reason, it becomes possible to ensure the excellent marking property with respect to a small package.

そして、上記水酸化金属化合物に対するカーボンブラックの使用割合を、1〜20重量%に設定すると、カーボンブラックによるレーザー光吸熱効果と、水酸化金属化合物の熱分解や熱拡散防止効果とのバランスが良好となり、微細なマーキングが可能となる。   And when the usage ratio of carbon black to the metal hydroxide compound is set to 1 to 20% by weight, the balance between the laser light endothermic effect of carbon black and the thermal decomposition and heat diffusion prevention effect of the metal hydroxide compound is good. Thus, fine marking is possible.

つぎに、本発明の実施の形態について詳しく説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明では、半導体素子を樹脂封止してなる半導体装置の大きさが、下記の寸法(x)以下となるものを対象とするものである。
(x)縦2mm×横2mm×高さ1mm。
In the present invention, a semiconductor device in which a semiconductor element is resin-sealed is intended to have a size equal to or smaller than the following dimension (x).
(X) 2 mm long × 2 mm wide × 1 mm height.

そして、本発明の半導体封止用樹脂組成物は、特定の水酸化金属化合物(A成分)と、上記特定の破砕状無機質充填剤(B成分)と、カーボンブラック(C成分)と、エポキシ樹脂(D成分)と、フェノールノボラック樹脂(E成分)とを用いて得られ、通常、粉末状もしくはこれを打錠したタブレット状として使用に供される。   And the resin composition for semiconductor sealing of this invention is a specific metal hydroxide compound (A component), the said specific crushed inorganic filler (B component), carbon black (C component), and an epoxy resin. (D component) and a phenol novolak resin (E component) are obtained, and are usually used in the form of a powder or a tablet obtained by tableting this.

上記特定の水酸化金属化合物(A成分)は、アルカリ金属およびアルカリ土類金属を除く金属の、水酸化物および酸化物の水和物である。そして、本発明においては、上記水酸化金属化合物は、主としてマーキングの微細化補助剤としての作用を奏するものである。   The specific metal hydroxide compound (component A) is a hydroxide or oxide hydrate of metals other than alkali metals and alkaline earth metals. In the present invention, the metal hydroxide compound mainly serves as a marking refinement aid.

上記水酸化金属化合物は、他の無機質充填剤に比べ、熱伝導性が低く、レーザー光を吸収した際の熱の広がりを防止する効果を有する。また、脱水反応により封止樹脂層の昇華を促進する作用を有する。さらに、レーザー光の周辺域は水酸化金属化合物の脱水反応による吸熱で温度が下がり、高温域が狭くなり、結果、スポット状となるため、印字幅を狭くすることが可能となる。すなわち、熱伝導性の高い無機質充填剤を用いると、熱が周辺にも広がって、温度上昇が不充分となりマーキング性が低下し、さらに、印字の線幅が広がってしまう等の不具合が生ずる。これに対して、上記水酸化金属化合物を用いることにより、水酸化金属化合物からの水の放出による有機物の揮発性の促進、レーザー光の焦点周辺の温度上昇抑制がなされることとなり、レーザー印字の際にその線幅が狭く、細かな文字が印字可能となるのである。   The metal hydroxide compound has lower thermal conductivity than other inorganic fillers, and has the effect of preventing the spread of heat when laser light is absorbed. Moreover, it has the effect | action which accelerates | stimulates the sublimation of the sealing resin layer by dehydration reaction. Further, the temperature in the peripheral area of the laser beam is lowered by the endothermic reaction due to the dehydration reaction of the metal hydroxide compound, the high temperature area is narrowed, and as a result, it becomes a spot shape, so that the print width can be narrowed. That is, when an inorganic filler with high thermal conductivity is used, heat spreads to the periphery, the temperature rise is insufficient, marking performance is lowered, and further, the printing line width is increased. On the other hand, by using the metal hydroxide compound, the volatility of the organic matter is promoted by the release of water from the metal hydroxide compound, and the temperature rise around the focal point of the laser beam is suppressed. At that time, the line width is narrow, and fine characters can be printed.

また、上記水酸化金属化合物は、僅かであるが水に対する溶解性を有するが、レーザー光が照射された部分は酸化物になり、耐水性が向上して、水へのイオン溶出が防止されることとなる。   The metal hydroxide compound is slightly soluble in water, but the portion irradiated with laser light becomes an oxide, which improves water resistance and prevents ion elution into water. It will be.

そして、上記水酸化金属化合物は、上記作用とともに、難燃剤としての作用も有し、封止樹脂の難燃化にも寄与するものである。   And the said metal hydroxide compound also has an effect | action as a flame retardant with the said effect | action, and contributes also to the flame retardance of sealing resin.

上記水酸化金属化合物の平均粒子径は、1〜30μmでなければならない。より好ましくは3〜20μm、特に好ましくは10〜15μmである。すなわち、平均粒子径を下限値未満では、樹脂組成物の粘度が高くなり、流動性が低下する傾向がみられ、上限値を超えると、小型半導体パッケージであっても、ゲート部での目詰まり、金属ワイヤー間に挟まってワイヤーの変形を引き起こす等の傾向がみられるからである。さらに、上記水酸化金属化合物の最大粒子径は、54μm以下に設定することが好ましい。このような上限値に設定することにより、流動部の挟隙に挟まる可能性が低減されるからである。なお、上記平均粒子径および最大粒子径は、例えば、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導出することができる。   The average particle size of the metal hydroxide compound must be 1 to 30 μm. More preferably, it is 3-20 micrometers, Most preferably, it is 10-15 micrometers. That is, if the average particle diameter is less than the lower limit, the viscosity of the resin composition increases and fluidity tends to decrease.If the average particle diameter exceeds the upper limit, clogging in the gate portion is caused even in a small semiconductor package. This is because there is a tendency that the wire is deformed by being sandwiched between metal wires. Furthermore, the maximum particle size of the metal hydroxide compound is preferably set to 54 μm or less. This is because the possibility of being caught in the gap of the fluidized portion is reduced by setting such an upper limit value. The average particle size and the maximum particle size can be derived, for example, by using a sample arbitrarily extracted from the population and measuring it using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

上記水酸化金属化合物としては、周期律表の13族の典型金属である、アルミニウム,ガリウム,インジウム,タリウム、14族の鉛,半金属元素の錫、15族の半金属のビスマス、遷移金属のチタニウム,バナジウム,クロム,マンガン,鉄,コバルト,ニッケル,銅,亜鉛等、2族のアルカリ類元素であるベリリウム,マグネシウム,カルシウム,ストロンチウム,バリウム等を例示することができる。   Examples of the metal hydroxide compound include aluminum, gallium, indium, thallium, group 14 lead, semimetal element tin, group 15 semimetal bismuth, and transition metal, which are typical metals of group 13 of the periodic table. Examples include titanium, vanadium, chromium, manganese, iron, cobalt, nickel, copper, zinc and the like, group 2 alkaline elements beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium and the like.

特に、上記金属のなかでも、マグネシウム等のアルカリ土類元素は、水に溶解しやすいため、表面を疎水性材料で被覆したものを用いることが好ましい。上記マグネシウムは水の放出温度が高く、水酸化物としての熱安定性に優れている。しかし、水の放出が高温で生起するため、難燃性の点では不充分となる。したがって、水の放出温度の低い他の水酸化金属化合物との併用が好ましい。   In particular, among the above metals, since alkaline earth elements such as magnesium are easily dissolved in water, it is preferable to use those whose surfaces are covered with a hydrophobic material. Magnesium has a high water release temperature and is excellent in thermal stability as a hydroxide. However, since the release of water occurs at a high temperature, it is insufficient in terms of flame retardancy. Therefore, the combined use with other metal hydroxide compounds having a low water release temperature is preferable.

そして、上記水酸化金属化合物のなかでも、水の放出温度が比較的低く、単位重量当たりの吸熱量が大きいという点を考慮すると、水酸化アルミニウムを用いることが好ましい。   Of the metal hydroxide compounds, aluminum hydroxide is preferably used in consideration of the relatively low water release temperature and the large endothermic amount per unit weight.

このような特定の水酸化金属化合物(A成分)の含有量は、樹脂組成物全体の5〜20重量%に設定することが好ましく、より好ましくは7〜15重量%である。すなわち、含有量を上記範囲に設定することにより、成形外観に優れたものが得られるようになる。そして、上記含有量が多過ぎると、成形時に発生する水のため、成形物表面に気泡が生じたりする場合がある。一方、含有量が少な過ぎると、難燃性が低下する傾向がみられる。   The content of the specific metal hydroxide compound (component A) is preferably set to 5 to 20% by weight, more preferably 7 to 15% by weight, based on the entire resin composition. That is, by setting the content within the above range, a product having an excellent molded appearance can be obtained. And when there is too much said content, it may produce a bubble on the surface of a molding due to the water which generate | occur | produces at the time of shaping | molding. On the other hand, if the content is too small, the flame retardancy tends to decrease.

上記A成分とともに用いられる、A成分以外の、特定の破砕状無機質充填剤(B成分)としては、例えば、破砕状の、シリカ粉末、アルミナ粉末、石英ガラス粉末、タルク等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。   Examples of the specific crushed inorganic filler (B component) used together with the A component include crushed silica powder, alumina powder, quartz glass powder, and talc. These may be used alone or in combination of two or more.

そして、上記破砕状無機質充填剤(B成分)として、高熱伝導性が必要な用途においては、アルミナ粉末、シリカ粉末、なかでも、結晶性シリカ粉末またはその破砕粉末(以下「破砕結晶シリカ粉末」という)を用いることが好ましい。すなわち、破砕された無機質充填剤の粉末表面は、凹凸があり、レーザー光にて樹脂を熱揮発させた後に、光散乱性の凹凸面を表面に露出させる。これによって表面が白く見え、文字の認識が可能となるのである。また、線膨張係数を小さくする場合には、溶融シリカ粉末を用いることが好ましい。すなわち、熱伝導率が結晶性シリカ粉末に比べて低く、レーザー光によるマーキングの線幅の微細化には有利となるからである。   And as said crushed inorganic filler (component B), in applications requiring high thermal conductivity, alumina powder, silica powder, especially crystalline silica powder or crushed powder thereof (hereinafter referred to as “crushed crystal silica powder”). ) Is preferably used. That is, the crushed inorganic filler powder surface has irregularities, and after the resin is thermally volatilized by laser light, the light-scattering irregular surface is exposed on the surface. As a result, the surface looks white and characters can be recognized. Moreover, when making a linear expansion coefficient small, it is preferable to use a fused silica powder. That is, the thermal conductivity is lower than that of crystalline silica powder, which is advantageous for making the line width of the marking with laser light fine.

上記破砕状無機質充填剤(B成分)の平均粒子径は、上記水酸化金属化合物(A成分)の平均粒子径(α)の0.7〜1.3倍、すなわち、0.7α〜1.3αμmの範囲のものを用いる必要がある。このような範囲の平均粒子径を有する無機質充填剤を用いることにより、水酸化金属化合物が均一に分散し、レーザー光によるマーキングの印字幅を狭める効果を有するのである。さらに、破砕状無機質充填剤(B成分)の最大粒子径は70μm以下にすることが、小型の半導体パッケージの場合、成形後の外観に優れ平滑であり、金型ゲート部への無機質充填剤の引っかかりによる流動不良、ワイヤー間に挟まることによるワイヤーの変形、ワイヤー部のボイド等の発生抑制効果が得られ、特に好ましい。なお、上記平均粒子径および最大粒子径は、前述と同様、例えば、母集団から任意に抽出される試料を用い、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置を用いて測定することにより導出することができる。   The average particle size of the crushed inorganic filler (component B) is 0.7 to 1.3 times the average particle size (α) of the metal hydroxide compound (component A), that is, 0.7α to 1. It is necessary to use one in the range of 3αμm. By using an inorganic filler having an average particle size in such a range, the metal hydroxide compound is uniformly dispersed, and the printing width of the marking by laser light is reduced. Further, the maximum particle size of the crushed inorganic filler (component B) should be 70 μm or less. In the case of a small semiconductor package, the appearance after molding is smooth and smooth, and the inorganic filler to the mold gate part It is particularly preferable because it is possible to obtain an effect of suppressing the occurrence of defective flow due to catching, deformation of the wire by being sandwiched between the wires, and voids in the wire portion. The average particle size and the maximum particle size can be derived, for example, by using a sample arbitrarily extracted from the population and measuring it using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus, as described above. .

そして、上記破砕状無機質充填剤(B成分)の含有量は、樹脂組成物全体の60〜80重量%の範囲に設定することが好ましい。さらに、これに前記特定の水酸化金属化合物(A成分)およびカーボンブラック等の無機質材料を併せた無機質全体の含有量が、樹脂組成物全体の70〜85重量%の範囲に設定することが好ましい。このように無機質全体が上記範囲となるように設定することにより、樹脂の機械強度に優れ、流動性等も良好となる。すなわち、無機質全体の含有量が少な過ぎると、機械的強度の低下、線膨張係数の増大による応力の発生等の問題が生じる傾向がみられ、多過ぎると、粘度が高くなり、成形性が低下する傾向がみられるからである。このように、破砕状無機質充填剤(B成分)が多い方が難燃性に優れ、線膨張係数等も低くなるため、成形物の応力が低くなり、例えば、半導体素子に不要な力がかかって、半導体素子やリードフレームと封止樹脂界面での剥離が生起しにくくなる。しかしながら、無機質材料が多くなり過ぎると、樹脂組成物の粘度が上昇し、成形性が低下してしまう。特に、本発明のような小型の半導体パッケージの場合には、成形型において流路の高さだけでなく流路幅が狭くなるため、大型の半導体パッケージに用いるものよりも無機質材料の量が少ないものが用いられる。   And it is preferable to set content of the said crushed inorganic filler (B component) in the range of 60 to 80 weight% of the whole resin composition. Furthermore, it is preferable that the total content of the inorganic material including the specific metal hydroxide compound (component A) and the inorganic material such as carbon black is set in the range of 70 to 85% by weight of the entire resin composition. . Thus, by setting so that the whole inorganic substance may become the said range, it is excellent in the mechanical strength of resin, and fluidity | liquidity etc. become favorable. That is, if the content of the entire inorganic material is too small, there is a tendency to cause problems such as a decrease in mechanical strength and the generation of stress due to an increase in the linear expansion coefficient. This is because the tendency to do is seen. Thus, the more crushed inorganic filler (component B) is more excellent in flame retardancy and the coefficient of linear expansion becomes lower, resulting in lower stress of the molded product, for example, applying unnecessary force to the semiconductor element. Therefore, peeling at the interface between the semiconductor element and the lead frame and the sealing resin is less likely to occur. However, when there are too many inorganic materials, the viscosity of a resin composition will rise and moldability will fall. In particular, in the case of a small semiconductor package such as the present invention, not only the height of the flow path but also the flow path width is narrowed in the mold, so that the amount of inorganic material is less than that used for a large semiconductor package. Things are used.

なお、上記特定の水酸化金属化合物(A成分)および上記特定の破砕状無機質充填剤(B成分)としては、それぞれの成分中、90重量%以上となる粉末が、前述の平均粒子径の関係を有するものであればよく、残りの10重量%未満のものについては、それ以外の範囲となる平均粒子径を有するものを用いてもよい。例えば、樹脂組成物の無機質充填剤の充填率、流動性の向上を図るために、粒子間の隙間を埋めるべく、より微細な平均粒子径を備えた無機質充填剤を用いることができる。   In addition, as said specific metal hydroxide compound (A component) and said specific crushed inorganic filler (B component), the powder which becomes 90 weight% or more in each component is the relationship of the above-mentioned average particle diameter. As long as the remaining amount is less than 10% by weight, those having an average particle diameter in the other range may be used. For example, in order to improve the filling rate and fluidity of the inorganic filler of the resin composition, an inorganic filler having a finer average particle diameter can be used to fill the gaps between the particles.

上記A成分およびB成分とともに用いられるカーボンブラック(C成分)は、導電性を有し、静電気対策に利用できるのみではなく、光の透過を防止し半導体素子の光による誤動作防止にも作用を奏する。さらに、レーザー光による光を効率的に吸収し、その周囲の樹脂組成物の温度をスポット的に高める。このため、その部分の有機成分は熱によって分解し、揮発して、破砕状無機質充填剤(B成分)のみが表面に露出するようになり、光の散乱によって、文字認識が可能となる。   Carbon black (C component) used together with the above A component and B component has conductivity and can be used not only for countermeasures against static electricity, but also prevents light transmission and prevents malfunction of semiconductor elements due to light. . Furthermore, the light by a laser beam is absorbed efficiently and the temperature of the surrounding resin composition is raised in a spot manner. For this reason, the organic component of the part decomposes | disassembles with a heat | fever, volatilizes, and only a crushed inorganic filler (B component) will be exposed on the surface, and character recognition is attained by scattering of light.

マーキングに使用されるレーザー光等、光の吸収性については、上記カーボンブラック(C成分)の平均粒子径、その凝集状態が重要な因子となる。したがって、本発明において用いられるカーボンブラック(C成分)の平均粒子径は、一次粒子径で20〜30nm、また凝集状態を示す特性として、比表面積が100〜120m2 /g、DBP吸収量が90〜130cm3 /100g、pHが7〜9となるものを用いることが好ましい。上記一次粒子径、凝集状態(通常、DBP吸収量が大きいと二次凝集が進んでいる)であると、光が効果的に吸収され、レーザー光によるマーキングを効率的に行なうことが可能となる。 Regarding the light absorptivity such as laser light used for marking, the average particle diameter of the carbon black (component C) and its aggregation state are important factors. Therefore, the average particle size of the carbon black (component C) used in the present invention is 20 to 30 nm in terms of primary particle size, and the specific surface area is 100 to 120 m 2 / g and the DBP absorption is 90 as characteristics indicating the aggregation state. ~130cm 3 / 100g, it is preferable to use a pH of 7-9. When the primary particle size and the aggregated state (normally, secondary aggregation proceeds when the DBP absorption amount is large), light is effectively absorbed, and marking with laser light can be performed efficiently. .

上記カーボンブラック(C成分)の一次粒子径は、通常、一次粒子そのものが微細であり、電子顕微鏡にて観察し、算術平均して求められる。   The primary particle size of the carbon black (component C) is usually obtained by observing with an electron microscope and arithmetic averaging, since the primary particles themselves are fine.

上記比表面積は、窒素吸着量から、JIS K 6217に準じて求められるが、粒子径が小さくなると、大きな値となる特性のものであり、粒子径とは相関関係があるといえる。   The specific surface area can be determined from the nitrogen adsorption amount according to JIS K 6217. However, when the particle diameter is small, the specific surface area has a large value and can be said to have a correlation with the particle diameter.

上記DBP吸収量は、カーボンブラック100gあたりに吸収されるジブチルフタレート(DBP)の量であり、JIS K 6221に準じて求められる。すなわち、この値が大きいと、一次粒子が凝集した二次構造が発達していることを示す。   The DBP absorption amount is the amount of dibutyl phthalate (DBP) absorbed per 100 g of carbon black, and is determined according to JIS K 6221. That is, a large value indicates that a secondary structure in which primary particles are aggregated is developed.

上記pH値は、カーボンブラックの蒸留水分散液の値であるが、上記範囲内とすることにより、エポキシ樹脂とフェノールノボラック樹脂の硬化反応を阻害することなく、イオン性不純物の溶出も生起し難くなるといえる。   The pH value is the value of the carbon black distilled water dispersion. By setting the pH within the above range, elution of ionic impurities hardly occurs without inhibiting the curing reaction of the epoxy resin and the phenol novolac resin. It can be said.

上記カーボンブラック(C成分)の含有量は、樹脂組成物全体の0.3〜1.0重量%に設定することが好ましい。すなわち、この範囲に設定することにより、レーザー光が吸収されやすく、樹脂組成物の流動性も良好であるからである。   The content of the carbon black (component C) is preferably set to 0.3 to 1.0% by weight of the entire resin composition. That is, by setting within this range, the laser light is easily absorbed and the fluidity of the resin composition is good.

さらに、上記特定の水酸化金属化合物(A成分)に対するカーボンブラック(C成分)の使用割合を、1〜20重量%となるように設定することが好ましい。特に好ましくは3〜10重量%である。すなわち、上記範囲に設定することにより、吸熱と熱伝導、熱分解のバランスが良好となり、微細なマーキングが可能となるからである。   Furthermore, it is preferable to set the usage ratio of the carbon black (C component) to the specific metal hydroxide compound (A component) to be 1 to 20% by weight. Particularly preferred is 3 to 10% by weight. That is, by setting in the above range, the balance between heat absorption, heat conduction, and thermal decomposition becomes good, and fine marking becomes possible.

上記A〜C成分とともに用いられるエポキシ樹脂(D成分)としては、例えば、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂等の各種エポキシ樹脂やブロム化エポキシ樹脂等があげられる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。なかでも、成形性の点から、エポキシ当量が185〜205の範囲のものを用いることが好ましく、より好ましくは192〜199である。すなわち、エポキシ当量が下限値未満では流動性が低下し、上限値を超えると、硬化性が低下する傾向がみられるからである。さらに、樹脂の取り扱い性と成形性の観点から、軟化点が50〜80℃の範囲のものを用いることが好ましく、より好ましくは60〜75℃である。すなわち、軟化点が低過ぎると、樹脂組成物がブロック化を生起しやすく、軟化点が高過ぎると、樹脂組成物の流動性が低下する傾向がみられるからである。具体的には、上記範囲のエポキシ当量および軟化点を有するクレゾールノボラック型エポキシ樹脂を用いることが特に好ましい。   Examples of the epoxy resin (D component) used together with the A to C components include various epoxy resins such as cresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, and brominated epoxy. Examples thereof include resins. These may be used alone or in combination of two or more. Especially, it is preferable to use the thing of the range whose epoxy equivalent is 185-205 from the point of a moldability, More preferably, it is 192-199. That is, if the epoxy equivalent is less than the lower limit, the fluidity is lowered, and if it exceeds the upper limit, the curability tends to be lowered. Furthermore, it is preferable to use a resin having a softening point in the range of 50 to 80 ° C., more preferably 60 to 75 ° C., from the viewpoint of the handleability and moldability of the resin. That is, if the softening point is too low, the resin composition tends to be blocked, and if the softening point is too high, the fluidity of the resin composition tends to decrease. Specifically, it is particularly preferable to use a cresol novolac type epoxy resin having an epoxy equivalent and a softening point in the above range.

上記エポキシ樹脂(D成分)とともに用いられるフェノールノボラック樹脂(E成分)は、フェノール、ナフトール等のフェノール性水酸基を有する化合物と、アルデヒド、ケトン等を酸性雰囲気下にて反応して得られるものであり、広義的には、フェノール化合物とメトキシメチレン基等を有する芳香族化合物とを反応させることにより得られるフェノールアラルキル樹脂をも含む。   The phenol novolac resin (component E) used together with the epoxy resin (component D) is obtained by reacting a compound having a phenolic hydroxyl group such as phenol or naphthol with an aldehyde, ketone or the like in an acidic atmosphere. In a broad sense, a phenol aralkyl resin obtained by reacting a phenol compound with an aromatic compound having a methoxymethylene group or the like is also included.

本発明においては、封止対象となる半導体装置が上記寸法(x)を有する小型パッケージであるため、樹脂の架橋密度を高めることが重要であり、フェノール性水酸基当量の低いノボラック型のフェノールホルムアルデヒド樹脂が好ましく用いられる。フェノール性水酸基当量が低いものであれば、低分子のものでも3個以上のフェノール性水酸基を有するようになるため、硬化物特性を大きく低下させることなく、低分子の化合物を用いて樹脂組成物の粘度を低下させ、樹脂の流動性を確保することも可能である。   In the present invention, since the semiconductor device to be sealed is a small package having the dimension (x), it is important to increase the crosslinking density of the resin, and a novolak type phenol formaldehyde resin having a low phenolic hydroxyl group equivalent Is preferably used. If the phenolic hydroxyl group equivalent is low, even if it has a low molecular weight, it will have 3 or more phenolic hydroxyl groups, so that the resin composition can be obtained using a low molecular weight compound without greatly deteriorating the cured product properties. It is also possible to reduce the viscosity of the resin and ensure the fluidity of the resin.

上記フェノールノボラック樹脂(E成分)としては、フェノール性水酸基当量は100〜200のものを用いることが好ましく、硬化性の観点から、特に100〜150のものを用いることが好ましい。また、軟化点は、50〜110℃のものを用いることが好ましい。   As said phenol novolak resin (E component), it is preferable to use the thing of 100-200 phenolic hydroxyl equivalent, and it is preferable to use the thing of 100-150 especially from a sclerosing | hardenable viewpoint. The softening point is preferably 50 to 110 ° C.

なお、上記フェノールノボラック樹脂(E成分)としては、上記に記載の物性を備えたフェノールノボラック樹脂に限定するものではなく、必要により他のフェノールノボラック樹脂を用いることもでき、また他のフェノールノボラック樹脂を併用することもできる。   The phenol novolac resin (component E) is not limited to the phenol novolac resin having the physical properties described above, and other phenol novolac resins can be used if necessary. Can also be used together.

また、上記フェノールノボラック樹脂(E成分)の使用量は、前記エポキシ樹脂(D成分)中のエポキシ基1当量当たり、フェノールノボラック樹脂(E成分)中の水酸基当量が0.5〜2.0当量となるように配合することが好ましい。より好ましくは0.8〜1.2当量である。   Moreover, the usage-amount of the said phenol novolak resin (E component) is 0.5-2.0 equivalent in the hydroxyl equivalent in a phenol novolak resin (E component) per 1 equivalent of epoxy groups in the said epoxy resin (D component). It is preferable to mix | blend so that it may become. More preferably, it is 0.8-1.2 equivalent.

本発明の半導体封止用樹脂組成物では、上記A〜E成分に加えて、必要に応じて、硬化促進剤、シランカップリング剤、難燃剤、難燃助剤、離型剤等を適宜に用いることができる。   In the semiconductor sealing resin composition of the present invention, in addition to the components A to E, a curing accelerator, a silane coupling agent, a flame retardant, a flame retardant aid, a release agent, and the like are appropriately added as necessary. Can be used.

上記硬化促進剤としては、例えば、塩基性を示す硬化促進剤が好適に用いられる。すなわち、塩基性硬化促進剤を用いると、酸性の離型剤が塩基性硬化促進剤を保護する作用を有することから、樹脂組成物の保存安定性および樹脂の流動性向上の作用効果を奏する。   As said hardening accelerator, the hardening accelerator which shows basicity is used suitably, for example. That is, when a basic curing accelerator is used, an acidic mold release agent has an effect of protecting the basic curing accelerator, and thus has the effect of improving the storage stability of the resin composition and improving the fluidity of the resin.

このような塩基性硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール系化合物、三級アミン化合物等が好適に用いられる。具体的には、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕ウンデセン−7、1,5−ジアザビシクロ〔4.3.0〕ノネン−5等を例示することができる。さらに、その他の硬化促進剤としては、リン系のトリアリールホスフィン、テトラアリールホスフィンのホウ素系の塩等をあげることができる。これらの硬化促進剤は、単独でもしくは2種以上併せて用いられることができる。   As such a basic curing accelerator, for example, an imidazole compound, a tertiary amine compound and the like are preferably used. Specifically, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] undecene-7, 1,5-diazabicyclo [4.3.0] nonene-5. Etc. can be illustrated. In addition, examples of other curing accelerators include phosphorus triarylphosphine and tetraarylphosphine boron salt. These curing accelerators can be used alone or in combination of two or more.

上記硬化促進剤の配合量は、フェノールノボラック樹脂100重量部に対して、1〜10重量部の割合に設定することが好ましい。特に好ましくは2〜5重量部である。上記範囲に設定することにより、硬化性および保存安定性の双方に優れたものが得られるようになる。   The blending amount of the curing accelerator is preferably set to a ratio of 1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the phenol novolac resin. Particularly preferred is 2 to 5 parts by weight. By setting to the said range, the thing excellent in both sclerosis | hardenability and storage stability comes to be obtained.

上記シランカップリング剤としては、エポキシ樹脂(D成分)およびフェノールノボラック樹脂(E成分)の少なくとも一方と反応する官能基とアルコキシシラン骨格を有するものであり、例えば、γ−メルカプトプロピルトリメチルシラン、γ−アミノプロピルトリメチルシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメチルシラン等があげられる。   Examples of the silane coupling agent include a functional group that reacts with at least one of an epoxy resin (D component) and a phenol novolac resin (E component) and an alkoxysilane skeleton. For example, γ-mercaptopropyltrimethylsilane, γ -Aminopropyltrimethylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethylsilane and the like.

上記難燃剤としては、臭素系難燃剤、窒素系難燃剤、リン系難燃剤等があげられる。そして、これらは、前述の特定の水酸化金属化合物(A成分)と併用して使用することができる。   Examples of the flame retardant include bromine-based flame retardant, nitrogen-based flame retardant, and phosphorus-based flame retardant. And these can be used together with the above-mentioned specific metal hydroxide compound (A component).

上記難燃助剤としては、三酸化アンチモン等があげられ、臭素系の化合物と併用することにより優れた難燃効果を示す。   Examples of the flame retardant aid include antimony trioxide and the like, and exhibit an excellent flame retardant effect when used in combination with a bromine-based compound.

上記離型剤としては、酸化ポリエチレンワックス、酸化パラフィンワックス、モンタン酸ワックス、酸化クリスタリンワックス、カルナバワックス等を例示することができる。これらは単独でもしくは2種以上併せて用いられる。なかでも、低圧製法により得られる高密度ポリエチレンの酸化物を用いることが、分岐が少なく、離型性に優れ、適宜に分子量を幅広く設計変更することができるという点から好ましい。   Examples of the release agent include oxidized polyethylene wax, oxidized paraffin wax, montanic acid wax, oxidized crystallin wax, carnauba wax, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, it is preferable to use an oxide of high-density polyethylene obtained by a low-pressure manufacturing method from the viewpoint that there are few branches, excellent releasability, and a wide variety of molecular weights can be appropriately designed.

さらに、このような樹脂組成物を封止材料として用いた場合、イオン性の不純物による金属の腐食が生起するため、イオン交換体を添加し、イオン性不純物による金属腐食の発生を抑制することが行なわれている。このようなイオン交換体としては、無機系のハイドロタルサイト類化合物、ビスマス化合物等があげられる。   Furthermore, when such a resin composition is used as a sealing material, corrosion of the metal due to ionic impurities occurs. Therefore, an ion exchanger can be added to suppress the occurrence of metal corrosion due to ionic impurities. It is done. Examples of such ion exchangers include inorganic hydrotalcite compounds and bismuth compounds.

本発明の半導体封止用樹脂組成物は、例えば、つぎのようにして製造することができる。すなわち、前記A〜E成分および、必要に応じて、硬化促進剤,シランカップリング剤,難燃剤,難燃助剤,離型剤等の他の添加剤を所定の割合で配合する。ついで、これらをミキシングロール機等の混練機を用いて加熱状態で溶融混練して、これを冷却した後、公知の手段によって粉砕し、必要に応じてタブレット状に打錠するという一連の工程によって目的とするエポキシ樹脂組成物を製造することができる。   The resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention can be produced, for example, as follows. That is, the components A to E and, if necessary, other additives such as a curing accelerator, a silane coupling agent, a flame retardant, a flame retardant aid, and a release agent are blended in a predetermined ratio. Next, these are melted and kneaded in a heated state using a kneader such as a mixing roll machine, cooled, and then pulverized by known means, and tableted as necessary in a tablet form. The target epoxy resin composition can be produced.

このようなエポキシ樹脂組成物を用いての半導体素子の封止は、特に制限するものではなく、通常のトランスファー成形等の公知のモールド方法により行なうことができる。   The sealing of the semiconductor element using such an epoxy resin composition is not particularly limited, and can be performed by a known molding method such as ordinary transfer molding.

本発明では、半導体封止用樹脂組成物を用いての半導体素子の封止にて得られる半導体装置としては、先に述べたように、下記の寸法(x)以下の大きさの半導体装置を対象とするものである。
(x)縦2mm×横2mm×高さ1mm。
すなわち、本発明の半導体封止用樹脂組成物を、上記寸法(x)以下の大きさとなる小型の半導体パッケージの樹脂封止に用いることにより、従来の封止材料を用いてなる小型半導体パッケージでは困難であった、形成されたバリの除去が容易となり、機械強度、成形性、保存安定性および難燃性にも優れた封止樹脂部が形成されることとなる。
In the present invention, as described above, as a semiconductor device obtained by sealing a semiconductor element using a resin composition for semiconductor sealing, a semiconductor device having a size equal to or smaller than the following dimension (x) is used. It is intended.
(X) 2 mm long × 2 mm wide × 1 mm height.
That is, in a small semiconductor package using a conventional sealing material, the resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention is used for resin sealing of a small semiconductor package having a size equal to or smaller than the dimension (x). It was difficult to remove the formed burrs, and a sealing resin portion excellent in mechanical strength, moldability, storage stability and flame retardancy was formed.

得られた小型半導体パッケージに対するマーキングの際に使用されるレーザーマーキング装置としては、炭酸ガスレーザーマーカー、YAGレーザーマーカー等が汎用されている。また、レーザーのスポット径は各種あるが、周囲への熱が広がり、レーザースポット径よりも幅広く印字される。極細のものでは径1μm程度のものがあげられるが、一般的に、2μm程度のものがよく利用される。そして、パッケージサイズが小さくなるほど印字可能面積もそれに比例して小さくなることから、線幅を狭くする必要があり、上記レーザースポット径は、パッケージサイズに応じて適宜設定される。   Carbon dioxide laser markers, YAG laser markers, and the like are widely used as laser marking devices used for marking the obtained small semiconductor packages. Also, there are various laser spot diameters, but the heat to the surroundings spreads and printing is performed wider than the laser spot diameter. An extremely fine one is about 1 μm in diameter, but generally about 2 μm is often used. The smaller the package size, the smaller the printable area proportionally. Therefore, it is necessary to reduce the line width, and the laser spot diameter is appropriately set according to the package size.

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。   Next, examples will be described together with comparative examples. However, the present invention is not limited to these examples.

下記に示す各成分を準備した。   Each component shown below was prepared.

〔エポキシ樹脂〕
o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量198、軟化点55℃)
〔Epoxy resin〕
o-Cresol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent 198, softening point 55 ° C.)

〔フェノール樹脂〕
フェノールホルムアルデヒドノボラック樹脂(水酸基当量105、軟化点71℃)
[Phenolic resin]
Phenol formaldehyde novolak resin (hydroxyl equivalent 105, softening point 71 ° C)

〔無機質充填剤a〕
破砕溶融シリカ粉末(平均粒子径14μm、最大粒子径64μm)
〔無機質充填剤b〕
破砕溶融シリカ粉末(平均粒子径6μm、最大粒子径35μm)
〔無機質充填剤c〕
球状溶融シリカ粉末(平均粒子径1μm、最大粒子径6μm)
[Inorganic filler a]
Crushed fused silica powder (average particle size 14μm, maximum particle size 64μm)
[Inorganic filler b]
Crushed fused silica powder (average particle size 6μm, maximum particle size 35μm)
[Inorganic filler c]
Spherical fused silica powder (average particle size 1 μm, maximum particle size 6 μm)

〔水酸化アルミニウムa〕
平均粒子径12μm、最大粒子径80μm
〔水酸化アルミニウムb〕
平均粒子径8μm、最大粒子径60μm
〔水酸化アルミニウムc〕
平均粒子径5μm、最大粒子径45μm
〔水酸化マグネシウムa〕
平均粒子径4μm、最大粒子径40μm
〔水酸化マグネシウムb〕
平均粒子径0.8μm、最大粒子径30μm
[Aluminum hydroxide a]
Average particle size 12μm, maximum particle size 80μm
[Aluminum hydroxide b]
Average particle size 8μm, maximum particle size 60μm
[Aluminum hydroxide c]
Average particle size 5μm, maximum particle size 45μm
[Magnesium hydroxide a]
Average particle size 4μm, maximum particle size 40μm
[Magnesium hydroxide b]
Average particle size 0.8μm, maximum particle size 30μm

〔顔料〕
カーボンブラック(平均粒子径25nm、窒素吸着比表面積120m2 /g、DBP吸着量120cm3 /100g、pH8)
[Pigment]
Carbon black (average particle size 25 nm, a nitrogen adsorption specific surface area 120m 2 / g, DBP adsorption of 120cm 3 / 100g, pH8)

〔硬化促進剤〕
1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕ウンデセン−7(DBU)
[Curing accelerator]
1,8-diazabicyclo [5.4.0] undecene-7 (DBU)

〔実施例1〜7、比較例1〜4〕
上記に示した各成分を後記の表1〜表2に示す割合で配合し、80〜120℃に加熱したロール混練機にかけて5分間溶融混練を行なうことにより、無機質充填剤および水酸化金属化合物他が樹脂中に分散したエポキシ樹脂組成物を作製した。つぎに、この溶融物を冷却後、固体状になったものを粉末状に粉砕した。ついで、得られた粉末を円筒状の金型に充填し、円筒の両端から加圧することにより円柱状のタブレット状エポキシ樹脂組成物を作製した。
[Examples 1-7, Comparative Examples 1-4]
By blending the components shown above in the proportions shown in Tables 1 and 2 below and performing melt kneading for 5 minutes on a roll kneader heated to 80 to 120 ° C., inorganic fillers, metal hydroxide compounds, and the like Produced an epoxy resin composition dispersed in the resin. Next, after cooling the melt, the solid was pulverized into a powder. Next, the obtained powder was filled into a cylindrical mold and pressurized from both ends of the cylinder to prepare a columnar tablet-shaped epoxy resin composition.

このようにして得られた実施例および比較例のタブレット状エポキシ樹脂組成物を用いて、低圧トランスファー成形機を用いて、成形温度175℃,注入圧力7MPa,硬化時間120秒の条件にて、2mm×2mm×厚み0.7mmの8ピンの成形物(半導体装置)を作製した。つぎに、金型から取り外して、175℃×5時間の後硬化を行なうことにより試験片を作製した。そして、これを用いて、レーザーマーキング性について、下記の方法にしたがって測定し評価した。その結果を後記の表1〜表2に併せて示す。   Using the tablet-like epoxy resin compositions of Examples and Comparative Examples thus obtained, using a low-pressure transfer molding machine, the molding temperature was 175 ° C., the injection pressure was 7 MPa, and the curing time was 120 seconds. An 8-pin molded product (semiconductor device) having a size of × 2 mm × thickness 0.7 mm was produced. Next, it removed from the metal mold | die and the test piece was produced by performing postcure at 175 degreeC x 5 hours. And using this, about the laser marking property, it measured and evaluated in accordance with the following method. The results are also shown in Tables 1 and 2 below.

〔レーザーマーキング性〕
上記試験片表面に、レーザー印字装置(キーエンス社製、MD−V9610A)にて5μm幅の設定にて10mmの直線の印字を行なった。そして、印字表面を顕微鏡にて観察し、印字の直線性を確認し、1μm以上の線幅の凹凸が確認されたものを×、それ以外のものを○として表示した。また、上記1μm以上の線幅の凹凸が確認されたものに対して、レーザー印字幅が7μmを超えたものを×△、レーザー印字面が不明瞭であったものを××として表示した。
[Laser marking properties]
A 10 mm straight line was printed on the surface of the test piece with a laser printer (Keyence Corporation, MD-V9610A) with a width of 5 μm. Then, the printed surface was observed with a microscope, the linearity of the printed matter was confirmed, and the case where irregularities with a line width of 1 μm or more were confirmed was indicated as x, and the others were indicated as ○. Further, in contrast to the above-mentioned ones having a line width of 1 μm or more, those having a laser printing width exceeding 7 μm were indicated as “XΔ”, and those having an unclear laser printing surface were indicated as “X”.

Figure 2009275110
Figure 2009275110

Figure 2009275110
Figure 2009275110

上記結果から、無機質充填剤と水酸化金属化合物との平均粒子径の相関関係が前記範囲内となる実施例品は、レーザーマーキング性に関して良好な結果が得られた。   From the above results, good results were obtained with respect to the laser marking properties of the example products in which the correlation between the average particle diameters of the inorganic filler and the metal hydroxide compound was within the above range.

これに対して、無機質充填剤と水酸化アルミニウムとの平均粒子径の相関関係が前記範囲を外れる比較例1〜2品、特定範囲の平均粒子径を外れた平均粒子径を有する水酸化マグネシウムを配合した比較例3品、さらに、水酸化金属化合物を配合しなかった比較例4品は、レーザーマーキング性に劣る結果となった。   On the other hand, the correlation between the average particle diameter of the inorganic filler and aluminum hydroxide is a product of Comparative Examples 1 and 2 in which the correlation is outside the above range, and magnesium hydroxide having an average particle diameter outside the specific range of the average particle diameter. The comparative example 3 product which mix | blended and also the comparative example 4 product which did not mix | blend the metal hydroxide compound resulted in inferior laser marking property.

Claims (5)

下記の寸法(x)以下の大きさの半導体装置の封止材料として用いられる半導体封止用樹脂組成物であって、下記の(C)〜(E)成分を含有するとともに、さらに下記の(A)成分および(B)成分を含有することを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。
(x)縦2mm×横2mm×高さ1mm。
(A)平均粒子径(α)が1〜30μmである水酸化金属化合物。
(B)上記(A)成分を除く、平均粒子径が0.7α〜1.3αμmの範囲内である破砕状無機質充填剤〔ただし、αは(A)成分である水酸化金属化合物の平均粒子径を示す〕。
(C)カーボンブラック。
(D)エポキシ樹脂。
(E)フェノールノボラック樹脂。
A resin composition for encapsulating a semiconductor used as an encapsulating material for a semiconductor device having a size of the following dimension (x) or less, containing the following components (C) to (E), and further comprising the following ( A resin composition for encapsulating a semiconductor comprising the component (A) and the component (B).
(X) 2 mm long × 2 mm wide × 1 mm height.
(A) A metal hydroxide compound having an average particle diameter (α) of 1 to 30 μm.
(B) Crushed inorganic filler having an average particle diameter in the range of 0.7α to 1.3α μm excluding the component (A) [where α is the average particle of the metal hydroxide compound as the component (A) Shows the diameter].
(C) Carbon black.
(D) Epoxy resin.
(E) Phenol novolac resin.
上記(A)水酸化金属化合物が、水酸化アルミニウムである請求項1記載の半導体封止用樹脂組成物。   The resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the metal hydroxide compound (A) is aluminum hydroxide. 上記(B)破砕状無機質充填剤が、溶融破砕シリカである請求項1または2記載の半導体封止用樹脂組成物。   The resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1 or 2, wherein the (B) crushed inorganic filler is fused crushed silica. 上記(A)水酸化金属化合物に対する(C)カーボンブラックの使用割合が、1〜20重量%である請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体封止用樹脂組成物。   The resin composition for semiconductor encapsulation according to any one of claims 1 to 3, wherein a ratio of (C) carbon black to (A) metal hydroxide compound is 1 to 20% by weight. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体封止用樹脂組成物を用いて、半導体素子を封止してなる、下記の寸法(x)以下の大きさの半導体装置。
(x)縦2mm×横2mm×高さ1mm。
The semiconductor device of the magnitude | size below the following dimension (x) formed by sealing a semiconductor element using the resin composition for semiconductor sealing as described in any one of Claims 1-4.
(X) 2 mm long × 2 mm wide × 1 mm height.
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