JP2009273145A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電振動子50は、パッケージ60の内部に圧電振動片52が収納してある。パッケージ60を構成しているベース部62は、底部が1枚のベースシート66からなっていて、ベースシート66とフレーム材68とを積層して箱状に形成してある。ベース部62は、真空封止用の封止孔74が底部に設けてある。封止孔74は、フレーム材68の内縁部と対応した位置に形成してあって、開口部の一部がフレーム材68によって塞がれている。フレーム材68の封止孔74の開口部を塞いでいる部分は、封止用金属ボール82の受部の役割をなし、封止孔74内に配置された金属ボール82が、キャビティ70内に落下するのを防止している。
【選択図】 図1
Description
また、本発明は、真空封止の際に生ずる周波数変動をなくすことを目的としている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電デバイスである圧電振動子の説明図であって、(1)はリッドを除いた平面図、(2)は(1)のA−A線に沿った断面図、(3)は底面図である。
Claims (14)
- 圧電振動片を収容したパッケージの底部に設けられた封止孔を、封止材を溶融して封止した圧電デバイスであって、
前記パッケージは、底部を形成する平板状の第1のセラミックシートと、前記第1のセラミックシートに積層され内部にキャビティを有する第2のセラミックシートと、を含み、
前記封止孔は、前記第2のセラミックシートの内縁部と対応した位置において前記第1のセラミックシートを貫通して形成され、該封止孔の開口部の一部が前記第2のセラミックシートによって塞がれている、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1のセラミックシートの前記封止孔の開口部の縁および前記封止孔の壁面に金属膜が形成されている、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1または2に記載の圧電デバイスにおいて、
前記圧電振動片がATカット水晶板であることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1または2に記載の圧電デバイスにおいて、
前記圧電振動片が音叉型圧電振動片であることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止材が金属ボールであることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記フレーム材における前記封止孔の開口部の一部を塞いでいる部分は、封止孔内に配置した前記封止材の受けとなっていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、開口の約半分が前記第2のセラミックシートによって塞がれる位置に形成してあることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、前記第2のセラミックシートの短辺側に対応して形成してあることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、前記第2のセラミックシートの長辺側に対応して形成してあることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、前記第2のセラミックシートの隅部と対応した位置に形成してあることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項10に記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、前記第1のセラミックシートの外面に形成されたグランド用の外部電極と対応した位置に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし11のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1のセラミックシートは、外面の四隅部のそれぞれに基板実装用の外部電極が設けられ、
前記圧電振動片は、隣接する一対の前記外部電極に電気的に接続され、
前記封止孔は、他の一対の前記外部電極側に設けてある、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 貫通孔を有した平板状の第1のセラミックシートに第2のセラミックシートをその内縁部が前記貫通孔の開口部に対応した位置になるように積層させて、前記開口部の一部が前記第2のセラミックシートに塞がれた封止孔を形成する工程と、
封止材を溶融して前記封止孔を封止する工程と、
を含むことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 請求項13の圧電デバイスの製造方法であって、
前記第1のセラミックシートの一方の面に、前記封止孔をペースト状の金属膜で覆う工程と、
前記一方の面の反対側の他方の面から、前記封止孔を吸引し、前記金属膜を破いて前記封止孔の壁面に密着させる工程と、
を含むことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
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JP2009185791A JP4844659B2 (ja) | 2009-08-10 | 2009-08-10 | 圧電デバイス |
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JP2009273145A true JP2009273145A (ja) | 2009-11-19 |
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JP (1) | JP4844659B2 (ja) |
Cited By (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000106515A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Kyocera Corp | 圧電振動子用容器ならびに圧電振動子およびその製造方法 |
JP2003110038A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Kyocera Corp | 電子部品収納用容器 |
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