JP4389925B2 - 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、真空封止の際の生ずる周波数変動をなくすことを目的としている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電デバイスである圧電振動子の説明図であって、(1)はリッドを除いた平面図、(2)は(1)のA−A線に沿った断面図、(3)は底面図である。
Claims (2)
- 貫通孔を有する平板状の第1のセラミックシートに圧電振動片を収容するキャビティを形成する枠状の第2のセラミックシートをその内縁部の一部が前記貫通孔の開口部に平面視で重なるように積層させて、前記開口部の一部が前記第2のセラミックシートに塞がれた封止孔を形成する工程を含む圧電デバイスの製造方法であって、
前記封止孔は、封止材を溶融して封止される孔であり、
前記圧電デバイスの製造方法は、
前記第1のセラミックシートの一方の面において、前記封止孔をペースト状の金属膜で覆う工程と、
前記一方の面の反対側の他方の面から、前記封止孔を吸引し、前記金属膜を破いて前記封止孔の壁面に密着させる工程と、
を含むことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 貫通孔を有する平板状の第1のセラミックシートにキャビティを形成する枠状の第2のセラミックシートをその内縁部の一部が前記貫通孔の開口部に平面視で重なるように積層させて、前記開口部の一部が前記第2のセラミックシートに塞がれた封止孔を形成する工程を含むベースの製造方法であって、
前記封止孔は、封止材を溶融して封止される孔であり、
前記ベースの製造方法は、
前記第1のセラミックシートの一方の面において、前記封止孔をペースト状の金属膜で覆う工程と、
前記一方の面の反対側の他方の面から、前記封止孔を吸引し、前記金属膜を破いて前記封止孔の壁面に密着させる工程と、
を含むことを特徴とするベースの製造方法。
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