JP2009272384A - 照射方法、配線基板の製造方法及び製造装置 - Google Patents

照射方法、配線基板の製造方法及び製造装置 Download PDF

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Abstract

【課題】透明支持板の両面に接着した配線基板を、作業時間を低減し、紫外線の供給を改善して、側面からの紫外線照射により剥離させる。
【解決手段】配線基板の製造工程における、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるための紫外線の照射方法であって、紫外線の照射前に、配線基板が接着された複数の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持し、その支持板保持治具を各透明支持板の側面が対向するような照射位置に配置し、支持板保持治具に保持された各透明支持板に対して紫外線を照射し、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から排出する。
【選択図】図1

Description

本発明は、支持板の両面に配線をビルドアップする配線基板の製造方法及び製造装置に関し、特に、ビルドアップした当該配線基板を支持板から紫外線照射により剥離させる場合の紫外線の照射方法を含む製造方法及び製造装置に関する。
従来より、ビルドアップ配線基板の製造方法として、金属製の支持板の表面にろう材の層を設けてからその上に配線構造をビルドアップし、その後にろう材の層を加熱して溶融させることで、ビルドアップ配線基板を支持板から剥離させる方法が知られている。しかし、そのような配線基板は、支持板と配線基板との膨張率には相違があることから、剥離させる際にろう材の層に加えられる熱により反りが発生する場合があった。このような配線基板の反りを抑制するために、ろう材の層に融点が配線基板の劣化許容範囲以下である低融点金属を用いて、剥離させる際には、そのろう材の層(低融点金属)を溶融させることができる温度を加えることで、配線基板の劣化を抑制しながら支持板から剥離させる方法が紹介されている(例えば、特許文献1参照)。
また、熱による反りの解決法としては、支持板の厚みを増加させる方法が知られている。例えば、支持板の厚みを増加させるために、2枚の金属製支持板を貼り合わせてからその両面に配線構造をビルドアップした後、金属製支持板を分離してからエッチングにより除去することで配線基板を製造する。この方法では、支持板の厚みが2倍になり、両面に配線構造を形成することで反りの応力が相殺するので、反りについては防止でき、さらに支持板の両面に同時に配線基板を製造するので製造効率を高められる(例えば、特許文献2参照)。
あるいは、上記した特許文献1の配線基板の熱による反りを抑制するために、接着部に紫外線剥離型の接着剤を用いる方法が知られている。その方法では、紫外線を透過する透明支持板の一面に紫外線剥離型の接着剤を塗布してから配線基板を形成した後に、その透明支持板の他面側から紫外線を照射して配線基板を剥離させる。さらに紫外線剥離型の接着剤を用いて、透明支持板の両面に配線基板を形成して、透明支持板の側面から紫外線を照射することで剥離させる方法も紹介されている(例えば、特許文献3参照)。
特開2004−172293号公報 特開2005−005742号公報 特開2007−150171号公報
しかしながら、特許文献1の方法においては、熱を加えることから、熱による影響(膨張率の相違による反り)を無くすことはできなかった。特許文献2の方法では、金属製支持板をエッチングで除去する時間が長く必要であった。特許文献3の方法では、紫外線を用いることから熱による影響を無くすことができ、支持板の除去にエッチング用の時間は必要ないが、透明支持板の両面に配線基板を形成して側面から紫外線を照射する場合には、全接着面の剥離に必要な紫外線を供給することが困難な場合があった。
特許文献3の方法で紫外線の供給が困難な場合とは、例えば、透明支持板が薄く、接着された面積が広い場合に、側面からの照射光束を透明支持板の側面の薄さに合わせて、例えばシリンドリカルレンズ等を用いて光束を基板の厚み方向に絞り込んで入射させるような場合である。その場合、透明支持板の中に入った光束は絞り込んだ焦点の先で広がりながら進行する。光束は透明支持板中を直進する場合も透過率に従って減衰するのが、広がりながら進行する場合にはさらに減衰する。透明支持板の中の光束は、紫外線剥離型の接着剤層を通過し、配線基板の表面(例えば金属膜層)に当たって反射することでさらに減衰し、光束の到達距離を減少させる。このように、紫外線の透過効率が悪く、全ての接着面に紫外線が十分に供給できない場合があり、その場合には、接着面を剥離できない部分が残る場合、又は、接着面の剥離に長時間が必要な場合があった。
そこで本発明は、上記の課題を解決するために、透明支持板の両面に接着した配線基板上に配線パターンを形成した後に側面から紫外線を照射して配線基板を剥離させる場合に、作業時間を低減でき、接着面への紫外線の供給を改善できる配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に係る照射方法は、配線基板の製造工程において、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるために、透明支持板を介して紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する照射方法であって、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持工程と、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させる搬入工程と、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射工程と、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から排除する搬出工程とを有する。請求項1の本発明によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、紫外線照射の作業時間を低減させることができる。
好ましくは、請求項2に係る本発明のように、照射工程には、所定の照射時間を計時する計時工程を含むようにしてもよい。本実施態様では、照射時間を計時することで配線基板の剥離に必要な紫外線照射を十分に無駄なく実施できる。
好ましくは、請求項3に係る本発明のように、支持板保持工程では、支持板保持治具に各透明支持板を積層方向に並べて保持するようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板を積層方向に並べて保持治具に保持することで、効率よく透明支持板の側面に紫外線を照射することができる。
好ましくは、請求項4に係る本発明のように、各透明支持板、の前記配線基板が接着される面は、長辺と短辺とを有する矩形の表面を有し、支持板保持工程では、支持板保持治具に、各透明支持板の長辺が紫外線照射部の照射位置に位置付けられる様に、各透明支持板を並べて保持するようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の長辺側側面から紫外線を入射させることで、短辺から入射させるよりも多くの紫外線を入射させることができる。
好ましくは、請求項5に係る本発明のように、照射工程では、各透明支持板の長辺側の一側面に紫外線が照射されるようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の長辺側側面から紫外線を入射させることで、短辺から入射させるよりも多くの紫外線を入射させることができることに加え、紫外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力にすることができる。
好ましくは、請求項6に係る本発明のように、照射工程では、各透明支持板の2辺以上の側面に紫外線が照射されるようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の2辺以上の側面から紫外線を照射することで、外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力にすることができ、紫外線の照射ムラ、剥離残り等を減少させることができる。
好ましくは、請求項7に係る本発明のように、照射工程では、支持板保持治具に保持された各透明支持板に1枚ずつ個別に紫外線を照射するようにしてもよい。本実施態様では、複数枚の透明支持板に1枚ずつ紫外線を照射することで、各透明支持板に同様に紫外線を照射でき、照射出力を必要最小限にすることができる。
好ましくは、請求項8に係る本発明のように、搬出工程と、次の前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具の搬入工程の少なくとも一部が重複して同時に実施されるようにしてもよい。本実施態様では、前の支持板保持治具の搬出工程と、次の支持板保持治具の搬入を同時に実施することで、照射工程の作業効率を向上させることができる。
また、上記課題を解決するために、本発明の請求項9に係る配線基板の製造方法は、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布工程と、透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着工程と、配線基板の非接着面上に配線パターンを形成する形成工程と、透明支持板の側面から紫外線を紫外線剥離型の接着剤に照射することにより配線基板を透明支持板から剥離させる剥離工程とを有し、剥離工程に請求項1〜8の何れか1項に記載の照射方法を含むことを特徴とする。請求項11の本発明によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減できる。
好ましくは、請求項10に係る本発明のように、形成工程中又はその前後の工程において、各透明支持板における紫外線が照射されない少なくとも一つの側面に、紫外線を反射する反射層を設ける工程を有するようにしてもよい。本実施態様では、各透明支持板の紫外線が入射しない側面に反射層を設置することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができる。
好ましくは、請求項11に係る本発明のように、形成工程中又はその前後の工程において、各透明支持板に接着される配線基板の接着面に、紫外線に対して高反射効率である金属層を形成する工程を有するようにしてもよい。本実施態様では、各配線基板の接着面に金属層を設けることで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させ、照射光源出力を低減させることができる。
また、上記課題を解決するために、本発明の請求項12に係る配線基板の製造装置は、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布部と、透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着部と、配線基板の基材上に配線パターンを形成する形成部と、紫外線を照射する光源を有し、該光源からの光を透明支持板の側面から紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射することにより配線基板を透明支持板から剥離させる剥離部とを備え、剥離部は、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持具装着部と、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射部と、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させると共に、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から搬出する搬送部とを有する。請求項16の本発明によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減できる。
好ましくは、請求項13に係る本発明のように、配線基板の接着面には、銅板面が設けられ、形成部において、該銅板面を紫外線に対する反射効率を高めるために研磨する研磨部を有するようにしてもよい。本実施態様では、各配線基板の接着面に研磨された銅板面が設けられるので、紫外線が高率で反射され、照射工程の作業効率を向上させ、照射光源出力を低減させることができる。
好ましくは、請求項14に係る本発明のように、配線基板の接着面における研磨された銅板面上に、紫外線に対して高反射効率であるアルミニウム又は銀の金属層を設ける反射膜形成部を有するようにしてもよい。本実施態様では、各配線基板の接着面に設けられた研磨された銅板面上に、さらにアルミニウム又は銀の金属層が貼り付けまたは蒸着により設けられるので、紫外線はさらに高率で反射され、照射工程の作業効率もさらに向上し、照射光源出力をいっそう低減させることができる。
好ましくは、請求項15に係る本発明のように、紫外線の光源は、高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置であるようにしてもよい。本実施態様では、光源を高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置とすることで、紫外線の発生量及び発生効率を向上させることができる。
本発明の照射方法、配線基板の製造方法及び製造装置によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減させることができる。
以下、本発明の照射方法、配線基板の製造方法及び製造装置の実施の形態について、以下に図面を用いながら詳細に説明する。
<第1実施形態>
図1(a)は、本発明の第1実施形態の配線基板の製造工程における概略の構成及び製造順序を示す図である。図1(b)は、図1(a)の照射工程53における紫外線光源及び計時部を示す図である。図1(a)の製造工程において、貫通孔形成工程1では、配線基板の基材を貫通して両面の銅板層を導通させると共に当該基材に配線パターンを形成する場合の基準位置になる貫通孔(スルーホール又は層間ビア)を例えば3か所以上形成する。このように配線基板の配線パターンを形成する前に、配線基板の層間を接続する貫通孔を3か所以上形成しておき、その貫通孔の位置に基づき配線パターンのマスクを介して露光させて配線パターンを形成することにより、積層型の多層基板を形成することができる。
尚、本実施形態の各透明支持板に接着される配線基板の接着面には、紫外線を反射できる金属層(銅板層)が形成されている。従って、各配線基板の接着面に金属層が設けられることで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させ、照射光源出力を低減させることができる。銅板面研磨工程2では、配線基板の基材における後工程で接着材が塗布される側の銅板層を可能な限り滑らかにして紫外線の反射効率を高めるように鏡面研磨する。この配線基板の接着面に設けられた銅板面を紫外線に対する反射効率を高めるために研磨することにより、紫外線が高率で反射され、照射工程の作業効率をより向上させ、照射光源出力もより低減させることができる。
反射膜形成工程3では、鏡面研磨された銅板層の表面に、銅の表面に対して紫外線の反射効率が高いアルミニウム又は銀の反射膜を、蒸着又は金属箔の貼り付けにより形成する。この配線基板の接着面における研磨された銅板面上にアルミニウム又は銀の金属層を設ける反射膜形成工程を形成することにより、各研磨された銅板面上に、さらにアルミニウム又は銀の金属層が貼り付けまたは蒸着により設けられるので、紫外線はさらに高率で反射され、照射工程の作業効率もさらに向上し、照射光源出力をいっそう低減させることができる。接着剤塗布工程4では、配線基板の基材を支持する透明支持板の両面に後述する紫外線剥離型の接着剤を塗布する。基材接着工程5では、接着剤が塗布された透明支持板の両面に、配線基板の基材における反射膜が形成された面を対向させて接着する。
配線パターン形成工程6では、配線基板の基材における接着されない表面上に配線パターンを形成する。基材の表面上には、必要に応じて多層の配線パターンが形成される。貫通孔形成工程41では、例えば、アディティブ法により配線パターンを形成したくない部分にレジストを形成してメッキ等により貫通孔用の突起部又は配線パターンを形成する。さらに、貫通孔形成工程41では、必要に応じて、多層を貫通して各層の配線パターンを導通させる貫通孔を形成する。露光工程42では、例えば、表面に塗布された感光性のフォトレジストに対して、配線パターンに基づいてマスキングした状態で露光する。これにより、基材表面の銅板層上のフォトレジスト層は、配線パターンに該当する部分のみの保護機能が有効になり、他の部分はエッチングに対して保護されなくなる。保護膜形成工程43では、例えば、貫通孔(スルーホール)等の通常の配線パターン以外の配線要素部に対するレジスト膜を塗布等により形成する。エッチング工程44では、フォトレジスト層及び/又はレジスト膜等が形成された基材表面の銅板層をエッチングする。これにより、基材表面上には配線パターンが形成される。エッチング終了後、必要に応じて基材表面のフォトレジスト層及び/又はレジスト膜等は除去される。
ビルドアップ型の多層配線基板用に基材の表面上に多層の配線パターン及び絶縁層を形成する場合は、上記のように形成された配線パターンの所定箇所に貫通孔用の導体を立設し、その後に、配線パターンの表面上に絶縁層を形成し、さらにその上に次の層の配線パターンを形成する。この場合の配線パターンは、例えば、配線パターンを形成したくない部分にレジストを形成してメッキ等により配線パターンを形成するアディティブ法により形成してもよい。新たな層(上層)に形成された配線パターンは、貫通孔用の導体により下層の配線パターンと導通する。3層以上の多層基板では、上記の絶縁層と配線パターンの形成工程が繰り返される。
基板分割工程7では、個別の同様な配線パターンが形成された配線基板を多数取りした集合基板を、個別の配線パターンを有する配線基板に分割する。これは、基板のパターン形成段階においては、パターン形成の効率を高めるために集合基板の状態で配線パターンを形成しておき、基板を透明支持板から剥離する段階では、各個別の配線基板の状態で剥離させるため、個別の配線基板に分割するものである。反射層形成工程8では、両面に配線基板の基材が接着された透明支持板の側面の内、後段で紫外線が照射されない側面に対して、紫外線の反射効率が高いアルミニウム又は銀の反射膜を、蒸着又は金属箔の貼り付けにより形成する。これにより、各透明支持板における紫外線が照射されない少なくとも一つの側面に、紫外線を反射する反射層を設けることにより、各透明支持板の紫外線が入射しない側面に反射層を設置することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができる。
基板剥離工程9では、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された各配線基板を剥離させるために、透明支持板の側面を介して紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する。支持板保持部装着工程51では、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する。
搬入工程52では、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、その紫外線照射部からの照射位置に各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を手作業、ロボット、又はコンベア等の搬送装置を用いて搬入させる。より詳しくは、配線基板が接着された複数の透明支持板を、積層方向の同じ向きに並ぶようにして、図2に示す支持板保持治具に設置する。これにより、各透明支持板の同じ側面が同じ方向に向く。
照射工程53では、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板の少なくとも同じ一側面に対して、紫外線光源61から出射した紫外線を照射する。紫外線光源61は、一般的な光源と比較して可視光よりも紫外線を多く出力する光源であり、例えば、高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置である。これにより本実施形態の光源は、紫外線の発生量及び発生効率を向上させることができる。各透明支持板内に入射した紫外線は、各透明支持板の両面の紫外線剥離型の接着剤に到達し、接着した各配線基板を剥離させる。計時部62は、紫外線剥離型の接着剤を剥離させるに十分な所定の照射時間を計時する。この照射時間を計時することで、配線基板の剥離に必要な紫外線照射を十分に無駄なく実施できる。
搬出工程54では、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から手作業、ロボット、又はコンベア等の搬送装置を用いて排除する。
制御部20は、例えば、パーソナルコンピュータ又はワークステーション等のマイクロプロセッサと各種メモリ及び各種インターフェース等の複合体であり、透明支持板上への配線基板の基材の接着、各配線基板への配線パターンの形成、反射層の形成、基板の剥離等の上記した各製造工程の動作を全て制御する。
本実施形態では、支持板保持部装着工程51で複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、紫外線照射の作業時間を低減させることができる。
図2(a)、(b)は、図1の基板剥離工程9で使用される支持板保持治具の一例の概略構成を示す図であり、図2(a)が支持板保持治具の単体での状態を示し、(b)が両面に配線基板が接着された複数の透明支持板を積層方向に並べて保持した状態の支持板保持治具を示す。
支持板保持治具71は、複数の透明支持板を安定して保持するための平坦な基台部を有し、両面に配線基板が接着された複数の透明支持板複合体81(81a〜81e)を横並びの積層方向に並べて保持する。把持部72(72a〜72f)は、例えば、細長いブロック形状であり、基台部上に隙間73(73a〜73e)を空けて平行設置される。隙間73は、両面に配線基板が接着された透明支持板の厚み寸法と同様の幅寸法を有する隙間である。両面に配線基板が接着された透明支持板複合体81は、隣り合う把持部72との隙間73(73a〜73e)に各々立てて保持される。本実施形態では、透明支持板複合体81は、横方向の寸法L1に対して、縦方向の寸法L2の方が長い矩形であり、縦方向の寸法L2が高さ方向になるように立設される。尚、図2では、複数の透明支持板を各々基台部上に立設して横並びの積層方向に配置しているが、保持具の形状を変更することにより縦に並ぶ積層方向に配置してもよい。
このように支持板保持治具に複数の透明支持板を保持させることにより、照射工程において、支持板保持治具に保持された各透明支持板に同時に紫外線を照射することができる。この複数枚の透明支持板に同時に紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができる。
図3は、図2の両面に配線基板が接着された複数の透明支持板複合体81の一例の概略構成を示す図である。透明支持板91は、紫外線が透過可能な材料であれば、石英ガラス又はケイ酸ガラス等のガラス材料、セラミックス材料、アクリル等の硬質な樹脂材料等を用いることができる。透明支持板91の寸法は、用途と材料強度にもよるが、例えば、厚みを5mm〜10mmとして、矩形の1辺の長さを100mm〜1000mmの中から選択してもよい。尚、上記したように本実施形態では、透明支持板複合体81の横方向の寸法L1よりも縦方向の寸法L2が長く設定される。また、一般的なビルドアップ配線基板のコア基板と比較した場合、コア基板は厚みが0.2〜2.0mmであるので、それよりも厚くすることが好ましい。
接着剤層92(92a,92b)は、透明支持板91の両面に塗布された紫外線剥離型の接着剤の層である。紫外線剥離型の接着剤は、紫外線の照射により接着力が消失するか大きく低下するものであり、例えば、主成分がアクリル樹脂であるものが、FPC(フレキシブル基板)用のキャリアテープ等に実用化されている。より詳しくは、紫外線剥離型の接着剤は、例えば、アクリル樹脂系粘着剤(アクリル系粘着ポリマー)、紫外線架橋系化合物(紫外線硬化型オリゴマー)、重合開始剤(光開始剤)等を含有させた接着性樹脂材料のペーストが知られている。この接着性樹脂材料のペーストを用いる場合には、透明支持板91の表面に塗布して乾燥させるか、接着性樹脂材料のペーストフィルムを透明支持板91の表面に粘着する。
アクリル樹脂系粘着剤は、例えば、アクリル酸2−エチルヘキシル及びアクリル酸等であり、粘着性を付与するために低ガラス転移点を有するモノマー(例えば、アクリル酸エステルモノマー)と、凝集性付与するための高ガラス転移点を有して固い重合体を形成することが可能なモノマーと、架橋性や接着性を改良するためのカルボン酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロキシル基等の官能基を有するモノマーとを含有する。また、粘着剤としては、紫外線を透過する基材シートに塗設した接着シートの形態で用いることができる。その場合の基材シートとしては、例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル/塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボネート、アセチルセルロース等からなる樹脂シートが使用できる。
紫外線架橋系化合物は、例えば、ウレタンアクリレートオリゴマー等であり、又は、特定波長域の紫外線の照射により架橋するオリゴマー(例えば、オリゴエステルアクリレート)や、1.6−ヘキサンジオールアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多価アルコールとアクリル酸とのアクリル酸エステルモノマー、又は、1.6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多価アルコールとメタクリル酸とのメタクリル酸エステルモノマー、又は、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート等である。
重合開始剤は、例えば、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等であり、又は、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類、ベンゾイン、ベンジル、ベンゾフェノン等の芳香族オキシケトン類や芳香族ケトン類、ベンジルジメチルケタール、ポリビニルベンゾフェノン等である。
配線基板側反射膜層93(93a、93b)は、例えば、アルミニウム又は銀の蒸着層、又は接着される薄膜層であり、配線基板の銅板層94(94a、94b)の上に形成される。銅板層94(94a、94b)は、例えば、配線基板の基材95(95a、95b)の上に形成される銅箔の層であり、本実施形態の接着面側の銅板層94は、可能な限り滑らかになるように鏡面研磨される。その結果、この銅板層94の上に形成される配線基板側反射膜層93の平坦度も改善され、紫外線の反射率を向上させることができる。
配線基板の基材95(95a、95b)は、例えば、ビルドアップ配線基板のコア基板と同様に、ガラスクロスにエポキシ樹脂又はビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた絶縁シートの両面に銅箔を貼着させてから樹脂を熱硬化させた厚みが0.2〜2.0mm程度の両面銅張り板であってよい。この両面銅張り板は、さらにスルーホール用の穿孔を実施し、その穿孔にメッキ膜を被着してから樹脂充填して用いることが好ましい。配線パターン層96(96a、96b)も、例えば、ビルドアップ配線基板と同様に、10〜100μm程度の樹脂からなる絶縁層とメッキ膜からなる配線パターンの導体層とを交互に積層するものであってよい。絶縁層は、例えば、まずエポキシ樹脂又はビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂に無機絶縁性フィラーを分散させた樹脂フィルムを貼着する。次にその樹脂フィルム中の熱硬化性樹脂を熱硬化させることで絶縁層を形成する。
貫通孔97は、絶縁層に設けられるスルーホール又は層間ビアであり、例えば、レーザ加工等により絶縁層に穿孔を設け、そこにセミアディティブ法等によりメッキ膜を設けて絶縁層の上下を導通させる。側面反射膜層98は、透明支持板複合体81の側面に形成される反射膜であり、例えば、アルミニウム又は銀の蒸着層、又は接着される薄膜層である。紫外線照射側面99は、透明支持板複合体81の各側面のうち、紫外線の光源と対向する側面である。従って、この面には側面反射膜層98が形成されない。
図4は、図2(b)の状態の支持板保持治具を積層方向の側面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。本実施形態の各透明支持板91は、長辺と短辺とを有する矩形の表面を有している。また、支持板保持治具71には、各透明支持板91の長辺が紫外線照射部(紫外線光源102及びシリンドリカルレンズ101)の照射方向に対向するように、各透明支持板91が並べて保持される。さらに、本実施形態の透明支持板複合体81等には、紫外線の入射しない3方の側面に側面反射膜層98が形成されている。
透明支持板複合体81は、横方向の寸法L1に対して、縦方向の寸法L2の方が長い矩形であり、縦方向の寸法L2が高さ方向になるように支持板保持治具71上に立設されている。透明支持板複合体81の紫外線照射側面99には、紫外線光源102から出射された紫外線が、シリンドリカルレンズ101を介して入射する。この場合、縦方向の寸法L2よりも横方向の寸法L1は短いので、紫外線の減衰量は、縦横を逆にした場合よりも少なくなる。従って、その他が同じ条件であれば、照射工程で各透明支持板91の長辺側の一側面から紫外線を入射させることで、短辺から入射させるよりも多くの紫外線を入射させることができることに加え、紫外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力に減少させることができる。
図5は、図2(b)の状態の支持板保持治具を上面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。図5では、各透明支持板複合体81a〜81eに対して、紫外線光源102から出射された紫外線を一括して照射している。このように複数の透明支持板複合体81に対して一括して紫外線を照射することにより、各透明支持板複合体81a〜81eに対して個別に紫外線を照射する場合と比較して配線基板の剥離時間を短縮させることができる。又、図5では、レンズ103を各透明支持板複合体81a〜81eに対して一括して紫外線を照射できる集光レンズとして示したが、例えば、各透明支持板複合体81a〜81eの側面に個別に集光できるシリンドリカルレンズを複数個横に並べて構成してもよい。
図6は、本実施形態の配線基板の製造方法の一例を示すフローチャートである。以下に、図1〜図5を参照しつつ配線基板の製造方法を説明する。まず、貫通孔形成工程1では、配線基板の基材95を貫通して両面の銅板層94及び配線パターン層96におけるパターン形成前の銅板層を導通させると共に、基材95に配線パターンを形成する場合の基準位置になる貫通孔97を形成する。銅板面研磨工程2では、基材95における銅板層94を鏡面研磨する。反射膜形成工程3では、鏡面研磨された銅板層94の表面にアルミニウム又は銀の反射膜層93を、蒸着又は金属箔の貼り付けにより形成する(S1)。接着剤塗布工程4は、基材95を支持する透明支持板91の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布して接着剤層92を設ける(S2)。基材接着工程5では、接着剤が塗布された透明支持板91の両面に、基材95における反射膜層93が形成された面を対向させて接着する(S3)。
配線パターン形成工程6では、基材95における接着されない表面(96側)上に配線パターンを形成する。基材95の表面(96側)上には、必要に応じて多層の配線パターンが形成される。貫通孔形成工程41は、例えば、多層を貫通して各層の配線パターンを導通させる貫通孔(不図示)を形成する。露光工程42は、例えば、表面(96側)に塗布された感光性のフォトレジストに対して、配線パターンに基づいてマスキングした状態で露光する(S4)。保護膜形成工程43は、例えば、貫通孔97等の通常の配線パターン以外の配線要素部に対するレジスト膜を形成する(S5)。エッチング工程44は、レジストが形成された基材95の表面(96側)の銅板層をエッチングする。これにより、基材95の表面(96側)上には配線パターン層96が形成される(S6)。エッチング終了後、必要に応じて基材95表面(96側)のフォトレジスト層及び/又はレジスト膜等は除去される。
基板上の配線層が一層である場合には、上記で配線の形成を終了することができるが、配線層が多層である場合には、ここで配線の形成が終了したか否かを判断する(S7)。配線の形成を終了する場合(S7:YES)には、次のステップS8に進むが、次の配線の形成する場合(S7:NO)には、ステップS4に戻って配線パターンを形成する。
次のステップ8は、1枚の基材の表面に、1枚の配線基板の配線パターンを形成する場合には必要ないが、同じ配線パターンを複数形成した集合基板を製作して、配線基板を多面取りする場合には、各基板を分割する必要がある。そこで基板分割工程7では、個別の同様な配線パターンが形成された配線基板を多数取りした集合基板を、個別の配線パターンを有する配線基板に分割する(S8)。このようにして透明支持板91の両面に接着された配線基板を有する透明支持板複合体81が形成される。
次に反射層形成工程8では、透明支持板複合体81の側面の内、後段で紫外線が照射されない側面に対して、紫外線の反射効率が高いアルミニウム又は銀の反射ミラーを配置する。(S9)。尚、基板分割工程7は、集合基板の状態で後段の基板剥離が可能であれば、最終工程に移動させて、剥離した配線基板(集合配線基板)を分割するようにしてもよい。このように配線基板を、複数組の配線パターンが1枚の配線基板の表面上に形成された集合配線基板とした場合、接着工程では、その集合配線基板の基材を対応する透明支持板と接着し、集合基板でまとめて配線パターンの形成を実施した後に、その集合配線基板を個別の配線基板に分割することで、個々の透明支持板の紫外線を照射する奥行きの距離が短くなり、効率良い照射が可能となる。
その次の基板剥離工程9では、透明支持板複合体81の各配線基板を剥離させるために、透明支持板複合体81の側面を介して紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する(S10)。このステップS10の剥離工程については、図7を用いてさらに詳しく説明する。
図7は、図6のステップS10のさらに詳しい内容の一例を示すフローチャートである。図6と同様に、以下に図1〜図5を参照しつつ配線基板の製造方法を説明する。基板剥離工程9内の支持板保持部装着工程51では、紫外線の照射の前に、複数枚の透明支持板複合体81を積層方向の同じ向きに並ぶようにして図2(a)に示す支持板保持治具71に保持させる(S11)。これにより複数枚の透明支持板複合体81は、図2(b)の状態で支持板保持治具71に保持される。この工程は、その後段の処理に係わらず、全ての枚数の透明支持板複合体81を先に支持板保持治具71に保持させておいてよい。
この透明支持板複合体81が保持された支持板保持治具71を、手作業、ロボット、又はコンベア等の搬送装置を用いて照射工程53の照射位置まで搬送(搬入)する(S12)。照射工程53では、透明支持板複合体81の側面に対して、紫外線光源61から出射した紫外線を照射する(S13)。次に照射工程53では、計時部62により、照射時間を計時し、紫外線剥離型の接着剤を剥離させるに十分な所定の照射時間に達して照射時間を終了するか否かを判断する(S14)。
照射時間が不十分である場合(S14:NO)は、ステップS13で紫外線を照射する。これにより、各透明支持板複合体81内に入射した紫外線は、各透明支持板91の両面の紫外線剥離型の接着剤層92に到達し、接着した各配線基板93〜96は剥離させることができるようになる。照射時間が十分である場合(S14:YES)には、その支持板保持治具71を照射位置から搬送(搬出)する(S15)。その際に制御部20は紫外線照射する次の透明支持板複合体81(支持板保持治具71上に保持)があるか否かを判断する(S16)。
次の透明支持板複合体81がある場合(S16:NO)には、ステップS15と同時又はそのすぐ後に、次の透明支持板複合体81が保持された支持板保持治具71を搬入し、次の透明支持板複合体81がない場合(S16:YES)には、剥離処理を終了する。このように、紫外線照射が終了した透明支持板が保持された支持板保持治具の搬出工程と、紫外線照射前の透明支持板が保持された次の支持板保持治具の搬入工程の少なくとも一部を重複させて同時に実施することで、照射待ち時間と照射間隔を低減させ、照射工程の作業効率を向上させることができる。
このように本実施形態では、配線基板の製造工程は、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布工程4と、透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着工程5と、配線基板の基材上に配線パターンを形成する形成工程6と、紫外線を照射する光源を有して、その光源からの光を透明支持板の側面から紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射することにより配線基板を透明支持板から剥離させる剥離工程9とを備えている。また、その剥離工程9は、紫外線の照射の前に、配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持具装着工程51と、支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射工程53と、複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に各透明支持板の側面が位置付けられる様に各透明支持板を搬入させる搬入工程52と、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から搬出する搬出工程54とを有している。
従って本実施形態の配線基板の製造工程によれば、複数枚の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持してから紫外線を照射することで、紫外線の照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減できる。
<第2実施形態>
図8は、本発明の第2の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図8は、図4のシリンドリカルレンズと紫外線光源の組の配置を変更した図でもある。本実施形態の構成は、図8に示したようにシリンドリカルレンズと紫外線光源の組の配置が異なる他は、第1の実施形態と同様である。
シリンドリカルレンズ101と紫外線光源102の配置を透明支持板複合体81の紫外線入射側面に対して垂直ではなく、斜めに入射させることにより入射した紫外線の内部反射回数を増加させ、透明支持板の両面に塗布された紫外線剥離型の接着剤への紫外線照射量を増加させることができる。
従って本実施形態の配線基板の製造工程によれば、紫外線を透明支持板91の側面に斜めに照射することで、同じ光源であっても接着剤に照射される紫外線の照射量が増加し、その結果、照射工程の作業効率を向上させることができ、配線基板作成の作業時間を低減させることができる。
<第3実施形態>
図9は、本発明の第3の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図9は、図4のシリンドリカルレンズと紫外線光源の組について、別の組を異なる側面の照射用に追加した図でもある。本実施形態の構成は、図9に示したようにシリンドリカルレンズと紫外線光源の組が追加されている他は、第1の実施形態と同様である。
本実施形態では、第1の実施形態と同様に、シリンドリカルレンズ101aと紫外線光源102aの組が透明支持板複合体81の第1の紫外線入射側面99aに対向して配置される。それに加えて追加のシリンドリカルレンズ101bと紫外線光源102bの組が透明支持板複合体81の第1の紫外線入射側面99aの反対側の第1の紫外線入射側面99bに対向して配置される。さらに、追加のシリンドリカルレンズ101cと紫外線光源102cの組が透明支持板複合体81の第1の紫外線入射側面99aと反対側の第1の紫外線入射側面99bとの間の紫外線入射側面99cに対向して配置される。本実施形態では、このように光源と入射させる側面を増加させることにより、透明支持板の両面に塗布された紫外線剥離型の接着剤への紫外線照射量を増加させることができる。
従って本実施形態の配線基板の製造工程によれば、各透明支持板の各透明支持板の長辺側の両方の側面を含んで2辺以上の側面に紫外線を照射することで、紫外線の光路長が短くなるので減衰量を減らすことができ、紫外線の光源を比較的低出力にすることができ、接着剤にムラなく紫外線を照射でき、紫外線の照射量を増加させることができ、剥離残り等を減少させることができ、配線基板作成の作業時間を低減させることができる。
<第4実施形態>
図10は、本発明の第4の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図10は、図5のレンズの出射光を平行光でなく一つの透明支持板複合体81の側面に集光させた図でもある。本実施形態の構成は、図10に示したようにシリンドリカルレンズの焦点を、一つの透明支持板複合体81の側面に集光できるようにした他は、第1の実施形態と同様である。
本実施形態では、紫外線光源102から出射された紫外線を一つの透明支持板複合体81の側面に集光させるので、複数の透明支持板複合体81の側面に一度に入射させる場合と比べて、強い集光光束で側面を照射する事が可能である。接着層の紫外線透過率が低い場合は、有効な手段となる。
図11は、図10の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体81の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。図11に示したように本実施形態の紫外線は焦点に急角度で集光されるため、透明支持板複合体81の側面に入射した後に反射する回数が多くなる。入射した紫外線は、透明支持板91の内部を透過する際にも透明支持板91の透過率に従い徐々に減衰するが、接着剤層92を通過する際には透明支持板91内を透過するよりも大幅に減衰し、配線基板側反射膜層93で反射されて再度、接着剤層92を通過する際に大幅に減衰する。従って、紫外線の入射した後に反射回数が多いことは、紫外線の減衰が大きいことになる。減衰を回避する為には、配線基板側反射膜層93の反射率を高くする為にアルミ蒸着層を形成する事で、反射率を高くすれば良い。また、一般に利用される配線基板側反射膜層93は銅であるが、銅の接着面側を研磨する事で反射率を高くする事が可能となる。また、入射角度についても、ブリュースター角を満たす傾きで照射する事で、更に反射率を高くする事が可能となる。
このように本実施形態では、照射工程で、支持板保持治具に保持された各透明支持板に1枚づつ個別に紫外線を照射するので、高い照度で各透明支持板に効率良く紫外線を照射でき、処理時間を軽減する事ができる。
<第5実施形態>
図12は、本発明の第5の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体81の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図12は、図11のレンズを無くし、紫外線光源を点光源に変更した図でもある。
本実施形態では、透明支持板複合体81の側面に入射した後に反射による減衰量を小さくするために、入射する紫外線の入射角度を透明支持板91の側面に対して直角に近づけ、接着剤層92の通過回数を減らしている。そのために、指向性及び収束性に優れている光源として、例えば、紫外線レーザ発生装置を用いている。
このように本実施形態では、透明支持板複合体81の側面に入射する紫外線の入射角度が透明支持板91の側面に対して直角に近いため、紫外線が最終目的位置に到達するまでに接着剤層92を通過する回数が少なくなり、最終目的位置に到達する紫外線の減衰量を低減させることができる。
<第6実施形態>
図13は、本発明の第6の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体81の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。又、図13は、図11のレンズと紫外線光源の組に対して、レンズから出射される光が集光されないで平行光に近いものでも透明支持板91の側面に入射できるように、透明支持板91の側面の幅寸法を図11のL3から図13のL4に広げた構成を示す図でもある。
本実施形態では透明支持板91の側面の幅寸法を、紫外線光源とレンズから出射される光と平行に近づけることにより、紫外線が最終目的位置に到達するまでに接着剤層92を通過する回数が少なくなり、最終目的位置に到達する紫外線の減衰量を低減させることができる。
このように透明支持板が、光源からの光束を集光しないで入射させることができる厚みを備えるようにしてもよい。本実施形態では、各透明支持板の厚みを増加させることにより集光しないようにできることから、透明支持板の厚みに合わせて集光した場合の焦点から先で結果的に光束が広がってしまう事態を抑制できる。
以上、本発明に係る配線基板の製造工程を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載された範囲には限定されない透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された基材上に配線基板を形成した後に、透明支持板の側面から紫外線を照射して各配線基板を剥離させて配線基板を製造する製造工程であれば、他の構成の配線基板の製造工程にも適用することができる。透明支持板、接着剤の透過率条件や、照明光束の入射角度条件で効率の良い照射が可能であれば、透明支持板の両面に接着される配線基板の基材は、両面に銅以外の金属層を有していても良いし、金属層が無くてもよい。
また、その基材の表面にアルミニウムと銀以外の反射層を設けてもよいし、反射層がなくてもよい。また、基板の分割も必要に応じて実施すればよく、透明支持板複合体の側面の反射膜の形成も必要に応じて実施すればよい。本発明は、それらの必要性が無いことから配線基板の製造中に用いられないような製造工程にも適用可能である。
(a)は本発明の第1実施形態の配線基板の製造工程における概略の構成及び製造順序を示す図であり、(b)は(a)の照射工程53における紫外線光源及び計時部を示す図である。 (a)、(b)は、図1の基板剥離工程9で使用される支持板保持治具の一例の概略構成を示す図であり、(a)が支持板保持治具の単体での状態を示し、(b)が両面に配線基板が接着された複数の透明支持板を積層方向に並べて保持した状態の支持板保持治具を示す。 図2の両面に配線基板が接着された複数の透明支持板複合体81の一例の概略構成を示す図である。 図2(b)の状態の支持板保持治具を積層方向の側面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。 図2(b)の状態の支持板保持治具を上面から見た図を紫外線光源等と共に示した図である。 本実施形態の配線基板の製造方法の一例を示すフローチャートである。 図6のステップS10のさらに詳しい内容の一例を示すフローチャートである。 本発明の第2の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。 本発明の第3の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の側面図を紫外線光源等と共に示した図である。 本発明の第4の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。 図10の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体81の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。 本発明の第5の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体81の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。 本発明の第6の実施形態の配線基板の製造工程に係る支持板保持治具上の透明支持板複合体81の上面図を紫外線光源等と共に示した図である。
符号の説明
1 貫通孔形成工程、
2 銅板面研磨工程、
3 反射膜形成工程、
4 接着剤塗布工程、
5 基材接着工程、
6 配線パターン形成工程、
7 基板分割工程、
8 反射層形成工程、
9 基板剥離工程、
20 制御部、
41 貫通孔形成工程、
42 露光工程、
43 保護膜形成工程、
44 エッチング工程、
51 支持板保持具装着工程、
52 搬入工程、
53 照射工程、
54 搬出工程、
61 紫外線光源、
62 計時工程。

Claims (15)

  1. 配線基板の製造工程において、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるために、前記透明支持板を介して前記紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射する照射方法であって、
    前記紫外線の照射の前に、前記配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持工程と、
    前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部からの照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させる搬入工程と、
    前記支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射工程と、
    前記照射工程が終了した前記支持板保持治具を、前記紫外線照射部の照射領域内の前記照射位置から排除する搬出工程と
    を有することを特徴とする照射方法。
  2. 前記照射工程には、所定の照射時間を計時する計時工程を含む
    ことを特徴とする請求項1に記載の照射方法。
  3. 前記支持板保持工程では、前記支持板保持治具に前記各透明支持板を積層方向に並べて保持することを特徴とする請求項1又は2に記載の照射方法。
  4. 前記各透明支持板の前記配線基板が接着される面は、長辺と短辺とを有する矩形の表面を有し、
    前記支持板保持工程では、前記支持板保持治具に、前記各透明支持板の長辺側の側面が前記紫外線照射部の照射位置に位置付けられる様に、前記各透明支持板を並べて保持することを特徴とする請求項3に記載の照射方法。
  5. 前記照射工程では、前記各透明支持板の長辺側の一側面に紫外線が照射される
    ことを特徴とする請求項4に記載の照射方法。
  6. 前記照射工程では、前記各透明支持板の2辺以上の側面に紫外線が照射される
    ことを特徴とする請求項4に記載の照射方法。
  7. 前記照射工程では、前記支持板保持治具に保持された前記各透明支持板に1枚ずつ個別に紫外線を照射する
    ことを特徴とする請求項4〜6の何れか1項に記載の照射方法。
  8. 前記搬出工程と、次の前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具の搬入工程の少なくとも一部が重複して同時に実施される
    ことを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の照射方法。
  9. 透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布工程と、
    前記透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着工程と、
    前記配線基板の非接着面上に配線パターンを形成する形成工程と、
    前記透明支持板の側面から紫外線を前記紫外線剥離型の接着剤に照射することにより前記配線基板を前記透明支持板から剥離させる剥離工程と
    を有し、
    前記剥離工程に請求項1〜8の何れか1項に記載の照射方法を含む
    ことを特徴とする配線基板の製造方法。
  10. 前記形成工程中又はその前後の工程において、前記各透明支持板における紫外線が照射されない少なくとも一つの側面に、前記紫外線を反射する反射層を設ける工程を有する
    ことを特徴とする請求項9に記載の配線基板の製造方法。
  11. 前記形成工程中又はその前後の工程において、前記各透明支持板に接着される配線基板の接着面に、紫外線に対して高反射効率である金属層を形成する工程を有する
    ことを特徴とする請求項9又は10に記載の配線基板の製造方法。
  12. 透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤を塗布する塗布部と、
    前記透明支持板の両面に配線基板の基材を接着する接着部と、
    前記配線基板の基材上に配線パターンを形成する形成部と、
    紫外線を照射する光源を有し、該光源からの光を前記透明支持板の側面から前記紫外線剥離型の接着剤に紫外線を照射することにより前記配線基板を前記透明支持板から剥離させる剥離部と
    を備え、
    前記剥離部は、
    前記紫外線の照射の前に、前記配線基板が接着された透明支持板について、複数枚を支持板保持治具に並べて保持する支持板保持具装着部と、
    前記支持板保持治具に保持された複数枚の透明支持板に対して少なくとも一側面から紫外線を照射する照射部と、
    前記複数枚の透明支持板が保持された支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内であって、該紫外線照射部の照射位置に前記各透明支持板の側面が位置付けられる様に前記各透明支持板を搬入させると共に、前記照射工程が終了した前記支持板保持治具を、前記紫外線照射部の照射領域内の前記照射位置から搬出する搬送部と
    を有することを特徴とする配線基板の製造装置。
  13. 前記配線基板の接着面には、銅板面が設けられ、該銅板面を紫外線に対する反射効率を高めるために研磨する研磨部を有する
    ことを特徴とする請求項12に記載の配線基板の製造装置。
  14. 前記配線基板の接着面における研磨された銅板面上に、紫外線に対して高反射効率であるアルミニウム又は銀の金属層を設ける反射膜形成部を有する
    ことを特徴とする請求項13に記載の配線基板の製造装置。
  15. 前記紫外線の光源は、高圧水銀ランプ又は紫外線レーザ発生装置である
    ことを特徴とする請求項12〜14の何れか1項に記載の配線基板の製造装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023153197A1 (ja) * 2022-02-14 2023-08-17 株式会社デンソー ミラーユニット、虚像表示装置、およびミラーユニットの製造方法

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