JP2009271454A - 非球面反射光学素子 - Google Patents
非球面反射光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009271454A JP2009271454A JP2008124138A JP2008124138A JP2009271454A JP 2009271454 A JP2009271454 A JP 2009271454A JP 2008124138 A JP2008124138 A JP 2008124138A JP 2008124138 A JP2008124138 A JP 2008124138A JP 2009271454 A JP2009271454 A JP 2009271454A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- aspherical
- mirror
- parallel
- reflecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
【解決手段】正四角形状の外形の四隅の角部14を切り落として外形を正八角形状にし、互いに直交する中心軸X、Yに沿った方向の2つの曲率半径、即ち、水平方向の曲率半径Rh、垂直方向の曲率半径Rvで表される、有効反射領域が円形である反射面10を形成する。有効反射領域10a外の非球面量が大きな部分の面積が小さいので、面精度等を確保するための研削・研磨作業の負荷が軽減され、コストを低減できる。外面11a、11b、12a、12bは中心軸X、Yに平行又は垂直であるので、光学系への設置時の軸合わせも容易である。
【選択図】図1
Description
前記2本の軸の少なくとも一方に平行な基準面を外形に有する五角形以上の多角形状の外形を有し、所定の面精度が得られる有効反射領域が円形又は楕円形であることを特徴としている。
前記2本の軸の少なくとも一方に平行な基準面を外形に有するように一部が切除された一部欠損円形状の外形を有し、その一部欠損円形状の全面が所定の面精度が得られる有効反射領域であることを特徴としている。
10、20…反射面
10a…有効反射領域
11a、12a、11b、12b、21…外面
14…角部
22…外縁の一部
40…基準面
X、Y…中心軸
Claims (4)
- サジタル面及びメリディオナル面にそれぞれ平行な軸を中心に鏡像対称である凹状又は凸状の非球面反射面を有する非球面反射光学素子において、
前記2本の軸の少なくとも一方に平行な基準面を外形に有する五角形以上の多角形状の外形を有し、所定の面精度が得られる有効反射領域が円形又は楕円形であることを特徴とする非球面反射光学素子。 - 請求項1に記載の非球面反射光学素子であって、前記2本の軸にそれぞれ平行な基準面を外形に有する八角形状の外形を有することを特徴とする非球面反射光学素子。
- サジタル面及びメリディオナル面にそれぞれ平行な軸を中心に鏡像対称である凹状又は凸状の非球面反射面を有する非球面反射光学素子において、
前記2本の軸の少なくとも一方に平行な基準面を外形に有するように一部が切除された一部欠損円形状の外形を有し、その一部欠損円形状の全面が所定の面精度が得られる有効反射領域であることを特徴とする非球面反射光学素子。 - 請求項1乃至3に記載の非球面反射光学素子であって、トロイダル鏡又は楕円鏡であることを特徴とする非球面反射光学素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008124138A JP5029485B2 (ja) | 2008-05-12 | 2008-05-12 | 非球面反射光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008124138A JP5029485B2 (ja) | 2008-05-12 | 2008-05-12 | 非球面反射光学素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009271454A true JP2009271454A (ja) | 2009-11-19 |
JP5029485B2 JP5029485B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=41438032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008124138A Active JP5029485B2 (ja) | 2008-05-12 | 2008-05-12 | 非球面反射光学素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5029485B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010110096A1 (ja) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | ユニバーサル・バイオ・リサーチ株式会社 | 反応光学測定装置およびその測定方法 |
JP2021119393A (ja) * | 2015-12-02 | 2021-08-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学面を研磨する方法及び光学素子 |
CN114945301A (zh) * | 2021-03-24 | 2022-08-26 | 深圳汝原科技有限公司 | 辐射源、干燥设备和反光座 |
WO2022199674A1 (zh) * | 2021-03-24 | 2022-09-29 | 深圳汝原科技有限公司 | 辐射源、干燥设备和反光座 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03279902A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Toshiba Corp | 反射鏡及びその製造方法 |
WO2005091343A1 (ja) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Nikon Corporation | ミラー、位置合わせ方法、光学ユニットの製造方法及び光学ユニット、並びに露光装置 |
-
2008
- 2008-05-12 JP JP2008124138A patent/JP5029485B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03279902A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Toshiba Corp | 反射鏡及びその製造方法 |
WO2005091343A1 (ja) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Nikon Corporation | ミラー、位置合わせ方法、光学ユニットの製造方法及び光学ユニット、並びに露光装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010110096A1 (ja) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | ユニバーサル・バイオ・リサーチ株式会社 | 反応光学測定装置およびその測定方法 |
JP2021119393A (ja) * | 2015-12-02 | 2021-08-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学面を研磨する方法及び光学素子 |
JP7053925B2 (ja) | 2015-12-02 | 2022-04-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学面を研磨する方法及び光学素子 |
CN114945301A (zh) * | 2021-03-24 | 2022-08-26 | 深圳汝原科技有限公司 | 辐射源、干燥设备和反光座 |
WO2022199674A1 (zh) * | 2021-03-24 | 2022-09-29 | 深圳汝原科技有限公司 | 辐射源、干燥设备和反光座 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5029485B2 (ja) | 2012-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8467132B2 (en) | Display device comprising multifunction glass, production method, and optical element having a Fresnel structure | |
JP6445577B2 (ja) | 鏡筒内の光学要素の自動芯出し | |
US9176299B2 (en) | Monolithic optical components with integrated flexures | |
JP5029485B2 (ja) | 非球面反射光学素子 | |
JP2006292901A (ja) | 投写光学ユニット及びそれを用いた投写型映像表示装置 | |
JPH0572477A (ja) | アフオ−カル光学装置 | |
JP2009276699A (ja) | 2面コーナーリフレクタアレイ | |
KR102178770B1 (ko) | 경사면들에서의 스팟 어레이의 발생 | |
KR101924540B1 (ko) | 비축 반사광학계 주경 및 부경 정렬 시스템 및 방법 | |
JP4330489B2 (ja) | レーザー走査装置 | |
US20160223815A1 (en) | Display device comprising multifunction glass, production method and optical element having a fresnel structure | |
JP2008298866A (ja) | 撮像光学系 | |
JP4933110B2 (ja) | 投影光学系及びこれを適用した極紫外線リソグラフィ装置 | |
US9274433B2 (en) | Fly eye lens and proximity exposure machine optical system | |
US20230117164A1 (en) | Diffuser device | |
JP2009180752A (ja) | 結像光学系および距離測定装置 | |
JP3554421B2 (ja) | 走査光学系 | |
CN210154567U (zh) | 一种空心金属角锥 | |
JP2015031912A (ja) | 投射光学系及び画像投射装置 | |
TW201305716A (zh) | 反射折射拍攝鏡頭 | |
US20230400607A1 (en) | Diffusion plate of micro array type | |
JP2004217491A (ja) | 光学素子 | |
CN110268289B (zh) | 不对称透射膜 | |
JP5094240B2 (ja) | 投影光学系 | |
JP2009265257A (ja) | 撮像光学系 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100709 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111018 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120427 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120611 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5029485 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |