JP2009267541A - 固体撮像装置および電子情報機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができる固体撮像装置を得る。
【解決手段】複数の画素が二次元状に配列されている画素アレイ11と、各画素列毎に設けられた読出し信号線106と、各画素行に沿って配置され、該各画素に駆動信号を供給する駆動信号線と、各画素で得られた画素信号が該読出し信号線に読み出されるよう、該駆動信号線を駆動する駆動回路12とを備えた固体撮像装置10において、選択画素110の信号電荷蓄積部103と非選択画素210のリセット信号線RST1との間の寄生容量C01により選択画素110の信号電荷蓄積部103を昇圧するようにした。
【選択図】図1

Description

本発明は、固体撮像装置および電子情報機器に関し、特に、画素部に増幅回路を有する増幅型固体撮像装置の性能向上に関する。
一般に、増幅型固体撮像装置として、増幅機能を持たせた画素部とその画素部の周辺に配置された走査回路とを有し、その走査回路により画素部から画素データを読み出すものが普及している。ここで、走査回路は、画素を駆動する駆動回路、及び画素から読み出された画素データ(画素信号)を処理する信号処理回路を含むものである。
そのような増幅型固体撮像装置の一例としては、画素部が周辺の駆動回路および信号処理回路と一体化するのに有利なCMOS回路により構成されたAPS(Active Pixel Sensor)型イメージセンサが知られている。APS型イメージセンサの中でも、画素サイズの縮小化が可能となる3トランジスタ型(セレクトレス型)が主流になりつつある。
図4は、このような従来の増幅型固体撮像装置を説明する図であり、図4(a)は、該固体撮像装置の全体構成を模式的に示し、図4(b)は、該固体撮像装置における3トランジスタ型画素(3TR構成画素)の回路構成を示している。
この増幅型固体撮像装置20は、3TR構成画素を2次元アレイ状に配列してなる画素アレイ21と、該画素アレイ21の周辺に配置され、該画素アレイ21を構成する画素から画素信号(画素データ)を読み出す走査回路22とを有している。図4(a)では、走査回路22は模式的に示しているが、実際は、固体撮像装置20は、走査回路として、画素アレイ21の周辺にその垂直方向に沿って配置された垂直走査回路(駆動回路)と、画素アレイ21の周辺にその水平方向に沿って配置された水平走査回路(信号処理回路)とを有している。
上記増幅型固体撮像装置20における3TR構成の画素510は、光電変換により信号電荷を生成する受光部501と、該受光部501で発生した信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部(フローティングディフュージョン部)503と、該信号電荷を受光部501から信号電荷蓄積部503に転送する、ゲートに転送信号線TRF0が接続された転送トランジスタ502と、該信号電荷蓄積部503の電位FD0を電源電圧VDにリセットする、ゲートにリセット信号線RST0が接続されたリセットトランジスタ504と、電源VDと読出し信号線506との間に接続され、該信号電荷蓄積部503に発生した信号電圧あるいはリセット電圧を増幅して、これに対応する信号電圧を読出し信号線506に出力する増幅トランジスタ505とを有している。
ここで、受光部501は通常埋め込みフォトダイオードで構成され、上記転送トランジスタ502は、該フォトダイオード501のカソードと上記信号電荷蓄積部503との間に接続されている。上記リセットトランジスタ504のドレインにはリセットドレイン配線VR0が接続され、該リセットトランジスタ504のソースは上記信号電荷蓄積部503に接続されている。また、上記増幅トランジスタ505は電源VDと読出し信号線506との間に接続され、そのゲートは上記信号電荷蓄積部503に接続されている。
また、3TR構成の画素610は、上記3TR構成の画素510と同一の画素列における、該画素510に隣接する画素であり、この画素510と同様、光電変換により信号電荷を生成する受光部601と、該信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部603と、該信号電荷を受光部601から信号電荷蓄積部603に転送する転送トランジスタ602と、信号電荷蓄積部603の電位FD1を電源電圧VDにリセットする、ゲートにリセット信号線RST1が接続されたリセットトランジスタ604と、信号電荷蓄積部603に発生した信号電圧あるいはリセット電圧を増幅して読み出し信号線506に出力する増幅トランジスタ605とを有している。ここで、受光部601は通常埋め込みフォトダイオードで構成され、上記転送トランジスタ602は、該フォトダイオード601のカソードと上記信号電荷蓄積部603との間に接続されている。上記リセットトランジスタ604のドレインにはリセットドレイン配線VR1が接続され、該リセットトランジスタ604のソースは上記信号電荷蓄積部603に接続されている。また、上記増幅トランジスタ605は電源VDと読出し信号線506との間に接続され、そのゲートは上記信号電荷蓄積部603に接続されている。
これらの画素510および610は、その他の同じ列の画素とともに、読み出し信号線506に接続されている。この読み出し信号線506の端部には、該読み出し信号線506の画素列が選択されていないときに、電源電圧を該読出し信号線に供給する電圧供給部520と、該読み出し信号線506から電流Irefを引き抜く定電流源負荷530とが接続されている。
該電圧供給部520は、電源電圧Vdと読み出し信号線506との間に接続された直列接続のP型MOSトランジスタ511およびN型MOSトランジスタ512から構成されており、該電源側P型トランジスタ511のゲートには制御信号が印加され、接地側のN型トランジスタ512のゲートには一定バイアス電圧が印加されている。また、上記定電流源負荷530は、該読み出し信号線506の一端側と接地との間に直列に接続された2つのN型MOSトランジスタ513および514を有しており、該トランジスタ513のゲートは一定のバイアス電圧Biasが印加され、トランジスタ514のゲートはイネーブル信号ENが印加されており、該読出し信号線506に一定電流Irefが流れるようにしている。
上記走査回路22は、画素における転送トランジスタのゲートに接続された転送信号線、リセットトランジスタのゲートに接続されたリセット信号線、およびリセットトランジスタのドレインに接続されたドレイン配線を駆動する駆動回路を有している。
次に動作について説明する。
以下、図5を用いて、画素510が選択された場合について説明する。
リセット信号線RST0がHレベルの状態で、リセットトランジスタ504のドレイン電圧VR0がHレベルに立ち上がると、信号電荷蓄積部503のリセット動作が開始される。その後、リセット信号線RST0がLレベルに変化すると、読出し信号線506の電圧の上昇に従って、寄生容量C0により信号電荷蓄積部503の電位FD0が上昇する昇圧動作が開始する。このタイミングで、読出し信号線506の電位レベルがリセットレベルとして後段の信号処理回路に読み出される。その後、転送信号線の電位TRF0が立ち上がると、転送トランジスタ502を介して受光部501から信号電荷が信号電荷蓄積部503に転送される。次に、転送信号線の電位TRF0が立ち下がった後の読出し信号線506の電位レベルVSIGが、信号レベルとして後段の信号処理回路に読み出される。
このように、受光部501で光電変換により生成された信号電荷は、転送トランジスタ502により受光部501から信号電荷蓄積部503へ転送されるが、この信号電荷蓄積部503は、受光部501から信号電荷が転送される前に、リセットトランジスタ504により電源電圧にリセットされており、リセット後および信号電荷転送後の信号電荷蓄積部503の電位は、増幅トランジスタ505により増幅され、選択トランジスタ506を介して読み出し信号線506に読み出される。該読出し信号線506の末端には定電流源負荷530が接続されており、この読出し線506に読み出された電位は、後段の回路に出力される。
ここで、リセットトランジスタ504がオンした場合、又は画素から信号電荷が信号電荷蓄積部503に移動した場合に、増幅トランジスタ505と定電流源負荷530を構成するトランジスタ513とによりソースフォロア回路が形成される。
従って、読み出し信号線506のレベルVSIGは、増幅トランジスタ505のゲートレベルに比例する。
読み出し信号線506のレベルVSIGと信号電荷蓄積部503のレベルFD0とは、次式で示すような関係にある。
VSIG = FD0 − Vthsf
但し、Vthsfは、増幅トランジスタ505のスレッショルドレベルである。
この固体撮像装置では、この増幅トランジスタ505のダイナミックレンジの拡大(増幅トランジスタ505の飽和動作領域の拡大、つまり、信号電荷蓄積部503のレベルFD0と読み出し信号線506のレベルVSIGの線形動作の拡大)を図るために、信号電荷蓄積部503のレベルFD0を上昇させている。
この1つの手段として、図4に示すように、読み出し信号線506と信号電荷蓄積部503との間の線間容量C0を利用して、読み出し信号線506のレベルVSIGの上昇により、信号電荷蓄積部503の信号レベルFD0を昇圧させるVSIG昇圧方式がある。
例えば、特許文献1および2に開示の増幅型固体撮像装置では、このように、読み出し信号線と信号電荷蓄積部との間の配線容量を利用して、信号電荷蓄積部の昇圧を行っている。
特開2007−104186号公報 特開2007−124344号公報
上述したVSIG昇圧方式では、図5に示すようにリセット動作時にて、信号電荷蓄積部503の信号レベルFD0に比例した読み出し信号線506の信号レベルVSIGが作成される(VSIG=FD0−Vthsf)が、増幅トランジスタ505のスレッショルドレベルVthsfが画素毎にバラツキを持つために、リセット動作時(タイミングT1)の読み出し信号線506の信号レベルVSIGは、各画素をアクセスする毎にバラツキを持つことになる。
また、その後の、読み出し信号線506の信号レベルVSIGによる信号電荷蓄積部503の信号レベルFD0の信号昇圧タイミングT2では、読み出し信号線506の電位VSIGのバラツキが信号電荷蓄積部506の信号レベルFD0のバラツキを招き、固定パターンノイズFPN(Fixed Pattern Noise)の影響を極端に受ける結果となる。
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたもので、増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができる固体撮像装置およびこのような固体撮像装置を用いた電子情報機器を得ることを目的とする。
本発明に係る固体撮像装置は、複数の画素が二次元状に配列されている画素アレイと、各画素列毎に設けられた読出し信号線と、各画素行に沿って配置され、該各画素に駆動信号を供給する駆動信号線と、各画素で得られた画素信号が該読出し信号線に読み出されるよう、該駆動信号線を駆動する駆動回路とを備えた固体撮像装置であって、該各画素は、入射光の光電変換により信号電荷を生成する光電変換素子と、該信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部とを有し、該信号電荷蓄積部の電位が増幅されて該画素信号として該読出し信号線に読み出されるよう構成されており、該駆動回路は、選択画素の信号電荷蓄積部と非選択画素の駆動信号線との間の寄生容量により該選択画素の信号電荷蓄積部が昇圧されるよう、該駆動信号線を駆動するものであり、そのことにより上記目的が達成される。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記画素は、前記光電変換素子で生成された信号電荷を該光電変換素子から前記信号電荷蓄積部に転送する転送トランジスタと、該信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、電源と前記読出し信号線との間に接続され、該信号電荷蓄積部の電位を増幅して前記画素信号として該読出し信号線に読み出す増幅トランジスタとを有することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記リセットトランジスタは、そのドレイン側をリセットドレイン配線に接続し、そのソース側を前記信号電荷蓄積部に接続し、そのゲートを、該リセットトランジスタを駆動制御するリセット信号線に接続したものであり、前記駆動回路は、前記非選択画素のリセットトランジスタを制御するリセット信号線を、前記選択画素の信号電荷蓄積部が、該非選択画素のリセット信号線と前記選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量により昇圧されるよう駆動することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記非選択画素は、前記選択画素に隣接する画素であることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記駆動回路は、前記リセットトランジスタのリセット動作時には、前記選択画素のリセット信号線には第1電圧を印加し、前記非選択画素のリセット信号線には第2電圧を印加し、該第1電圧のレベルは電源電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記増幅トランジスタのスレッショルドレベル以下の電圧レベルであることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記駆動回路は、前記選択画素の信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、該選択画素のリセット信号線に第2電圧を印加し、前記非選択画素のリセット信号線に第1電圧を印加し、該第1電圧のレベルは電源電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルであることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記駆動回路は、前記選択画素の信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、該選択画素のリセット信号線に第2電圧を印加し、前記非選択画素のリセット信号線に第3電圧を印加し、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルであり、該第3電圧のレベルは、電源電圧レベルより低い、実質的にリセットトランジスタがオンする電圧レベルであることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記駆動回路は、前記選択画素のリセットトランジスタのドレインには第1電圧を印加し、前記非選択画素のリセットトランジスタドレインには第2電圧を印加し、該第1電圧のレベルは電源電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルであることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記駆動回路は、前記選択画素のリセットトランジスタのドレインには第3電圧を印加し、前記非選択画素のリセットトランジスタドレインには第2電圧を印加し、該第3電圧のレベルは、電源電圧レベルより低い、実質的にリセットトランジスタがオンする電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルであることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記選択画素の信号蓄積電荷部と、該選択画素に隣接する非選択画素のリセット信号線との間には寄生容量が形成されており、前記リセットトランジスタのリセット動作時には、該寄生容量の一方の電極である選択画素の信号蓄積電荷部に、該選択画素のリセットトランジスタのドレイン電圧が印加され、かつ、該寄生容量の他方の電極である隣接する非選択画素のリセット信号線には、該非選択画素のリセットトランジスタのドレイン電圧が印加されることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記駆動回路は、前記選択画素の信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、該選択画素に隣接する非選択画素のリセット信号線の電圧レベルを、該非選択画素のリセット信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量により、該選択画素の信号電荷蓄積部の電圧が昇圧されるよう、ローレベルからハイレベルに切り替えることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記選択画素のリセットトランジスタのリセット動作時には、前記読出し信号線の初期設定レベルを、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量に充電される電荷が少なくなるよう、接地電圧レベルより高く、かつリセット動作時の読出し信号線の最大電圧レベルより低いレベルに設定することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、前記選択画素の信号電荷蓄積部と前記非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量による昇圧が、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量による昇圧より支配的となることが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記画素は、前記光電変換素子で得られた信号電荷を該光電変換素子から前記信号電荷蓄積部に転送する転送トランジスタと、該信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、該信号電荷蓄積部の信号レベルを増幅して前記読出し信号線に出力する増幅トランジスタと、該増幅トランジスタと電源との間に接続され、該増幅トランジスタへの電源の供給を制御する選択トランジスタとを有することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記画素は、前記光電変換素子で得られた信号電荷を該光電変換素子から前記信号電荷蓄積部に転送する転送トランジスタと、該信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、該信号電荷蓄積部の信号レベルを増幅して前記読出し信号線に出力する増幅トランジスタと、該増幅トランジスタと前記読出し信号線との間に接続され、該増幅トランジスタで増幅された信号レベルの該読出し信号線への読出しを制御する選択トランジスタとを有することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記リセットトランジスタは、そのドレイン側を電源に接続し、そのソース側を前記信号電荷蓄積部に接続し、そのゲートを、該リセットトランジスタを駆動制御するリセット信号線に接続したものであり、前記駆動回路は、非選択画素のリセットトランジスタを制御するリセット信号線を、該リセット信号線と前記選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量により、前記選択画素の信号電荷蓄積部が昇圧されるよう駆動することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記選択画素のリセットトランジスタのリセット動作時には、前記読出し信号線の初期設定レベルを、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量に充電される電荷が少なくなるよう、接地電圧レベルより高く、かつリセット動作時の読出し信号線の最大電圧レベルより低いレベルに設定することが好ましい。
本発明は、上記固体撮像装置において、前記信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、前記選択画素の信号電荷蓄積部と前記非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量による昇圧が、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量による昇圧より支配的となることが好ましい。
本発明に係る電子情報機器は、被写体の撮像を行う撮像部を備えた電子情報機器であって、該撮像部は、上記固体撮像装置であり、そのことにより上記目的が達成される。
以下、本発明の作用について説明する。
本発明においては、固体撮像装置において、選択画素の信号電荷蓄積部と非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量により選択画素の信号電荷蓄積部を昇圧するようにしたので、画素における増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができる。
つまり、増幅トランジスタのスレッショルド電圧のバラツキに依存した、従来の読み出し信号線の昇圧による信号電荷蓄積部の昇圧では、増幅トランジスタのスレッショルド電圧のバラツキの影響を極端に受けるが、本発明では、非選択画素のリセットトランジスタの制御信号線(リセット信号線)の昇圧により選択画素の信号電荷蓄積部を昇圧するので、増幅トランジスタのスレッショルド電圧のバラツキの影響を低減することができる。
以上のように、本発明によれば、複数の画素が二次元状に配列されている画素アレイと、各画素列毎に設けられた読出し信号線と、各画素行に沿って配置され、該各画素に駆動信号を供給する駆動信号線と、各画素で得られた画素信号が該読出し信号線に読み出されるよう、該駆動信号線を駆動する駆動回路とを備えた固体撮像装置において、選択画素の信号電荷蓄積部と非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量により選択画素の信号電荷蓄積部を昇圧するようにしたので、増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1による増幅型固体撮像装置を説明する図であり、図1(a)は、該固体撮像装置の全体構成を模式的に示し、図1(b)は、該固体撮像装置における3トランジスタ型画素(3TR構成画素)の回路構成を示している。
この増幅型固体撮像装置10は、従来の固体撮像装置と同様、3TR構成画素を2次元アレイ状に配列してなる画素アレイ11と、該画素アレイ11の周辺に配置され、該画素アレイ11を構成する画素から画素信号(画素データ)を読み出す走査回路12とを有している。図1(a)では、走査回路12は模式的に示しているが、実際は、固体撮像装置10は、走査回路として、画素アレイ11の周辺にその垂直方向に沿って配置された垂直走査回路(駆動回路)と、画素アレイ11の周辺にその水平方向に沿って配置された水平走査回路(信号処理回路)とを有している。
上記増幅型固体撮像装置10における3TR構成の画素110は、光電変換により信号電荷を生成する受光部101と、該受光部101で得られた信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部(フローティングディフュージョン部)103と、該信号電荷を受光部101から信号電荷蓄積部103に転送する、ゲートに転送信号線TRF0が接続された転送トランジスタ102と、該信号電荷蓄積部103の電位を電源電圧にリセットする、ゲートにリセット信号線RST0が接続されたリセットトランジスタ104と、該信号電荷蓄積部103に発生した信号電圧あるいはリセット電圧を増幅して、これに対応する信号電圧レベルVSIGを読出し信号線106に出力する増幅トランジスタ105とを有している。
ここで、受光部101は通常埋め込みフォトダイオードで構成され、上記転送トランジスタ102は、該フォトダイオード101のカソードと上記信号電荷蓄積部103との間に接続されている。上記リセットトランジスタ104のドレインにはリセットドレイン配線VR0が接続され、該リセットトランジスタ104のソースは上記信号電荷蓄積部103に接続されている。上記増幅トランジスタ105は電源VDと読出し信号線106との間に接続され、そのゲートは上記信号電荷蓄積部103に接続されている。
ここで、容量C00は、信号電荷蓄積部103と読出し信号線106との間の寄生容量であり、容量C01は、信号電荷蓄積部103と隣接画素210の転送信号線TRF0との間の寄生容量であり、容量C02は転送信号線TRF0と信号電荷蓄積部103との間の寄生容量である。
また、3TR構成の画素210は、上記3TR構成の画素110と同一の画素列における、該画素110に隣接する画素であり、この画素110と同様、光電変換により信号電荷を生成する受光部201と、該信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部203と、該信号電荷を受光部201から信号電荷蓄積部203に転送する転送トランジスタ202と、信号電荷蓄積部203の電位FD1を電源電圧VDにリセットする、ゲートにリセット信号線RST1が接続されたリセットトランジスタ204と、信号電荷蓄積部203に発生した信号電圧あるいはリセット電圧を増幅して読み出し信号線106に出力する増幅トランジスタ205とを有している。ここで、受光部201は通常埋め込みフォトダイオードで構成され、上記転送トランジスタ202は、該フォトダイオード201のカソードと上記信号電荷蓄積部203との間に接続されている。上記リセットトランジスタ204のドレインにはリセットドレイン配線VR1が接続され、該リセットトランジスタ204のソースは上記信号電荷蓄積部203に接続されている。また、上記増幅トランジスタ205は電源VDと読出し信号線106との間に接続され、そのゲートは上記信号電荷蓄積部203に接続されている。
ここで、容量C10は、信号電荷蓄積部203と読出し信号線106との間の寄生容量であり、容量C11は、信号電荷蓄積部203と、該画素210に隣接する画素の転送信号線TRF2との間の寄生容量であり、容量C12は、リセット信号線RST1と信号電荷蓄積部203との間の寄生容量である。
これらの画素110および210は、その他の同じ列の画素とともに、読み出し信号線106に接続されている。この読み出し信号線106の端部には、該読み出し信号線106の画素列が選択されていないときに、電源電圧を該読出し信号線に供給する電圧供給部120と、該読み出し信号線106から電流Irefを引き抜く定電流源負荷130とが接続されている。
該電圧供給部120は、電源電圧Vdと読み出し信号線106との間に接続された直列接続のP型MOSトランジスタ111およびN型MOSトランジスタ112から構成されており、該電源側P型トランジスタ111のゲートには制御信号が印加され、接地側のN型トランジスタ112のゲートには一定バイアス電圧が印加されている。また、上記定電流源負荷130は、該読み出し信号線106の一端側と接地との間に直列に接続された2つのN型MOSトランジスタ113および114を有しており、該トランジスタ113のゲートは一定のバイアス電圧Biasが印加され、トランジスタ114のゲートはイネーブル信号ENが印加されており、該読出し信号線106に一定電流Irefが流れるようにしている。
また、この実施形態においても、上記走査回路12は、画素における転送トランジスタのゲートに接続された転送信号線、リセットトランジスタのゲートに接続されたリセット信号線、およびリセットトランジスタのドレインに接続されたドレイン配線を駆動する駆動回路を有しているが、この実施形態では、上記走査回路12の駆動回路は、非選択画素のリセット信号線およびリセットトランジスタのドレイン配線を駆動するタイミングが、上記従来のものと異なっている。
次に動作について説明する。
以下、図1を用いて画素110が選択された場合について説明する。
本実施形態1においても、選択画素から画素信号を読み出す際には、選択画素については従来のものと同様に、各駆動信号線が走査回路12の駆動回路により駆動されるが、非選択画素の駆動信号線の駆動タイミングが従来のものとは異なっている。
つまり、選択画素110では、リセット信号線RST0がHレベルの状態で、リセットトランジスタ104のドレイン電圧VR0がHレベルに立ち上がると、信号電荷蓄積部103のリセット動作が開始される。このとき、隣接する非選択画素のリセット信号RST1はHレベルからLレベルに立ち下がる。
その後、リセット信号線RST0がLレベルに変化し、リセット信号線RST1がHレベルに変化すると、信号電荷蓄積部103の電位FD0が上昇する昇圧動作が開始する。このとき、信号電荷蓄積部103の電位FD0の上昇は、リセット信号線RST1と信号電荷蓄積部103との間の寄生容量C01の作用と、読出し信号線106と信号電荷蓄積部103との間の寄生容量C00の作用とにより生ずる。
また、このとき、読出し信号線106の初期レベルは、従来のもの(点線で表示)に比べて高くしている。
そして、信号電荷蓄積部106の電位レベルFD0が立ち上がった状態で、読出し信号線106の電位レベルがリセットレベルとして後段の信号処理回路に読み出される。その後、転送信号線の電位TRF0が立ち上がると、転送トランジスタ102を介して受光部101から信号電荷が信号電荷蓄積部103に転送される。次に、転送信号線の電位TRF0が立ち下がった後の読出し信号線106の電位レベルVSIGが、信号レベルとして後段の信号処理回路に読み出される。
以下、信号電荷蓄積部103の昇圧動作について具体的に説明する。
図2に示すタイミング波形では、リセット動作期間T1にて、信号電荷蓄積部103の電位レベルFD0のレベルはリセットトランジスタのドレイン側電位レベルVR0(Hレベル)となる。
このタイミングの期間T1では、選択画素110と隣接する非選択画素210のリセット制御信号RST1,2等は、Lレベルとなるため、非選択画素のリセット制御線RST1と選択画素の電荷蓄積部との間の容量C01にはリセットトランジスタのドレイン側電位レベルVR0が充電される(図1参照)。
次のタイミング期間T2では、リセット動作を終了し(RST0=Lレベル)、非選択画素210のリセット制御信号(RST1信号)をHレベルとすると、容量C01にて信号電荷蓄積部103の信号レベルFD0は、リセットトランジスタのドレイン側のHレベルVR0に相当する電位レベル分だけ昇圧される(RSTリセット昇圧)。
但し、選択画素のリセット信号線(RSTn信号)をHレベルとするため、選択画素の信号電荷蓄積部FDnの信号レベルは、リセットトランジスタのドレインレベルVRnとなる。一方、非選択画素の信号電荷蓄積部の電位レベルFDnをLレベルに設定して、読み出し信号線106との接続を遮断する必要があるために、非選択画素のリセットトランジスタのドレインレベルVRnはLレベル(Vthsn以下)に設定する。
また、読み出し信号線106と電荷蓄積部103との間には線間容量C00が存在する。このため、読み出し信号線106の信号レベルVSIGによる信号電荷蓄積部103の信号レベルFD0の昇圧を極力抑えるために、読出し信号線106の電位レベルVSIGの初期値は上述したように、Lレベルより高いレベルに設定する。
但し、リセット動作時(タイミング期間T1)の電荷蓄積部の電位レベルから増幅トランジスタのスレッショルドを引いた電位(FD0−Vthsn)よりは低いレベルに設定し、リセット動作を実行可能な程度とする。
つまり、リセット動作時には、容量C00の電極間の電位差を極力小さく設定し、読出し信号線106の信号レベルVSIGの昇圧の影響(Vthsnのバラツキの影響)を低減させる必要がある。
次に、VSIG昇圧のタイミングT2では、読み出し信号線106の電位レベルVSIGの上昇に伴い、信号電荷蓄積部FD0のレベルは上昇するが、容量C00の電極間の電位差が小さいため、容量C00による昇圧(VSIG昇圧)レベルは小さいものとなる。
従来例では、増幅トランジスタスレッショルド電圧Vthsnに依存した昇圧レベルが信号電荷蓄積部106のFDxに掛かるため、増幅トランジスタスレッショルド電圧Vthsnの影響を極端に受ける。
しかし、本実施形態では、非選択画素のリセット信号線RSTnと選択画素の信号電荷蓄積部FDとの間の電位レベル(VRレベル)に依存した昇圧レベルが、信号電荷蓄積部FDに掛かるため、増幅トランジスタのスレッショルド電圧Vthsnのバラツキは、従来からのFPN削除技術であるCDS(相関二重サンプリング)にてほとんど、削除することが可能となる。
このように、本実施形態1では、複数の画素が二次元状に配列されている画素アレイ11と、各画素列毎に設けられた読出し信号線106と、各画素行に沿って配置され、該各画素に駆動信号を供給する駆動信号線と、各画素で得られた画素信号が該読出し信号線に読み出されるよう、該駆動信号線を駆動する駆動回路12とを備えた固体撮像装置10において、選択画素110の信号電荷蓄積部103と非選択画素210のリセット信号線RST1との間の寄生容量C01により選択画素の信号電荷蓄積部を昇圧するようにしたので、増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができる。
なお、上記実施形態1では、特に示していないが、リセットトランジスタのゲートに印加するHレベルは、電源電圧レベルに限定されるものではなく、該電源電圧レベルよりも低い、実質的にリセットトランジスタがオンする電圧でもよい。また、リセットトランジスタのゲートに印加するLレベルは、接地レベルに限定されるものではなく、該接地レベルよりも高い、実質的にリセットトランジスタがオフする電圧でもよい。
さらに、選択画素のリセットトランジスタのドレインに印加するHレベルは、電源電圧レベルに限定されるものではなく、実質的にリセットトランジスタがオンする電圧レベルであればよい。また、非選択画素のリセットトランジスタのドレインに印加するLレベルは、GNDレベルに限定されるものではなく、前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルであればよい。
(実施形態2)
図3は、本発明の実施形態2による増幅型固体撮像装置を説明する図であり、図3(a)は、該固体撮像装置の全体構成を模式的に示し、図3(b)は、該固体撮像装置における4トランジスタ型画素(4TR構成画素)の回路構成を示している。
この実施形態2の固体撮像装置10aは、4TR構成画素を2次元アレイ状に配列してなる画素アレイ11aと、該画素アレイ11aの周辺に配置され、該画素アレイ11aをを構成する画素から画素信号(画素データ)を読み出す走査回路12aとを有している。図3(a)では、走査回路12は模式的に示しているが、実際は、固体撮像装置10aは、走査回路として、画素アレイ11aの周辺にその垂直方向に沿って配置された垂直走査回路(駆動回路)と、画素アレイ11aの周辺にその水平方向に沿って配置された水平走査回路(信号処理回路)とを有している。
上記増幅型固体撮像装置10における4TR構成の画素110aは、光電変換により信号電荷を生成する受光部101と、該受光部101で得られた信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部(フローティングディフュージョン部)103と、該信号電荷を受光部101から信号電荷蓄積部103に転送する、ゲートに転送配線TRF0が接続された転送トランジスタ102と、該信号電荷蓄積部103の電位を電源電圧にリセットする、ゲートにリセット信号線RST0が接続されたリセットトランジスタ104と、該信号電荷蓄積部103に発生した信号電圧あるいはリセット電圧を増幅して、これに対応する信号電圧レベルVSIGを読出し信号線106に出力する増幅トランジスタ105と、該増幅トランジスタと電源との間に接続され、該増幅トランジスタ105への電源の供給を制御する選択トランジスタ107とを有している。
また、上記4TR構成の画素110aに隣接する画素210aは、光電変換により信号電荷を生成する受光部201と、該受光部201で得られた信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部(フローティングディフュージョン部)203と、該信号電荷を受光部201から信号電荷蓄積部203に転送する、ゲートに転送信号線TRF1が接続された転送トランジスタ202と、該信号電荷蓄積部203の電位を電源電圧にリセットする、ゲートにリセット信号線RST1が接続されたリセットトランジスタ204と、該信号電荷蓄積部203に発生した信号電圧あるいはリセット電圧を増幅して、これに対応する信号電圧レベルVSIGを読出し信号線106に出力する増幅トランジスタ205と、該増幅トランジスタと電源との間に接続され、該増幅トランジスタへの電源の供給を制御する選択トランジスタ207とを有するを有している。
ここで、増幅トランジスタ105および205は読出し信号線側に接続し、選択トランジスタ107および207は電源VD側に接続しているが、選択トランジスタ107および207を読出し信号線側に接続し、増幅トランジスタ105および205を電源VD側に接続してもよい。
そして、この実施形態2の走査回路12aは、上記選択トランジスタ107および207のゲートに接続されている選択信号線SEL0およびSEL1を駆動制御する点で、上記実施形態1の走査回路12とは異なっている。
従って、本実施形態2のその他の構成は実施形態1におけるものと同一である。
このような構成の実施形態2の固体撮像装置10aにおいても、複数の画素が二次元状に配列されている画素アレイ11aと、各画素列毎に設けられた読出し信号線106と、各画素行に沿って配置され、該各画素に駆動信号を供給する駆動信号線と、各画素で得られた画素信号が該読出し信号線に読み出されるよう、該駆動信号線を駆動する駆動回路12aとを備え、選択画素110の信号電荷蓄積部103と非選択画素210のリセット信号線RST1との間の寄生容量C01により選択画素の信号電荷蓄積部を昇圧するようにしたので、増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができる。
(実施形態3)
なお、上記実施形態1〜2では、特に説明しなかったが、上記実施形態1〜2の固体撮像装置の少なくともいずれかを撮像部に用いた例えばデジタルビデオカメラ、デジタルスチルカメラなどのデジタルカメラや、画像入力カメラ、スキャナ、ファクシミリ、カメラ付き携帯電話装置などの画像入力デバイスを有した電子情報機器について説明する。本発明の電子情報機器は、本発明の上記実施形態1〜2の固体撮像装置の少なくともいずれかを撮像部に用いて得た高品位な画像データを記録用に所定の信号処理した後にデータ記録する記録メディアなどのメモリ部と、この画像データを表示用に所定の信号処理した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示する液晶表示装置などの表示手段と、この画像データを通信用に所定の信号処理をした後に通信処理する送受信装置などの通信手段と、この画像データを印刷(印字)して出力(プリントアウト)する画像出力手段とのうちの少なくともいずれかを有している。
以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
本発明は、固体撮像装置および電子情報機器の分野において、選択画素の信号電荷蓄積部を、選択画素の信号電荷蓄積部と、該選択画素に隣接する非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量により昇圧するようにすることにより、増幅トランジスタのスレッショルドレベルのバラツキの影響を少なくし、固定ノイズパターンを削除することができ、増幅型固体撮像装置の性能向上を図ることができる。
図1は、本発明の実施形態1による増幅型固体撮像装置を説明する図であり、図1(a)は、該固体撮像装置の全体構成を模式的に示し、図1(b)は、該固体撮像装置における3トランジスタ型画素(3TR構成画素)の回路構成を示している。 図2は、上記実施形態1の固体撮像装置の動作を説明する図であり、画素を駆動する信号のタイミングを示している。 図3は、本発明の実施形態2による増幅型固体撮像装置を説明する図であり、図3(a)は、該固体撮像装置の全体構成を模式的に示し、図3(b)は、該固体撮像装置における3トランジスタ型画素(3TR構成画素)の回路構成を示している。 図4は、従来の増幅型固体撮像装置を説明する図であり、図4(a)は、該固体撮像装置の全体構成を模式的に示し、図4(b)は、該固体撮像装置における4トランジスタ型画素(4TR構成画素)の回路構成を示している。 図5は、従来の固体撮像装置の動作を説明する図であり、画素を駆動する信号のタイミングを示している。
符号の説明
10、10a 固体撮像装置
11、11a 画素アレイ
12、12a 駆動回路
101、201 受光部(フォトダイオード)
102、202 転送トランジスタ
103、203 信号電荷蓄積部
104、204 リセットトランジスタ
105、205 増幅トランジスタ
106 読出し信号線
107、207 選択トランジスタ
110、110a 選択画素
210、210a 非選択画素

Claims (19)

  1. 複数の画素が二次元状に配列されている画素アレイと、各画素列毎に設けられた読出し信号線と、各画素行に沿って配置され、該各画素に駆動信号を供給する駆動信号線と、各画素で得られた画素信号が該読出し信号線に読み出されるよう、該駆動信号線を駆動する駆動回路とを備えた固体撮像装置であって、
    該各画素は、
    入射光の光電変換により信号電荷を生成する光電変換素子と、
    該信号電荷を蓄積する信号電荷蓄積部とを有し、
    該信号電荷蓄積部の電位が増幅されて該画素信号として該読出し信号線に読み出されるよう構成されており、
    該駆動回路は、選択画素の信号電荷蓄積部と非選択画素の駆動信号線との間の寄生容量により該選択画素の信号電荷蓄積部が昇圧されるよう、該駆動信号線を駆動する固体撮像装置。
  2. 前記画素は、
    前記光電変換素子で生成された信号電荷を該光電変換素子から前記信号電荷蓄積部に転送する転送トランジスタと、
    該信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、
    電源と前記読出し信号線との間に接続され、該信号電荷蓄積部の電位を増幅して前記画素信号として該読出し信号線に読み出す増幅トランジスタとを有する請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記リセットトランジスタは、そのドレイン側をリセットドレイン配線に接続し、そのソース側を前記信号電荷蓄積部に接続し、そのゲートを、該リセットトランジスタを駆動制御するリセット信号線に接続したものであり、
    前記駆動回路は、前記非選択画素のリセットトランジスタを制御するリセット信号線を、前記選択画素の信号電荷蓄積部が、該非選択画素のリセット信号線と前記選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量により昇圧されるよう駆動する請求項2に記載の固体撮像装置。
  4. 前記非選択画素は、前記選択画素に隣接する画素である請求項3に記載の固体撮像装置。
  5. 前記駆動回路は、前記リセットトランジスタのリセット動作時には、前記選択画素のリセット信号線には第1電圧を印加し、前記非選択画素のリセット信号線には第2電圧を印加し、
    該第1電圧のレベルは電源電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記増幅トランジスタのスレッショルドレベル以下の電圧レベルである請求項4に記載の固体撮像装置。
  6. 前記駆動回路は、前記選択画素の信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、該選択画素のリセット信号線に第2電圧を印加し、前記非選択画素のリセット信号線に第1電圧を印加し、
    該第1電圧のレベルは電源電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルである請求項4に記載の固体撮像装置。
  7. 前記駆動回路は、前記選択画素の信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、該選択画素のリセット信号線に第2電圧を印加し、前記非選択画素のリセット信号線に第3電圧を印加し、
    該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルであり、
    該第3電圧のレベルは、電源電圧レベルより低い、実質的にリセットトランジスタがオンする電圧レベルである請求項4に記載の固体撮像装置。
  8. 前記駆動回路は、前記選択画素のリセットトランジスタのドレインには第1電圧を印加し、前記非選択画素のリセットトランジスタドレインには第2電圧を印加し、
    該第1電圧のレベルは電源電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルである請求項4に記載の固体撮像装置。
  9. 前記駆動回路は、前記選択画素のリセットトランジスタのドレインには第3電圧を印加し、前記非選択画素のリセットトランジスタドレインには第2電圧を印加し、
    該第3電圧のレベルは、電源電圧レベルより低い、実質的にリセットトランジスタがオンする電圧レベルであり、該第2電圧のレベルはGNDレベル又は前記リセットトランジスタが実質的にオフする電圧レベルである請求項4に記載の固体撮像装置。
  10. 前記選択画素の信号蓄積電荷部と、該選択画素に隣接する非選択画素のリセット信号線との間には寄生容量が形成されており、
    前記リセットトランジスタのリセット動作時には、該寄生容量の一方の電極である選択画素の信号蓄積電荷部に、該選択画素のリセットトランジスタのドレイン電圧が印加され、かつ、該寄生容量の他方の電極である隣接する非選択画素のリセット信号線には、該非選択画素のリセットトランジスタのドレイン電圧が印加される請求項3に記載の固体撮像装置。
  11. 前記駆動回路は、前記選択画素の信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、該選択画素に隣接する非選択画素のリセット信号線の電圧レベルを、該非選択画素のリセット信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量により、該選択画素の信号電荷蓄積部の電圧が昇圧されるよう、ローレベルからハイレベルに切り替える請求項3に記載の固体撮像装置。
  12. 前記選択画素のリセットトランジスタのリセット動作時には、前記読出し信号線の初期設定レベルを、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量に充電される電荷が少なくなるよう、接地電圧レベルより高く、かつリセット動作時の読出し信号線の最大電圧レベルより低いレベルに設定する請求項3に記載の固体撮像装置。
  13. 前記信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、前記選択画素の信号電荷蓄積部と前記非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量による昇圧が、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量による昇圧より支配的となる請求項12に記載の固体撮像装置。
  14. 前記画素は、
    前記光電変換素子で得られた信号電荷を該光電変換素子から前記信号電荷蓄積部に転送する転送トランジスタと、
    該信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、
    該信号電荷蓄積部の信号レベルを増幅して前記読出し信号線に出力する増幅トランジスタと、
    該増幅トランジスタと電源との間に接続され、該増幅トランジスタへの電源の供給を制御する選択トランジスタとを有する請求項1に記載の固体撮像装置。
  15. 前記画素は、
    前記光電変換素子で得られた信号電荷を該光電変換素子から前記信号電荷蓄積部に転送する転送トランジスタと、
    該信号電荷蓄積部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタと、
    該信号電荷蓄積部の信号レベルを増幅して前記読出し信号線に出力する増幅トランジスタと、
    該増幅トランジスタと前記読出し信号線との間に接続され、該増幅トランジスタで増幅された信号レベルの該読出し信号線への読出しを制御する選択トランジスタとを有する請求項1に記載の固体撮像装置。
  16. 前記リセットトランジスタは、そのドレイン側を電源に接続し、そのソース側を前記信号電荷蓄積部に接続し、そのゲートを、該リセットトランジスタを駆動制御するリセット信号線に接続したものであり、
    前記駆動回路は、非選択画素のリセットトランジスタを制御するリセット信号線を、該リセット信号線と前記選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量により、前記選択画素の信号電荷蓄積部が昇圧されるよう駆動する請求項14または15に記載の固体撮像装置。
  17. 前記選択画素のリセットトランジスタのリセット動作時には、前記読出し信号線の初期設定レベルを、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量に充電される電荷が少なくなるよう、接地電圧レベルより高く、かつリセット動作時の読出し信号線の最大電圧レベルより低いレベルに設定する請求項16に記載の固体撮像装置。
  18. 前記信号電荷蓄積部の昇圧動作時には、前記選択画素の信号電荷蓄積部と前記非選択画素のリセット信号線との間の寄生容量による昇圧が、該読出し信号線と該選択画素の信号電荷蓄積部との間の寄生容量による昇圧より支配的となる請求項17に記載の固体撮像装置。
  19. 被写体の撮像を行う撮像部を備えた電子情報機器であって、
    該撮像部は、請求項1ないし請求項18のいずれかに記載の固体撮像装置である電子情報機器。
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