JP2009251372A - グレーティング素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 グレーティング素子1では、所定の方向に延在する複数の凸部3、及び所定の方向における凸部3の両側にて所定の方向と略直交する方向に延在し且つ各凸部3の端部と接続された凸部4が基板2の表面2aに設けられている。これにより、凸部3が凸部4によって強固に補強されるため、グレーティング部6を構成する凸部3が破損するのを防止することができる。更に、凸部3,4の頂部3a,4aに基板5の表面5aが接合されているため、凸部3の間にパーティクルが進入するのを抑止することができる。しかも、凸部3が基板2と一体的に形成され、また、凸部3の頂部3aと基板5の表面5aとがダイレクトボンディングによって接合されているため、凸部3及び基板2,5を含んで構成されたグレーティング部6における光損失を低減することができる。
【選択図】 図2
Description
[ナノインプリンティング及びエッチング工程]
[活性化処理及びダイレクトボンディング工程]
[ダイシング工程]
Claims (5)
- 光を回折するグレーティング部を具備するグレーティング素子であって、
第1の基板と、
所定の方向に延在し、前記所定の方向と略直交する方向に沿って並ぶように、前記第1の基板の表面に設けられた複数の第1の凸部と、
前記所定の方向と交差する方向に延在し、前記第1の凸部と略同等の高さとなるように、前記第1の基板の表面に設けられた第2の凸部と、
前記第1及び前記第2の凸部の頂部とダイレクトボンディングによって接合された表面を有する第2の基板と、を備え、
前記グレーティング部は、前記第1の凸部、前記第1及び前記第2の基板を含んで構成されていることを特徴とするグレーティング素子。 - 前記第1の凸部は、前記第1の基板と一体的に形成されていることを特徴とする請求項1記載のグレーティング素子。
- 前記第2の凸部は、前記所定の方向における前記第1の凸部の両側にて前記所定の方向と交差する方向に延在し、前記第1の凸部のそれぞれの端部と接続されるように、前記第1の基板の表面に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のグレーティング素子。
- 光を回折するグレーティング部を具備するグレーティング素子の製造方法であって、
所定の方向に延在し、前記所定の方向と略直交する方向に沿って並ぶように、複数の第1の凸部が設けられると共に、前記所定の方向と交差する方向に延在し、前記第1の凸部と略同等の高さとなるように、第2の凸部が設けられた表面を有する複数の第1の基板を含む第1のウェハ、及び前記第1の基板のそれぞれと対応するように配置された複数の第2の基板を含む第2のウェハを準備する工程と、
前記第1のウェハの前記第1及び前記第2の凸部の頂部、並びに前記第2のウェハの前記第2の基板の表面に活性化処理を施す工程と、
前記活性化処理を施した後に、前記第1及び前記第2の凸部の頂部と、前記第2の基板の表面とをダイレクトボンディングによって接合し、前記第1の凸部、前記第1及び前記第2の基板を含んで構成される複数の前記グレーティング部を形成する工程と、
前記グレーティング部を形成した後に、対応する前記第1及び前記第2の基板毎に前記第1及び前記第2のウェハを切断する工程と、を含むことを特徴とするグレーティング素子の製造方法。 - 前記第1及び前記第2のウェハを準備する工程では、ナノインプリンティング及びエッチングによって前記第1の凸部を前記第1の基板と一体的に形成することで、前記第1の凸部を前記第1の基板の表面に設けることを特徴とする請求項4記載のグレーティング素子の製造方法。
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