JP2009246214A - 太陽電池用拡散層の製造方法および太陽電池セルの製造方法 - Google Patents
太陽電池用拡散層の製造方法および太陽電池セルの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】リンが拡散されたリン拡散層とリンガラス層とを基板表面にこの順で有するシリコン基板のリンガラス層表面に撥水剤を塗布して撥水剤層を形成する工程と、撥水剤層を形成したシリコン基板に対してレーザ照射を行って所定のパターン領域の撥水剤層および少なくともリンガラス層の一部を除去する工程と、レーザ照射を行ったシリコン基板の表面にリン酸またはリン酸溶液を塗布して所定のパターン領域にリン酸またはリン酸溶液を選択塗布する工程と、リン酸またはリン酸溶液を塗布したシリコン基板を熱処理することにより、低抵抗拡散層を形成する工程と、を含む。
【選択図】 図1−1
Description
本実施の形態にかかる太陽電池用拡散層の製造方法は、リンが拡散されたリン拡散層とリンガラス層とを基板表面にこの順で有するシリコン基板のリンガラス層表面に撥水剤を塗布して撥水剤層を形成する撥水剤層形成工程と、前記撥水剤層を形成したシリコン基板に対してレーザ照射を行って所定のパターン領域の撥水剤層および少なくともリンガラス層の一部を除去する除去工程と、レーザ照射を行ったシリコン基板の表面にリン酸またはリン酸溶液を塗布して所定のパターン領域にリン酸またはリン酸溶液を選択塗布する選択塗布工程と、リン酸またはリン酸溶液を塗布したシリコン基板を熱処理することにより、リン酸またはリン酸溶液のリンが少なくともリン拡散層の一部に拡散させて低抵抗拡散層を形成する低抵抗拡散層形成工程と、を含む。
基板表面にシート抵抗が80Ω/□〜100Ω/□のn型拡散層が形成され、基板最表面に形成されたリンガラス層が除去されていないp型多結晶シリコン基板を用意し、この片面にシリコーン系撥水剤として、ジメチルシリコーンオイルの1wt%〜10wt%キシレン溶液をスピンコート法により塗布した。そして、100℃〜250℃の温度で乾燥を行って、リンガラス層上に撥水剤層を形成した。
基板表面にシート抵抗が80Ω/□〜100Ω/□のn型拡散層が形成され、基板最表面に形成されたリンガラス層が除去されていないp型多結晶シリコン基板を用意し、この片面にシリコーン系撥水剤として、ジメチルシリコーンオイルの1wt%〜10wt%キシレン溶液をスピンコート法により塗布した。そして、100℃〜250℃の温度で乾燥を行って、リンガラス層上に撥水剤層を形成した。
11 半導体層部
12 p型シリコン基板
13 n型拡散層(リン拡散層)
14 反射防止膜
15 表銀グリッド電極
16 表銀バス電極
17 裏アルミ電極
18 裏銀電極
19 低抵抗拡散層
21a リンガラス層
21 リンガラス層
22 撥水剤層
23 リン酸
Claims (5)
- リンが拡散されたリン拡散層とリンガラス層とを基板表面にこの順で有するシリコン基板の前記リンガラス層表面に撥水剤を塗布して撥水剤層を形成する撥水剤層形成工程と、
前記撥水剤層を形成したシリコン基板に対してレーザ照射を行って所定のパターン領域の前記撥水剤層および少なくとも前記リンガラス層の一部を除去する除去工程と、
前記レーザ照射を行った前記シリコン基板の表面にリン酸またはリン酸溶液を塗布して前記所定のパターン領域に前記リン酸または前記リン酸溶液を選択塗布する選択塗布工程と、
前記リン酸または前記リン酸溶液を塗布した前記シリコン基板を熱処理することにより、前記リン酸または前記リン酸溶液のリンが少なくとも前記リン拡散層の一部に拡散させて低抵抗拡散層を形成する低抵抗拡散層形成工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池用拡散層の製造方法。 - 前記撥水剤としてシリコーン系塗布剤を用いること、
を特徴とする請求項1に記載の太陽電池用拡散層の製造方法。 - 前記レーザ照射は、赤外線レーザ、可視光レーザおよび紫外線レーザのうちの少なくとも一つを用いて行うこと、
を特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池用拡散層の製造方法。 - 前記撥水剤の塗布は、ローラー塗布、スプレー塗布、浸漬塗布、およびインクジェット塗布の何れか、あるいはこれらの組み合わせにより行うこと、
を特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の太陽電池用拡散層の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の太陽電池用拡散層の製造方法により前記低抵抗拡散層を形成する工程と、
前記撥水剤層と前記リンガラス層とを除去する工程と、
前記リン拡散層上に反射防止膜を形成する工程と、
前記反射防止膜を形成後に低抵抗拡散層表面および低抵抗拡散層表面と反対の面に電極ペーストを配置する工程と、
前記電極ペーストを焼成して電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
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