JP2009245998A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009245998A JP2009245998A JP2008087942A JP2008087942A JP2009245998A JP 2009245998 A JP2009245998 A JP 2009245998A JP 2008087942 A JP2008087942 A JP 2008087942A JP 2008087942 A JP2008087942 A JP 2008087942A JP 2009245998 A JP2009245998 A JP 2009245998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- impurity
- concentration
- type impurity
- diffusion region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 235
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 66
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 9
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 49
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 15
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 14
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 10
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 7
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
- H01L29/7835—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's with asymmetrical source and drain regions, e.g. lateral high-voltage MISFETs with drain offset region, extended drain MISFETs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/1025—Channel region of field-effect devices
- H01L29/1029—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors
- H01L29/1033—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure
- H01L29/1041—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure with a non-uniform doping structure in the channel region surface
- H01L29/1045—Channel region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate, e.g. characterised by the length, the width, the geometric contour or the doping structure with a non-uniform doping structure in the channel region surface the doping structure being parallel to the channel length, e.g. DMOS like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
- H01L29/66659—Lateral single gate silicon transistors with asymmetry in the channel direction, e.g. lateral high-voltage MISFETs with drain offset region, extended drain MISFETs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/665—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET using self aligned silicidation, i.e. salicide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Abstract
【解決手段】高耐圧トランジスタにおいて、チャネル領域14を、p型不純物を高濃度に有する高濃度領域14aと、n型不純物領域13a(オフセット不純物領域19)の端部と高濃度領域14aの端部との間の領域であって高濃度領域14aよりもp型不純物を低濃度に有する低濃度領域14bとから構成する。
【選択図】図5
Description
ゲート電圧がさほど高値を要さない高耐圧トランジスタでは、厚い(例えば50nm程度)ゲート絶縁膜は必要ではない。しかもゲート絶縁膜が厚いと、オン抵抗の低減が困難となる。そこで高耐圧トランジスタでは、ゲート絶縁膜を比較的薄く(例えば15nm程度)形成することが要求される。
しかしながら、チャネル領域を高濃度にすると、チャネル領域とオフセット不純物領域とでは不純物が反対導電型であることから、高不純物濃度のチャネル領域と低濃度のオフセット不純物領域とが隣接する境界部位では、不純物の濃度勾配が極度に大きくなる。この濃度勾配の急峻化により、電子の加速が促進されてインパクトイオンの発生が顕著となり、ホットキャリアが大幅に増加する。これによって、高耐圧トランジスタの特性が劣化し、その寿命が短くなるという問題がある。
また、特許文献3には、MOSFETにおいて、値制御のためのチャネル領域への不純物導入を、ゲート電極の端部よりも内側に行い、電界集中を抑える旨が開示されている。
本件では、第1の不純物拡散領域と第2の不純物拡散領域との間の半導体基板に形成されるチャネル領域において、第1の不純物拡散領域が第2の不純物拡散領域よりも長く形成され、第1の不純物拡散領域がいわゆるオフセット不純物領域(ドリフト領域)とされている。そして、チャネル領域は、第1の不純物拡散領域に隣接する部分における第1導電型の不純物の濃度が第2の不純物拡散領域に隣接する部分における第1導電型の不純物の濃度よりも低く形成されている。
本件では、チャネル領域を、第1の不純物拡散領域と隣接する第1の領域で低濃度に、第2の不純物拡散領域と隣接する第2の領域で第1の領域よりも高濃度に、第1導電型の不純物を有するように形成する。
一方、チャネル領域の第2の不純物拡散領域との境界には、チャネル領域の第2の領域が位置している。この構成により、チャネル領域は第1の領域の存在によって当該境界まで可及的にn型不純物の高濃度領域とされる。これにより、パンチスルーの少ない安定した閾値が得られる。
また、本件の半導体装置の製造工程において、LDMOSFETとは異なり、第1及び第2の不純物拡散領域を形成する際に、不純物導入した後の追加の熱拡散工程を必要とせずに、薄いゲート絶縁膜の高耐圧半導体装置を作製することができる。これにより、例えばサブミクロンルールのトランジスタ等と容易に混載することが可能となる。
以下、本件を適用した具体的な諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の各実施形態では、半導体装置としてnチャネルの高耐圧トランジスタを開示し、その構成を製造方法と共に説明する。
本実施形態では、半導体装置としてnチャネルの高耐圧トランジスタを開示し、その構成を製造方法と共に説明する。
図1〜図5は、第1の実施形態によるnチャネルの高耐圧トランジスタの製造方法を工程順に示す概略断面図である。
詳細には、半導体基板1を熱酸化し、当該半導体基板1の表面に、例えば膜厚3nm〜30nm程度、ここでは15nm程度に、ゲート絶縁膜となる絶縁膜2を形成する。ここで、絶縁膜2の膜厚は、ゲート電圧(Vg)が比較的低いこと及びオン抵抗を低く抑えることを考慮した値である。
次に、絶縁膜2上に、CVD法等により導電膜、ここではn型不純物がドープされた多結晶シリコン膜3を膜厚50nm程度に堆積形成する。
詳細には、先ず、多結晶シリコン膜3上にレジストを塗布し、リソグラフィーによりレジストを加工し、レジストマスク4を形成する。
次に、レジストマスク4を用いて、p型不純物を、多結晶シリコン膜3及び絶縁膜2を透過して半導体基板1の表層に到達する条件でイオン注入する。具体的には、p型不純物として例えばホウ素(B+)を、例えば加速エネルギー30keV、ドーズ量4×1012/cm2の条件でイオン注入する。これにより、半導体基板1の表層に浅く高不純物濃度、例えば深さ40nm程度で不純物濃度が2×1017/cm3程度のp型不純物領域5が形成される。
その後、レジストマスク4を灰化処理等により除去する。
詳細には、多結晶シリコン膜3及び絶縁膜2をリソグラフィー及びドライエッチングにより電極形状に加工し、半導体基板1上にゲート絶縁膜11を介したゲート電極12を形成する。ここで、ゲート電極12を形成する際に、ゲート電極12下(ゲート絶縁膜11を介する)の領域にp型不純物領域5の一部が存し、当該領域内にp型不純物領域5の端部が包含されるように、上記の加工を行う。
詳細には、ゲート電極12の両側における半導体基板1の表層に、p型不純物領域5よりも深く所定の低不純物濃度となるようにn型不純物をイオン注入する。具体的には、n型不純物として例えばリン(P+)を、例えば加速エネルギー60keV、ドーズ量2×1012/cm2の条件でイオン注入する。これにより、ゲート電極12の両側の半導体基板1の表層に、自己整合的にp型不純物領域5よりも深く低不純物濃度、例えば深さ80nm程度で不純物濃度が2×1017/cm3程度のn型不純物領域13a,13bが形成される。ここで、n型不純物領域13aはn型不純物領域13bよりもゲート長方向に長く形成され、半導体基板1の表層におけるn型不純物領域13aとn型不純物領域13bとの間、即ちゲート電極12下の領域が、チャネル領域14となる。
一方、チャネル領域14のn型不純物領域13bとの境界には、チャネル領域14の高濃度領域14aが位置している。この構成により、チャネル領域14は高濃度領域14aの存在によって当該境界まで可及的にn型不純物の高濃度領域とされる。これにより、パンチスルーの少ない安定した閾値が得られる。
詳細には、CVD法等により、ゲート電極12を覆うように半導体基板1の全面に絶縁膜6として例えばシリコン酸化膜を膜厚100nm程度に堆積形成する。
次に、全面にレジストを塗布し、リソグラフィーによりレジストを加工して、n型不純物領域13aについて、所望の耐圧に応じた長さを持った低濃度なオフセット不純物領域に対応した部分を覆うレジストマスク7を形成する。
詳細には、レジストマスク7を用いて、絶縁膜6を異方性ドライエッチングする。これにより、レジストマスク7の形状に対応して絶縁膜6が残って絶縁マスク15が形成されるとともに、ゲート絶縁膜11及びゲート電極12のn型不純物領域13側の側面に絶縁膜6が堆積されてサイドウォール絶縁膜16が形成される。
その後、レジストマスク7を灰化処理等により除去する。
詳細には、ゲート電極12、絶縁マスク15及びサイドウォール絶縁膜16をマスクとして、半導体基板1の表層、ここではn型不純物領域13a,13b内にn型不純物領域13a,13bよりも浅く高不純物濃度となるようにn型不純物をイオン注入する。具体的には、n型不純物として例えば砒素(As+)を、例えば加速エネルギー30keV、ドーズ量1×1015/cm2の条件でイオン注入する。
一方、上記のイオン注入により、n型不純物領域13b内には、n型不純物領域13bよりも浅く高不純物濃度、例えば深さはn型不純物領域13aと同様の80nm程度で不純物濃度が1×1017/cm3程度とされたソース領域18が形成される。
詳細には、半導体基板1の全面にシリサイド金属、例えばTi又はCoをスパッタ法等により堆積し、半導体基板1を熱処理する。これにより、シリサイド金属20がシリコン部部、ここではゲート電極12の上面、ドレイン領域17の表面及びソース18の表面と反応し、シリサイド層20が形成される。その後、ウェットエッチング等により未反応(シリサイド化していない)シリサイド金属を除去し、サリサイド構造を形成する。
詳細には、先ず、CVD法等により半導体基板1の全面を覆うように絶縁膜、ここではシリコン酸化膜を例えば膜厚500nm程度に堆積し、層間絶縁膜21を形成する。
次に、コンタクト孔22aを埋め込む膜厚に導電材料、例えばタングステン(W)をCVD法等により層間絶縁膜21上に堆積する。そして、堆積したWを層間絶縁膜21上で例えばCMP法により研磨して、コンタクト孔22aをWで充填する導電プラグ22を形成する。
ここで、配線23を形成する代わりに、いわゆるダマシン法(例えばシングルダマシン法)により配線を形成しても良い。この場合、層間絶縁膜21上に更に層間絶縁膜を形成し、この層間絶縁膜に配線溝を形成した後、配線溝を埋め込むように銅又は銅合金を堆積し、CMP法により層間絶縁膜上で銅又は銅合金を研磨する。これにより、導電プラグ22と適宜接続されてなる配線が層間絶縁膜の配線溝内に形成される。なお、いわゆるデュアルダマシン法により、導電プラグと配線を銅又は銅合金により形成しても好適である。
また、本実施形態によれば、LDMOSFETとは異なり、n型不純物領域13a,13bを形成する際に、不純物導入した後の追加の熱拡散工程を必要とせずに、薄いゲート絶縁膜11を備えたnチャネルの高耐圧トランジスタを作製することができる。これにより、例えばサブミクロンルールのMOSトランジスタ等と容易に混載することが可能となる。
図6(b)は、実験2として得られた、耐圧トランジスタをオンした場合のドレイン領域17のブレークダウン電圧と離間距離との関係を示す特性図である。
図6(c)は、実験3として得られた、閾値電圧(Vth)と離間距離との関係を示す特性図である。
一方、図6(b)に示すように、耐圧トランジスタをオンした場合には、離間距離が大きいほどドレイン耐圧が低下する。
また、図6(c)に示すように、離間距離が大きくなると、閾値電圧は比較的緩やかに低下する。
なお、上記の結果は、ドレイン耐圧を24Vに設定し、チャネル領域14の不純物濃度分布を上記のように設定した場合に得られたものであり、ドレイン耐圧の設定値やチャネル領域14の不純物濃度分布の設定値を変えることにより、上記の離間距離の最適値を変化する。このような各値の変化も考慮した離間距離の好適な割合としては、チャネル領域14の全体の長さの10%〜40%程度、例えば20%前後であると考えられる。
本実施形態では、第1の実施形態と同様に、半導体装置としてnチャネルの高耐圧トランジスタを開示し、その構成を製造方法と共に説明する。本実施形態の高耐圧トランジスタは、第1の実施形態とほぼ同様の構成を有し、同様の製造方法で作製されるが、更にソース領域側に工夫が施されている点で第1の実施形態と相違する。
図7〜図9は、第2の実施形態によるnチャネルの高耐圧トランジスタの製造方法の主要工程を順に示す概略断面図である。ここで、第1の実施形態の構成部材等と同様のものについては同符号を付す。
続いて、図7(a)に示すように、n型不純物領域13bのみにこれよりも高不純物濃度のn型高濃度領域25を形成する。
次に、レジストマスク24を用いて、n型不純物領域13b内にn型不純物領域13bよりも浅く高不純物濃度となるようにn型不純物をイオン注入する。具体的には、n型不純物として例えばリン(P+)を、例えば加速エネルギー20keV、ドーズ量4×1013/cm2の条件でイオン注入する。
その後、レジストマスク24を灰化処理等により除去する。
続いて、図8(a)に示すように、第1の実施形態の図3(b)と同様に、絶縁膜6を異方性ドライエッチングし、絶縁マスク15及びサイドウォール絶縁膜16を形成する。
ここで、サイドウォール絶縁膜16がイオン注入のマスクとなって、チャネル領域14の高濃度領域14aとソース領域18との間にn型高濃度領域25が残存する。即ち、高濃度領域14aとソース領域18との間には、n型不純物領域13bよりはn型不純物濃度の高いn型高濃度領域25が位置する。
そして、第1の実施形態の図5と同様に、半導体基板1の全面を覆う層間絶縁膜21、導電プラグ22及び配線23を順次形成する。
しかる後、更なる層間絶縁膜、導電プラグ及び配線の形成、保護膜の形成等を諸工程を経て、本実施形態によるnチャネルの耐圧トランジスタを完成させる。
本実施形態では、第1又は第2の実施形態による高耐圧トランジスタ(以下、単に本実施形態による高耐圧トランジスタと称する。)を、例えば電源コントロール用ICの昇圧・昇降圧回路に適用した一例について開示する。
図10は、第3の実施形態による電源コントロール用ICの概略構成を示すブロック図である。この電源コントロール用ICは、例えば携帯電話等の携帯機器に用いられる。
本実施形態では、本実施形態による高耐圧トランジスタを、例えば表示コントロール用ICのドライバICに適用した一例について開示する。
図11は、第4の実施形態による表示コントロール用ICの概略構成を示すブロック図である。この表示コントロール用ICは、例えば携帯電話等の携帯機器に用いられる。
2,6 絶縁膜
3 多結晶シリコン膜
4,7,24 レジストマスク
5 p型不純物領域
11 ゲート絶縁膜
12 ゲート電極
13a,13b n型不純物領域
14 チャネル領域
14a 高濃度領域
14b 低濃度領域
15 絶縁マスク
16 サイドウォール絶縁膜
17 ドレイン領域
18 ソース領域
19 オフセット不純物領域
20 シリサイド層
21 層間絶縁膜
22 導電プラグ
22a コンタクト孔
23 配線
25 n型高濃度領域
31,41 電池
32 電源コントロール回路
33 昇圧・昇降圧回路
34 高電圧回路
35,45 低電圧系回路群
36,46 高電圧系回路群
42 表示用コントロール回路
43 ドライバIC
44 表示デバイス
Claims (5)
- 第1導電型の不純物を有する半導体基板と、
前記半導体基板に形成され、第2導電型の不純物を有する第1の不純物拡散領域と、
前記半導体基板に形成され、前記第2の導電型不純物を有する第2の不純物拡散領域と、
前記第1の不純物拡散領域と前記第2の不純物拡散領域との間の前記半導体基板に形成されるチャネル領域と
を含み、
前記第1の不純物拡散領域は、前記第2の不純物拡散領域よりも長く形成されており、
前記チャネル領域は、前記第1の不純物拡散領域に隣接する部分における前記第1導電型の不純物の濃度が前記第2の不純物拡散領域に隣接する部分における前記第1導電型の不純物の濃度よりも低く形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記チャネル領域は、前記第1の不純物拡散領域と離間し、前記第2の不純物拡散領域と隣接するように、前記半導体基板よりも高濃度に前記第1導電型の不純物を有する第3の不純物拡散領域を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の不純物拡散領域は、前記チャネル領域に隣接する部分が、その他の部分よりも高濃度に前記第2導電型の不純物を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 第1導電型の不純物を有する半導体基板の表層の一部に、前記半導体基板よりも高濃度に前記第1導電型の不純物を導入する第1の工程と、
前記半導体基板に、第2導電型の不純物を有する第1の不純物拡散領域と、前記第2の導電型不純物を有する第2の不純物拡散領域とを形成する第2の工程と
を含み、
前記第2の工程において、前記第1の工程で導入した前記第1導電型の不純物に対して、前記第1の不純物拡散領域は離間するように、前記第2の不純物拡散領域は重畳するようにそれぞれ形成し、
前記第1の不純物拡散領域と前記第2の不純物拡散領域との間の前記半導体基板に形成されるチャネル領域に、前記第1の不純物拡散領域と離間し、前記第2の不純物拡散領域と隣接する第3の不純物拡散領域を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2の工程の後に、前記第2の不純物拡散領域の前記チャネル領域に隣接する部分のみに前記第2導電型の不純物を導入する第3の工程を更に含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008087942A JP2009245998A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008087942A JP2009245998A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009245998A true JP2009245998A (ja) | 2009-10-22 |
Family
ID=41307597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008087942A Pending JP2009245998A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009245998A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011100911A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JP2011199153A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2012120899A1 (ja) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013004687A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2013149677A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2013175586A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013247347A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Canon Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
CN109428535A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 精工爱普生株式会社 | 电机驱动电路、半导体装置以及电子设备 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000312001A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002261297A (ja) * | 1991-05-06 | 2002-09-13 | Siliconix Inc | 低濃度にドープされたドレインを有するラテラルmos電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2002270825A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-20 | Hitachi Ltd | 電界効果トランジスタ及び半導体装置の製造方法 |
JP2006080548A (ja) * | 1994-11-24 | 2006-03-23 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2006294870A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2007027641A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009043892A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2008
- 2008-03-28 JP JP2008087942A patent/JP2009245998A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002261297A (ja) * | 1991-05-06 | 2002-09-13 | Siliconix Inc | 低濃度にドープされたドレインを有するラテラルmos電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2006080548A (ja) * | 1994-11-24 | 2006-03-23 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2000312001A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Seiko Epson Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002270825A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-20 | Hitachi Ltd | 電界効果トランジスタ及び半導体装置の製造方法 |
JP2006294870A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2007027641A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009043892A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011100911A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JP2011199153A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US8987106B2 (en) | 2010-03-23 | 2015-03-24 | Fujitsu Semiconductor Limited | Semiconductor device manufacturing method |
JP5651232B2 (ja) * | 2011-03-09 | 2015-01-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN103415916A (zh) * | 2011-03-09 | 2013-11-27 | 旭化成微电子株式会社 | 半导体装置以及半导体装置的制造方法 |
US20130341716A1 (en) * | 2011-03-09 | 2013-12-26 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
WO2012120899A1 (ja) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US9048252B2 (en) | 2011-03-09 | 2015-06-02 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
KR101571615B1 (ko) * | 2011-03-09 | 2015-11-24 | 아사히 가세이 일렉트로닉스 가부시끼가이샤 | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2013004687A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2013149677A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2013175586A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013247347A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Canon Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
CN109428535A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 精工爱普生株式会社 | 电机驱动电路、半导体装置以及电子设备 |
CN109428535B (zh) * | 2017-08-30 | 2023-04-21 | 精工爱普生株式会社 | 电机驱动电路、半导体装置以及电子设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102290441B (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
US9184283B2 (en) | High voltage device | |
US8461647B2 (en) | Semiconductor device having multi-thickness gate dielectric | |
CN108666273B (zh) | 半导体装置 | |
US10418480B2 (en) | Semiconductor device capable of high-voltage operation | |
US10396166B2 (en) | Semiconductor device capable of high-voltage operation | |
JP2009245998A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007227746A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
EP3217434B1 (en) | Semiconductor device capable of high-voltage operation | |
JP2008066420A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2007165853A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
US7704814B2 (en) | Method for manufacturing MOS transistor of semiconductor device | |
JP2017162920A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5002920B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005150375A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2008140922A (ja) | 半導体装置 | |
JP2005353655A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006086467A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007088488A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5280648B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20150035067A1 (en) | Low rdson device and method of manufacturing the same | |
JP2008166570A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2005322730A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2013222892A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2011103376A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081204 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130321 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130716 |