JP2009244791A - ネガ型感光性緑色組成物、緑色フィルター用ネガ型緑色膜、ネガ型感光性青色組成物、青色フィルター用ネガ型青色膜、ネガ型感光性赤色組成物、赤色フィルター用ネガ型赤色膜、カラーフィルター、そしてカラーフィルターの製造方法 - Google Patents
ネガ型感光性緑色組成物、緑色フィルター用ネガ型緑色膜、ネガ型感光性青色組成物、青色フィルター用ネガ型青色膜、ネガ型感光性赤色組成物、赤色フィルター用ネガ型赤色膜、カラーフィルター、そしてカラーフィルターの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】緑,青,赤色組成物は、モノマー(M)対開始剤(I)の比(I/M)が20〜40%、モノマー種及びポリマー種の夫々が単一組成である。そして、合計樹脂量に対する開始剤とモノマーの合計量が、緑色組成物は4〜6%,青色組成物は6〜7%,そして赤色組成物は3.5〜6%である。カラーフィルター製造方法は:撮像素子14の複数の光電変換素12に対応して緑,青,赤色組成物によりネガ型膜18を形成し、この膜を濃度分布マスクを介してパターン露光した後に現像し、現像後に各色フィルターの外表面が凸レンズ形状に形成されている。
【選択図】 図4
Description
最初に、緑色フィルターセグメントを、所定の対応する光電変換素子12上に形成する場合には、ネガ型感光性緑色組成物により形成されたネガ型緑色膜によりネガ型カラーレジスト層18を構成し、この場合のネガ型カラーレジスト層18の厚さRHは0.5μm〜2.5μmの範囲に設定される。
溶剤として、例えばシクロヘキサン,エチルセロソルブアセテート,ブチルセロソルブアセテート,1−メトキシ−2−プロピルアセテート,ジエチレングリコールジメチルエーテル,エチルベンゼン,エチレングリコールジエチルエーテル,キシレン,エチルセロソルブ,メチルn−アミルケトン,プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン,メチルエチルケトン,酢酸エチル,メタノール,エタノール,イソプロピルアルコール,ブタノール,イソブチルケトン,その他の石油系溶剤を単独もしくは混合して使用することが出来る。
この実施の形態に使用したハーフトーンマスク20では、光電変換素子12の中心を中心とした複数の同心円において中心に近づくほど光を遮光する黒ドットの数を減らしており、この結果として中心に近づくほど同心円状に光の透過率が増加する。
480nmと515nmとの間及び560nmと600nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、そして、
530nmの波長の光の透過率が70%以上である。
上述した緑色フィルターセグメントの形成に続き、次に、青色フィルターセグメントを、所定の対応する光電変換素子12上に形成する場合について説明する。
480nmと520nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、そして、
700nmの波長の光の透過率が20%以下である。
上述した緑色フィルターセグメント及び青色フィルターセグメントの形成に続き、最後に、赤色フィルターセグメントを、所定の対応する光電変換素子12上に形成する場合について説明する。
430nmと560nmとの間の波長の透過率が10%以下であり、そして、
570nmと600nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、
600nmの波長の光の透過率が75%以上である。
Claims (26)
- 少なくとも溶剤,緑色顔料,モノマー,ポリマー,開始剤,そして添加剤が混合されているネガ型感光性緑色組成物であって、
モノマー(M)に対する開始剤(I)の比(I/M)が20%〜40%の範囲であり、
開始剤(I)とモノマー(M)とポリマー(P)との合計樹脂量(SP)に対する開始剤(I)とモノマー(M)との合計量が4%〜6%の範囲であり、そして、
モノマー種が単一組成であるとともにポリマー種も単一組成である、
ことを特徴としているネガ型感光性緑色組成物。 - 前記モノマー(M)が3官能アクリルモノマーである、ことを特徴とする請求項1に記載のネガ型感光性緑色組成物。
- 前記ポリマーの酸価が60〜100の範囲であり、平均分子量が1万〜5万であることを特徴とする請求項1に記載のネガ型感光性緑色組成物。
- 緑色顔料として、C.I.ピグメントグリーン36,C.I.ピグメントグリーン7,そしてC.I.ピグメントイエロー139を含んでいて、そして、
緑色フィルターにおける緑色顔料の濃度が20〜55重量%の範囲である、
ことを特徴とする請求項1に記載のネガ型感光性緑色組成物。 - 緑色顔料として、C.I.ピグメントグリーン36及びC.I.ピグメントイエロー150を含んでいて、そして、
緑色フィルターにおける緑色顔料の濃度が20〜55重量%の範囲である、
ことを特徴とする請求項1に記載のネガ型感光性緑色組成物。 - 0.5〜2.5μmの範囲の膜厚を有する緑色フィルター用ネガ型緑色膜であって、可視光の波長領域において略凸字状の分光透過率曲線を有し、
400nmと435nmとの間及び620nmと660nmとの間の波長の光の透過率が10%以下であり、
480nmと515nmとの間及び560nmと600nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、そして、
530nmの波長の光の透過率が70%以上である、
ことを特徴とする緑色フィルター用ネガ型緑色膜。 - 0.5〜2.5μmの範囲の膜厚を有する緑色フィルター用ネガ型緑色膜であって、可視光の波長領域において略凸字状の分光透過率曲線を有し、
400nmと435nmとの間及び620nmと660nmとの間の波長の光の透過率が10%以下であり、
460nmと510nmとの間及び550nmと600nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、そして、
530nmの波長の光の透過率が70%以上である、
ことを特徴とする緑色フィルター用ネガ型緑色膜。 - 撮像素子の複数の光電変換素子に対応して配置された少なくとも1つの緑色フィルターセグメントを具備するカラーフィルターであって、
前記緑色フィルターセグメントが、請求項1〜5のいずれか1項に記載のネガ型感光性緑色組成物により形成されており、そして、
前記緑色フィルターセグメント中に緑色顔料が20〜55重量%含まれている、
ことを特徴とするカラーフィルター。 - 前記緑色フィルターセグメントにおいて対応する光電変換素子とは反対側に位置する表面が凸レンズ形状に形成されている、ことを特徴とする請求項8に記載のカラーフィルター。
- 撮像素子の複数の光電変換素子の少なくとも1つに対応して請求項1〜5のいずれか1項に記載のネガ型感光性緑色組成物によりネガ型緑色膜を形成し、
前記ネガ型緑色膜を濃度分布マスクを用いてパターン露光した後に現像し、
現像後に対応する光電変換素子とは反対側に位置する表面が凸レンズ形状に形成されている緑色フィルターが形成される、
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 少なくとも溶剤,青色顔料,モノマー,ポリマー,開始剤,そして添加剤が混合されているネガ型感光性青色組成物であって、
モノマー(M)に対する開始剤(I)の比(I/M)が20%〜40%の範囲であり、
開始剤(I)とモノマー(M)とポリマー(P)との合計樹脂量(SP)に対する開始剤(I)とモノマー(M)との合計量が6%〜7%の範囲であり、そして、
モノマー種が単一組成であるとともにポリマー種も単一組成である、
ことを特徴としているネガ型感光性青色組成物。 - 前記モノマー(M)が3官能アクリルモノマーである、ことを特徴とする請求項11に記載のネガ型感光性青色組成物。
- 前記ポリマーの酸価が60〜100の範囲であり、平均分子量が1万〜5万であることを特徴とする請求項11に記載のネガ型感光性青色組成物。
- 青色顔料として、C.I.ピグメントブルー15:6及びC.I.ピグメントバイオレット23を含んでいて、そして、
青色フィルターにおける青色顔料の濃度が15〜45重量%の範囲である、
ことを特徴とする請求項11に記載のネガ型感光性青色組成物。 - 0.5〜2.5μmの範囲の膜厚を有する青色フィルター用ネガ型青色膜であって、可視光の波長領域において略凸字状の分光透過率曲線を有し、
400nm波長の光の透過率が40%以上であり、
480nmと520nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、そして、
700nm波長の光の透過率が20%以下である、
ことを特徴とする青色フィルター用ネガ型青色膜。 - 撮像素子の複数の光電変換素子に対応して配置された少なくとも1つの青色フィルターセグメントを具備するカラーフィルターであって、
前記青色フィルターセグメントが、請求項11〜14のいずれか1項に記載のネガ型感光性青色組成物により形成されており、そして、
前記青色フィルターセグメント中に青色顔料が15〜45重量%含まれている、
ことを特徴とするカラーフィルター。 - 前記青色フィルターセグメントにおいて対応する光電変換素子とは反対側に位置する表面が凸レンズ形状に形成されている、ことを特徴とする請求項14に記載のカラーフィルター。
- 撮像素子の複数の光電変換素子の少なくとも1つに対応して請求項11〜14のいずれか1項に記載のネガ型感光性青色組成物によりネガ型青色膜を形成し、
前記ネガ型青色膜を濃度分布マスクを用いてパターン露光した後に現像し、
現像後に対応する光電変換素子とは反対側に位置する表面が凸レンズ形状に形成されている青色フィルターが形成される、
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 少なくとも溶剤,赤色顔料,モノマー,ポリマー,開始剤,そして添加剤が混合されているネガ型感光性赤色組成物であって、
モノマー(M)に対する開始剤(I)の比(I/M)が20%〜40%の範囲であり、
開始剤(I)とモノマー(M)とポリマー(P)との合計樹脂量(SP)に対する開始剤(I)とモノマー(M)との合計量が3.5%〜6%の範囲であり、そして、
モノマー種が単一組成であるとともにポリマー種も単一組成である、
ことを特徴としているネガ型感光性赤色組成物。 - 前記モノマー(M)が3官能アクリルモノマーである、ことを特徴とする請求項19に記載のネガ型感光性赤色組成物。
- 前記ポリマーの酸価が60〜100の範囲であり、平均分子量が1万〜5万であることを特徴とする請求項19に記載のネガ型感光性赤色組成物。
- 赤色顔料として、C.I.ピグメントレッド177,C.I.ピグメントレッド48:1,そしてC.I.ピグメントイエロー139を含んでいて、そして、
赤色フィルターにおける赤色顔料の濃度が20〜50重量%の範囲である、
ことを特徴とする請求項19に記載のネガ型感光性赤色組成物。 - 0.5〜2.5μmの範囲の膜厚を有する赤色フィルター用ネガ型赤色膜であって、可視光の波長領域において略S字状の分光透過率曲線を有し、
400nm波長の光の透過率が20%以下であり、
430nmと560nmとの間の波長の光の透過率が10%以下であり、
570nmと600nmとの間に光の透過率が50%となる波長を有し、そして、
600nm波長の光の透過率が75%以上である、
ことを特徴とする赤色フィルター用ネガ型赤色膜。 - 撮像素子の複数の光電変換素子に対応して配置された少なくとも1つの赤色フィルターセグメントを具備するカラーフィルターであって、
前記赤色フィルターセグメントが、請求項1〜4のいずれか1項に記載のネガ型感光性赤色組成物により形成されており、そして、
前記赤色フィルターセグメント中に赤色顔料が20〜50重量%含まれている、
ことを特徴とするカラーフィルター。 - 前記赤色フィルターセグメントにおいて対応する光電変換素子とは反対側に位置する表面が凸レンズ形状に形成されている、ことを特徴とする請求項24に記載のカラーフィルター。
- 撮像素子の複数の光電変換素子の少なくとも1つに対応して請求項19〜22のいずれか1項に記載のネガ型感光性赤色組成物によりネガ型赤色膜を形成し、
前記ネガ型赤色膜を濃度分布マスクを用いてパターン露光した後に現像し、
現像後に対応する光電変換素子とは反対側に位置する表面が凸レンズ形状に形成されている赤色フィルターが形成される、
ことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
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