JP2009239433A - 固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】画素混合モード時に、蓄積電荷量の飽和近傍で各画素の飽和レベルを一定に保ち、画質劣化を低減する。
【解決手段】複数のフォトダイオードの蓄積電荷は垂直CCD,水平CCDへ向けて順次転送され撮像出力として出力される。この電荷移送期間の電荷蓄積読出しパルス20a,20b,20cの立ち上がり時間を基準に、電圧変動パルス20_1は、電圧変動開始間隔20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3の時間を確保し立ち上がる。また、電荷蓄積読出しパルス20aの立ち上がり時間を基準に、電圧変動パルス20_2は、電圧変動開始間隔20_2aの時間を確保し立ち上がる。各電圧変動開始間隔が0sの時間に電圧変動パルス20_1および20_2の立ち上がりで、基板電圧Vsubを制御し、基板電圧Vsubの電圧降下の影響を少なくして、蓄積電荷量の飽和近傍における各画素の飽和レベルを一定に保ち、色再現性や画質劣化を低減する。
【選択図】図4
【解決手段】複数のフォトダイオードの蓄積電荷は垂直CCD,水平CCDへ向けて順次転送され撮像出力として出力される。この電荷移送期間の電荷蓄積読出しパルス20a,20b,20cの立ち上がり時間を基準に、電圧変動パルス20_1は、電圧変動開始間隔20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3の時間を確保し立ち上がる。また、電荷蓄積読出しパルス20aの立ち上がり時間を基準に、電圧変動パルス20_2は、電圧変動開始間隔20_2aの時間を確保し立ち上がる。各電圧変動開始間隔が0sの時間に電圧変動パルス20_1および20_2の立ち上がりで、基板電圧Vsubを制御し、基板電圧Vsubの電圧降下の影響を少なくして、蓄積電荷量の飽和近傍における各画素の飽和レベルを一定に保ち、色再現性や画質劣化を低減する。
【選択図】図4
Description
本発明は、固体撮像装置の駆動方法に関するものである。
近年、ビデオカメラやデジタルカメラの撮像部、あるいはファックスやイメージスキャナの画像認識部を構成する固体撮像装置としてはCCD(Charge Coupled Device)型イメージセンサが広く用いられている。
また、固体撮像装置では、近年特に、ブルーミング特性が重要視されており、特許文献1,特許文献2には、基板電圧Vsubを適宜設定することにより素子の特性に適合したブルーミング特性を抑制する技術が開示されており、さらに、特許文献3には画素混合モード駆動時の過剰電荷排出部へ供給する制御電圧を電荷蓄積期間と電荷移送期間とで異ならせる技術が開示されている。
特開平7−284026号公報
特開昭61−26375号公報
特開2005−86672号公報
しかしながら、従来技術に示された固体撮像装置では、画素混合モードの各種混合方式の増加に伴い、ある画素混合駆動時に飽和に近い電荷量を蓄積した場合、各画素の飽和レベルが一定にならないという問題があった。
本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、蓄積した電荷量の飽和近傍における、各画素の飽和レベルを一定に保つことができ、高速駆動を行えるCCDにおける飽和時の転送において、飽和している信号が基板中に排出され、飽和信号量が消失し、画像劣化が発生することを防ぐ固体撮像装置の駆動方法を提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明に係る請求項1に記載した固体撮像装置の駆動方法は、入射光量に応じた信号電荷を蓄積する複数の光電変換部と、光電変換部に蓄積された信号電荷を読み出す読出部と、制御電圧により設定される飽和電荷量を超えた過剰電荷を光電変換部から排出する過剰電荷排出部と、過剰電荷排出部に制御電圧を供給する制御電圧供給部とを備え、光電変換部に蓄積された信号電荷を画素毎に個別に検出する全画素モードと、信号電荷を所定個数分加算混合して検出する画素混合モードとを、選択的に適用して駆動することが可能な固体撮像装置において、制御電圧供給部は、全画素モードによる駆動を行う場合の過剰電荷排出部へ供給する制御電圧を、光電変換部への電荷蓄積期間と読出部への電荷移送期間とで同等とし、画素混合モードによる駆動を行う場合の過剰電荷排出部へ供給する制御電圧を、電荷蓄積期間と電荷移送期間とで異ならせ、制御電圧を変化させる開始時間を電荷移送の開始時間と同時に開始させることを特徴とする。
また、請求項2〜5に記載した固体撮像装置の駆動方法は、請求項1の駆動方法において、初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、次画素の電荷移送開始時間前に制御電圧を一旦元に戻し、再度変化させること、さらに、初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、画素混合の最終画素の電荷移送終了後まで、電圧を保つこと、さらに、初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、画素混合の初期画素の電荷移送終了と同時に制御電圧を元に戻し、再度、次画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させること、さらに、初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、画素混合の最終画素の電荷移送終了後まで、電圧を保ち、電荷移送終了と同時に制御電圧を元に戻すことを特徴とする。
前記駆動方法によれば、画素混合モード時に、蓄積電荷量の飽和近傍における、各画素の飽和レベルを一定に保ち、色再現性を損なうことなく画質劣化を低減できる。
本発明によれば、画素混合モード時に、蓄積した電荷量の飽和近傍における、各画素の飽和レベルを一定に保ち、色再現性を損なわず、画質劣化を低減することができるという効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
図1は本発明の実施形態に係る固体撮像装置を示した構造平面図である。図1において、1は光電変換部を形成するフォトダイオードであり、マトリクス状に複数配列されている。フォトダイオード1の各列間に、垂直CCD2が配列されて撮像領域3が形成されている。各フォトダイオード1に蓄積された電荷は垂直CCD2へ移送され、垂直CCD2により、水平CCD4へ向けて垂直方向に並列転送される。従って水平CCD4には、複数本の垂直CCD2から1走査線に相当する信号電荷が順次転送される。水平CCD4に達した電荷は水平方向へ転送されて、電荷検出部5により信号電圧に変換され、出力アンプ6で増幅された後、撮像出力OUTとして導出される。以上の要素がn型基板7上に形成されている。
また、垂直CCD2は、タイミング発生回路8から供給される、例えば4相の転送クロックφV1,φV2,φV3,φV4によって転送駆動される。これにより、垂直CCD2に読み出された信号電荷は、水平ブランキング期間に1走査線に相当する部分ずつ順に垂直方向に転送される。水平CCD4は、例えば2相の水平転送クロックφH1,φH2によって転送駆動される。これにより、1走査線分の信号電荷は、水平ブランキング期間後の水平走査期間において、順次水平方向に転送される。
また、n型基板7は抵抗11を介して接地されており、n型基板7と抵抗11の接続点に、標準電圧発生回路9がダイオード10を介して接続されている。標準電圧発生回路9が発生する標準電圧は、基板電圧Vsubとしてn型基板7に印加される。基板電圧Vsubは、後述するように、フォトダイオード1に蓄積される信号電荷の飽和量を決定するために印加される電圧である。CCD型イメージセンサの製造ばらつきに伴う、基板電圧Vsubにより形成されるポテンシャル障壁の高さのばらつきを考慮して、標準電圧は、個々の素子(チップ)毎に最適値に設定されている。
一方、電子シャッタ動作が可能なCCDイメージセンサでは、タイミング発生回路8でシャッタパルスSPを生成し、このシャッタパルスSPがコンデンサ12で直流カットされた後、n型基板7に印加される。このとき、シャッタパルスSPの低レベルは、ダイオード10によって標準電圧の直流レベルにクランプされる。
次に、図2は、図1のA−A’線に沿った素子断面図である。図2において、n型基板7の上部にpウェル領域17が形成され、その中にフォトダイオード1、および垂直CCDチャンネル2aが形成されている。その上に、垂直CCDの転送電極とフォトダイオード1からの信号電荷の移送を制御する電極を兼ねた電極18が形成されている。19は素子分離領域である。この構造の素子は、3値のパルスによって駆動され、最も高い電圧が印加されたときに、フォトダイオード1から移送ゲート領域24を通って、信号電荷が垂直CCDチャンネル2aに移送される。
次に、図3は本実施形態に係る固体撮像装置の駆動方法であり、具体的には、ブルーミング抑制の動作を説明するための図である。なお、図3は、図2のB−C−D線に沿った電位分布を表わす図であり、図3の各領域は、対応するフォトダイオード1、移送ゲート領域24、垂直CCDチャンネル2a、pウェル領域17、n型基板7と同一の参照番号を用いて示す。
図3において、pウェル領域17とn型基板7間には基板電圧Vsubが印加されているので、pn接合されたフォトダイオード1の下部のpウェル領域17は空乏化され、実線で示される電位分布において電位障壁が形成されている。また、移送ゲート領域24の実線で示される電位は、信号電荷が移送されないときの状態を示す。信号電荷を移送するときは破線で示される電位になる。
移送ゲート領域24が破線で示す電位になったときに、フォトダイオード1の電荷が垂直CCDチャンネル2aへ移送されることにより、フォトダイオード1は電位25aで示す空の状態になる。移送期間が終了し蓄積期間が開始されると、入射する光により電荷が蓄積されるのに伴い、フォトダイオード1のポテンシャルの井戸は電位25bに示すように浅くなっていく。電位25bが、実線の電位分布におけるpウェル領域17の電位26aよりも下がると、過剰電荷がpウェル領域17を通過してn型基板7に排出される。このようにして、pウェル領域17の電位障壁で決まる飽和電荷量を超えてフォトダイオード1に電荷が蓄積されたとき、過剰電荷がn型基板7に排出されることにより、ブルーミングが抑制される。基板電圧Vsubを高くすれば、電位分布は破線で示す状態になり、pウェル領域17の電位26bで示される飽和電荷量が低い値に設定される。基板電圧Vsubを適宜設定することにより、素子の特性に適合したブルーミング抑制効果を得ることができる。
次に、図4を用いて、本実施形態に係る固体撮像装置の駆動方法において、画素混合モード駆動時の過剰電荷排出部へ供給する制御電圧を、電荷蓄積期間と電荷移送期間とで異ならせる動作(制御電圧を異ならせる開始時間、終了時間)について説明する。
画素混合時の電荷蓄積読出しパルス20a,20b,20cの「H」期間が電荷移送期間となる。「H」期間に基板電圧Vsubを変化させるパルスとして、各混合画素の電荷移送期間が終了すると、「L」期間となる電圧変動パルス20_1、および混合画素の最終画素移送期間が終了するまで「H」期間を保ち、終了後「L」期間となる電圧変動パルス20_2をもとに説明する。
電圧変動パルス20_1の立ち上がり時間は、電荷蓄積読出しパルス20a,20b,20cの立ち上がり時間を基準に、電圧変動開始間隔20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3の時間を確保するように立ち上がる。また、電圧変動パルス20_2の立ち上がり時間は、電荷蓄積読出しパルス20aの立ち上がり時間を基準に、電圧変動開始間隔20_2aの時間を確保するように立ち上がる。
電圧変動開始間隔20_1a_1=20_1a_2=20_1a_3=20_2a=0sの時間に電圧変動パルス20_1および20_2が立ち上がるパルスで、基板電圧Vsubを制御し、電荷移送期間に基板電圧Vsubの電圧降下の影響を少なくする。
しかし、タイミング生成が困難な場合には、電圧変動開始間隔20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3および20_2aが、第1画素目の電荷蓄積読出しパルス20aの立ち上がり時間と第2画素目の電荷蓄積読出しパルス20bの立ち上がり時間の間隔、約8μsの間隔20_abを確保して、電圧変動開始間隔(20_1a_1=20_1a_2=20_1a_3=20_2a)=20_abの時間に電圧変動パルス20_1および20_2が立ち上がるパルスで、基板電圧Vsubを制御し、電荷移送期間に基板電圧Vsubの電圧降下を発生させないようにすることでも、さほど各画素の飽和レベルの不一致に影響がないことが確認されている。
つまり、電圧変動開始間隔20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3および20_2aが、第1画素目の電荷蓄積読出しパルス20aの立ち上がり時間と第2画素目の電荷蓄積読出しパルス20bの立ち上がり時間の間隔、約8μsの間隔20_abを確保して、電圧変動開始間隔0s≦20_1a_1=20_1a_2=20_1a_3=20_2a≦20_abの時間に電圧変動パルス20_1および20_2が立ち上がるパルスであってもよい。
また、立ち下がる終了時間としては電圧変動パルス20_1の場合、電荷蓄積読出しパルス20a,20bの立ち下がり時間から0s≦20_1bであればよく、0sに近いほど、垂直CCD転送による飽和電荷の消失の影響が少ない。また、電圧変動パルス20_2の場合の立ち下がる終了時間は、最終の電荷蓄積読出しパルス20cの立ち下がり時間からは0s≦20_1cであればよい。
このような制御電圧Vsubを電圧変動パルス20_1,20_2により変化させる駆動を行うことにより、飽和近傍における各画素の飽和レベルを一定に保ち、色再現性を損なわず、画質劣化を低減することができる。
以上のことから、本実施形態に係る固体撮像装置の駆動方法では、図3に示す移送ゲート領域24を破線で示す電位にして信号電荷を移送する期間中においては、フォトダイオード1で発生した電荷は、蓄積された電荷による電位25bが、pウェル領域17の電位26aよりも低くなる電荷量に達するまで、垂直CCDチャンネル2a,移送ゲート領域24,フォトダイオード1に蓄積され、垂直CCDチャンネル2a内の隣接した領域とのバリヤーが電位26aよりも高いと、過剰電荷がn型基板7に溢れ始める前に、垂直CCDチャンネル2a内の隣接した領域に電荷が溢れ出し、フォトダイオード1から信号電荷を移送する期間中は、事実上ブルーミング抑制作用が機能しなくなることを防止することができる。
また、電荷移送期間中もブルーミング抑制作用を機能させるために、フォトダイオード1への電荷蓄積期間と電荷移送期間とにn型基板7へ異なる電位を与える構成が記載されている。すなわち、信号電荷の電荷蓄積期間のほとんどはpウェル領域17を従来と同じ低レベルの電位26aの状態とし、電荷移送期間中に、高レベルの電位26bの状態として、電荷移送期間には、過剰電荷を排出する電位26bよりも浅い(低い)電荷は、フォトダイオード1に蓄積されずにn型基板7に排出され、ブルーミング抑制作用が機能する。ただし、垂直CCD2の隣接領域とのバリヤーは、電位26bより低くする必要がある。
すなわち、本実施形態に係る固体撮像装置の駆動方法では、蓄積までの時間が長い場合、制御電圧の電圧降下の影響で必要な電圧が印加できず、必要以上の電荷排出を行ってしまい、飽和電子数が減少すること、また、画素混合時には第1画素目と最終画素までの間で制御電圧の電圧降下が発生するため、画素毎の飽和レベルが異なることを防ぐことができる。
さらに、本実施形態に係る固体撮像装置の駆動方法では、各画素の飽和レベルを異ならせないために、電圧降下がない電圧を供給する必要がなく、また、制御電圧の開始時間について制限を加えることを必要としないという長所を備えている。
また、本実施形態に係る固体撮像装置の駆動方法では、低抵抗配線により高速の垂直CCD転送が可能となった素子において、第1画素目の電荷を読み出し後、高速な垂直CCD転送を行う場合、2,3画素目が飽和状態にあると、1画素目の転送によって、基板上へ飽和電荷が消失し、画質劣化が発生することを抑えることができる長所を備えている。
本発明に係る固体撮像装置の駆動方法は、画素混合モード時に、蓄積した電荷量の飽和近傍における、各画素の飽和レベルを一定に保ち、色再現性を損なわず、画質劣化を低減することができ、固体撮像装置(CCD)を使用するカメラを搭載した製品に有用である。
1 フォトダイオード
2 垂直CCD
2a 垂直CCDチャンネル
3 撮像領域
4 水平CCD
5 電荷検出部
6 出力アンプ
7 n型基板
8 タイミング発生回路
9 標準電圧発生回路
10 ダイオード
11 抵抗
12 コンデンサ
13 切替回路
14,15,16 端子
17 pウェル領域
18 電極
19 素子分離領域
20_1,20_2 電圧変動パルス
20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3,20_2a,20_ab 電圧変動開始間隔
20_1b,20_1c 電圧変動終了間隔
20a,20b,20c 電荷蓄積読出しパルス
24 移送ゲート領域
25a,25b,26a,26b 電位
2 垂直CCD
2a 垂直CCDチャンネル
3 撮像領域
4 水平CCD
5 電荷検出部
6 出力アンプ
7 n型基板
8 タイミング発生回路
9 標準電圧発生回路
10 ダイオード
11 抵抗
12 コンデンサ
13 切替回路
14,15,16 端子
17 pウェル領域
18 電極
19 素子分離領域
20_1,20_2 電圧変動パルス
20_1a_1,20_1a_2,20_1a_3,20_2a,20_ab 電圧変動開始間隔
20_1b,20_1c 電圧変動終了間隔
20a,20b,20c 電荷蓄積読出しパルス
24 移送ゲート領域
25a,25b,26a,26b 電位
Claims (5)
- 入射光量に応じた信号電荷を蓄積する複数の光電変換部と、前記光電変換部に蓄積された信号電荷を読み出す読出部と、制御電圧により設定される飽和電荷量を超えた過剰電荷を前記光電変換部から排出する過剰電荷排出部と、前記過剰電荷排出部に前記制御電圧を供給する制御電圧供給部とを備え、前記光電変換部に蓄積された信号電荷を画素毎に個別に検出する全画素モードと、信号電荷を所定個数分加算混合して検出する画素混合モードとを、選択的に適用して駆動することが可能な固体撮像装置において、
前記制御電圧供給部は、前記全画素モードによる駆動を行う場合の前記過剰電荷排出部へ供給する制御電圧を、前記光電変換部への電荷蓄積期間と前記読出部への電荷移送期間とで同等とし、前記画素混合モードによる駆動を行う場合の前記過剰電荷排出部へ供給する制御電圧を、前記電荷蓄積期間と前記電荷移送期間とで異ならせ、制御電圧を変化させる開始時間を前記電荷移送の開始時間と同時に開始させることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。 - 初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、次画素の電荷移送開始時間前に制御電圧を一旦元に戻し、再度変化させることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の駆動方法。
- 初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、画素混合の最終画素の電荷移送終了後まで、電圧を保つことを特徴とする請求項1または2記載の固体撮像装置の駆動方法。
- 初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、画素混合の初期画素の電荷移送終了と同時に制御電圧を元に戻し、再度、次画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の駆動方法。
- 初期画素の電荷移送開始時間には制御電圧を変化させ、画素混合の最終画素の電荷移送終了後まで、電圧を保ち、電荷移送終了と同時に制御電圧を元に戻すことを特徴とする1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の駆動方法。
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WO2013008644A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | ソニー株式会社 | 撮像装置及び固体撮像装置の保護装置 |
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- 2008-03-26 JP JP2008080310A patent/JP2009239433A/ja active Pending
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