JP2009237204A - マスクパターン作成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】製造する半導体デバイスのマスクレイアウトデータから半導体基板上に繰り返し配置するデバイスパターンを形成するための設計マスクパターンを抽出し(ステップS2)、抽出された設計マスクパターンを、光の干渉で中心の設計マスクパターンの形状に影響を与える範囲まで複数仮配置し(ステップS3)、その設計マスクパターンで露光シミュレーションを行い(ステップS4)、設計マスクパターンと中心の設計マスクパターンの露光シミュレーション結果との差分(基準差分)を求め(ステップS5)、チップレイアウト後に設計マスクパターンを用いて露光シミュレーションを行い(ステップS7)、その露光シミュレーション結果と設計マスクパターンとの差分を基準差分と比較し、予測される製造ばらつきに基づいて設計マスクパターンを修正する(ステップS8〜S11)。
【選択図】図1
Description
この技術では、半導体基板(ウエハ)上での半導体デバイスの出来上がりが、マスクパターンの設計データ(設計マスクパターン)と比較したとき、サイズが一定の範囲内にあるかどうかを、半導体デバイスごとに評価していた。
ここでは、MOSFET(Metal-Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)のデバイスパターンを形成する場合について示している。
上記の点を鑑みて、本発明者は、製造ばらつきの程度を設計段階で予測し設計マスクパターンを補正可能なマスクパターン作成方法を提供することを目的とする。
図1は、本実施の形態のマスクパターン作成方法の概略を示すフローチャートである。
また、図2は、本実施の形態のマスクパターン作成方法を実現する具体的なハードウェハ構成を示す図である。
ROM3は、CPU2が実行する基本的なプログラムやデータを格納している。
HDD5は、CPU2が実行するOS(Operation System)や、マスクパターン作成処理を行うプログラムや、各種アプリケーションプログラム、各種データを格納する。
まず、たとえば、ユーザの入力に応じてCPU2は、製造するLSIに応じたマスクレイアウトデータを作成する(ステップS1)。次に、CPU2は、マスクレイアウトデータから、繰り返し配置する設計マスクパターンを抽出する(ステップS2)。
ここでは、MOSFETを形成する際に用いられる設計マスクパターン10を示している。たとえば、SRAMの製造時には、設計マスクパターン10が繰り返し等ピッチで配置されたマスクを用いて、ウエハ上に設計マスクパターン10を転写し、図のようなセル配置が得られる。なお、転写の際には隣接する設計マスクパターン10や他のセルなどの転写時の光の干渉などによる影響により、ウエハ上に形成されるデバイスパターン11は設計マスクパターン10とは異なる形状になる。
図のように複数のデバイスパターン11aが、露光シミュレーション結果として得られる。次に、CPU2は、露光シミュレーションの結果であるデバイスパターン11aのうち中心のものと、設計マスクパターン10との差分を基準差分として算出する(ステップS5)。
設計マスクパターン10と、図4のような仮配置後の露光シミュレーション結果の中心のデバイスパターン11aとの差分を求めることで、図のような差分図形12が得られる。このような、同じ形状のデバイスパターン11aのみを配置する場合の、光の影響で生じる設計マスクパターン10とのずれを基準差分とする。
図6は、チップレイアウト後の露光シミュレーション結果の一例を示す図である。
チップレイアウト後の露光シミュレーションで得られるデバイスパターン11bは、図6のような、周辺の他のセル22〜25のパターンを転写する際の光の干渉などの影響を受け、図5のように、デバイスパターン11aのみ複数配置する場合とは異なるずれが生じる。これが製造ばらつきにつながる。また、周辺にセルがない場合にも、同様なずれが生じる。
図7は、製造ばらつき評価の流れを示すフローチャートである。
チップレイアウト後のデバイスパターン11bの設計マスクパターン10との差分と、基準差分とを比較するため、設計マスクパターン10に評価領域を設定する。
ここでは、設計マスクパターン10に対して設定した評価領域30と、チップレイアウト後の露光シミュレーション結果によるデバイスパターン11bと設計マスクパターン10との差分図形31を示している。
たとえば、頂点部分の評価領域30では2%、辺上では1%以下などとして、別々に図2のようなシミュレーション用のコンピュータ1において、ユーザによる外部入力とするようにしてもよい。同様にステップS20〜S22の処理もユーザによる外部入力としてもよい。
許容範囲を超える面積差があった評価領域30が抽出された様子を示している。
面積差で比較することで、簡単に予測される製造ばらつきが評価できる。
ステップS26の処理で抽出された評価領域30をもとに、たとえば、図10(A)のように、設計マスクパターン10a,10b間の距離を広げたり、図10(B)のように、設計マスクパターン10bの形状を補正する。
11,11a,11b デバイスパターン
12,31 差分図形
20,21 セル
22,23,24,25 他のセル
30 評価領域
Claims (5)
- 製造する半導体デバイスのマスクレイアウトデータから、半導体基板上に繰り返し配置するデバイスパターンを形成するための設計マスクパターンを抽出する工程と、
抽出された前記設計マスクパターンを、光の干渉で中心の前記設計マスクパターンの形状に影響を与える範囲まで複数仮配置する工程と、
仮配置した前記設計マスクパターンを用いて第1の露光シミュレーションを行う工程と、
前記設計マスクパターンと、中心の当該設計マスクパターンの第1の露光シミュレーション結果との第1の差分を求める工程と、
チップレイアウト後に、前記設計マスクパターンを用いて第2の露光シミュレーションを行う工程と、
前記設計マスクパターンと、チップレイアウト後の当該設計マスクパターンの第2の露光シミュレーション結果との第2の差分を求める工程と、
前記第1の差分と前記第2の差分とを比較し、予測される製造ばらつきに基づいて、前記設計マスクパターンを修正する工程と、
を有することを特徴とするマスクパターン作成方法。 - 前記設計マスクパターンの頂点部と非頂点部に評価領域を設け、前記評価領域ごとに、前記第1の差分と前記第2の差分との面積比較を行うことを特徴とする請求項1記載のマスクパターン作成方法。
- 前記評価領域の大きさは、トランジスタ寸法に合わせた大きさであることを特徴とする請求項2記載のマスクパターン作成方法。
- 前記評価領域は、前記頂点部と前記非頂点部とで、別々に評価基準を設定することを特徴とする請求項2または3のいずれかに記載のマスクパターン作成方法。
- 前記製造ばらつきが前記評価基準を超えた場合、前記設計マスクパターン同士の距離の変更または前記設計マスクパターンの形状を補正することを特徴とする請求項4記載のマスクパターン作成方法。
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