JP2009229341A - バイオセンサーおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】検出対象物を高感度に検出可能なバイオセンサーを提供する。
【解決手段】ソース3、ドレイン4および半導体細線5は、SiO2からなる絶縁層2上に形成される。そして、ソース3およびドレイン4は、半導体細線5の両端に接続される。絶縁細線6は、SiO2からなり、半導体細線5上に形成される。複数の量子ドット7は、絶縁細線6上に配列される。複数の抗原8は、複数の量子ドット7に付着している。配線9は、ソース3およびドレイン4間に接続される。電源11は、ソース3およびドレイン4間に電圧を印加する。電流計12は、半導体細線5を介してソース3およびドレイン4間に流れる電流を計測する。そして、検出対象物が抗原8に接近または付着した場合、半導体細線5に電流が流れない。
【選択図】図1
【解決手段】ソース3、ドレイン4および半導体細線5は、SiO2からなる絶縁層2上に形成される。そして、ソース3およびドレイン4は、半導体細線5の両端に接続される。絶縁細線6は、SiO2からなり、半導体細線5上に形成される。複数の量子ドット7は、絶縁細線6上に配列される。複数の抗原8は、複数の量子ドット7に付着している。配線9は、ソース3およびドレイン4間に接続される。電源11は、ソース3およびドレイン4間に電圧を印加する。電流計12は、半導体細線5を介してソース3およびドレイン4間に流れる電流を計測する。そして、検出対象物が抗原8に接近または付着した場合、半導体細線5に電流が流れない。
【選択図】図1
Description
この発明は、バイオセンサーおよびその製造方法に関し、特に、半導体を用いたバイオセンサーおよびその製造方法に関するものである。
従来、半導体を用いたバイオセンサーとして半導体接触型バイオセンサーが知られている(特許文献1)。
この半導体接触型バイオセンサーは、シリコンカーバイド(SiC)基板と、金と、ポリペプチドとを備える。金は、SiC基板上に形成される。ポリペプチドは、金上に配置される。
検出対象である対象物質がポリペプチドに接近または吸着すると、対象物質とポリペプチドとの間で電荷の移動が生じ、ポリペプチドの対象物質が反応した側と、金との間に電位差が発生する。そして、この電位差は、SiC基板と金との間に形成されるショットキー接合のショットキー内蔵電位を変化させる。
したがって、従来の半導体接触型バイオセンサーは、このショットキー内蔵電位の変化を観測して対象物質を検出する。
特開2006−226922号公報
しかし、従来の半導体接触型バイオセンサーは、ショットキー内蔵電位の変化を観測して対象物質を検出するため、感度が低いという問題がある。つまり、従来の半導体接触型バイオセンサーは、対象物質がポリペプチドに接近または吸着していない場合のショットキー接合に流れる電流と、対象物質がポリペプチドに接近または吸着したときのショットキー接合に流れる電流との変化を観測して対象物質を検出するため、対象物質の個数が少なくなると、ショットキー内蔵電位の変化も少なくなり、感度が低下する。
そこで、この発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、その目的は、検出対象物を高感度に検出可能なバイオセンサーを提供することである。
また、この発明の別の目的は、検出対象物を高感度に検出可能なバイオセンサーの製造方法を提供することである。
この発明によれば、バイオセンサーは、半導体細線と、第1および第2の電極と、絶縁細線と、複数の量子ドットと、抗原とを備える。第1の電極は、半導体細線の長さ方向の一方端に配置され、半導体細線に接続される。第2の電極は、半導体細線の長さ方向の他方端に配置され、半導体細線に接続される。絶縁細線は、半導体細線上に形成される。複数の量子ドットは、絶縁細線上に配列される。抗原は、複数の量子ドットに付着される。
好ましくは、複数の量子ドットは、絶縁層上に一列に配列されている。
好ましくは、複数の量子ドットの各々は、シリコンドットまたはシリコンゲルマニウムドットからなる。
また、この発明によれば、バイオセンサーは、基板と、複数の検出部とを備える。複数の検出部は、基板上に配置される。そして、複数の検出部の各々は、半導体細線と、第1および第2の電極と、絶縁細線と、複数の量子ドットと、抗原とを含む。第1の電極は、半導体細線の長さ方向の一方端に配置され、半導体細線に接続され。第2の電極は、半導体細線の長さ方向の他方端に配置され、半導体細線に接続される。絶縁細線は、半導体細線上に形成される。複数の量子ドットは、絶縁細線上に配列される。抗原は、複数の量子ドットに付着される。
好ましくは、複数の検出部に含まれる複数の半導体細線は、長さが相互に異なる。
好ましくは、複数の検出部に含まれる複数の第1の電極は、電気的に相互に絶縁されており、複数の検出部に含まれる複数の第2の電極は、電気的に相互に絶縁されている。
さらに、この発明によれば、製造方法は、バイオセンサーの製造方法である。バイオセンサーは、第1の絶縁層と、第1の絶縁層上に配置され、線状形状からなる半導体細線と、第1の絶縁層上において半導体細線の長さ方向の一方端に配置され、半導体細線に接続された第1の電極と、第1の絶縁層上において半導体細線の長さ方向の他方端に配置され、半導体細線に接続された第2の電極と、半導体細線上に形成された絶縁細線と、絶縁細線上に配列された複数の量子ドットと、複数の量子ドットに付着された抗原とを含む。そして、製造方法は、半導体基板上に第1の絶縁層および半導体層が順次積層された半導体基板/第1の絶縁層/半導体層の半導体層の表面に第2の絶縁層を形成する第1の工程と、第1の工程において作製された半導体基板/第1の絶縁層/半導体層/第2の絶縁層の半導体層および第2の絶縁層の一部を第1の絶縁層までエッチングして半導体細線、第1の電極、第2の電極および絶縁細線を形成する第2の工程と、絶縁細線上にのみ、複数の量子ドットを選択成長する第3の工程と、複数の量子ドットに抗原を付着させる第4の工程とを備える。
好ましくは、第1および第2の絶縁層の各々は、シリコン酸化層からなり、複数の量子ドットの各々は、シリコンドットまたはシリコンゲルマニウムドットからなる。製造方法は、第1の工程において作製された半導体基板/第1の絶縁層/半導体層/第2の絶縁層の表面をOH基で終端させる第5の工程をさらに備え、第3の工程は、第5の工程の後、第1の絶縁層の表面をSi−O−Siで終端させる第1のサブ工程と、第1のサブ工程の後、絶縁細線および第1の絶縁層を基板としてシランガスを用いた量子ドットの化学堆積を実行する第2のサブ工程とを含む。
好ましくは、第2のサブ工程は、ジシランガスを流す工程Aと、工程Aの後、シランガスを流す工程Bとを含む。
好ましくは、第2のサブ工程は、ジシランガスを流す工程Aと、工程Aの後、シランガスを流す工程Bと、工程Bの後、ゲルマンガスを流す工程Cとを含む。
好ましくは、第2のサブ工程は、ゲルマンガスを流す工程Aと、工程Aの後、ジシランガスを流す工程Bとを含む。
この発明によるバイオセンサーにおいては、絶縁細線が半導体細線上に形成され、複数の量子ドットが絶縁細線上に配列される。また、第1および第2の電極が半導体細線の両端に接続される。さらに、抗原が複数の量子ドットに付着している。そして、検出対象物が抗原に接近または付着していないとき、第1および第2の電極間に電圧を印加すると、半導体細線を通って第1および第2の電極間で電流が流れる。一方、検出対象物が抗原に接近または付着したとき、電子が抗原を介して量子ドットへ移動し、量子ドットの電位が変化する。その結果、第1および第2の電極間に電圧を印加しても、半導体細線を通って第1および第2の電極間で電流が流れなくなる。
したがって、この発明によれば、検出対象物を高感度に検出できる。
本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。
図1は、この発明の実施の形態によるバイオセンサーの概略図である。図1を参照して、この発明の実施の形態によるバイオセンサー10は、基板1と、絶縁層2と、ソース3と、ドレイン4と、半導体細線5と、絶縁細線6と、複数の量子ドット7と、複数の抗原8と、配線9と、電源11と、電流計12とを備える。
基板1は、(100)面を有するシリコン(Si)基板からなる。絶縁層2は、シリコン酸化層(SiO2)からなり、基板1の一主面に形成される。
ソース3は、n+型Siからなり、絶縁層2上において半導体配線5の一方端に接続される。ドレイン4は、n+型Siからなり、絶縁層2上において半導体配線5の他方端に接続される。そして、ソース3およびドレイン4は、たとえば、50nmの膜厚を有する。
半導体細線5は、p型Siからなり、絶縁層2上に配置される。そして、半導体細線5は、ソース3およびドレイン4と同じ膜厚を有し、たとえば、50nmの線幅を有する。
絶縁細線6は、SiO2からなり、半導体細線5上に形成される。そして、絶縁細線6は、半導体細線5と同じ線幅を有するとともに、たとえば、5nmの膜厚を有する。
複数の量子ドット7の各々は、シリコンドットからなり、たとえば、5nmの半径を有する。そして、複数の量子ドット7は、絶縁細線6上に一列に配列される。
複数の抗原は、複数の量子ドット7に付着している。配線9は、ソース3とドレイン4との間に接続される。
電源11は、ソース3とドレイン4との間に電圧を印加する。電流計12は、ソース3とドレイン4との間に電圧が印加されたときの電流を計測する。
図2は、図1に示すバイオセンサー10の動作原理を説明するための概念図である。図2を参照して、検出対象物が抗原8に近づいていない場合、電圧がソース3とドレイン4間に印加されると、電子が半導体細線5を流れる(図2の(a)参照)。
一方、検出対象物13が抗原8に近づくと、電子が検出対象物13から抗原8を介して量子ドット7中へ移動し、量子ドット7がマイナスにチャージされる。そうすると、電子は、半導体細線5を流れなくなる。
したがって、バイオセンサー10は、電流が半導体細線5に流れなくなることを検出して検出対象物13を検出する。
図3は、抗原の有無による量子ドットの表面電位の比較を示す図である。図3の(a)〜(d)は、抗原を塗布しない場合の表面形状および表面電位を示し、図3の(e)〜(h)は、抗原としてのプロテインAを塗布したときの表面形状および表面電位を示す。
プロテインAを量子ドット7に塗布しない場合、電子注入(図3の(c)参照)と電子放出(図3の(d)参照)とで表面電位が明らかに変化している。
また、プロテインAを量子ドット7に塗布した場合、電子注入(図3の(g)参照)は、プロテインAを塗布しない場合(図3の(c)参照)よりもぼやけているが、電子放出(図3の(h)参照)は、プロテインAを塗布しない場合(図3の(d)参照)よりも表面電位が鮮明に変化している。
したがって、プロテインAを塗布することによって、量子ドット7が正電位に帯電することが実験的に確認できた。
図4は、シリコンドットの選択成長を行なうための工程図である。図4を参照して、シリコンドットの選択成長が開始されると、(100)面を有するSiからなる基板20をRCA洗浄し、その後、10%の酸素(O2)ガスを用いて1000℃の温度で基板20の表面を酸化し、10nmのSiO2層21を形成する(工程(a)参照)。
そして、電子線リソグラフィーによってSiO2層21の一部をエッチング除去し、絶縁細線22を形成する(工程(b)参照)。
引き続いて、0.1%のフッ酸で基板20および絶縁細線22の表面を処理する。これによって、絶縁細線22の表面は、Si−OH結合が存在し、OHによって終端され、基板20の表面は、Si−H結合が存在し、Hによって終端される(工程(c)参照)。
その後、100%のO2ガスを用いて800℃の温度で基板20の表面を酸化し、絶縁細線22の両側にSiO2層23を形成する(工程(d)参照)。この場合、絶縁細線22の表面は、OHで終端されたままである。
そして、工程(d)の後、シラン(SiH4)ガス、またはシラン(SiH4)ガスおよびジシラン(Si2H6)ガスを用いてLPCVD(Low Pressure Chemical Vapour Deposition)法によってシリコンドットを絶縁細線22およびSiO2層23上に堆積し、絶縁細線22上のシリコンドット24の密度とSiO2層23上のシリコンドット25の密度との密度比を求める(工程(e)参照)。
なお、SiH4ガスのみを用いてシリコンドットを形成する場合、SiH4ガスの流量は、20sccmであり、基板温度は、560℃である。また、SiH4ガスおよびSi2H6ガスを用いてシリコンドットを形成する場合、Si2H6ガスを用いて400℃の基板温度および200mTorrの反応圧力で、3分、反応した後、10sccmのSiH4ガスを用いて560℃の基板温度および20mTorrの反応圧力で反応する。
図5は、ドット密度と反応圧力との関係を示す図である。図5において、縦軸は、ドット密度を表し、横軸は、反応圧力を表す。
また、白丸および黒丸は、図4の工程(e)において、SiH4ガスのみを用いてシリコンドットを形成した場合の密度比を示し、白丸は、SiO2層23上のシリコンドットの密度を示し、黒丸は、絶縁細線22上のシリコンドットの密度を示す。
さらに、白三角および黒三角は、図4の工程(e)において、SiH4ガスおよびSi2H6ガスを用いてシリコンドットを形成した場合の密度比を示し、白三角は、SiO2層23上のシリコンドットの密度を示し、黒三角は、絶縁細線22上のシリコンドットの密度を示す。
SiH4ガスのみを用いてシリコンドットを形成した場合、絶縁細線22上とSiO2層23上とでは、大きな密度比が得られないが、SiH4ガスおよびSi2H6ガスを用いてシリコンドットを形成することによって、絶縁細線22上とSiO2層23上とで、最大、58の密度比が得られた。
したがって、図4に示す工程(a)〜工程(e)に従って、SiH4ガスおよびSi2H6ガスを材料ガスとしてシリコンドットを堆積することによって、シリコンドットを絶縁細線22上に選択成長させることができる。
図6から図9は、それぞれ、図1に示すバイオセンサーの製造方法を説明するための第1から第4の工程図である。
図6を参照して、バイオセンサー10の製造が開始されると、Si基板1、SiO2層31およびp型Si層32からなるSOI(Silicon On Insulator)基板30(=Si基板/SiO2層/Si層)が準備される(図6の工程(a)参照)。
そして、SOI基板30をRCA洗浄し、SOI基板30のSi層32の表面を10%のO2ガスを用いて1000℃で熱酸化し、Si層33およびSiO2層34を形成する(図6の工程(b)参照)。
その後、レジストをSiO2層34の全面に塗布し、その塗布したレジストをフォトリソグラフィによってパターンニングし、レジストパターン40を形成する(図6の工程(c)参照)。
そして、その形成したレジストパターン40をマスクとしてSiO2層34の全部およびSi層33の一部をエッチングし、Si層35およびSiO2層36を形成する(図7の工程(d)参照)。SiO2層36は、細線部361と、平坦部362,363とからなる。
その後、Si層35およびSiO2層36の表面を0.1%のフッ酸によって処理し、Si層35の表面をHで終端し、SiO2層36の表面をOHで終端する(図7の工程(e)参照)。これによって、Si−H結合37がSi層35の表面に存在し、Si−OH結合38がSiO2層36の表面に存在する。
引き続いて、100%のO2ガスを用いて850℃でSi層35の表面を熱酸化する。これによって、Si基板1上に絶縁層2が形成され、絶縁層2上にSi層39が形成される(図7の工程(f)参照)。Si層39は、細線部391と、平坦部392,393とからなる。そして、SiO2層36の表面は、OHで終端されている。
その後、SiH4ガスおよびSi2H6ガスを用いたLPCVD法によってSiO2層36上にシリコンドットからなる量子ドット7を選択成長させる(図8の工程(g)参照)。この場合の反応条件は、図4の工程(e)において説明した条件と同じである。
そして、レジストを全面に塗布し、SiO2層36の平坦部362,363が露出するようにフォトリソグラフィによってレジストをパターンニングし、レジストパターン50を形成する(図8の工程(h)参照)。
引き続いて、レジストパターン50をマスクとして、SiO2層36の平坦部362,363および平坦部362,363上の量子ドット27をエッチングする。その結果、Si層39の平坦部392,393が露出する(図8の工程(i)参照)。
その後、Si層39の平坦部392,393にP+をイオン注入し(図9の工程(j)参照)、レジストパターン50を除去すると、SiO2層2上にソース3、ドレイン4、半導体細線5、絶縁細線6および量子ドット7が形成された構造が作製される(図9の工程(k)参照)。
そして、抗原8を量子ドット7に付着する(図9の工程(l)参照)。これによって、バイオセンサー10が完成する。
図10は、この発明の実施の形態による他のバイオセンサーの概略図である。この発明の実施の形態によるバイオセンサーは、図10に示すバイオセンサー10Aであってもよい。
図10を参照して、バイオセンサー10Aは、図1に示すバイオセンサー10の量子ドット7を量子ドット7Aに代えたものであり、その他は、バイオセンサー10と同じである。量子ドット7Aは、シリコンゲルマニウム(SiGe)ドットからなる。
バイオセンサー10Aは、図6から図9に示す工程(a)から工程(l)に従って製造される。そして、図7に示す工程(f)において、SiH4ガス、GeH4ガスおよびSi2H6ガスが用いられて量子ドット27Aが形成される。
この場合、Si2H6ガスを用いたLPCVD、SiH4ガスを用いたLPCVDおよびGeH4ガスを用いたLPCVDが順次実行される。そして、Si2H6ガスを用いたLPCVD、SiH4ガスを用いたLPCVDおよびGeH4ガスを用いたLPCVDの反応条件を表1に示す。
図11は、SiGeからなる量子ドット27Aの電子顕微鏡写真を示す図である。図11を参照して、線幅が50nmである絶縁細線6上に量子ドット7Aが一列に配列されている。そして、絶縁細線6上以外の領域には、量子ドット7Aが殆ど形成されていない。
したがって、線幅が50nmである絶縁細線6上に一列に配列した量子ドット7Aを選択成長できることが実験的に確認できた。
図12は、この発明の実施の形態によるさらに他のバイオセンサーの概略図である。この発明の実施の形態によるバイオセンサーは、図12に示すバイオセンサー10Bであってもよい。
図12を参照して、バイオセンサー10Bは、基板1と、絶縁層2と、検出部41〜44と、配線91〜94と、電源11と、電流計12とを備える。
検出部41〜44は、上述した絶縁層2上に形成される。そして、検出部41〜44の各々は、ソース3と、ドレイン4と、半導体細線5と、絶縁細線6と、複数の量子ドット7と、複数の抗原8とを含む。
配線91は、検出部41のソース3とドレイン4との間に接続され、配線92は、検出部42のソース3とドレイン4との間に接続され、配線93は、検出部43のソース3とドレイン4との間に接続され、配線94は、検出部44のソース3とドレイン4との間に接続される。
電源11および電流計12は、4本の配線91〜94に並列に接続される。従って、電源11は、検出部41〜44のソース3とドレイン4との間に独立に電圧を印加し、電流計12は、4本の配線91〜94に流れる電流を独立に計測する。
バイオセンサー10Bは、4個の検出部41〜44を備え、独立に検出対象物を検出できるので、検出部41〜44のうちのどの検出部で検出対象物を検出したかによって、検出対象物の位置を検出できる。
なお、バイオセンサー10Bは、4本の半導体細線および4本の絶縁細線が形成されるようにレジストパターンを形成し、その形成したレジストパターンをマスクとして用いて図7の工程(d)でSi層33およびSiO2層34をエッチングすれば、上述した製造方法によって作製できる。
また、バイオセンサー10Bは、Siドットからなる量子ドット7に代えてSiGeドットからなる量子ドット7Aを備えていてもよい。
さらに、バイオセンサー10Bは、4個の検出部41〜44に限らず、2個以上の検出部を備えていればよい。
図13は、この発明の実施の形態によるさらに他のバイオセンサーの概略図である。この発明の実施の形態によるバイオセンサーは、図13に示すバイオセンサー10Cであってもよい。
図13を参照して、バイオセンサー10Cは、図1に示すバイオセンサー10のソース3をソース3Aに代え、半導体細線51〜53、絶縁細線61〜63、複数の量子ドット71〜73および複数の抗原81〜83を追加したものであり、その他は、バイオセンサー10と同じである。
半導体細線5,51〜53は、絶縁層2上でソース3Aとドレイン4との間で並列に配置される。そして、半導体細線5,51〜53は、相互に異なる長さを有する。
絶縁細線6,61〜63は、それぞれ、半導体細線5,51〜53上でソース3Aとドレイン4との間で並列に配置される。
半導体細線51〜53は、半導体細線5と同じ材料からなり、半導体細線5と同じ線幅および同じ膜厚を有する。絶縁細線61〜63は、絶縁細線6と同じ材料からなり、絶縁細線6と同じ線幅および同じ膜厚を有する。そして、絶縁細線61〜63は、それぞれ、半導体細線51〜53と同じ長さを有する。
量子ドット71〜73は、量子ドット7と同じ材料からなり、同じサイズを有する。抗原81〜83は、抗原8と同じ材料からなる。
複数の量子ドット71は、絶縁細線61上に一列に配列され、複数の量子ドット72は、絶縁細線62上に一列に配列され、複数の量子ドット73は、絶縁細線63上に一列に配列される。
複数の抗原81は、複数の量子ドット71に付着され、複数の抗原82は、複数の量子ドット72に付着され、複数の抗原83は、複数の量子ドット73に付着される。
半導体細線が細すぎると、検出対象物が抗原8,81〜83に近づいていない場合にソース3Aとドレイン4との間に電流が流れない可能性があるが、バイオセンサー10Cは、相互に長さが異なる半導体細線5,51〜53を備えるので、半導体細線5,51〜53のいずれかを電流が流れ、検出対象物を正確に検出できる。
なお、バイオセンサー10Cは、長さが異なる4本の半導体細線および4本の絶縁細線が形成されるようにレジストパターンを形成し、その形成したレジストパターンをマスクとして用いて図7の工程(d)でSi層33およびSiO2層34をエッチングすれば、上述した製造方法によって作製できる。
また、バイオセンサー10Cは、Siドットからなる量子ドット7,71〜73に代えてSiGeドットからなる量子ドット7Aを備えていてもよい。
さらに、バイオセンサー10Cにおいては、ソース3Aおよびドレイン4が図12に示すバイオセンサー10Bのように、半導体細線5,51〜53に対応して4個の領域に分割されていてもよい。
さらに、バイオセンサー10Cにおいては、半導体細線、絶縁細線、複数の量子ドットおよび複数の抗原のセットは、4個に限らず、2個以上設けられていればよい。
図14は、量子ドットの密度を制御する方法を説明するための工程図である。図14を参照して、シリコンドットの選択成長が開始されると、(100)面を有するSiからなる基板20をRCA洗浄し、その後、10%の酸素(O2)ガスを用いて1000℃の温度で基板20の表面を酸化し、10nmのSiO2層21を形成する(図14の工程(a)参照)。
そして、SiO2層21の表面を0.1%のフッ酸で処理する。これによって、SiO2層21の表面には、Si−OH結合15が存在し、SiO2層21の表面は、OHによって終端される(図14の工程(b)参照)。
その後、室温、かつ、100Torrの圧力でGeH4ガスをSiO2層21の表面へ流す。これによって、SiO2層21の表面で核16が形成される(図14の工程(c)参照)。
引き続いて、Si2H6ガスを用いてLPCVD法によってSiドット17をSiO2層21上に形成する(図14の工程(d)参照)。
図15は、図14に示す工程に従って作製した量子ドットの電子顕微鏡写真である。図15を参照して、図14に示す工程に従って量子ドットを作製することによって、1.3×1013cm−2の高密度のSiドットを作製できた。
このように、GeH4ガスをSi2H6ガスよりも前に流すことによって、Siドットの密度を高くできる。
したがって、バイオセンサー10,10A,10Bは、図14に示す工程に従って作製した量子ドットを備えていてもよい。
上述したバイオセンサー10,10A,10Bにおいては、複数の量子ドットは、1個の絶縁細線上に一列に配列されると説明したが、この発明においては、これに限らず、複数の量子ドットは、1個の絶縁細線上に複数列に配列されていてもよい。
また、上記においては、抗原としてプロテインAを例に挙げたが、この発明においては、これに限らず、抗原は、GFP(Green Fluorescent Protein)またはLuciferaseであってもよく、一般的には、ポリペプチドからなっていればよい。
さらに、上記においては、ソース3およびドレイン4は、n+型Siからなり、半導体細線5,51〜53は、p型Siからなると説明したが、この発明においては、これに限らず、ソース3およびドレイン4は、p+型Siからなり、半導体細線5,51〜53は、n型Siからなっていてもよい。
つまり、検出対象部が量子ドット7,7A,71〜73へ電子を供給する場合、ソース3およびドレイン4は、n+型Siからなり、半導体細線5,51〜53は、p型Siからなり、検出対象部が量子ドット7,7A,71〜73へ正孔を供給する場合、ソース3およびドレイン4は、p+型Siからなり、半導体細線5,51〜53は、n型Siからなる。これによって、検出対象物が抗原に接近または付着したときに、半導体細線5,51〜53に電流が流れなくことを検出することによって、検出対象物を検知できる。
この発明においては、ソース3は、「第1の電極」を構成し、ドレイン4は、「第2の電極」を構成する。
また、この発明においては、検出部41〜44は、「複数の検出部」を構成する。
さらに、この発明においては、ソース3A、ドレイン4、半導体細線5、絶縁細線6、複数の量子ドット7および抗原8は、「検出部」を構成し、ソース3A、ドレイン4、半導体細線51、絶縁細線61、複数の量子ドット71および抗原81は、「検出部」を構成し、ソース3A、ドレイン4、半導体細線52、絶縁細線62、複数の量子ドット72および抗原82は、「検出部」を構成し、ソース3A、ドレイン4、半導体細線53、絶縁細線63、複数の量子ドット73および抗原83は、「検出部」を構成する。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
この発明は、検出対象物を高感度に検出可能なバイオセンサーに適用される。また、この発明は、検出対象物を高感度に検出可能なバイオセンサーの製造方法に適用される。
3 ソース、4 ドレイン、5 半導体細線、6 絶縁細線、7 量子ドット、8 抗原、9 配線、10 バイオセンサー、11 電源、12 電流計。
Claims (11)
- 半導体細線と、
前記半導体細線の長さ方向の一方端に配置され、前記半導体細線に接続された第1の電極と、
前記半導体細線の長さ方向の他方端に配置され、前記半導体細線に接続された第2の電極と、
前記半導体細線上に形成された絶縁細線と、
前記絶縁細線上に配列された複数の量子ドットと、
前記複数の量子ドットに付着された抗原とを備えるバイオセンサー。 - 前記複数の量子ドットは、前記絶縁細線上に一列に配列されている、請求項1に記載のバイオセンサー。
- 前記複数の量子ドットの各々は、シリコンドットまたはシリコンゲルマニウムドットからなる、請求項2に記載のバイオセンサー。
- 基板と、
前記基板上に配置された複数の検出部とを備え、
前記複数の検出部の各々は、
半導体細線と、
前記半導体細線の長さ方向の一方端に配置され、前記半導体細線に接続された第1の電極と、
前記半導体細線の長さ方向の他方端に配置され、前記半導体細線に接続された第2の電極と、
前記半導体細線上に形成された絶縁細線と、
前記絶縁細線上に配列された複数の量子ドットと、
前記複数の量子ドットに付着された抗原とを含む、バイオセンサー。 - 前記複数の検出部に含まれる複数の半導体細線は、長さが相互に異なる、請求項4に記載のバイオセンサー。
- 前記複数の検出部に含まれる複数の第1の電極は、電気的に相互に絶縁されており、
前記複数の検出部に含まれる複数の第2の電極は、電気的に相互に絶縁されている、請求項4に記載のバイオセンサー。 - バイオセンサーの製造方法であって、
前記バイオセンサーは、
第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上に配置され、線状形状からなる半導体細線と、
前記第1の絶縁層上において前記半導体細線の長さ方向の一方端に配置され、前記半導体細線に接続された第1の電極と、
前記第1の絶縁層上において前記半導体細線の長さ方向の他方端に配置され、前記半導体細線に接続された第2の電極と、
前記半導体細線上に形成された絶縁細線と、
前記絶縁細線上に配列された複数の量子ドットと、
前記複数の量子ドットに付着された抗原とを含み、
前記製造方法は、
半導体基板上に第1の絶縁層および半導体層が順次積層された半導体基板/第1の絶縁層/半導体層の前記半導体層の表面に第2の絶縁層を形成する第1の工程と、
前記第1の工程において作製された半導体基板/第1の絶縁層/半導体層/第2の絶縁層の前記半導体層および前記第2の絶縁層の一部を前記第1の絶縁層までエッチングして前記半導体細線、前記第1の電極、前記第2の電極および前記絶縁細線を形成する第2の工程と、
前記絶縁細線上にのみ、前記複数の量子ドットを選択成長する第3の工程と、
前記複数の量子ドットに前記抗原を付着させる第4の工程とを備える製造方法。 - 前記第1および第2の絶縁層の各々は、シリコン酸化層からなり、
前記複数の量子ドットの各々は、シリコンドットまたはシリコンゲルマニウムドットからなり、
前記製造方法は、
前記第1の工程において作製された半導体基板/第1の絶縁層/半導体層/第2の絶縁層の表面をOH基で終端させる第5の工程をさらに備え、
前記第3の工程は、
前記第5の工程の後、前記第1の絶縁層の表面をSi−O−Siで終端させる第1のサブ工程と、
前記第1のサブ工程の後、前記絶縁細線および前記第1の絶縁層を基板としてシランガスを用いた前記量子ドットの化学堆積を実行する第2のサブ工程とを含む、請求項7に記載の製造方法。 - 前記第2のサブ工程は、
ジシランガスを流す工程Aと、
前記工程Aの後、シランガスを流す工程Bとを含む、請求項8に記載の製造方法。 - 前記第2のサブ工程は、
ジシランガスを流す工程Aと、
前記工程Aの後、シランガスを流す工程Bと、
前記工程Bの後、ゲルマンガスを流す工程Cとを含む、請求項8に記載の製造方法。 - 前記第2のサブ工程は、
ゲルマンガスを流す工程Aと、
前記工程Aの後、ジシランガスを流す工程Bとを含む、請求項8に記載の製造方法。
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