JP2009222377A - ドライチャンバ - Google Patents
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Abstract
【課題】省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減できるドライチャンバを提供すること
【解決手段】第1チャンバ2を第2チャンバ4で覆い、第1チャンバ2の密閉可能な部分以外を二重構造にする。第1チャンバ2の外側と内側とは連通部6で連通せしめる。そして、第1チャンバ2と第2チャンバ4との間に形成した流路5にドライエアを供給し、第1チャンバ2の内部空間3から排気又は空気の吸引を行うようにする。このようなドライチャンバ1は、第1チャンバ2のうち密閉できない部分から内部空間3へ浸入する空気がドライエアであり、内部空間3の湿度の上昇が抑制されるので、ドライエアの使用量を減らして、省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減することができる。
【選択図】図1
【解決手段】第1チャンバ2を第2チャンバ4で覆い、第1チャンバ2の密閉可能な部分以外を二重構造にする。第1チャンバ2の外側と内側とは連通部6で連通せしめる。そして、第1チャンバ2と第2チャンバ4との間に形成した流路5にドライエアを供給し、第1チャンバ2の内部空間3から排気又は空気の吸引を行うようにする。このようなドライチャンバ1は、第1チャンバ2のうち密閉できない部分から内部空間3へ浸入する空気がドライエアであり、内部空間3の湿度の上昇が抑制されるので、ドライエアの使用量を減らして、省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、ドライチャンバに関する。
例えば、燃料電池は、製造現場の湿度が高いと電池構成材料に水分が吸着し、それが電解質やリチウムイオンと反応して電池性能を悪くする。そのため、図9に示すように、燃料電池の製造現場は、乾燥した作業室50内で全工程を行えるようになっている。作業室50には、複数のドライチャンバ101がコンベア部100に沿って工程別に配置されている。各ドライチャンバ101は、ワークWに施す作業が自動化されている。
図10に示すドライチャンバ101は、内部空間102の図中手前側から奥側へ向かってコンベア部100が敷設されている。ドライチャンバ101は、内部空間102の湿度が0.5%以下にされている。尚、本明細書において、湿度0.5%以下とは、絶対湿度(乾燥空気1kgに同伴される水蒸気の質量をいう。以下同じ。)が0.00312以下であることをいう。
内部空間102の空気は、ワークWや部品、装置等から水分を奪い、湿度が上昇する。そのため、内部空間102の空気は、ドライチャンバ101の底部に設けた吸引部103から排気管104を介して吸引機構105に吸引され、露点(空気が飽和状態になるときの温度をいう。以下同じ。)が−30℃以下になるまで冷却されて含有水分を除去される。また、空気は、吸引装置105内で粉塵等を除去され、所定温度に暖められる。このように生成されたドライエアは、吸引装置105から戻し配管106、フィルタ・ファン・ユニット(FFU)107を介してドライチャンバ101に戻される。ドライチャンバ101は、FFU107によって濾過された空気を供給され、空気のクリーン度を保っている。
尚、ドライチャンバ101は、ドライエア供給配管108を介して接続するドライエア供給源109からも、ドライエアを供給される(例えば特許文献1参照。)。
しかしながら、従来のドライチャンバ101は、内部空間102の低湿分空気が外部へ漏洩しないように、内部空間102が負圧にされている。ドライチャンバ101は、ワークWを内部空間102へ搬入する場合等に完全に密閉されず、作業室50の空気が密閉されない部分から内部空間102へ侵入していた。作業室50の空気がドライエアより多く水分を含む場合には、内部空間102内の湿度が上昇し、製造された燃料電池の電池性能を低下させる虞がある。
そのため、従来のドライチャンバ101を使用する場合には、作業室50の湿度を0.5%以下にするように作業室50にドライエアを供給したり、ドライエア供給源109からドライチャンバ101に供給するドライエアの流量を増加させて内部空間102の高湿分空気をドライエアに置換する等して、内部空間102の湿度を0.5%以下に維持していた。よって、従来のドライチャンバ101は、ドライエアの使用量が多いため、省エネ性が低い上に、環境負荷が大きかった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、省エネ性を向上させると共に環境負荷を低減できるドライチャンバを提供することを目的とする。
本発明に係るドライチャンバは、次のような構成を有している。
(1)ドライチャンバにおいて、少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、前記二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、前記外側と前記内側との間にドライエアを供給し、前記内側から排気又は空気の吸引を行う。
(1)ドライチャンバにおいて、少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、前記二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、前記外側と前記内側との間にドライエアを供給し、前記内側から排気又は空気の吸引を行う。
(2)(1)に記載の発明において、前記外側と前記内側とを下部で連通させている。
(3)(1)又は(2)に記載の発明において、前記内側から排気又は空気の吸引を行う配管が前記内側の上部に連通している。
(4)(1)乃至(3)の何れか一つに記載の発明において、前記二重構造にされた内側と外側に、扉を備える開口部を重なる位置に設け、前記内側の壁面と前記外側の壁面との間を仕切面で接続し、前記仕切面が、前記開口部の周囲三方を取り囲み、上側を開放させている。
上記構成を有するドライチャンバは、内側に密閉できない部分があり、かつ、内側が負圧であっても、密閉できない部分から内側へは外側と内側との間に供給されたドライエアのみが浸入するので、内側の湿度の上昇が抑制される。このため、本発明のドライチャンバは、内側の湿度を維持するために、例えば、ドライチャンバの外部の湿度を0.5%以下に維持するようにドライチャンバの外部にドライエアを供給したり、二重構造部分の内側にドライエアを多量に供給して高湿分空気をドライエアに置換する必要がない。よって、本発明のドライチャンバによれば、ドライエアの使用量を減らして、ドライエアの生成に必要なエネルギーを削減するので、省エネ性が向上する。また、本発明のドライチャンバによれば、二酸化炭素排出量を減らして、環境負荷を低減できる。
また、ドライエアは、ドライエアより湿度の高い空気より比重が重い。そのため、二重構造にされた部分の外側と内側との間に供給したドライエアは、下部から内側へ浸入し、内側にあるドライエアより湿度の高い空気を押し上げる流れを形成する。よって、本発明のドライチャンバは、加圧装置などを用いなくてもドライエアの流れを形成することができる。
また、本発明のドライチャンバは、内側から排気又は空気の吸引を行う配管を内側の上部に連通させているので、ドライエアより湿度の高い空気を外側のドライエアに混合させて外側のドライエアの湿度を上昇させることがない。
また、本発明のドライチャンバは、二重構造にされた内側と外側に、扉を備える開口部を重なる位置に設け、内側の壁面と外側の壁面との間を仕切面で接続し、仕切面が、開口部の周囲三方を取り囲み、上側を開放させている。ドライエアは、仕切面内を上方から下方へ向かって流れた後、仕切面に塞き止められ、仕切面内の圧力を仕切面の外側の圧力より高くする。この状態で扉を開くと、仕切面内の圧力が高いため、外気がドライチャンバ内に侵入しにくい。また、扉を開いている場合でも、ドライエアが開口部をエアカーテン状に流れて開口部を遮蔽し、外気がドライチャンバ内に侵入しにくい。よって、本発明のドライチャンバによれば、エアカーテン状の流れと開口部付近の局部的な圧力上昇により、内部の湿度変動を低減することができる。
次に、本発明に係るドライチャンバの一実施形態について図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係るドライチャンバ1の使用例を示す。
第1実施形態のドライチャンバ1は、例えば、燃料電池の製造に使用される。ドライチャンバ1は、ワークWを搬送するコンベア部10に沿って第1チャンバ2を燃料電池の製造工程別に複数設置し、燃料電池の製造工程全体を作業室50内で行うようにしている。ドライチャンバ1は、ワークWを高湿分空気にさらさずに燃料電池を組み上げるために、複数の第1チャンバ2全体を第2チャンバ4で覆って二重構造にし、第1及び第2チャンバ2,4の内部にドライエアを供給している。
図1は、本発明の第1実施形態に係るドライチャンバ1の使用例を示す。
第1実施形態のドライチャンバ1は、例えば、燃料電池の製造に使用される。ドライチャンバ1は、ワークWを搬送するコンベア部10に沿って第1チャンバ2を燃料電池の製造工程別に複数設置し、燃料電池の製造工程全体を作業室50内で行うようにしている。ドライチャンバ1は、ワークWを高湿分空気にさらさずに燃料電池を組み上げるために、複数の第1チャンバ2全体を第2チャンバ4で覆って二重構造にし、第1及び第2チャンバ2,4の内部にドライエアを供給している。
図2は、図1のA−A断面図である。
ドライチャンバ1は、少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、外側と内側との間にドライエアを供給し、内側から排気又は空気の吸引を行うように構成されている。具体的には以下の通りである。
ドライチャンバ1は、少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、外側と内側との間にドライエアを供給し、内側から排気又は空気の吸引を行うように構成されている。具体的には以下の通りである。
第1チャンバ2は、内部空間3の図中手前から図中奥側に向かってコンベア部10が敷設されている。コンベア部10は、複数の通気孔が設けられ、コンベア部10の上下空間の通気性を良好にしている。第1チャンバ2の上部には、第1配管7が接続し、内部空間3の上部に第1配管7を連通させている。第1配管7は、第2チャンバ4を貫いて外部に突出し、除湿装置11に接続されている。第1配管7は、内部空間3の空気を除湿装置11へ排気する。尚、第1配管7は、内部空間3から空気の吸引を行い、除湿装置11に出力するものであっても良い。
第1チャンバ2は、第1配管7を内部空間3へ引き込む部分の他、ワークWに装填する部品を供給するための開口部や、ワークWを次工程に搬送するコンベア部10を内部空間3へ引き込む部分、配線を内部空間3へ引き込む部分、ワークWに部品を装填する装置の駆動部や注油口などを、メンテナンスや作業環境確保等のために塞ぐことができない。つまり、第1チャンバ2は完全に密閉されていない。第1チャンバ2の密閉できない部分を覆うように、第2チャンバ4は第1チャンバ2の外側に設けられている。
第2チャンバ4は、第1チャンバ2より大きい箱状をなす。第2チャンバ4は、第1チャンバ2全体を覆うように配置され、第1チャンバ2の周りに隙間を設けて流路5を形成している。
ドライチャンバ1は、第1チャンバ2の外側(流路5)と内側(内部空間3)とを連通路6を介して連通させている。連通路6は、第1チャンバ2の下部に複数設けられている。
第2チャンバ4の上部には、第2配管8が接続し、流路5の上部を第2配管8に連通させている。第2配管8は、除湿装置11に接続している。除湿装置11は、第1配管7を介して排気された空気の湿度を0.5%以下にするために、空気を露点−30℃以下に冷却して含有水分を除去する。除湿装置11は、空気に含まれる粉塵等を除去し、空気を所定温度に暖める。そして、除湿装置11は、ドライエアを第2配管8から流路5へ供給する。
第2配管8は、流路5に均一にドライエアを供給できるように、第2チャンバ4の上部に第1チャンバ2の並び方向に沿って等間隔に複数設けられている。そして、第2チャンバ4は、第1チャンバ2と第2チャンバ4との間に介在する凹凸部分によって生じる乱気流の影響を排除してドライエアの流速を一定にし、乾燥効率を良好にするように、第1チャンバ2との間に隙間を設け、流路5としている。
上記ドライチャンバ1の動作について説明する。
ドライチャンバ1は、各第1チャンバ2の内部空間3の湿度を0.5%以下とすると共に、内部空間3を負圧にしている。ドライチャンバ1は、流路5にドライエアが供給され、第1チャンバ2の外側の湿度を0.5%以下にしている。ドライチャンバ1内では、ワークWがコンベア部10によって各第1チャンバ2に順次搬送されて部品を装填され、燃料電池が組み上げられる。
ドライチャンバ1は、各第1チャンバ2の内部空間3の湿度を0.5%以下とすると共に、内部空間3を負圧にしている。ドライチャンバ1は、流路5にドライエアが供給され、第1チャンバ2の外側の湿度を0.5%以下にしている。ドライチャンバ1内では、ワークWがコンベア部10によって各第1チャンバ2に順次搬送されて部品を装填され、燃料電池が組み上げられる。
ドライチャンバ1における空気の流れを説明する。
ドライチャンバ1は、除湿装置11から第2配管8を介して流路5にドライエアが供給されている。ドライエアは、流路5に沿って、第2チャンバ4の上部から下部へ流れる。ドライエアは、ドライエアより多く水分を含む空気より比重が重いため、余分な加圧なしで上部から下部への流れを形成する。
ドライチャンバ1は、除湿装置11から第2配管8を介して流路5にドライエアが供給されている。ドライエアは、流路5に沿って、第2チャンバ4の上部から下部へ流れる。ドライエアは、ドライエアより多く水分を含む空気より比重が重いため、余分な加圧なしで上部から下部への流れを形成する。
第2チャンバ4の下部へ流れたドライエアは、負圧にされた内部空間3へ連通路6を介して導入される。内部空間3へ導入されたドライエアは、部品をワークWに装填する装置やコンベア部10の駆動系やコイルなどの発熱体によって暖められる。また、内部空間3の暖められたドライエアは、ワークWや部品から水分を奪って湿度を上昇させる。暖まったドライエアや、ドライエアより水分を多く含有する空気は、連通部6から浸入するドライエアより比重が軽いため、内部空間3の上部へ流れて第1配管7から除湿装置11へ排気される。従って、内部空間3内では、連通部6から第1配管7への流れが、余分な加圧なしで形成される。
除湿装置11に排気された空気は、水分や粉塵などを除去され、ドライエアとして流路5に戻される。尚、除湿装置11は、作業室50から取り込んだ空気等を第1配管7から取得した空気と混合させて除湿し、流路5に供給するドライエアを生成しても良い。
ところで、第1チャンバ2は、粉塵やガスを外部に漏らさないために、内部空間3が負圧にされている。また、第1チャンバ2は、完全に密閉されていない。更に、第1チャンバ2は、第1配管7が接続する部分の周辺が、排気によって局部的に圧力が低くなっている。そのため、第1チャンバ2は、第1配管7の引き込み部分などの密閉されていない部分から内部空間3へ外側の空気が浸入する。
しかし、第1チャンバ2は、密閉されていない部分が第2チャンバ4によって二重構造にされ、流路5を流れるドライエアの層で覆われている。そのため、第1チャンバ2の密閉されていない部分から内部空間3へ浸入する空気は、除湿装置11によって湿度を0.5%以下に調整されたドライエアである。よって、内部空間3の湿度は、第1チャンバ2の密閉可能な部分以外から浸入した空気によって上昇しない。
また、第1チャンバ2から第1配管7へ排出する空気は、流路5に供給されるドライエアより湿度が高い。第1配管7は、流路5と第2チャンバ4を貫通して外部に引き出されているため、高湿分空気が流路5のドライエアに混合しない。よって、除湿装置11は、内部空間3の高湿分空気を直接処理することになり、除湿効率が良い。
ここで、第2チャンバ4は、メンテナンス等の関係で、第2配管8を引き込む部分を完全に塞がれていない。しかし、第2チャンバ4は、第1チャンバ2との間に流路5を形成する目的で設けられており、内部を負圧にする必要がない。そこで、第1実施形態では、例えば、流路5の内圧を作業室50の気圧より若干高くして、第2チャンバ4の密閉できない部分から作業室50の空気が流路5に侵入しないようにしている。これによれば、流路5を流れるドライエアの湿度が上昇せず、更には内部空間3の湿度の上昇が抑制される。
以上説明したように第1実施形態のドライチャンバ1は、第1チャンバ2に密閉できない部分があり、かつ、第1チャンバ2の内部空間3が負圧であっても、密閉できない部分からはドライエアのみが内部空間3に浸入するので(図2参照)、内部空間3の湿度の上昇が抑制される。そのため、第1実施形態のドライチャンバ1は、第1チャンバ2の内側(内部空間3)の湿度を0.5%以下に維持するために、作業室50の湿度を0.5%以下に維持するように作業室50にドライエアを供給したり、二重構造にされた第1チャンバ2の内側(内部空間3)にドライエアを多量に供給して高湿分空気をドライエアに置換する必要がない。よって、第1実施形態のドライチャンバ1によれば、ドライエアの使用量を減らして、ドライエアの生成に必要なエネルギーを削減するので、省エネ性が向上する。また、第1実施形態のドライチャンバ1によれば、二酸化炭素排出量を減らして、環境負荷を低減できる。
しかも、ドライチャンバ1は、エネルギー消費量が減るので、ランニングコストを安価にできる。更には、ドライチャンバ1は、流路5を真空にしないため、第1チャンバ2と比べて第2チャンバ4の気密性を容易に確保でき、装置自体の製造コストが安価である。
また、第1実施形態のドライチャンバ1は、流路5に供給されたドライエアが、第1チャンバ2の下部に設けた連通部6から内部空間3へ浸入し、内部空間3にあるドライエアより湿度の高い空気を押し上げる流れを形成する。よって、第1実施形態のドライチャンバ1は、加圧装置などを用いなくてもドライエアの流れを形成することができる。
また、第1実施形態のドライチャンバ1は、内部空間3から排気を行う第1配管7を第1チャンバ2の上部に接続しているので、ドライエアより湿度の高い空気を流路5のドライエアに混合させて流路5を流れるドライエアの湿度を上昇させることがない。
ところで、例えば、作業室50に人間Hが入室すると、作業室50の湿度が上昇する。図10に示す従来技術のように、作業室50の湿度を0.5%以下に維持しようとすると、少なくとも人間一人あたり9m3/分ずつドライエアを作業室50に供給しなければならない。
しかし、図2に示す第1実施形態のドライチャンバ1は、第1チャンバ2が第2チャンバ4によって作業室50の空気と遮断されている。そのため、人間Hが作業室50に入室して作業室50の湿度が上昇しても、流路5や内部空間3の湿度に影響しない。よって、第1実施形態のドライチャンバ1は、人間Hがメンテナンス等のために作業室50に入室する際にドライエアを作業室50に供給する必要がなく、図10に示す従来技術より省エネ性や環境保全性が優れている。また、ドライチャンバ1を使用する製造現場では、作業室50に入退室可能な人数や時間の制限がなくなり、作業効率が良い。
(第2実施形態)
続いて、本発明の第2実施形態について図面を参照して説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係るドライチャンバ20の上面図である。図3は、図4に示すドライチャンバ20を扉21,22方向から見た正面図である。図5は、図4に示すドライチャンバ20の側面図である。
第2実施形態のドライチャンバ20は、第1チャンバ2と第2チャンバ4との間を、第1及び第2チャンバ2,4に形成した開口部2a,4aの周囲三方を取り囲むように仕切面23で接続している点が、第1実施形態と相違し、その他の点は第1実施形態のドライチャンバ1と共通する。よって、ここでは、第1実施形態と相違する点を中心に説明し、第1実施形態と共通する構成には第1実施形態で使用した符号を図面に付し、説明を適宜省略する。
続いて、本発明の第2実施形態について図面を参照して説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係るドライチャンバ20の上面図である。図3は、図4に示すドライチャンバ20を扉21,22方向から見た正面図である。図5は、図4に示すドライチャンバ20の側面図である。
第2実施形態のドライチャンバ20は、第1チャンバ2と第2チャンバ4との間を、第1及び第2チャンバ2,4に形成した開口部2a,4aの周囲三方を取り囲むように仕切面23で接続している点が、第1実施形態と相違し、その他の点は第1実施形態のドライチャンバ1と共通する。よって、ここでは、第1実施形態と相違する点を中心に説明し、第1実施形態と共通する構成には第1実施形態で使用した符号を図面に付し、説明を適宜省略する。
ドライチャンバ20は、点検を行うために、第1及び第2チャンバ2,4に開口部2a,4aが設けられている。開口部2a,4aは、互いに重なる位置に設けられている。開口部4aは、開口部2aより大きく形成され、外側の第2チャンバ4から内側の第1チャンバ2へ点検道具などを挿入しやすくして作業性を良くしている。第1及び第2チャンバ2,4は、開口部2a,4aを開閉するための第1扉21と第2扉22が回動可能に取り付けられている。
第1及び第2チャンバ2,4の間には、仕切面23が設けられている。仕切面23は、一方に開口するコの字型に設けられている。仕切面23は、開口部23aが底部23bより広くされている。仕切面23は、開口部23aを上向きにして、開口部2a,4aの周りを三方から取り囲むように、設けられている。
このようなドライチャンバ20における第1及び第扉21,22付近のドライエアの流れと圧力との関係について説明する。図6は、図4に示すドライチャンバ20において扉21,22を閉状態としている場合のドライエアの流れと圧力との関係を、扉正面側から見て説明する説明図である。
ドライチャンバ20は、第1及び第2扉21,22を閉じた状態で、ワークWの乾燥を行う。すなわち、ドライチャンバ20は、流路5が陽圧にされ、内部空間3が負圧にされており、第2配管8から供給されたドライエアが流路5、連通部6を介して内部空間3へ流れ、内部空間3においてワークWを乾燥させた後、第1配管7から排出される。
ドライチャンバ20は、第1及び第2扉21,22を閉じた状態で、ワークWの乾燥を行う。すなわち、ドライチャンバ20は、流路5が陽圧にされ、内部空間3が負圧にされており、第2配管8から供給されたドライエアが流路5、連通部6を介して内部空間3へ流れ、内部空間3においてワークWを乾燥させた後、第1配管7から排出される。
このような定常の乾燥動作を行う場合には、図6に示すように、第1及び第2チャンバ2,4の正面側の流路5を流れるドライエアは、仕切面23の外側では、自重により第2チャンバ4の下部へ向かって流れる。一方、開口部23aから仕切面23の内部へ流れ込んだドライエアは、底部23bに塞き止められる。そのため、仕切面23の内部、すなわち第1及び第2扉21,22を備える開口部2a,4aの周りは、仕切面23の外側と比べて圧力が局部的に高くなり、陽圧になる。
点検等を行う場合には、図7及び図8に示すように、ドライエアを供給したまま第1及び第2扉21,22が開かれ、開口部2a,4aが開放される。仕切面23は、開口部2a,4aの三方を取り囲むように設けられているため、開口部2a,4aが開放されても、外気が仕切面23に遮られて、仕切面23の外側の流路5を流れるドライエアに混入しない。
そして、仕切面23の内部は、陽圧にされているため、開口部2a,4aが開放された場合に、外気が仕切面23内のドライエアに遮られて内部空間3へ侵入しにくい。
さらに、点検中に供給されるドライエアは、開口部2a,4aの間をエアカーテン状に流れた後、底部23bに塞き止められて開口部2a,4aから第2チャンバ4の外部と第1チャンバ2の内部空間3へ流れ込む。そのため、開口部2a,4aは、ドライエアによって遮蔽され、外気が内部空間3へ侵入しにくい。特に、仕切面23は、上方に開口する開口部23aが底部23bより広くされ、より多くのドライエアを内部に取り込んで開口部2a,4aの間に流すようになっている。そのため、開口部2a,4aの間をドライエアによってより一層効果的に遮蔽することが可能である。
このような第2実施形態のドライチャンバ20は、点検時に第1及び第2扉21,22を開閉しても、外気が流路5を流れるドライエアに混入したり、開口部2a,4aを介して内部空間3へ侵入する量が少なく、内部空間3内の露点を低下させにくい。
以上説明したように、第2実施形態のドライチャンバ20は、二重構造にされた内側の第1チャンバ2と外側の第2チャンバ4に、第1及び第2扉21,22を備える開口部2a,4aを重なる位置に設け、第1チャンバ2の壁面と第2チャンバ4の壁面との間を仕切面23で接続し、仕切面23が、開口部2a,4aの周囲三方を取り囲み、上側を開放させている。ドライエアは、仕切面23内を上方から下方へ向かって流れた後、仕切面23の底部23bに塞き止められ、仕切面23内の圧力を仕切面23の外側の圧力より高くする。この状態で第1及び第2扉21,22を開くと、仕切面23内の圧力が高いため、外気がドライチャンバ20内に侵入しにくい。また、第1及び第2扉21,22を開いている場合でも、ドライエアが開口部2a,4aをエアカーテン状に流れて開口部2a,4aを遮蔽し、外気がドライチャンバ内に侵入しにくい。よって、第2実施形態のドライチャンバ20によれば、エアカーテン状の流れと開口部2a,4a付近の局部的な圧力上昇により、内部の湿度変動を低減することができる。
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施形態では、第1チャンバ2全体を第2チャンバ4で覆ったが、第1チャンバ2の密閉可能な部分以外(例えば、配管7,8や配線、コンベア部10の引き込み部分や、部品を供給するための開口部、装置の駆動系や注油口など)のみを二重構造にしても良い。この場合、二重構造にした部分毎に、第1チャンバの外側と内側を一部で連通させる連通部を第1チャンバに設けると良い。
例えば、上記実施形態では、ドライチャンバ1を燃料電池の製造工程で使用したが、電極のペーストを乾燥させる装置や、半導体基板を乾燥させる装置など、各種乾燥を要する工程にドライチャンバ1を使用しても良い。
例えば、ドライチャンバ1の第1及び第2配管7,8が接続する部分にFFU107を設けてもよい。
例えば、上記実施形態では、複数の第1チャンバ2を全て覆うように第2チャンバ4を設けたが、各第1チャンバ2に個別に第2チャンバ4を設けても良い。
例えば、上記実施形態では、第1チャンバ2全体を第2チャンバ4で覆ったが、第1チャンバ2の密閉可能な部分以外(例えば、配管7,8や配線、コンベア部10の引き込み部分や、部品を供給するための開口部、装置の駆動系や注油口など)のみを二重構造にしても良い。この場合、二重構造にした部分毎に、第1チャンバの外側と内側を一部で連通させる連通部を第1チャンバに設けると良い。
例えば、上記実施形態では、ドライチャンバ1を燃料電池の製造工程で使用したが、電極のペーストを乾燥させる装置や、半導体基板を乾燥させる装置など、各種乾燥を要する工程にドライチャンバ1を使用しても良い。
例えば、ドライチャンバ1の第1及び第2配管7,8が接続する部分にFFU107を設けてもよい。
例えば、上記実施形態では、複数の第1チャンバ2を全て覆うように第2チャンバ4を設けたが、各第1チャンバ2に個別に第2チャンバ4を設けても良い。
1 ドライチャンバ
2 第1チャンバ
3 内部空間(内側)
4 第2チャンバ
5 流路(外側)
6 連通部
7 第1配管
2 第1チャンバ
3 内部空間(内側)
4 第2チャンバ
5 流路(外側)
6 連通部
7 第1配管
Claims (4)
- ドライチャンバにおいて、
少なくとも密閉可能な部分以外を二重構造にして、前記二重構造にされた部分の外側と内側とを一部で連通せしめ、前記外側と前記内側との間にドライエアを供給し、前記内側から排気又は空気の吸引を行う
ことを特徴とするドライチャンバ。 - 請求項1に記載するドライチャンバにおいて、
前記外側と前記内側とを下部で連通させている
ことを特徴とするドライチャンバ。 - 請求項1又は請求項2に記載するドライチャンバにおいて、
前記内側から排気又は空気の吸引を行う配管が前記内側の上部に連通している
ことを特徴とするドライチャンバ。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載するドライチャンバにおいて、
前記二重構造にされた内側と外側に、扉を備える開口部を重なる位置に設け、
前記内側の壁面と前記外側の壁面との間を仕切面で接続し、
前記仕切面が、前記開口部の周囲三方を取り囲み、上側を開放させている
ことを特徴とするドライチャンバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173287A JP2009222377A (ja) | 2008-02-22 | 2008-07-02 | ドライチャンバ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008041300 | 2008-02-22 | ||
JP2008173287A JP2009222377A (ja) | 2008-02-22 | 2008-07-02 | ドライチャンバ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009222377A true JP2009222377A (ja) | 2009-10-01 |
Family
ID=41239344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008173287A Withdrawn JP2009222377A (ja) | 2008-02-22 | 2008-07-02 | ドライチャンバ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009222377A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012052718A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | 局所低露点室の露点温度の制御方法及びその制御システム |
CN102466394A (zh) * | 2010-11-16 | 2012-05-23 | 三星Sdi株式会社 | 用于干燥电极板的装置和方法 |
-
2008
- 2008-07-02 JP JP2008173287A patent/JP2009222377A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012052718A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Shin Nippon Air Technol Co Ltd | 局所低露点室の露点温度の制御方法及びその制御システム |
CN102466394A (zh) * | 2010-11-16 | 2012-05-23 | 三星Sdi株式会社 | 用于干燥电极板的装置和方法 |
CN102466394B (zh) * | 2010-11-16 | 2015-07-22 | 三星Sdi株式会社 | 用于干燥电极板的装置和方法 |
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