JP2009299979A

JP2009299979A - 連続乾燥方法及び連続乾燥装置

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Publication number: JP2009299979A
Application number: JP2008154299A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Usuki; 嘉雄薄木
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2008-06-12
Filing date: 2008-06-12
Publication date: 2009-12-24

Abstract

【課題】エネルギーロスを低減できる連続乾燥方法及び連続乾燥装置を提供すること。
【解決手段】クリーンエアを供給される第１乾燥炉１０５から、トンネル１１を介して、クリーンエアより湿度の低いドライエアを供給される第２乾燥炉１０６へ箔１０２を連続通過させることにより、箔１０２を乾燥させる。トンネル１１は、箔１０２の搬送方向に沿って第１〜第３チャンバ１４，１５，１６が互いに連通するように区画されている。第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６は、ドライエアを循環させることにより、第２乾燥炉１０６よりも低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。一方、第１乾燥炉１０５側の第１チャンバ１４は、第１乾燥炉１０５との間でクリーンエアを循環させることにより、第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６と第１乾燥炉１０５に対して低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。
【選択図】図１

Description

本発明は、第１乾燥気体を供給される第１乾燥炉と、第１乾燥気体より湿度の低い第２乾燥気体を供給される第２乾燥炉とをトンネルで連通させ、乾燥媒体を第１乾燥炉と第２乾燥炉に連続通過させることにより乾燥媒体を乾燥させる連続乾燥方法及び連続乾燥装置に関する。

燃料電池は、発電効率が高く環境負荷を軽減できることから注目されている。例えば、内燃機関で動力を得るガソリン車やディーゼル車は、二酸化炭素やチッソ酸化物などの有害物質を排出し、地球温暖化や大気汚染の源として、社会問題となっている。一方、電気自動車は、鉛電池、ニッケル水素電池、リチウムイオン電池などの電池にたくわえた電気エネルギーを使って電動機で走行するものであって、走行中に排気ガスを出さず、エネルギー効率が高い。よって、電気自動車は環境負荷軽減対策の一つとして注目されている。

例えば、リチウムイオン電池は、正極と負極とを電解液の入った缶に配置したものである。リチウムイオン電池を製造する場合、活物質を塗布した箔を巻回して正極と負極を、電池の長さに合わせて切断する。そして、正極と負極にリードを溶接し、その後、正極／セパレータ／負極／セパレータの順に重ねて円筒形に巻いて電極素子を形成する。そして、素子を缶に挿入し、負極リードを缶底に溶接する。そして、缶の注入口から電解液を注入した後、正極リードの遮断弁への溶接を経て、キャップを注入口に被せてかしめる。このようなリチウムイオン電池の製造工程では、ドライ環境が要求される。製造現場の湿度が高いと、電池構成材料に水分が吸着し、電池性能が悪くなるからである。

図４は、従来の連続乾燥装置１０１の概念図である。
例えば、正極と負極の製造工程では、クリーンルーム１００に連続乾燥装置１０１を設置し、括物質のペーストが塗布された箔１０２を連続乾燥装置１０１に供給してペーストを乾燥させている。

連続乾燥装置１０１は、ペーストが塗布された箔１０２を保持部１０３から第１乾燥炉１０５、第２乾燥炉１０６へ供給し、巻取部１０４で巻き取る。熱交換機１０８は、図示しないクリーンエア供給源から供給されるクリーンエアと、バーナ１０７で加熱された外気との間で熱交換してクリーンエアを約２００℃に加熱し、第１乾燥炉１０５に供給する。第１乾燥炉１０５は、クリーンエアの供給に伴い、内部エアを屋外に排出する。

また、空調機１１０は、外気をクリーンにして２５℃に温度調節し、クリーンルーム１００と除湿機１０９に供給する。除湿機１０９は、クリーンエアを除湿して湿度１％以下のドライエアを生成し、ヒータ１１１に供給する。ヒータ１１１は、ドライエアを約２００℃に加熱して第２乾燥炉１０６に供給する。第２乾燥炉１０６は、ドライエアの供給に伴い、内部エアを屋外に排出する。

図５は、図４に示す第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６との間の構造を示す図である。
第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６は、箔１０２を配置するために、箔１０２との間に隙間Ｓ１，Ｓ２が必ず形成される。第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６は、隙間Ｓ１，Ｓ２から異物が侵入するのを防ぐために、系外より高圧（陽圧）にされている。よって、約２００℃に加熱したクリーンエアとドライエアは、第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６の隙間Ｓ１，Ｓ２からクリーンルーム１００へ漏れていた。そのため、従来の連続乾燥装置１０１は、バーナ１０７や除湿機１０９、ヒータ１１１などを使用して、乾燥に直接使用しないクリーンエアやドライエアまでも生成しなければならず、エネルギーロスを生じていた。

この点、例えば特許文献１には、乾燥炉同士をトンネルで連結し、乾燥炉と系外とを遮断した連続乾燥装置が開示されている。また、特許文献１には、トンネルで乾燥炉同士を連結すると、隣接する乾燥炉間でトンネルを通じた気流が発生することが開示されている。

特開２００４−１９０９８２号公報

しかしながら、特許文献１記載の連続乾燥装置のように第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６とをトンネルで連通させたとしても、湿度の高いクリーンエアが、第１乾燥炉１０５からトンネル内部に漏れた後、第２乾燥炉１０６へ侵入していた。第２乾燥炉１０６では、湿度の高いエアの混入により湿度が上昇して乾燥効率が下がる。そのため、第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６とをトンネルで連通させたのみの連続乾燥方法では、第２乾燥炉１０６の内部を湿度１％以下に維持するように、空調機１１０や除湿機１０９、ヒータ１１１を駆動してドライエアを第２乾燥炉１０６に供給しなければならず、電力や熱などのエネルギーのロスが多かった。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、エネルギーロスを低減できる連続乾燥方法及び連続乾燥装置を提供することを目的とする。

本発明に係る連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、上記課題を解決するために以下の構成を有する。
（１）第１乾燥気体を供給される第１乾燥炉と、前記第１乾燥気体より湿度の低い第２乾燥気体を供給される第２乾燥炉とをトンネルで連通させ、乾燥媒体を前記第１乾燥炉と前記第２乾燥炉に連続通過させることにより前記乾燥媒体を乾燥させる連続乾燥方法において、前記トンネルを複数の互いに連通するチャンバに区画し、前記第２乾燥炉側のチャンバに前記第２乾燥気体を供給すると共に前記第２乾燥炉側のチャンバから気体を排出して前記第２乾燥媒体を循環させることにより、前記第２乾燥炉側のチャンバを第２乾燥炉よりも低圧かつ系外よりも高圧に保ち、前記第１乾燥炉側のチャンバから前記第１乾燥炉へ気体を循環させることにより、前記第１乾燥炉側のチャンバを前記第２乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉の両者に対して低圧かつ系外よりも高圧に保つ。

（２）（１）に記載の発明において、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第２乾燥炉側のチャンバとの間に風向又は流量を検出する検出センサを配置し、前記検出センサが第２乾燥炉側のチャンバから前記第１乾燥炉側のチャンバへ気体が流れる風向又は流量を検出するように、前記第２乾燥炉側のチャンバに循環させる前記第２乾燥気体の流量と、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉との間で循環させる前記第１乾燥気体の流量とを調整する。

（３）乾燥媒体と、第１乾燥気体を供給される第１乾燥炉と、前記第１乾燥気体より湿度の低い第２乾燥気体を供給される第２乾燥炉と、前記第１乾燥炉と前記第２乾燥炉とを連通させるトンネルと、前記第１乾燥炉から前記トンネルを介して前記第２乾燥炉へ前記乾燥媒体を搬送する搬送手段と、を有し、前記搬送手段により前記乾燥媒体を前記第１乾燥炉から前記第２乾燥炉へ連続通過させて前記乾燥媒体を乾燥させる連続乾燥装置において、前記トンネルは、前記乾燥媒体の搬送方向に沿って複数のチャンバが互いに連通するように区画されており、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉とを連通させる循環系路と、前記第２乾燥炉側のチャンバに連通して前記第２乾燥気体を供給する第２乾燥気体供給系路と、前記第２乾燥炉側のチャンバを前記第２乾燥気体供給系路に連通させて、前記第２乾燥気体を前記第２乾燥炉側のチャンバから前記第２乾燥気体供給系路に排出する第２乾燥気体排出系路と、前記第２乾燥炉側のチャンバの内圧を、前記第２乾燥炉より低圧で且つ系外より高圧に保つ一方、前記第１乾燥炉側のチャンバの内圧を、前記第１乾燥炉及び前記第２乾燥炉側のチャンバに対して低圧で且つ系外よりも高圧に保つように、前記第２乾燥炉側のチャンバに循環させる前記第２乾燥気体の流量と、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉との間で循環させる前記第１乾燥気体の流量とを調整する流量調整手段と、を有する。

（４）（３）に記載の発明において、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第２乾燥炉側のチャンバとの間に配置され、風量又は風向を検出する検出センサを有し、前記流量調整手段は、前記検出センサが前記第２乾燥炉側のチャンバから前記第１乾燥炉側のチャンバへの風向及び風量を検出するように、前記第２乾燥炉側のチャンバに循環させる前記第２乾燥気体の流量と、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉との間で循環させる前記第１乾燥気体の流量とを調整する。

上記構成を有する本発明の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、第１乾燥気体を供給される第１乾燥炉から、トンネルを介して、第１乾燥気体より湿度の低い第２乾燥気体を供給される第２乾燥炉へ乾燥媒体を連続通過させることにより、乾燥媒体を乾燥させる。トンネルは、乾燥媒体の搬送方向に沿って複数のチャンバが互いに連通するように区画されている。第２乾燥炉側のチャンバは、第２乾燥気体を循環させることにより、第２乾燥炉よりも低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。一方、第１乾燥炉側のチャンバは、第１乾燥炉との間で第１乾燥気体を循環させることにより、第２乾燥炉側のチャンバと第１乾燥炉に対して低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。

このような連続乾燥装置は、第１及び第２乾燥炉側のチャンバが系外より高圧であるため、第１乾燥炉とトンネルとの間や第２乾燥炉とトンネルとの間から系外の外気が侵入して、第１及び第２乾燥炉の湿度を上昇させることがない。第２乾燥炉側のチャンバは、第２乾燥炉より低圧であるため、第２乾燥気体が第２乾燥炉から漏れてくる。漏れた第２乾燥気体は、第２乾燥炉側のチャンバに供給される第２乾燥気体に混じって第２乾燥炉側のチャンバを循環し、乾燥媒体の乾燥に再利用される。一方、第１乾燥炉側のチャンバは、第１乾燥炉より低圧であるため、第１乾燥炉から第１乾燥気体が漏れてくる。第１乾燥炉側のチャンバは、第２乾燥炉と第２乾燥炉側のチャンバより低圧にされている。そのため、第１乾燥炉側のチャンバに漏れた第１乾燥気体は、第２乾燥炉側のチャンバや第２乾燥炉に侵入せずに第１乾燥炉へ循環し、乾燥媒体の乾燥に再利用される。

このように、本発明の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、第１乾燥気体がトンネルを介して第２乾燥炉の第２乾燥気体に混入することを防ぎつつ、第１及び第２乾燥炉から漏れる第１及び第２乾燥気体を乾燥媒体の乾燥に再利用するので、エネルギーロスを低減できる。

本発明の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、第１乾燥炉側のチャンバと第２乾燥炉側のチャンバとの間に風向又は流量を検出する検出センサを配置している。そして、本発明の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、検出センサが第２乾燥炉側のチャンバと第１乾燥炉側のチャンバとの間を流れる気体の風向又は流量を検出するように、第２乾燥炉側のチャンバを循環する第２乾燥気体の流量と、第１乾燥炉側のチャンバと第１乾燥炉との間を循環する第１乾燥気体の流量とを調整する。よって、本発明の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、第１乾燥炉側のチャンバへ漏れた第１乾燥気体が、第２乾燥炉側のチャンバや第２乾燥炉へ流入して第２乾燥気体に混入することを確実に防止できる。

次に、本発明に係る連続乾燥方法及び連続乾燥装置の一実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
＜連続乾燥装置の全体構成＞
図２は、本発明の第１実施形態に係る連続乾燥装置１の概念図である。
連続乾燥装置１は、図４に示す従来技術と同様にクリーンルーム１００に設置され、括物質のペーストが塗布された箔１０２（乾燥媒体の一例）を乾燥させるために使用される。

連続乾燥装置１は、乾燥前の箔１０２の巻体を保持する保持部１０３と、乾燥後の箔１０２を巻き取る巻取部１０４とを備える。保持部１０３と巻取部１０４との間には、上流側から順に、クリーンエア（第１乾燥気体の一例）を供給される第１乾燥炉１０５と、クリーンエアより低湿のドライエア（第２乾燥気体の一例）を供給される第２乾燥炉１０６とが配置されている。トンネル１１は、第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６との間に配置され、第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６とを連通させている。

連続乾燥装置１は、保持部１０３と巻取部１０４を回転駆動させることにより箔１０２を第１乾燥炉１０５と第２乾燥炉１０６へ連続通過させて箔１０２を乾燥させる。尚、保持部１０３と巻取部１０４は、第１乾燥炉１０５からトンネル１１を介して第２乾燥炉１０６へ箔１０２を搬送する搬送手段の一例になり得る。

第１乾燥炉１０５は、箔１０２を導入する導入口１０５ａと、箔１０２を排出する排出口１０５ｂとを備える。第１乾燥炉１０５は、箔１０２の表面に導入口１０５ａと排出口１０５ｂの縁部が擦れてペーストを剥がしたり、異物を載せるなどして、箔１０２の品質にダメージを与えないために、また、箔１０２を第１乾燥炉１０５に人手で通しやすくするために、箔１０２と導入口１０５ａ及び排出口１０５ｂとの間に隙間が設けられている。

第１乾燥炉１０５は、クリーンエアを供給されて、内圧が系外よりも高圧にされる。熱交換機１０８には、外気をバーナ１０７で加熱する熱媒体供給系路１２１と、図示しないクリーンエア供給源を第１乾燥炉１０５に接続するクリーンエア供給系路１２２とが配置されている。また、第１乾燥炉１０５は、内部空間が排気系路１２３を介して屋外に連通している。

一方、第２乾燥炉１０６は、箔１０２を導入する導入口１０６ａと、箔１０２を排出する排出口１０６ｂとを備える。第２乾燥炉１０６は、箔１０２の表面に導入口１０６ａと排出口１０６ｂの縁部が擦れてペーストを剥がしたり、異物を載せるなどして、箔１０２の品質にダメージを与えないために、また、箔１０２を第２乾燥炉１０６に人手で通しやすくするために、箔１０２と導入口１０６ａ及び排出口１０６ｂとの間に隙間が設けられている。

第２乾燥炉１０６は、クリーンエアより湿度の低いドライエアを供給され、内圧が系外よりも高圧にされる。吸気系路１２４は、空調機１１０を屋外に連通させている。クリーンルーム接続系路１２５は、空調機１１０とクリーンルーム１００とを連通させている。分岐系路１２６は、クリーンルーム接続系路１２５から分岐して除湿機１０９に接続している。除湿機１０９は、ドライエア出力系路１２７を介してヒータ１１１に接続している。ヒータ１１１は、トンネル１１と第２乾燥炉１０６に接続している。

トンネル１１は、第１乾燥炉１０５の排出口１０５ｂと第２乾燥炉１０６の導入口１０６ａとを連通させている。トンネル１１は、箔１０２の搬送方向に沿って第１チャンバ１４と第２チャンバ１５と第３チャンバ１６に区画されている。

また、第１乾燥炉１０５の導入口１０５ａには、カバー４が配置されている。カバー４には、第１循環手段２が設けられている。
更に、第２乾燥炉１０６の排出口１０６ｂには、カバー５が配置されている。カバー５には、第２循環手段３が設けられている。

＜トンネルの構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る連続乾燥装置１のトンネル１１周辺を示す拡大図である。
トンネル１１は、固定部材１１Ａと可動部材１１Ｂとの間に内部空間が機密に形成されている。可動部材１１Ｂは、固定部材１１Ａに対して回動自在に保持されている。

トンネル１１の内壁には、固定部材１１Ａと可動部材１１Ｂとの間に形成される空間を第１〜第３チャンバ１４〜１６に区画するための仕切板１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが立設されている。仕切板１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄには、連通孔１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄがそれぞれ形成され、第１〜第３チャンバ１４〜１６が箔１０２の搬送方向に沿って互いに連通している。固定部材１１Ａと可動部材１１Ｂには、第１〜第３チャンバ１４〜１６に連通するポート１７，１８，１９とポート２０，２１，２２が設けられている。

熱風循環系路（循環系路の一例）２３，２４は、ポート１７，２０と第１乾燥炉１０５に接続し、第１チャンバ１４と第１乾燥炉１０５とを連通させている。ファン２５，２６は、熱風循環系路２３，２４に配置され、第１チャンバ１４から第１乾燥炉１０５へクリーンエアを循環させるように気体の流れを形成している。

ドライ熱風供給系路（第２乾燥気体供給系路の一例）２７，２８は、ポート１９，２２を介して第３チャンバ１６に連通し、第３チャンバ１６にドライエアを供給する。流体制御弁２９，３０は、ドライ熱風供給系路２７，２８に配置され、第３チャンバ１６に供給するドライエアの供給量を制御している。ファン３１，３２は、流体制御弁２９，３０とポート１９，２２との間にそれぞれ配置され、ドライエアを第３チャンバ１６に供給する流れを形成している。

ドライ熱風排出系路（第２乾燥気体排出系路の一例）３３，３４は、ポート１８，２１を介して第２チャンバ１５に連通し、第２チャンバ１５からドライエアを排出する。ドライ熱風排出系路３３，３４は、ドライ熱風供給系路２７，２８の流体制御弁２９，３０とファン３１，３２との間に接続し、第２チャンバ１５からドライ熱風供給系路２７，２８へドライエアを循環させている。流体制御弁３５，３６は、ドライ熱風排出系路３３，３４に配置され、第２チャンバ１５からドライ熱風供給系路２７，２８へ排出するドライエアの排出量を制御している。

更に、トンネル１１は、仕切板１２ｂに設けた連通孔１３ｂの内縁部に、ピトー管などの検出センサ３７を配設している。

＜循環手段の構成＞
図２に示すように、カバー４，５は、可動部材４Ｂ，５Ｂが固定部材４Ａ，５Ａに対して回動可能に保持されている。第１循環手段２は、第１乾燥炉１０５とカバー４を連通させる循環系路８上にファン６を配置し、カバー４から第１乾燥炉１０５へ気体を循環させる流れを形成している。また、第２循環手段３は、第２乾燥炉１０６とカバー５を連通させる循環系路９上にファン８を配置し、カバー５から第２乾燥炉１０６へ気体を循環させる流れを形成している。

＜制御装置の構成＞
連続乾燥装置１は、図１に示すファン２５，２６，３１，３２、流体制御弁２９，３０，３５，３６、検出センサ３７や、図２に示すファン６，７が、図示しない制御装置に接続されている。図示しない制御装置は、カバー４，５を系外より高圧にするようにファン６，７の駆動を制御する。また、図示しない制御装置は、第３チャンバ１６が第２乾燥炉１０６より低圧かつ系外より高圧で、第２チャンバ１５が第３チャンバ１６より低圧かつ系外より高圧で、第１チャンバ１４が第１乾燥炉１０５及び第２及び第３チャンバ１５，１６より低圧で系外より高圧になるように、ファン２５，２６，３１，３２の駆動を制御している。

尚、第１実施形態では、ファン２５，２６，３１，３２、流体制御弁２９，３０，３５，３６、及び、図示しない制御装置が、流量調整手段１０を構成する。

＜連続乾燥方法＞
次に、連続乾燥装置１が定常の連続乾燥を行う方法について説明する。
連続乾燥装置１は、定常の連続乾燥時には、第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６が、第２乾燥炉１０６より低圧且つ系外より高圧にされると共に、第１乾燥炉１０５側の第１チャンバ１４が、第１乾燥炉１０５及び第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６より低圧且つ系外より高圧にされている。連続乾燥装置１は、保持部１０３と巻取部１０４を駆動して、箔１０２を保持部１０３から第１乾燥炉１０５、トンネル１１、第２乾燥炉１０６へ搬送し、巻取部１０４に箔１０２を巻き取らせる。

定常の連続乾燥では、連続乾燥装置１は、バーナ１０７と熱交換機１０８を駆動して、第１乾燥炉１０５にクリーンエアを供給し、第１乾燥炉１０５を系外より高圧（陽圧）に保っている。

バーナ１０７は、熱媒体供給系路１２１が屋外から取り入れた外気を加熱する。熱交換機１０８は、バーナ１０７で加熱された外気の熱を、クリーンエア供給系路１２２を流れるクリーンエアに伝達して、クリーンエアを約２００℃に加熱する。加熱されたクリーンエアは、クリーンエア供給系路１２２から第１乾燥炉１０５に供給される。第１乾燥炉１０５は、クリーンエアの供給により内部エアが排気系路１２３を介して屋外へ排出される。これにより、第１乾燥炉１０５は、系外より高圧になるように内圧を維持されると共に、温度が約２００℃に維持される。

箔１０２は、第１乾燥炉１０５を通過するときにクリーンエアの熱でペーストを乾燥させる。

また、定常の連続乾燥では、連続乾燥装置１は、空調機１１０がクリーンエアをクリーンルーム１００に供給し、かつ除湿機１０９およびヒータ１１１を介して第２乾燥炉１０６と第３チャンバ１６にドライエアを供給し、第２乾燥炉１０６を系外より高圧（陽圧）に保っている。

空調機１１０は、吸気系路１２４から屋外の外気を取り入れてクリーンにし、２５℃に温度調節する。そして、空調機１１０は、２５℃に温度調節したクリーンエアをクリーンルーム接続系路１２５を介してクリーンルーム１００に供給し、作業者が作業を行うクリーンルーム１００の清浄性を維持する。

クリーンエアは、クリーンルーム接続系路１２５から分岐系路１２６へ分岐して除湿機１０９に供給される。除湿機１０９は、クリーンエアを湿度１％以下まで除湿してドライエアを生成し、ドライエア出力系路１２７を介してヒータ１１１に出力する。ヒータ１１１は、ドライエアを約２００℃に加熱して第２乾燥炉１０６とドライ熱風乾燥系路２７，２８に供給する。これにより、第２乾燥炉１０６は、定常の連続乾燥を行う間、ドライエアを供給されて陽圧を保ち、湿度をクリーンエアより低湿な１％以下、温度を約２００℃に維持する。

箔１０２は、第２乾燥炉１０６を通過する際に、第１乾燥炉１０５で乾燥したペーストがドライエアにさらされて内部まで乾燥する。

ここで、連続乾燥装置１は、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６を陽圧にしているため、クリーンエアとドライエアが、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６の各導入口１０５ａ，１０６ａと各排出口１０５ｂ，１０６ｂからカバー４、カバー５、第１チャンバ１４、第３チャンバ１６へ漏れる。

カバー４，５では、第１及び第２循環手段２，３のファン６，７が駆動し、クリーンエアとドライエアが循環系路８，９を介して第１及び第２乾燥炉１０５，１０６にそれぞれ循環する。そのため、カバー４，５は、内圧が系外より高圧に保たれる。この結果、クリーンルーム１００の気体がカバー４，５を介して第１及び第２乾燥炉１０５，１０６に侵入し、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６のクリーンエアとドライエアが湿度を上昇させたり、温度を低下させることがない。

一方、トンネル１１では、第３チャンバ１６が、弁開状態の流体制御弁２９，３０を介してドライ熱風供給系路２７，２８からドライエアを供給されている。第２乾燥炉１０６の導入口１０６ａからトンネル１１の第３チャンバ１６に漏れたドライエアは、ドライ熱風供給系路２７，２８から第３チャンバ１６に供給されるドライエアと合流する。第２チャンバ１５は、ドライ熱風排出系路３３，３４を介してファン３１，３２の一次側に接続している。そのため、第２チャンバ１５は、内部エアがドライ熱風排出系路３３，３４へ排出され、第３チャンバ１６より低圧にされている。よって、第３チャンバ１６のドライエアは、第２チャンバ１５へ流れた後、ドライ熱風排出系路３３，３４へ排出される。

ドライ熱風排出系路３３，３４は、流体制御弁３５，３６が弁開状態にされ、ドライ熱風供給系路２７，２８に連通している。ドライ熱風供給系路２７，２８では、ファン３１，３２の駆動により第３チャンバ１６への流れが形成されている。そのため、ドライ熱風排出系路３３，３４からドライ熱風供給系路２７，２８に合流したドライエアは、ファン３１，３２の駆動により第３チャンバ１６へ循環する。

よって、第２乾燥炉１０５から第３チャンバ１６に漏れたドライエアは、第２チャンバ１５と第３チャンバ１６との間で循環し、トンネル１１から第２乾燥炉１０６へ搬送される箔１０２のペーストを乾燥させる。

トンネル１１では、流量調整手段１０のファン２５，２６が駆動し、排出口１０５ｂからトンネル１１の第１チャンバ１４に漏れたクリーンエアが、第１チャンバ１４から熱風循環系路２３，２４を介して第１乾燥炉１０５に循環する。

図示しない制御装置は、検出センサ３７が検出する風向又は流量に基づいて、第１チャンバ１４と第２チャンバ１５との間の気体の流れを検出している。図示しない制御装置は、検出センサ３７の検出結果に基づいてファン２５，２６，３１，３２を駆動し、第２チャンバ１５から第１チャンバ１４へ気体が流れるように、第３チャンバ１６へのドライエアの供給量、第２チャンバ１５からのドライエアの排出量、第１チャンバ１４からのドライエアの排出量を調整している。つまり、第１チャンバ１４は、第１乾燥炉１０５と第２チャンバ１５より低圧且つ系外より高圧を保っている。

これにより、トンネル１１では、定常の連続乾燥時に、ドライエアが第２チャンバ１５から第１チャンバ１４へ流れる。よって、第１チャンバ１４は、ドライエアが第２チャンバ１５から漏れてきてクリーンエアに混入し、第１乾燥炉１０５を循環することはあっても、クリーンエアが第２チャンバ１５へ流れてドライエアに混入して第２チャンバ１５と第３チャンバ１６との間を循環することはない。

ドライエアは、クリーンエアに混入して第１乾燥炉１０５に循環することにより、第１乾燥炉１０５を通過する箔１０２のペーストの乾燥（含水量低減）に使用される。第１乾燥炉１０５では、クリーンエアと、第２乾燥炉１０６からトンネル１１を介して漏れてきたドライエアとが供給されるため、クリーンエアのみで箔１０２を乾燥させる場合と比べ、クリーンエアの使用量が減る。また、第１実施形態の連続乾燥装置では、上記のように第２乾燥路１０６に供給したドライエアを、第２乾燥炉１０６における箔１０２の乾燥、トンネル１１における箔１０２の乾燥、第１乾燥炉１０５における箔１０２の乾燥に順次使い回すので、第２乾燥炉１０６を屋外に直接連通させてドライエアを排気する場合と比べてドライエアを有効利用できる。

＜作用効果＞
以上説明したように、第１実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、クリーンエアを供給される第１乾燥炉１０５から、トンネル１１を介して、クリーンエアより湿度の低いドライエアを供給される第２乾燥炉１０６へ箔１０２を連続通過させることにより、箔１０２を乾燥させる。トンネル１１は、箔１０２の搬送方向に沿って第１〜第３チャンバ１４，１５，１６が互いに連通するように区画されている。第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６は、ドライエアを循環させることにより、第２乾燥炉１０６よりも低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。一方、第１乾燥炉１０５側の第１チャンバ１４は、第１乾燥炉１０５との間でクリーンエアを循環させることにより、第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６と第１乾燥炉１０５に対して低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。

このような連続乾燥装置１は、第１〜第３チャンバ１４，１５，１６が系外より高圧であるため、第１乾燥炉１０５とトンネル１１との間や第２乾燥炉１０６とトンネル１１との間から系外の外気が侵入して、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６の湿度を上昇させることがない。第２乾燥炉１０６側の第３チャンバ１６は、第２乾燥炉１０６より低圧であるため、ドライエアが第２乾燥炉１０６から漏れてくる。漏れたドライエアは、第３チャンバ１６に供給されるドライエアに混じって第２チャンバ１５へ流れてから第３チャンバ１６へ循環し、箔１０２の乾燥に再利用される。一方、第１チャンバ１４は、第１乾燥炉１０５より低圧であるため、第１乾燥炉１０５からクリーンエアが漏れてくる。第１チャンバ１４は、第２乾燥炉１０６と第２チャンバ１５より低圧にされている。そのため、第１チャンバ１４に漏れたクリーンエアは、第２及び第３チャンバ１５，１６や第２乾燥炉１０６に侵入せずに第１乾燥炉１０５へ循環し、箔１０２の乾燥に再利用される。

このように、第１実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、クリーンエアがトンネル１１を介して第２乾燥炉１０６のドライエアに混入することを防ぎつつ、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６から漏れるクリーンエアとドライエアを箔１０２の乾燥に再利用するので、エネルギーロスを低減できる。

第１実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、第１チャンバ１４と第２チャンバ１５との間に風向又は流量を検出する検出センサ３７を配置している。そして、第１実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、検出センサ３７が第２チャンバ１５と第１チャンバ１４との間を流れる気体の風向又は流量を検出するように、第２及び第３チャンバ１５，１６を循環するドライエアの流量と、第１チャンバ１４と第１乾燥炉１０５との間を循環するクリーンエアの流量とを調整する。よって、第１実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、第１チャンバ１４へ漏れたクリーンエアが、第２及び第３チャンバ１５，１６や第２乾燥炉１０６へ流入してドライエアに混入することを確実に防止できる。

（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について図面を参照しながら説明する。図３は、本発明の第２実施形態に係る連続乾燥装置のトンネル１１周辺を示す拡大図である。
第２実施形態の連続乾燥装置は、流量調整手段１０Ａの構成が第１実施形態と相違し、その他の点は第１実施形態と同様である。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。

＜トンネル周辺の構成＞
図３に示すように、第２実施形態の流量調整手段１０Ａは、第２チャンバ１５に連通するポート１８，２１にドライ熱風供給系路２７，２８が接続され、第３チャンバ１６に連通するポート１９，２２にドライ熱風排出系路３３，３４が接続されている。
トンネル１１は、仕切板１２ｂに検出センサ３７が取り付けられている。

第２実施形態では、第３チャンバ１６が、第２チャンバ１５及び第２乾燥炉１０６より低圧かつ系外より高圧にされ、第２チャンバ１５が、第１及び第３チャンバ１４，１６より高圧にされ、第１チャンバ１４が第１乾燥炉１０５及び第２チャンバ１４より低圧かつ系外より高圧にされている。

＜連続乾燥方法＞
箔１０２をセットされた連続乾燥装置は、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６がクリーンエアとドライエアをそれぞれ供給されて陽圧にされる。トンネル１１は、第２チャンバ１５にドライエアが供給され、第１及び第３チャンバ１４，１６より高圧にされている。そのため、第２チャンバ１５に供給されたドライエアは、第１及び第３チャンバ１４，１６へ流れる。

第３チャンバ１６へ流れたドライエアは、第２乾燥炉１０６から第３チャンバ１６に漏れたドライエアと合流し、ドライ熱風排出系路３３，３４へ排出される。そして、ドライエアは、ドライ熱風供給系路２７，２８から第２チャンバ１５に循環し、トンネル１１を通過する箔１０２のペーストの乾燥に再利用される。

一方、第１チャンバ１４へ流れたドライエアは、第１乾燥炉１０５から第１チャンバ１４に漏れたクリーンエアと合流し、熱風循環系路２３，２４へ排出された後、第１乾燥炉１０５へ循環して、第１乾燥炉１０５を通過する箔１０２の乾燥に再利用される。

このとき、図示しない制御装置は、第３チャンバ１６から気体を排出する流量を、第１チャンバ１４から気体を排出する流量より多くするように、ドライ熱風排出系路３３，３４に配置されたファン３１，３２と熱風循環系路２３，２４に配置したファン２５，２６との駆動を制御する。第２チャンバ１５に供給されたドライエアをトンネル１１に循環させる量を増やし、ドライエアをより多く再利用するためである。

尚、箔１０２の取り付けや交換を行う場合には、可動部材４Ｂ，５Ｂ，１１Ｂを固定部材４Ａ，５Ａ，１１Ａに対して回動させて開閉することにより行うので、箔１０２の取り付けや交換を簡単に行える。

＜作用効果＞
以上説明したように、第２実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６は、ドライエアを循環させることにより、第２乾燥炉１０６よりも低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。一方、第１乾燥炉１０５側の第１チャンバ１４は、第１乾燥炉１０５との間でクリーンエアを循環させることにより、第２乾燥炉１０６側の第２及び第３チャンバ１５，１６と第１乾燥炉１０５に対して低圧かつ系外よりも高圧に保たれている。

このような連続乾燥装置は、第１〜第３チャンバ１４，１５，１６が系外より高圧であるため、第１乾燥炉１０５とトンネル１１との間や第２乾燥炉１０６とトンネル１１との間から系外の外気が侵入して、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６の湿度を上昇させることがない。第２乾燥炉１０６側の第３チャンバ１６は、第２乾燥炉１０６より低圧であるため、ドライエアが第２乾燥炉１０６から漏れてくる。漏れたドライエアは、第２チャンバ１５から第３チャンバ１６に供給されるドライエアに混じってドライ熱風排出系路３３，３４を介して第２チャンバ１５へ循環し、箔１０２の乾燥に再利用される。一方、第１チャンバ１４は、第１乾燥炉１０５より低圧であるため、第１乾燥炉１０５からクリーンエアが漏れてくる。第１チャンバ１４は、第２乾燥炉１０６と第２チャンバ１５より低圧にされている。そのため、第１チャンバ１４に漏れたクリーンエアは、第２及び第３チャンバ１５，１６や第２乾燥炉１０６に侵入せずに第１乾燥炉１０５へ循環し、箔１０２の乾燥に再利用される。

このように、第２実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、クリーンエアがトンネル１１を介して第２乾燥炉１０６のドライエアに混入することを防ぎつつ、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６から漏れるクリーンエアとドライエアを箔１０２の乾燥に再利用するので、エネルギーロスを低減できる。

第２実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置は、第１チャンバ１４と第２チャンバ１５との間に風向又は流量を検出する検出センサ３７を配置している。そして、第２実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、検出センサ３７が第２チャンバ１５と第１チャンバ１４との間を流れる気体の風向又は流量を検出するように、第２及び第３チャンバ１５，１６を循環するドライエアの流量と、第１チャンバ１４と第１乾燥炉１０５との間を循環するクリーンエアの流量とを調整する。よって、第２実施形態の連続乾燥方法及び連続乾燥装置１は、第１チャンバ１４へ漏れたクリーンエアが、第２及び第３チャンバ１５，１６や第２乾燥炉１０６へ流入してドライエアに混入することを確実に防止できる。

本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施形態では、可動部材４Ｂ，５Ｂ，１１Ｂを固定部材４Ａ，５Ａ，１１Ａに対して回動可能に保持させた。これに対して、トンネルに箔１０２を取り付けるための窓を設け、その窓を蓋やスライドドアなどで開閉するようにしても良い。
上記実施形態では、トンネル１１を３つのチャンバに区画したが、２又は４以上のチャンバにトンネルを区画しても良い。
上記実施形態では、第１乾燥気体を約２００℃のクリーンエア、第２乾燥気体を約２００℃の湿度１％以下のドライエアとしたが、第２乾燥気体が第１乾燥気体より低湿であれば、第１及び第２乾燥気体の種類や温度、湿度等はこれに限定されない。
上記実施形態では、第１及び第２乾燥炉１０５，１０６を２個設けたが、３個以上の乾燥炉を備えてもよい。この場合でも、各乾燥炉に異なる湿度の乾燥気体を供給する場合には、乾燥炉間に上記実施形態のトンネル１１や流量調整手段１０，１０Ａを設け、低湿乾燥媒体に高湿乾燥媒体が混入しないようにすると良い。

本発明の第１実施形態に係る連続乾燥装置のトンネル周辺を示す拡大図である。本発明の第１実施形態に係る連続乾燥装置の概念図である。本発明の第２実施形態に係る連続乾燥装置のトンネル周辺を示す拡大図である。従来の連続乾燥装置の概念図である。図４に示す乾燥炉と第２乾燥炉との間の構造を示す図である。

符号の説明

１連続乾燥装置
１０，１０Ａ流量調整手段
１１トンネル
１４第１チャンバ
１５第２チャンバ
１６第３チャンバ
２５，２６，３１，３２ファン（流量調整手段）
２９，３０，３５，３６流体制御弁（流量調整手段）

Claims

第１乾燥気体を供給される第１乾燥炉と、前記第１乾燥気体より湿度の低い第２乾燥気体を供給される第２乾燥炉とをトンネルで連通させ、乾燥媒体を前記第１乾燥炉と前記第２乾燥炉に連続通過させることにより前記乾燥媒体を乾燥させる連続乾燥方法において、
前記トンネルを複数の互いに連通するチャンバに区画し、
前記第２乾燥炉側のチャンバに前記第２乾燥気体を供給すると共に前記第２乾燥炉側のチャンバから気体を排出して前記第２乾燥媒体を循環させることにより、前記第２乾燥炉側のチャンバを第２乾燥炉よりも低圧かつ系外よりも高圧に保ち、
前記第１乾燥炉側のチャンバから前記第１乾燥炉へ気体を循環させることにより、前記第１乾燥炉側のチャンバを前記第２乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉の両者に対して低圧かつ系外よりも高圧に保つ
ことを特徴とする連続乾燥方法。
請求項１に記載する連続乾燥方法において、
前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第２乾燥炉側のチャンバとの間に風向又は流量を検出する検出センサを配置し、
前記検出センサが第２乾燥炉側のチャンバから前記第１乾燥炉側のチャンバへ気体が流れる風向又は流量を検出するように、前記第２乾燥炉側のチャンバに循環させる前記第２乾燥気体の流量と、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉との間で循環させる前記第１乾燥気体の流量とを調整する
ことを特徴とする連続乾燥方法。
乾燥媒体と、第１乾燥気体を供給される第１乾燥炉と、前記第１乾燥気体より湿度の低い第２乾燥気体を供給される第２乾燥炉と、前記第１乾燥炉と前記第２乾燥炉とを連通させるトンネルと、前記第１乾燥炉から前記トンネルを介して前記第２乾燥炉へ前記乾燥媒体を搬送する搬送手段と、を有し、前記搬送手段により前記乾燥媒体を前記第１乾燥炉から前記第２乾燥炉へ連続通過させて前記乾燥媒体を乾燥させる連続乾燥装置において、
前記トンネルは、前記乾燥媒体の搬送方向に沿って複数のチャンバが互いに連通するように区画されており、
前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉とを連通させる循環系路と、
前記第２乾燥炉側のチャンバに連通して前記第２乾燥気体を供給する第２乾燥気体供給系路と、
前記第２乾燥炉側のチャンバを前記第２乾燥気体供給系路に連通させて、前記第２乾燥気体を前記第２乾燥炉側のチャンバから前記第２乾燥気体供給系路に排出する第２乾燥気体排出系路と、
前記第２乾燥炉側のチャンバの内圧を、前記第２乾燥炉より低圧で且つ系外より高圧に保つ一方、前記第１乾燥炉側のチャンバの内圧を、前記第１乾燥炉及び前記第２乾燥炉側のチャンバに対して低圧で且つ系外よりも高圧に保つように、前記第２乾燥炉側のチャンバに循環させる前記第２乾燥気体の流量と、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉との間で循環させる前記第１乾燥気体の流量とを調整する流量調整手段と、
を有することを特徴とする連続乾燥装置。
請求項３に記載する連続乾燥装置において、
前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第２乾燥炉側のチャンバとの間に配置され、風量又は風向を検出する検出センサを有し、
前記流量調整手段は、前記検出センサが前記第２乾燥炉側のチャンバから前記第１乾燥炉側のチャンバへの風向及び風量を検出するように、前記第２乾燥炉側のチャンバに循環させる前記第２乾燥気体の流量と、前記第１乾燥炉側のチャンバと前記第１乾燥炉との間で循環させる前記第１乾燥気体の流量とを調整する
ことを特徴とする連続乾燥装置。