JP2009206134A - チップのピックアップ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下面にダイアタッチフィルムが貼着された板状のチップをシートからダイアタッチフィルムとともにピックアップするチップのピックアップ方法において、取り出しノズルによってチップを吸着保持して取り出すピックアップ動作に先立って、エジェクタ機構8の吸着部23に設けられた冷媒循環溝23dに冷媒を循環させることによりダイアタッチフィルム7を冷却して硬化させ、次いでエジェクタ機構8のエジェクタピン24によってシート5の下方から硬化して剛性が増大した状態のダイアタッチフィルム7をチップ6とともに突き上げ、チップ6をダメージなく安定してシート5から剥離させる。
【選択図】図5
Description
動作に先立って、ピックアップ対象のチップに貼着されたダイアタッチフィルムを冷却して硬化させることにより、ダイアタッチフィルム付きのチップを高速でダメージをほとんど与えることなくピックアップすることができる。
口部20aに対して相対的に位置決めする位置決め手段となっている。表示部18は撮像されたチップ6の画像や操作・入力時の画面を表示する。操作・入力部19はキーボードなどの入力装置であり、操作入力やデータ入力を行う。
せしながら昇降動作を行わせ(矢印j)、吸着板20bをチップ6の上面に当接させた状態で、開口部20aから真空吸引(矢印a)する。これにより、チップ6は吸着板20bによって吸着保持される。そしてこの状態で取出しノズル20が上昇することにより、チップ6はダイアタッチフィルム7とともにシート5から取り出される。
5 シート
6 チップ
7 ダイアタッチフィルム
8 エジェクタ機構(剥離促進機構)
9 ピックアップヘッド
20 取出しノズル
22 剥離ツール
22a、23a 吸着面
23 吸着部
23b 吸着孔
23c 突き上げ孔
23d 冷媒循環溝
24 エジェクタピン
Claims (2)
- 下面にダイアタッチフィルムが貼着された板状のチップが前記ダイアタッチフィルムを介して貼り付けられたシートを保持するシート保持部と、ノズル昇降機構によって昇降自在に設けられ前記チップの上面に当接してこのチップを吸着保持する取出しノズルと、前記シート保持部の下方にこのシート保持部に対して相対的に昇降自在に配設され、前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進させる剥離促進機構と、前記剥離促進機構を前記シートに貼り付けられたチップに対して相対的に位置合わせする位置合わせ手段とを備えたチップのピックアップ装置によって、前記シートから前記チップを前記ダイアタッチフィルムとともにピックアップするチップのピックアップ方法であって、
前記取り出しノズルによって前記チップを吸着保持して取り出すピックアップ動作に先立って、ピックアップ対象のチップに貼着されたダイアタッチフィルムを冷却して硬化させることを特徴とするチップのピックアップ方法。 - 前記剥離促進機構は、前記ピックアップ対象のチップをダイアタッチフィルムとともに前記シートの下面側からエジェクタピンによって突き上げるエジェクタ機構であり、このエジェクタ機構に備えられた冷却手段によって前記ダイアタッチフィルムを冷却することを特徴とする請求項1記載のチップのピックアップ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008044199A JP2009206134A (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | チップのピックアップ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008044199A Pending JP2009206134A (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | チップのピックアップ方法 |
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JP (1) | JP2009206134A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111216 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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