JP2009204904A - 光走査装置及びその異常検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ミラーの反射率低下や光軸ずれ等の起因する異常を検出可能な表示装置及びその
異常検出方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る光走査装置は、光源と、光源から出射された光を偏向させ
ることにより画像を表示させる、１つ又は複数のミラー１，１０４を含む光学系と、各ミ
ラーの反射面を所定の位置に固定した状態で光学系を通過した光を受光し、受光した光を
吸収する光吸収部材１０６ａと、光吸収部材１０６ａの温度を測定する温度センサ１０６
と、温度センサ１０６により測定された光吸収部材１０６ａの温度上昇値と、基準温度上
昇値とを比較して、比較結果に応じてエラーの有無を判定する判定手段１１３と、を有す
る。
【選択図】図４

Description

本発明は、光源からの光を偏向させることにより画像を表示させる光走査装置及びその
異常検出方法に関する。

近年、マイクロメカニクス技術を用いたマイクロアクチュエータの開発が盛んである。
例えば、一対の弾性支持部（トーションバー）でねじり回転可能に支持された振動ミラー
を備えた光走査装置は、簡便な構成で画像表示装置を形成することが可能なデバイスとし
て開発が進んでいる（特許文献１参照）。
特開２００５−１６９５５３号公報

このような光走査装置において、光を偏向させる１つ又は複数のミラーの反射率の低下
や光軸ずれ等は、表示異常に直結する要素である。したがって、これらの光走査装置を実
用化する際には、実際に画像を表示する前に、このような異常を検出できるようにするこ
とが望まれる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、ミラーの反射
率低下や光軸ずれ等の起因する異常を検出可能な表示装置及びその異常検出方法を提供す
ることにある。

上記の目的を達成するため、本発明の光走査装置は、光源と、光源から出射された光を
偏向させることにより画像を表示させる、１つ又は複数のミラーを含む光学系と、各ミラ
ーの反射面を所定の位置に固定した状態で光学系を通過した光を受光し、受光した光を吸
収する光吸収部材と、光吸収部材の温度を測定する温度センサと、温度センサにより測定
された光吸収部材の温度上昇値と、基準温度上昇値とを比較して、比較結果に応じてエラ
ーの有無を判定する判定手段と、を有する。

上記構成では、各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で、光学系を通過した光
が光吸収部材に結合され、温度センサにより光吸収部材の温度が測定される。光吸収部材
は、受光した光の全部又は一部を吸収して温度が上昇するような材料であれば、その材料
に限定はない。したがって、光吸収部材として、一部の光を吸収可能なミラーを用いても
よい。そして、判定手段により、温度センサの温度測定結果に基づいた光吸収部材の温度
上昇値と、基準温度上昇値とが比較されて、比較結果に応じてエラーの有無が判定される
。例えば、ミラーの反射率低下や、光軸ずれが存在する場合には、光吸収部材に吸収され
る光量は減少するため、光吸収部材の温度上昇値は低下する。従って、温度上昇値と基準
温度上昇値との差が規定値範囲内であればエラー無しと判定され、両者の差が規定値範囲
外であればエラー有りと判定される。これにより、実際に表示させなくても、異常が検出
される。

例えば、光吸収部材は、外部への光の出射口とは異なる位置に設けられている。これに
より、異常検出処理中において、外部への光の漏洩が防止される。

例えば、外部への光の出射口の開閉を制御するシャッターをさらに有し、光吸収部材は
、シャッターの内側に設けられている。これにより、異常検出処理中において、光の出射
口に重なる位置に光吸収部材を設けつつ、異常検出処理中における外部への光の漏洩が防
止される。

また、上記の目的を達成するため、本発明の光走査装置は、光源と、光源から出射され
た光を偏向させることにより画像を表示させる、１つ又は複数のミラーを含む光学系と、
ミラーの温度を測定する温度センサと、温度センサにより測定されたミラーの温度上昇値
と、基準温度上昇値とを比較して、比較結果に応じてエラーの有無を判定する判定手段と
、を有する。

上記構成では、各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で、光学系へ向けて光源
から光が出射されて、温度センサにより光学系内のミラーの温度が測定される。そして、
判定手段により、温度センサの温度測定結果に基づいたミラーの温度上昇値と、基準温度
上昇値とが比較されて、比較結果に応じてエラーの有無が判定される。例えば、ミラーの
反射率が低下した場合には、ミラーの光吸収率が上昇していることから、ミラーの温度上
昇値は増える。また、光軸ずれが存在する場合には、ミラーに結合される光量は減少する
ため、ミラーの温度上昇値は低下する。いずれの場合にしても、ミラーの温度上昇値と基
準温度上昇値との差が規定値範囲内であればエラー無しと判定され、両者の差が規定値範
囲外であればエラー有りと判定される。これにより、実際に表示させなくても、異常が検
出される。

さらに、上記の目的を達成するため、本発明の光走査装置の異常検出方法は、光源から
の光を１つ又は複数のミラーを含む光学系を用いて偏向させることにより画像を表示する
光走査装置の異常検出方法であって、起動時に、光学系を通過した光が光吸収部材に結合
するように各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で、光学系へ向けて光源から光
を出射する工程と、光学系を通過した光を吸収した光吸収部材の温度上昇値を測定する工
程と、測定された光吸収部材の温度上昇値と、基準温度上昇値とを比較して、比較結果に
応じてエラーの有無を判定する工程と、を有する。

上記構成では、各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で、光学系を通過した光
が光吸収部材に結合され、光吸収部材の温度上昇値が測定される。光吸収部材は、受光し
た光の全部又は一部を吸収して温度が上昇するような材料であれば、その材料に限定はな
い。したがって、光吸収部材として、一部の光を吸収可能なミラーを用いてもよい。そし
て、判定手段により、光吸収部材の温度上昇値と、基準温度上昇値とが比較されて、比較
結果に応じてエラーの有無が判定される。例えば、ミラーの反射率低下や、光軸ずれが存
在する場合には、光吸収部材に到達する光量は減少するため、光吸収部材の温度上昇値は
低下する。従って、温度上昇値と基準温度上昇値との差が規定値範囲内であればエラー無
しと判定され、両者の差が規定値範囲外であればエラー有りと判定される。これにより、
実際に表示させなくても、異常が検出される。

また、上記の目的を達成するため、本発明の光走査装置の異常検出方法は、光源からの
光を１つ又は複数のミラーを含む光学系を用いて偏向させることにより画像を表示する光
走査装置の異常検出方法であって、起動時に、各ミラーの反射面を所定の位置に固定した
状態で、光学系へ向けて光源から光を出射する工程と、光学系内のミラーの温度上昇値を
測定する工程と、測定されたミラーの温度上昇値と、基準温度上昇値とを比較して、比較
結果に応じてエラーの有無を判定する工程と、を有する。

上記構成では、各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で、光学系へ向けて光源
から光が出射されて、光学系内のミラーの温度上昇値が測定される。そして、判定手段に
より、ミラーの温度上昇値と、基準温度上昇値とが比較されて、比較結果に応じてエラー
の有無が判定される。例えば、ミラーの反射率が低下した場合には、ミラーの光吸収率が
上昇していることから、ミラーの温度上昇値は増える。また、光軸ずれが存在する場合に
は、ミラーに結合される光量は減少するため、ミラーの温度上昇値は低下する。いずれの
場合でも、ミラーの温度上昇値と基準温度上昇値との差が規定値範囲内であればエラー無
しと判定され、両者の差が規定値範囲外であればエラー有りと判定される。これにより、
実際に表示させなくても、異常が検出される。

例えば、光を出射する工程において、各ミラーの反射面を、光学系を通過した光が外部
へ出射されない位置に固定する。これにより、異常検出処理中において、外部への光の漏
洩が防止される。

例えば、光を出射する工程は、外部への光の出射口をシャッターにより閉じた状態で行
なう。これにより、異常検出処理中における外部への光の漏洩が確実に防止される。

例えば、光走査装置は、互いに異なる波長帯域の光を出射する複数の光源を有し、光を
出射する工程および温度上昇値を測定する工程は、光源毎に別々に行なう。これにより、
複数の光源が存在する場合には、光源毎の光軸ずれが検出可能となる。

以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る光走査装置に使用される振動ミラーの一例を示す平面図であ
る。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図である。

振動ミラー１は、可動板１１と、支持枠１２と、可動板１１を支持枠１２に対してねじ
り回転可能に支持する一対の弾性支持部１３とを有する。可動板１１、支持枠１２、及び
弾性支持部１３は、例えば、シリコン基板をエッチング加工することにより一体形成され
る。

可動板１１上には反射膜２１が形成されている。また、可動板１１の反射膜２１と反対
側には、磁石２２が接合されている。磁石２２は、可動板１１を平面視したときに、可動
板１１の回転中心軸である軸線Ｘに直交する方向に磁化されている。すなわち、磁石２２
は、軸線Ｘを介して対向する互いに極性の異なる一対の磁極を有している。支持枠１２は
、ホルダ２０に接合されており、ホルダ２０上には、可動板１１を駆動させるためのコイ
ル２３が配置されている。

上記の振動ミラー１では、周期的に変化する電流（交流）がコイル２３に供給される。
これにより、コイル２３は上方（可動板１１側）に向く磁界と、下方に向く磁界とを交互
に発生させる。これにより、コイル２３に対し磁石２２の一対の磁極のうち一方の磁極が
接近し他方の磁極が離間するようにして、弾性支持部１３を捩れ変形させながら、可動板
１１がＸ軸回りに回動させられる。

図１では、磁石２２とコイル２３間の電磁力を利用した駆動方式の振動ミラーを示して
いる。しかしながら、本発明は、静電引力を利用した方式や、圧電素子を利用した方式を
採用してもよい。例えば、静電引力を利用した方式の場合には、磁石２２は不要であり、
コイル２３の代わりに可動板１１に対向する１つ又は複数の電極が設置される。そして、
可動板１１と電極との間に周期的に変化する交流電圧を印加することにより、可動板１１
と電極との間に静電引力を作用させて、弾性支持部１３を捩れ変形させながら、可動板１
１をＸ軸回りに回動させる。

図３は、上記の振動ミラー１を含む光走査装置の概略構成図である。図３に示す光走査
装置は、水平ミラーとして図１に示す振動ミラー１を用いている。

図３に示す光走査装置は、振動ミラー１の他に、レーザ光源１０１と、ダイクロイック
ミラー１０２と、フォトダイオード１０３と、垂直ミラー１０４とを備える。本発明の光
学系には、ダイクロイックミラー１０２、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４が含まれる
。

レーザ光源１０１は、赤色レーザ光を出射する赤色レーザ光源１０１Ｒと、青色レーザ
光を出射する青色レーザ光源１０１Ｂと、緑色レーザ光を出射する緑色レーザ光源１０１
Ｇとを有する。ただし、２色以下又は４色以上のレーザ光源を用いてもよい。

ダイクロイックミラー１０２は、赤色レーザ光源１０１Ｒからの赤色レーザ光を反射す
るダイクロイックミラー１０２Ｒと、青色レーザ光を反射し赤色レーザ光を透過させるダ
イクロイックミラー１０２Ｂと、緑色レーザ光を反射し青色レーザ光及び赤色レーザ光を
透過させるダイクロイックミラー１０２Ｇとを有する。この３種のダイクロイックミラー
１０２により、赤色レーザ光、青色レーザ光、及び緑色レーザ光の合成光が振動ミラー１
に入射する。

フォトダイオード１０３は、各ダイクロイックミラー１０２Ｒ，１０２Ｇ，１０２Ｂに
反射されずに透過した赤色レーザ光、緑色レーザ光、青色レーザ光の光量を検出する。

振動ミラー１は、ダイクロイックミラー１０２から送られたレーザ光を水平方向（軸線
Ｘの垂直方向）に走査する。振動ミラー１は、上述したように、ＭＥＭＳにより形成され
た、共振型ミラーである。

垂直ミラー１０４は、振動ミラー１により反射されたレーザ光を垂直方向に走査する。
垂直ミラー１０４は、例えば、ガルバノミラーにより構成される。ガルバノミラーとはミ
ラーに軸を付け、電気信号に応じてミラーの回転角を変えられるようにした偏向器である
。振動ミラー１によるレーザ光の水平走査、及び垂直ミラー１０４によるレーザ光の垂直
走査により画像が表示される。

本実施形態に係る光走査装置は、上記のレーザ光源１０１、振動ミラー１、垂直ミラー
１０４の駆動制御系として、さらに、レーザ光源１０１を駆動するレーザ駆動手段１１０
と、水平ミラーとしての振動ミラー１を駆動する水平ミラー駆動手段１１１と、垂直ミラ
ー１０４を駆動する垂直ミラー駆動手段１１２と、全体の動作の制御を担う制御手段１１
３と、記憶手段１１４とを有する。

記憶手段１１４は、例えば、各種のプログラムを収納するＲＯＭと、変数等を収納する
ＲＡＭと、不揮発性メモリとにより構成される。本実施形態では、記憶手段１１４は、後
述する基準温度上昇値を保持している。

制御手段１１３は、パーソナルコンピュータや携帯電話等の各種の映像ソース１１５か
ら送られた画像情報に基づいて、これらの画像を表示すべく、レーザ駆動手段１１０、水
平ミラー駆動手段１１１、垂直ミラー駆動手段１１２の動作を制御する。また、制御手段
１１３は、起動時において、後述する異常検出処理を実施する。

図４は、光走査装置の異常検出機構を示す概略構成図である。
図４に示すように、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４を含む光学系を収容する筐体１
０５の内部に、光吸収部材１０６ａ及び温度センサ１０６が設置されている。

光吸収部材１０６ａは、筐体１０５に設けられた光出射口１０７とは異なる位置、換言
すれば光出射口１０７に重ならない位置に設けられている。光吸収部材１０６ａは、受光
した光の少なくとも一部を吸収できる材料であれば特に限定はないが、本実施形態の場合
には、ＲＧＢの波長帯域の光を吸収可能な材料を用いることが好ましい。これにより、１
つの光吸収部材１０６ａを用いてＲＧＢの全てのレーザ光源１０１の異常検出処理が可能
となる。

温度センサ１０６は、光吸収部材１０６ａの温度を測定すべく、温度センサ１０６の光
吸収面の裏面に配置されている。温度センサ１０６は、例えばダイオードからなる。これ
により、１つの温度センサ１０６を用いてＲＧＢの全てのレーザ光源１０１の異常検出処
理が可能となる。なお、本実施形態では、温度センサ１０６と光吸収部材１０６ａとが一
体的に形成されている例を示している。

振動ミラー１は、異常検出処理時においては、基準位置に固定される。この基準位置と
は、弾性支持部１３が捩れ振動を起こしていない場合における、振動ミラー１の位置であ
る。

垂直ミラー１０４は、異常検出処理時には図中点線で示すように、垂直ミラー１０４に
より反射された光が光吸収部材１０６ａに結合するように、その反射面が所定の角度に固
定される。なお、垂直ミラー１０４は、通常動作時には、図中実線で示すように光出射口
１０７へ向けて光を反射する。

制御手段１１３は、本発明の判定手段の処理を実行する。この制御手段１１３は、温度
センサ１０６からの出力に基づいて、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４の反射率の低下
や光軸ずれ等の異常の有無を検出する。

次に、本実施形態に係る光走査装置の異常検出方法について、図５のフローチャートを
参照して説明する。本実施形態では、光走査装置の起動時において、ＲＧＢの各レーザ光
源１０１Ｒ、１０１Ｇ，１０１Ｂについて、図５に示す処理を別々に行う。

まず、制御手段１１３は、各駆動手段１１１、１１２を制御して、振動ミラー１を基準
位置に固定し、垂直ミラー１０４を所定の位置に固定する（ステップＳＴ１）。異常検出
処理における各ミラーの反射面の角度については、図４を参照して説明した通りである。

次に、制御手段１１３は、３つのレーザ光源１０１Ｒ、１０１Ｇ，１０１Ｂのうち、い
ずれか一つを駆動させて、レーザ光を出射させる。これにより、レーザ光源１０１から出
射されたレーザ光は、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４により反射されて光吸収部材１
０６ａに結合される。そして、光吸収部材１０６ａの温度が温度センサ１０６により測定
され、測定結果が制御手段１１３に出力される。制御手段１１３は、温度センサ１０６の
測定結果に基づいて、光吸収部材１０６ａの一定時間における温度上昇値を求める（ステ
ップＳＴ２）。

次に、制御手段１１３は、予め記憶手段１１４に保持された基準温度上昇値と、温度セ
ンサ１０６により測定された温度上昇値とを比較して、両者の差が規定値範囲内か否かを
判定する（ステップＳＴ３）。ここで、基準温度上昇値とは、初期の光走査装置において
同様の条件で光吸収部材１０６ａにレーザを照射した場合における、一定時間での光吸収
部材１０６ａの温度上昇値を示す。

振動ミラー１や垂直ミラー１０４の反射率が低下した場合には、光吸収部材１０６ａに
到達する光量が少なくなり、光吸収部材１０６ａの温度上昇値は低下する。また、レーザ
光源の光軸ずれが発生している場合にも、光吸収部材１０６ａに到達する光量が少なくな
り、光吸収部材１０６ａの温度上昇値は低下する。従って、測定された温度上昇値と基準
温度上昇値との差が規定値範囲外となった場合には、反射率の低下又は光軸ずれに起因す
る異常が存在するものとして、エラー判定がなされる（ステップＳＴ４）。エラー判定が
なされた場合には、光走査装置の動作を停止させる。また、アラーム、ランプの点滅、表
示エリアへの書き込み等の手段を用いて、エラーをユーザに知らせる。

両者の差が規定値範囲内の場合には、通常の表示動作を開始する（ステップＳＴ５）。
ただし、本実施形態のように、３つのレーザ光源１０１Ｒ、１０１Ｇ，１０１Ｂを有する
場合には、全てのレーザ光源の処理を行なって異常無しとの判定が得られた後に、通常の
表示動作を開始する。

以上説明したように、本実施形態に係る光走査装置によれば、起動時に、振動ミラー１
及び垂直ミラー１０４により反射された光を受光した光吸収部材１０６ａの温度上昇値を
測定することにより、ミラーの反射率の低下や光軸ずれ等の異常を検出することができる
。

また、光吸収部材１０６ａ及び温度センサ１０６を光出射口１０７に重ならない位置に
設け、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４によりこの光吸収部材１０６ａへ向けて光を反
射させることにより、異常検出処理時において、光出射口１０７から外部へ光が漏洩する
ことを防止することができる。各ミラーを固定した状態においては、１点へ向けて光強度
の強いレーザ光が照射されるため、安全性の面からも、このときのレーザ光を外部へ出射
させないことが好ましいからである。

（第２実施形態）
図６は、第２実施形態に係る光走査装置の異常検出機構を示す図である。

本実施形態に係る光走査装置は、光出射口１０７を開閉可能なシャッター１０８と、シ
ャッター１０８を駆動するシャッター駆動手段１１６とを有する。

本実施形態では、異常検出処理中において、シャッター１０８により光出射口１０７を
塞いでおく。すなわち、図５のステップＳＴ１に移行する前に、制御手段１１３はシャッ
ター駆動手段１１６を制御して、シャッター１０８を閉じさせる又は閉じたままにしてお
く。その他の基本的な異常検出処理のステップについては、第１実施形態と同様である。

本実施形態によれば、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４の反射面の位置により想定さ
れる反射光（図中、点線で示す）以外の迷光が生じた場合であっても、これらの光を確実
に筐体１０５内に閉じ込めることができ、異常検出処理中において、光出射口１０７から
外部へ光が漏洩することを確実に防止することができる。従って、第１実施形態よりも安
全性を高めることができる。

（第３実施形態）
図７は、第３実施形態に係る光走査装置の異常検出機構を示す図である。

本実施形態に係る光走査装置は、光出射口１０７を開閉可能なシャッター１０８と、シ
ャッター１０８を駆動するシャッター駆動手段１１６とを備え、さらに、このシャッター
１０８の内側に光吸収部材１０６ａ及び温度センサ１０６が設けられているものである。

本実施形態では、異常検出処理中において、第２実施形態と同様に、シャッター１０８
により光出射口１０７を塞いでおく。また、異常検出処理のステップＳＴ１において、垂
直ミラー１０４からの反射光が光吸収部材１０６ａに結合されるように、垂直ミラー１０
４の反射面が固定される。その他の基本的な異常検出処理のステップについては、第１実
施形態と同様である。

本実施形態によれば、光出射口１０７と重なる位置に光吸収部材１０６ａ及び温度セン
サ１０６を設けた場合であっても、外部へのレーザ光の漏洩を防止しつつ、異常検出処理
を実行することができる。このように、シャッターを利用することにより、光吸収部材１
０６ａ及び温度センサ１０６の配置の制約をなくすことができる。

（第４実施形態）
図８は、第４実施形態に係る光走査装置の異常検出機構を示す図である。

本実施形態では、振動ミラー１の光反射面の裏面に温度センサ１０６が設けられている
。例えば、図１において、可動板１１の反射膜２１とは反対側の面に、温度センサ１０６
が設けられている。温度センサ１０６は、レーザ光が照射された状態にある振動ミラー１
の温度上昇、より詳細には、可動板１１の温度上昇を測定する。

次に、本実施形態に係る光走査装置の異常検出方法について、図５のフローチャートを
参照して説明する。

まず、制御手段１１３は、各駆動手段１１１、１１２を制御して、振動ミラー１を基準
位置に固定し、垂直ミラー１０４を所定の位置に固定する（ステップＳＴ１）。第４実施
形態では、シャッター１０８を閉じていれば、温度センサ１０６及び光出射口１０７は任
意の位置でよい。ただし、シャッター１０８が閉じていない場合には、第１実施形態と同
様に、垂直ミラー１０４により反射された光が、光出射口１０７から外部へ放出されない
ように、垂直ミラー１０４の反射面の位置を調節する必要がある。

次に、制御手段１１３は、３つのレーザ光源１０１Ｒ、１０１Ｇ，１０１Ｂのうち、い
ずれか一つを駆動させて、レーザ光を出射させる。これにより、レーザ光源１０１から出
射されたレーザ光は、振動ミラー１及び垂直ミラー１０４に照射される。振動ミラー１に
入射した光の大部分は垂直ミラー１０４へ反射されるが、その一部は振動ミラー１に吸収
される。従って、光が照射されている状態の振動ミラー１の温度は上昇する。この振動ミ
ラー１の温度が温度センサ１０６により測定され、測定結果が制御手段１１３に出力され
る。制御手段１１３は、温度センサ１０６の測定結果に基づいて、振動ミラー１の一定時
間における温度上昇値を求める（ステップＳＴ２）。

次に、制御手段１１３は、予め記憶手段１１４に保持された基準温度上昇値と、温度セ
ンサ１０６により測定された温度上昇値とを比較して、両者の差が規定値範囲内か否かを
判定する（ステップＳＴ３）。ここで、基準温度上昇値とは、初期の光走査装置において
同様の条件で振動ミラー１にレーザを照射した場合における、一定時間での振動ミラー１
の温度上昇値を示す。

振動ミラー１の反射率が低下した場合には、振動ミラー１の光吸収率が高くなり、振動
ミラー１の温度上昇値は増大する。また、レーザ光源の光軸ずれが発生している場合には
、振動ミラー１に到達する光量が少なくなり、振動ミラー１の温度上昇値は低下する。い
ずれの場合にも、測定された温度上昇値と基準温度上昇値との差が規定値範囲外となった
場合には、反射率の低下又は光軸ずれに起因する異常が存在するものとして、エラー判定
がなされる（ステップＳＴ４）。エラー判定がなされた場合には、光走査装置の動作を停
止させる。また、アラーム、ランプの点滅、表示エリアへの書き込み等の手段を用いて、
エラーをユーザに知らせる。

両者の差が規定値範囲内の場合には、通常の表示動作を開始する（ステップＳＴ５）。
ただし、本実施形態のように、３つのレーザ光源１０１Ｒ、１０１Ｇ，１０１Ｂを有する
場合には、全てのレーザ光源の処理を行なって異常無しとの判定が得られた後に、通常の
表示動作を開始する。

以上説明したように、本実施形態に係る光走査装置によれば、起動時に、振動ミラー１
及び垂直ミラー１０４により反射された光を受光した光吸収部材１０６ａの温度上昇値を
測定することにより、ミラーの反射率の低下や光軸ずれ等の異常を検出することができる
。

本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。
例えば、振動ミラー１の構造に限定はない。例えば、可動板１１は円形以外の多角形で
もよい。また、本実施形態では、１次元１自由度で駆動するタイプの振動ミラー１を例示
したが、２次元に駆動するタイプの振動ミラーであってもよく、また、１次元２自由度で
駆動するタイプの振動ミラーであってもよい。２次元に駆動するタイプの振動ミラーを用
いた場合には、垂直ミラー１０４は不要である。
また、光吸収部材１０６ａは、受光した光の少なくとも一部を吸収できる材料であれば
特に限定はない。このため、光吸収部材１０６ａの材料として、反射材料を用いてもよい
。
さらに、垂直ミラー１０４の裏面に温度センサ１０６を設けてもよい。この場合の処理
については、第４実施形態と同様である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。

振動ミラーの平面図である。 振動ミラーの断面図である。 光走査装置の概略構成図である。 光走査装置の異常検出機構を示す構成図である。 光走査装置の起動時における異常検出処理のフローチャートである。 第２実施形態に係る光走査装置の異常検出機構を示す構成図である。 第３実施形態に係る光走査装置の異常検出機構を示す構成図である。 第４実施形態に係る光走査装置の異常検出機構を示す構成図である。

符号の説明

１…振動ミラー、１１…可動板、１２…支持枠、１３…弾性支持部、２０…ホルダ、２
１…反射膜、２２…磁石、２３…コイル、１０１…レーザ光源、１０１Ｒ…赤色レーザ光
源、１０１Ｇ…緑色レーザ光源、１０１Ｂ…青色レーザ光源、１０２，１０２Ｒ，１０２
Ｇ，１０２Ｂ…ダイクロイックミラー、１０３，１０３Ｒ，１０３Ｇ，１０３Ｂ…フォト
ダイオード、１０４…垂直ミラー、１０５…筐体、１０６…温度センサ、１０６ａ…光吸
収部材、１０７…光出射口、１０８…シャッター、１１０…レーザ駆動手段、１１１…水
平ミラー駆動手段、１１２…垂直ミラー駆動手段、１１３…制御手段、１１４…記憶手段
、１１５…映像ソース、１１６…シャッター駆動手段

Claims (9)

1. 光源と、
   前記光源から出射された光を偏向させることにより画像を表示させる、１つ又は複数の
   ミラーを含む光学系と、
   各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で前記光学系を通過した光を受光し、受
   光した光を吸収する光吸収部材と、
   前記光吸収部材の温度を測定する温度センサと、
   前記温度センサにより測定された前記光吸収部材の温度上昇値と、基準温度上昇値とを
   比較して、比較結果に応じてエラーの有無を判定する判定手段と、
   を有する光走査装置。
2. 前記光吸収部材は、外部への光の出射口とは異なる位置に設けられている、
   請求項１記載の光走査装置。
3. 外部への光の出射口の開閉を制御するシャッターをさらに有し、
   前記光吸収部材は、前記シャッターの内側に設けられている、
   請求項１記載の光走査装置。
4. 光源と、
   前記光源から出射された光を偏向させることにより画像を表示させる、１つ又は複数の
   ミラーを含む光学系と、
   前記ミラーの温度を測定する温度センサと、
   前記温度センサにより測定された前記ミラーの温度上昇値と、基準温度上昇値とを比較
   して、比較結果に応じてエラーの有無を判定する判定手段と、
   を有する光走査装置。
5. 光源からの光を１つ又は複数のミラーを含む光学系を用いて偏向させることにより画像
   を表示する光走査装置の異常検出方法であって、
   起動時に、前記光学系を通過した光が光吸収部材に結合するように各ミラーの反射面を
   所定の位置に固定した状態で、前記光学系へ向けて前記光源から光を出射する工程と、
   前記光学系を通過した光を吸収した前記光吸収部材の温度上昇値を測定する工程と、
   測定された前記光吸収部材の温度上昇値と、基準温度上昇値とを比較して、比較結果に
   応じてエラーの有無を判定する工程と、
   を有する光走査装置の異常検出方法。
6. 光源からの光を１つ又は複数のミラーを含む光学系を用いて偏向させることにより画像
   を表示する光走査装置の異常検出方法であって、
   起動時に、各ミラーの反射面を所定の位置に固定した状態で、前記光学系へ向けて前記
   光源から光を出射する工程と、
   前記光学系内のミラーの温度上昇値を測定する工程と、
   測定された前記ミラーの温度上昇値と、基準温度上昇値とを比較して、比較結果に応じ
   てエラーの有無を判定する工程と、
   を有する光走査装置の異常検出方法。
7. 前記光を出射する工程において、各ミラーの反射面を、前記光学系を通過した光が外部
   へ出射されない位置に固定する、
   請求項５又は６に記載の光走査装置の異常検出方法。
8. 前記光を出射する工程は、外部への光の出射口をシャッターにより閉じた状態で行なう
   、
   請求項５又は６に記載の光走査装置の異常検出方法。
9. 前記光走査装置は、互いに異なる波長帯域の光を出射する複数の光源を有し、
   前記光を出射する工程および前記温度上昇値を測定する工程は、前記光源毎に別々に行
   なう、
   請求項５又は６に記載の光走査装置の異常検出方法。

Images