JP2009204242A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】直列に隣接配置された複数のルームからなり、搬送物通過用開口部が形成された境界部を平面状の搬送物が連続的に搬送されるクリーンルームにおいて、クリーン環境を安定させることができる。
【解決手段】搬送物通過用開口部４０が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のルームからなるクリーンルームにおいて、搬送物通過用開口部４０の位置であって、搬送物の幅方向両側近傍に、搬送物１４と同一平面上に搬送物と厚みが同等な遮風板５０、５０を配置した。
【選択図】 図３

Description

本発明はクリーンルームに係り、特に、直列に隣接配置された複数のルームからなるクリーンルームであって、搬送物通過用開口部が形成された境界部を平面状の搬送物が連続的に搬送されるクリーンルームに関する。

近年、電子産業分野における半導体や液晶ディスプレイ、医薬品分野における医薬用包装容器、食品分野における充填容器などの製品を製造するにあたり、フィルムや薄板状の基板などの平面状の搬送物を搬送しながら形成・加工する工程を有することが多い。この形成・加工工程においては、製品の品質確保、異物混入を防止するため、クリーンルーム内に設けられている。また、各工程において、それぞれクリーンルームが仕切られており、その仕切られた境界部に搬送物を搬送するための開口部が設けられている。

特許文献１には、積層体フィルム転写設備及び転写方法において、２つのクリーンルーム境界部のフィルム貫通部にフィルムを挟み込むように２つの除塵装置を配置することが提案されている。特許文献２には、ラビング処理によって生じた異物を集塵ボックスの外に飛散させることなく系外に排出し、連続基板への付着や周辺装置への堆積を防止する方法および装置が提案されている。特許文献３には、連続ラビング処理装置において、ラビング処理が原因で発生する輝点故障を抑制する為、ラビングローラ（ラビングシートを巻いたローラ）の除塵およびラビング処理後のフィルム除塵が提案されている。
特開２００３−７１９３２号公報 特開２００５−２６６０１９号公報 特開平９−１６６７８４号公報

しかしながら、特許文献１では、搬送テンション変動等により搬送物であるフィルムに振動が生じて、フィルムを擦ることによりキズを付けたり塵埃が発生してしまうという問題がある。また、異なる幅の製品を製造する時、製品幅を超える部分にも除塵装置のエアを当てることとなり、フィルム端部の振動の発生や除塵装置の噴出部に付着した塵埃を室内に吹き飛ばし、室内を汚染する原因となる。そして、特許文献２では、フィルム近傍の同伴エアにより、フィルムと共に搬送される微小異物を除去できず、集塵ボックスの外に飛散させてしまうという問題がある。また、特許文献３では、フィルムの除塵を低清浄度室で行った場合、除塵後異物が再付着し、高清浄度室で行った場合、除塵前に剥がれた異物が除塵器下流側で再付着するという問題がある。このように、特許文献１〜３では、クリーン環境を安定させることが困難であるという問題があった。また、クリーンルーム内を搬送される搬送物の幅は一定ではなく、搬送物の種類やロットの変更により搬送物の幅が異なることが通常である。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、直列に隣接配置された複数のルームからなり、搬送物通過用開口部が形成された境界部を平面状の搬送物が連続的に搬送されるクリーンルームにおいて、クリーン環境を安定させることができるクリーンルームを提供することを目的とする。

請求項１の発明は、前記目的を達成するために、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のルームからなるクリーンルームにおいて、前記搬送物通過用開口部の位置であって、搬送物の幅方向両側近傍に、前記搬送物と同一平面上に該搬送物と厚みが同等な遮風板を配置したことを特徴とする。

本発明の請求項１によれば、平面状の搬送物が接する２つのルーム間において連続的に搬送される搬送物通過用開口部の位置に、搬送物通過用開口部の幅よりも狭い幅の搬送物を搬送するときに、搬送物の幅方向両側近傍であって搬送物と同一平面上に搬送物との厚みが同等な遮風板を配置することで、搬送される搬送物の幅が変わっても、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。

請求項２は請求項１において、前記搬送物は長尺状搬送物又は枚葉状搬送物であることを特徴とする。

請求項２によれば、搬送物が長尺状搬送物又は枚葉状搬送物であるときに本発明は特に有効である。

請求項３は請求項１において、前記搬送物が枚葉状な搬送物であって、複数の枚葉状な搬送物を間隔を置いて搬送する際には、該間隔領域を、前記搬送物と一緒に搬送されるとともに該搬送物と厚みが同等な枚葉用遮風板で埋めることを特徴とする。

請求項３によれば、搬送物が枚葉状な搬送物であって、複数の枚葉状な搬送物を間隔を置いて搬送する際に、間隔領域を、前記搬送物と一緒に搬送されるとともに該搬送物と厚みが同等な枚葉用遮風板で埋めることで、搬送物の先端部及び後端部でのエアの流れが変わることを抑制することができる。従って、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。

請求項４は請求項１〜３の何れかにおいて、前記遮風板を前記搬送物の幅寸法に応じて前記同一平面上で移動できるようにしたことを特徴とする。

請求項４によれば、遮風板を搬送物の幅寸法に応じて同一平面上で移動できるようにしたので、搬送される搬送物の幅が変わっても、遮風板によりエアの流れを抑えることができるので、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。

請求項５は請求項１〜４の何れかにおいて、前記直列に隣接配置された複数のルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が同等以上であることを特徴とする。

請求項５によれば、直列に隣接配置された複数のルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が同等以上にすることが、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制するのに好ましい。

請求項６は請求項１〜５の何れかにおいて、前記搬送物通過用開口部の位置に前記搬送物の上面側と下面側とに対向配置され、前記搬送物に気体を吹き付けて塵埃を除去する噴出口及び除去した塵埃を吸引する吸引口とを備えた一対の除塵装置を設けることを特徴とする。

請求項６によれば、平面状の搬送物が接する２つのルーム間において連続的に搬送される搬送物通過用開口部の位置に、搬送物に付着した異物を風圧により除去する噴出口と異物を吸引する吸引口とを備えた除塵装置を搬送物上下面に対向配置させることで、複数のルームのクリーン環境を安定させることができるとともに、効果的に搬送物の除塵を行うことができる。また、搬送物の幅方向両側近傍であって搬送物と同一平面上に搬送物との厚みが同等な遮風板を配置して、搬送物のない空間に吹き出された気体を遮風するので、搬送物端部の振動の発生を抑えることもできる。

請求項７は請求項１〜６の何れかにおいて、前記除塵装置には、超音波発生装置が付加されていることを特徴とする。

請求項７によれば、除塵装置に超音波発生装置が付加されていることで、超音波振動する圧縮空気を搬送物に吹付けることができるので、微小異物を効果的に除去することができる。

請求項８は、請求項１〜７の何れかにおいて、前記除塵装置の加圧風は、異物除去フィルタを通過した空気を使用することを特徴とする。

請求項８によれば、除塵装置の加圧風に異物除去フィルタを通過した空気を使用するので、更に微小異物を効果的に除去することができる。

本発明によれば、直列に隣接配置された複数のルームからなり、搬送物通過用開口部が形成された境界部を平面状の搬送物が連続的に搬送されるクリーンルームにおいて、クリーン環境を安定させることができるクリーンルームを提供することができる。

以下、添付図面により本発明のクリーンルームの好ましい実施の形態について詳説する。尚、ここでは、光学補償フィルム製造工程の場合について説明するが、光学補償フィルム製造工程に限らず、搬送物が平面状であれば何れの製造工程にも適用できる。

図１は、配向膜形成用樹脂層を有するフィルムを用いて光学補償フィルムを製造する製造装置の一例である。図１に示すように光学補償シートを作成して巻き取るまでの工程を連続的に、一貫生産で行なっても良い。配向膜形成用樹脂層を有するフィルムロール１２から、配向膜形成用樹脂層を有する透明樹脂フィルム１４が送出機１６により送り出され、ラビングローラ１８、ローラステージに固定されたガイドローラ２０及びラビングローラに備え付けられた除塵機２２からなるラビング装置により、ラビング処理が施され、形成された配向膜の表面は、ラビング装置に隣接して設けられた表面除塵機２２により除塵される。配向膜が形成された透明樹脂フィルム１４は、駆動ローラにより搬送され、配向膜上に、液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液が塗布機２４により塗布され、次いで、溶剤を蒸発させた後、加熱ゾーン２６において、塗布層をディスコネマティック相形成温度に加熱して（ここで塗布層の残留溶剤も蒸発する）、ディスコネマティック相の液晶層を形成する。

上記液晶層は、次いで、紫外線（ＵＶ）ランプ２８により紫外線が照射され、液晶層は架橋する。架橋させるためには、液晶性ディスコティック化合物として架橋性官能基を有する液晶性ディスコティック化合物を使用する必要がある。架橋性官能基を持たない液晶性ディスコティック化合物を用いた場合は、この紫外線照射工程は省略され、直ちに冷却される。この場合、ディスコネマティック相が冷却中に変化しないように、冷却は急速に行なう必要がある。配向膜及び液晶層が形成された透明樹脂フィルムは、検査装置３０により透明樹脂フィルム表面の光学特性が測定され、異常がないかどうか検査が行なわれる。次いで、液晶層表面に保護フィルム３２がラミネート機３４によりラミネートされ、巻き取り装置３６に巻き取られる。

ここで、光学補償フィルム製造工程は、主に、１）透明樹脂フィルム１４送出工程Ａ、２）表面に配向膜形成用樹脂層が形成された透明樹脂フィルム上に、樹脂層の表面にラビング処理を施し、透明樹脂フィルム上に配向膜を形成するラビング工程Ｂ、３）液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液を、配向膜上に塗布する液晶性ディスコティック化合物の塗布工程Ｃ、４）該塗布層を乾燥して該塗布層中の溶媒を蒸発させる乾燥工程Ｄ、５）該液晶層を固化する（即ち、架橋性官能基を有する液晶性ディスコティック化合物を使用した場合、液晶層を光照射により架橋させる工程Ｅ、６）該配向膜および液晶層が形成された透明樹脂フィルムを巻き取る巻取工程Ｆ、とで構成されているが、各工程Ａ〜Ｆの装置は、図１に示すように、それぞれ仕切られたルーム内に設けられている。それぞれのルームは、接する２つのルーム間において搬送物通過用開口部４０が設けられている。

本発明は、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のルームからなるクリーンルームにおいて、前記搬送物通過用開口部の位置であって、搬送物の幅方向両側近傍に、前記搬送物と同一平面上に該搬送物と厚みが同等な遮風板を配置したことを特徴とする。

以下、直列に隣接配置されたラビング工程Ｂのルームｂと塗布工程Ｃのルームｃとについて説明する。

透明樹脂フィルム１４は、図２に示すように、ガイドローラ４２、４４でガイドされて走行するようになっている。ルームｂとルームｃとの壁４５には、搬送物通過用開口部４０が形成されている。図３は図２を正面から見た図であるが、本発明では、搬送される透明樹脂フィルム１４がない部分には、透明樹脂フィルム１４の厚さと同等な遮風板５０、５０が、搬送される透明樹脂フィルム１４と略同一面となるように設けられている。図３に示すように、シリンダー５２により遮風板５０を透明樹脂フィルム１４の幅寸法に応じて同一平面上で移動できるようになっている。

このように、平面状の搬送物が接する２つのルーム間において連続的に搬送される搬送物通過用開口部の位置に、搬送物通過用開口部の幅よりも狭い幅の搬送物を搬送するときに、搬送物の幅方向両側近傍であって搬送物と同一平面上に搬送物との厚みが同等な遮風板を配置することで、搬送される搬送物の幅が変わっても、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。

使用する透明樹脂フィルム１４としては、一般に、その幅が３００〜２０００ｍｍ、長さが４５〜１００００ｍ、厚さが２〜２００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−2,6 −ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等のプラスチックフィルム、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙等からなる可撓性帯状物あるいは該帯状物を基材としてその表面に加工層を形成した帯状物が含まれる。

透明樹脂フィルム１４への塗布液の塗布量としては、２〜１５ｍＬ／ｍ² の範囲が好ましく採用できる。また、透明樹脂フィルム１４への塗布液の塗布幅としては、５００〜２０００ｍｍの範囲が好ましく採用できる。

また、塗布液の粘度としては、０．８〜１０ｃｐ（０．８〜１０×１０^-3Ｐａ・ｓ）の範囲が好ましく採用できる。

本発明のクリーンルームは、長尺状搬送物である光学補償フィルム製造に限らず、搬送物が基板などの枚葉式搬送物の製造にも適用できる。

図４は、薄板状の基板などの平面状の搬送物を搬送しながら形成・加工する工程において、接する２つのクリーンルーム間において搬送物通過用開口部を介して枚葉式搬送物１５が連続的に搬送される様子を示した図である。

枚葉式搬送物１５は、ガイドローラ４２、４３，４４でガイドされて走行するようになっている。図４（Ａ）に示すように、搬送物通過用開口部４０に、搬送される搬送物１５がない部分には、搬送物１５の厚さと同等の遮風板５０、５０が、搬送される搬送物１５と略同一面となるように設けられている（図３参照）。

このように、搬送物が枚葉状搬送物１５であって、複数の枚葉状搬送物１５を間隔を置いて搬送する際には、間隔領域を、枚葉状搬送物１５と一緒に搬送されるとともに枚葉状搬送物１５と厚みが同等な遮風板５０、５０で埋めることで、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。従って、光学補償フィルムなどの長尺状搬送物の製造工程だけでなく搬送物が基板などの枚葉式搬送物の製造工程においても、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。

尚、壁４５の端と搬送物１５の距離Ｈは小さくするとクリーン環境を安定させる能力が増すが、搬送物１５のテンションが低い場合には、テンション変動により除塵装置４８と接触する可能性が高くなる。一方、壁４５の端と搬送物１５の距離Ｈは大きくするとクリーン環境を安定させる能力が低下してしまう。従って、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の点線部分４０ａの拡大図であるが、壁４５の端と搬送物１５との距離Ｈには適切な範囲がある。本願出願人の実験によると、通常１ｍｍ〜３ｍｍ、好ましくは１ｍｍ〜２ｍｍが良い。また、搬送物１５と遮風板５０との間隔Ｌは小さいと、搬送物１５と遮風板５０が接触する可能性が高くなる。間隔Ｌには適切な範囲があり、本願出願人の実験によると、１ｍｍ〜４ｍｍ、好ましくは２ｍｍ〜３ｍｍの範囲が良い。

そして、２つのルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が高い、又は、清浄度が同じであることが好ましい。２つのルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度を高く、又は、清浄度を同じにすることが、搬送物への異物付着を抑制するのに好ましいからである。

更に、搬送物が枚葉式搬送物である場合には、図５に示すように、搬送物１５の搬送方向で搬送物１５のない部分には、搬送物１５の厚みと同等な枚葉用遮風板１７を設けて搬送させることが考えられる。搬送物の前後にも搬送物の厚さと略同一の枚葉用遮風板１７を設けて搬送させることで、搬送物のない部分でエアの流れが変わることを抑制することができるからである。

また、本発明では、図６に示すように、搬送物通過用開口部４０の位置に、透明樹脂フィルム（搬送物）１４の上面側と下面側とに対向配置され、透明樹脂フィルムに気体を吹き付けて塵埃を除去する噴出口４８ａ及び除去した塵埃を吸引する吸引口４８ｂとを備えた一対の除塵装置４８を設ける態様が考えられる。尚、異物を除去するための除塵装置は、従来、クリーンルームｃ内の塗布機２４の上流側に設けられている。

透明樹脂フィルム１４は、図６に示すように、ガイドローラ４２、４４でガイドされて走行するようになっている。本発明では、搬送物通過用開口部４０に、透明樹脂フィルム１４に付着した異物４６を風圧で除去する除塵装置４８、４８が走行する透明樹脂フィルム１４の両面側にそれぞれ設けられている。また、除塵装置４８には、噴出口４８ａと吸引口４８ｂとが設けられている。除塵装置４８は、噴出口４８ａと吸引口４８ｂとが１つずつのもの、噴出口４８ａが１つで吸引口４８ｂが２つのもの、噴出口４８ａが２つで吸引口４８ｂが１つもの、などが考えられる。このように、平面状の搬送物が接する２つのルーム間において連続的に搬送される搬送物通過用開口部４０で、上流側のルームｂでの工程で発生し付着した搬送物への異物を除塵装置４８、４８で除去することで、更に直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。尚、透明樹脂フィルム１４がない部分の除塵装置の噴出口を塞いでしまうと、エアの流れが変わってしまい、搬送物の振動は増してしまうので、振動によりエアの流れが不安定となりルームｂ及びルームｃのクリーン環境を安定させることができない。

除塵装置４８を設けた場合の風圧は、８ＫＰａ〜４０ＫＰａの範囲で使用することが望ましい。除塵装置４８と対向するローラ５０と透明樹脂フィルム１４とのラップ角は、通常の場合、３８度以上であり、好ましくは４３度〜１８０度である。

また、除塵装置４８には、超音波発生装置が付加されていることが好ましい。除塵装置に超音波発生装置が付加されていることで、超音波振動する圧縮空気を搬送物に吹付けることができるので、異物を効果的に除去することができる。そして、除塵装置４８の加圧風は、異物除去フィルタを通過した空気を使用することが好ましい。除塵装置の加圧風に異物除去フィルタを通過した空気を使用するので、微小異物を効果的に除去することができるとともに、直列に隣接配置された複数のルームのクリーン環境を安定させることができる。

次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。

＜実験１＞
図１に示した光学補償フィルム製造装置１０を用いて実験を行った。

（光学補償フィルム用塗布液の調製）
下記に示すディスコティック化合物ＴＥ−８のＲ（１）とＲ（２）の重量比で４：１の混合物に対し、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート（Ｖ♯３６０、大阪有機科学（株）製）を１０重量％、セルロースアセテートプチレート（ＣＡＢ５３１−１、イーストマンケミカル社製）を０．６重量％、光重合開始剤（イルガキュア９０７、日本チバガイギー（株）製）を３重量％、増感剤（カヤキュアーＤＥＴ−Ｘ、日本化薬（株）製）を１重量％添加し、最終的にその混合物の３２重量％メチルエチルケトン溶液とした。その液晶性化合物を含む液に、さらにフッ素系界面括性剤（フルオロ脂肪族基含有共重合体、メガファックＦ７８０、大日本インキ（株）製）を０．３重量％添加し、塗布液とした。

（塗布条件）
・掻取り用バー装置…直径８ｍｍの円柱状の芯材に０．０７ｍｍのワイヤーを密に巻回したワイヤーバー
・塗布速度…２０ｍ／分
・塗布テンション…２００Ｎ／ｍ
ここで、通過用開口部４０のサイズを幅１６００ｍｍ×高さ８０ｍｍとし、ウエブの厚み８０μｍで、幅１３００ｍｍのウエブＡと幅９５０ｍｍのウエブＢの２種を用いた。ウエブＡでの条件でクリーンルームの設定を行い、空調設定を変えずにウエブＢに切り替えて、その際の塗布室（図１のルームｃ）の塵埃をパーティクルカウンタによって測定した。尚、前処理室（図１のルームｂ）と塗布室（ルームｃ）の間の壁厚は５０ｍｍとした。

遮風板５０、５０のウエブ走行方向の長さは壁厚と同じ５０ｍｍとそれよりも長い１５０ｍｍの２種を用いて比較した。以下に実験条件及び実験結果を示す。

表１より、遮風板を用いることで、ウエブの幅が異なる場合であっても、塗布室のクリーン環境はほとんど変化しないことが分かる。これによって面倒な空調設定を必要とせず、簡素にクリーン環境を安定させることができることが分かる。尚、遮風板の長さは壁厚に対して３倍以上あることが好ましいことが分かる。

＜実験２＞
直列に隣接配置されたルームとして、基板前処理室（図４のルーム１）とレジスト塗布室（図４のルーム２）について実験を行った。基板前処理室のクリーン度をクラス１０、塗布室をクラス１とした。また、塗布室はそのクリーン度を確保するために前処理室に対して５Ｐａ加圧された空調設定とした。

通過用開口部４０のサイズを幅３５０ｍｍ×高さ８０ｍｍとし、基板保持ステージは３１０ｍｍ×３１０ｍｍ×１５ｍｍとした。

比較例２−１は、遮風板なしの開口のままでライン動作し、比較例２−２は通過用開口部４０にシャッターを設け、基板が通過しないときはシャッターを閉めた。実施例２は、基板（搬送物）と同一平面上で移動できる遮風板（厚み１５ｍｍ）を用い、基板が通過するときは、基板の側方から２ｍｍまで近づけ、基板が通過しないときには、遮風板をさらに突き出して、開口部中央で遮風板が付き合わされるように動作した。評価はライン待機時とライン動作時それぞれの塗布室内の塵埃をパーティクルカウンタによって測定した。以下に実験条件及び実験結果を示す。

表２より、比較例２−１のように通過用開口部に何もないときは、通過用開口部を通過する風の流れのためクリーン度を向上させることが困難で、動作時のクリーン度も安定しないことが分かる。そして、比較例２−２のようにシャッターをつけ、停止・待機時にシャッターを閉めることで停止・待機時のクリーン度は向上しますが、動作時にはシャッターが開くことで空調条件が狂ってしまう。また、実施例２のように、停止・待機時と動作時との通過用開口部の状況が近い場合には、安定したクリーンルーム条件を設定することが可能になっていることが分かる。従って、遮風板を搬送物の幅寸法に応じて同一平面上で移動できるようにすることが好ましいことが分かる。

＜実験３＞
実験１と同じ光学補償シートの製造工程において実験を行った。

比較例３−１は、特許文献１（特開２００３−７１９３２）に示されているように、図１の搬送物通過用開口部４０に除塵装置４８を設けた。また、除塵装置４８には、吸引装置を付加している。尚、除塵装置４８は搬送物に対して距離Ｈが１．５ｍｍのところに設けた。比較例３−２は、搬送物通過用開口部４０に何も設けなかった。

実施例３は、搬送物通過用開口部４０に図６に示した除塵装置４８、４８を設けた。また、除塵装置４８、４８には、吸引装置を付加した。尚、除塵装置４８は搬送物に対して距離Ｈが１．５ｍｍのところに設けた。また、図３に示した遮風板５０、５０を設けた。搬送物１５と遮風板５０との間隔Ｌは２．５ｍｍとした。遮風板５０の厚みは、ウエブの厚みに近いことが好ましいが除塵装置４８の風に耐えられる１．５ｍｍとした。

長尺上搬送物２０００ｍ塗布・検査後の異物除去数の比較結果を表１に示す。異物付着評価は塗布後の異物付着による故障を検査機にて、通常の異物故障数の５０〜７０％を○、７０〜１００％を△、１００％以上を×と評価した。実験結果を表３に示す。

表３の結果から分かるように、搬送物通過用開口部の位置に、噴出口と吸引口とを備えた除塵装置を搬送物の上面側と下面側とに対向配置させて、噴出口から搬送物に気体を吹き付けて除去した塵埃を吸引口から吸引する除塵工程を設けるとともに、噴出口の幅よりも狭い幅の搬送物を搬送して除塵するときには、搬送物の幅方向両側近傍であって搬送物と同一平面上に搬送物との厚みが同等な遮風板を配置して、搬送物のない空間に吹き出された気体を遮風した実施例３は、そうではない比較例３−１及び３−２に比べ、異物付着評価において良い結果となっている。

光学補償シートの製造工程の一例を示す概略図 本発明に係る搬送物通過用開口部を説明する説明図 本発明に係る搬送物通過用開口部を正面からみた説明図 搬送物が枚葉式搬送物である場合の搬送物通過用開口部を説明する説明図 搬送物が枚葉式搬送物である場合の枚葉用遮風板を示す説明図 本発明に係る除塵装置を設けた搬送物通過用開口部を説明する説明図

符号の説明

１０…光学補償フィルム製造装置、１２…フィルムロール、１４…透明樹脂フィルム（搬送物）、１５…搬送物、１６…送出機、１７…枚葉用遮風板、１８…ラビングローラ、２０…ガイドローラ、２２…除塵機、２４…塗布機、２６…加熱ゾーン、２８…紫外線（ＵＶ）ランプ、３０…検査装置、３２…保護フィルム、３４…ラミネート機、３６…巻き取り装置、４０…搬送物通過用開口部、４２、４３、４４、４５…ガイドローラ、４６…異物、４７…壁、４８…除塵装置、５０…遮風板

Claims (8)

1. 搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のルームからなるクリーンルームにおいて、
   前記搬送物通過用開口部の位置であって、搬送物の幅方向両側近傍に、前記搬送物と同一平面上に該搬送物と厚みが同等な遮風板を配置したことを特徴とするクリーンルーム。
2. 前記搬送物は長尺状搬送物又は枚葉状搬送物であることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
3. 前記搬送物が枚葉状な搬送物であって、複数の枚葉状な搬送物を間隔を置いて搬送する際には、該間隔領域を、前記搬送物と一緒に搬送されるとともに該搬送物と厚みが同等な枚葉用遮風板で埋めることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
4. 前記遮風板を前記搬送物の幅寸法に応じて前記同一平面上で移動できるようにしたことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のクリーンルーム。
5. 前記直列に隣接配置された複数のルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が同等以上であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のクリーンルーム。
6. 前記搬送物通過用開口部の位置に前記搬送物の上面側と下面側とに対向配置され、前記搬送物に気体を吹き付けて塵埃を除去する噴出口及び除去した塵埃を吸引する吸引口とを備えた一対の除塵装置を設けることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のクリーンルーム。
7. 前記除塵装置には、超音波発生装置が付加されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のクリーンルーム。
8. 前記除塵装置の加圧風は、異物除去フィルタを通過した空気を使用することを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のクリーンルーム。

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