JP2009190250A - 複合光学素子の製造装置および複合光学素子の製造方法ならびに制御プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】複合光学素子を構成する樹脂の表面に、成形時に微細なヒケが生じることを防止し、高い光学性能および面精度を実現する。
【解決手段】成形型固定板７に支持されて基材２と対向し、基材２に塗布された紫外線硬化樹脂１の成形を行う成形型３の変位を、サーボコントローラ１３によって制御されるサーボモータ９およびボールネジ機構８によって制御する複合光学素子の製造装置において、紫外線４ａの照射による紫外線硬化樹脂１の硬化開始時に、サーボモータ９のトルク制限設定値２１を成形型３およびその支持構造の重量に釣り合う値に変更して成形型３を浮動状態にし、紫外線硬化樹脂１の収縮硬化力に成形型３が追従するように制御し、成形型３の成形面３ａが転写される紫外線硬化樹脂１の光学機能面１ａにおけるヒケの発生を防止し、基材２とともに複合光学素子を構成する紫外線硬化樹脂１の光学機能面１ａの面精度を向上させる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複合光学素子の製造装置および複合光学素子の製造方法ならびに制御プログラムに関する。

たとえば、非球面等のように研磨加工では実現しにくい比較的複雑な形状の光学機能面を備えた光学部品を製造する方法として、特許文献１のように、ガラスまたはプラスチック材料からなる光学素子の基材の表面に、成形型から所望の光学機能面が転写された合成樹脂層を形成して複合光学素子を得る方法が知られている。

すなわち、特許文献１に開示された装置では、基材保持治具に支持され、紫外線硬化樹脂が塗布された基材に対向する金型を支持して上下動させる金型固定板に、紫外線硬化樹脂の収縮硬化によって金型を引き寄せる方向に作用する力を検出する圧力検出装置を設けている。そして、金型の変位を制御する制御装置は、成形時に、金型が上下方向に受ける力が０になるように、モータによる金型の移動位置を制御することで、紫外線硬化樹脂の硬化収縮によるヒケを防止しようとする技術が開示されている。

このように、特許文献１では金型が硬化する樹脂に引き寄せられる力を検出し、金型が上下方向に受ける力が０になるように、金型の位置を移動させている。そして、金型の移動制御には速度制御方式を使用している。速度制御方式は一般的に軸の回転速度と回転数を制御するのに使用され、速度制御のみでは金型の上下方向に受ける力を常に０にする制御には必ずしも適さない。

すなわち、この従来技術での速度制御による方法では、樹脂の硬化収縮に金型が追従しきれないため、樹脂表面に微細なヒケが生じてしまう懸念がある。
特開平４−１４４７１９号公報

本発明の目的は、複合光学素子を構成する樹脂の表面に、成形時に微細なヒケが生じることを防止し、高い光学性能および面精度を実現することが可能な複合光学素子の製造技術を提供することにある。

本発明の第１の観点は、光学素子の基材と成形型の間に樹脂を挟んで成形する複合光学素子の製造装置であって、
前記基材に対する前記成形型の変位制御を行う変位制御機構と、
前記樹脂の成形時に前記成形型が浮動状態となるように前記変位制御機構から前記成形型に作用する駆動力を制御する制御手段と、
を含む複合光学素子の製造装置を提供する。

本発明の第２の観点は、光学素子の基材と成形型の間に樹脂を挟んで成形する複合光学素子の製造方法であって、
光学素子の基材に樹脂を塗布する第１工程と、
前記樹脂に前記成形型を接触させる第２工程と、
前記成形型を浮動状態にして前記樹脂を硬化させる第３工程と、
を含む複合光学素子の製造方法を提供する。

本発明の第３の観点は、樹脂が塗布された光学素子の基材に対する成形型の変位制御を行う変位制御機構と、前記変位制御機構を制御するコンピュータと、を含む複合光学素子の製造装置の制御プログラムであって、
前記樹脂の成形時に前記成形型が浮動状態となるように前記変位制御機構から前記成形型に作用する駆動力を制御する機能を前記コンピュータに実現させる制御プログラムを提供する。

本発明によれば、複合光学素子を構成する樹脂の表面に、成形時に微細なヒケが生じることを防止し、高い光学性能および面精度を実現することが可能な複合光学素子の製造技術を提供することができる。

本実施の形態では、成形型を上下させる駆動機構にサーボモータを使用し、トルクの制限値を変更可能にする。成形中にサーボモータのトルクの制限値を変更する構成にすることにより追従性が向上する。また、硬化収縮が微小になったら、即ち硬化収縮の完了直前にて、指令値と実位置の偏差を監視しながら、偏差量に応じて成形型を移動させる位置制御を行う構成にすることにより、高精度な位置決めを可能にする。よって、樹脂表面に微細なヒケが生じるのを防ぎ、成形後の樹脂に十分なる光学性能と高精度な面精度、さらに一定の肉厚を持たせることが可能な複合光学素子の製造装置を提供できる。

すなわち、本実施の形態の第１態様にかかる複合光学素子の製造装置では、成形型を上下させる駆動機構をサーボモータで構成し、サーボコントローラにサーボモータのトルク制限値を変更する機能を持たせる。

樹脂を押し広げる位置で成形型及び付随する駆動機構の重量だけを支えられるトルク分だけのトルク制限値を設定することで擬似的に成形型は自重がキャンセルされた浮動状態となり、樹脂に紫外線を照射した際の硬化収縮による引き寄せ力のみで硬化収縮分だけ成形型を下降させるようにする。

また、第２態様では第１態様の製造装置において、硬化収縮が微小になってから、即ち硬化収縮の完了直前にて、指令値と実位置の偏差を監視しながら、偏差量に応じて成形型を移動させる位置制御を行う。

本実施の形態の各態様では、樹脂に紫外線を照射した際に、成形型を支えているサーボモータのトルク制限値を変更することにより、成形型は自重がキャンセルされた浮動状態となっているため、樹脂の硬化収縮による引き寄せ力のみで直接的に成形型を下降させることができ、硬化収縮に対する成形型の位置の追従性を向上させることが可能となる。

また、必要に応じて、成形中に成形型の位置偏差を検出し、位置補正を行いながら成形型を移動させる位置制御を行うことにより、高精度な位置決めができる。よって、より高い光学性能と高精度な面精度及び一定の肉厚の樹脂と基材からなる複合光学素子を得ることができる。

また、硬化収縮する樹脂から成形型に作用する力を検出するための圧力検出装置などが不要になるため、設備コストを削減することが可能である。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する製造装置の構成の一例を示す概念図であり、図２は、本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すシーケンス図、図３は、本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すフローチャートである。
（構成）
図１には、本実施の形態の複合光学素子の製造装置Ｍにおける成形型の駆動系の構成が例示されている。

本実施の形態の製造装置Ｍは、紫外線照射源４、基材保持治具５、土台板６、成形型固定板７、ボールネジ機構８（変位制御機構）、サーボモータ９、エンコーダ１０、サーボコントローラ１３（制御手段）を備えている。

ボールネジ機構８は、サーボモータ９によって回転されるボールネジ８ａと、このボールネジ８ａに、図示しない循環ボールを介して螺合するナット部８ｂを備え、このナット部８ｂには成形型固定板７が支持されている。

このボールネジ機構８では、ボールネジ８ａの回転変位とナット部８ｂの直線変位が相互に変換される。
基材２は土台板６に設置されている基材保持治具５で固定されており、また基材２上に吐出した紫外線硬化樹脂１を押し広げるための成形型３が、成形面３ａを下向きにした姿勢で成形型固定板７に固定されている。

そして、ボールネジ機構８とサーボモータ９により、成形型３を所望の位置まで下降させたり、成形型３を上昇移動させる等の制御が行われる。
サーボモータ９には、当該サーボモータ９の回転動作によって上下動する成形型３の実位置情報１１を検出するためのエンコーダ１０が設置されている。

また、サーボモータ９およびエンコーダ１０はサーボコントローラ１３に接続されている。サーボコントローラ１３は、エンコーダ１０から入力される実位置情報１１に基づいて、サーボモータ９に移動指令１２ａを出力する帰還制御によって、サーボモータ９を介して、成形型３の上下動を制御する動作を行う。

また、サーボコントローラ１３には、紫外線照射源４における紫外線４ａの出射のＯＮ／ＯＦＦの情報が図示しないインタフェースを介して入力されており、サーボコントローラ１３は、紫外線照射源４における紫外線４ａの出射のＯＮ／ＯＦＦに連動したサーボモータ９の制御動作が可能になっている。

サーボコントローラ１３は、たとえば、マイクロコンピュータ等で構成されている。そして、このサーボコントローラ１３の内部に実装された制御プログラム１３ａを当該マイクロコンピュータが実行することで、後述のようなサーボコントローラ１３によるサーボモータ９の制御動作が実現される。

また、サーボコントローラ１３は、一例として、トルク制限値Ｔ０、トルク制限値Ｔ１（第１の制限値）、トルク制限値Ｔ２（第２の制限値）等を記憶するトルク制限値メモリ１３ｂを備えており、これらの複数のトルク制限値の情報を、トルク制限設定情報１２としてサーボモータ９に設定する機能を備えている。

このトルク制限値は、サーボモータ９からボールネジ機構８に与えられるトルクの最大値を制限する情報である。サーボモータ９からボールネジ機構８に作用されるトルクはトルク制限値で飽和し、トルク制限値を超えるトルクがサーボモータ９からボールネジ機構８に作用することはない。

この場合、トルク制限設定値２１としてのトルク制限値Ｔ０は、可動部であるナット部８ｂ、成形型固定板７、成形型３等の重量を、ボールネジ機構８を介してサーボモータ９によって駆動するために必要十分な大きな値に設定される。

また、トルク制限値Ｔ１は、可動部であるナット部８ｂ、成形型固定板７、成形型３の重量に丁度釣り合うサーボモータ９のトルクの値に設定されている。
従って、トルク制限値Ｔ１がサーボモータ９に設定された場合には、成形型固定板７、ボールネジ機構８を介してサーボモータ９のトルクに支持された成形型３は、外力によって上下方向に自由に動き得る浮動状態（遊動状態）となる。

土台板６の下方には、紫外線４ａを出射する紫外線照射源４が設置されており、基材２に塗布された紫外線硬化樹脂１に対して、当該基材２を透過して背面側から紫外線４ａを照射して紫外線硬化樹脂１を硬化させる動作が可能になっている。

本実施の形態の場合、図２に例示されるシーケンスにて、成形型３の位置、トルク制限設定値２１、紫外線４ａの照射のＯＮ／ＯＦＦが、同期して制御される。
すなわち、図２では、複合光学素子の成形時において、成形型移動位置２０は成形型３の上下移動位置の変化を示しており、トルク制限設定値２１はサーボモータ９のトルク制限設定値の変化を示しており、紫外線照射状態２２は紫外線照射源４からの紫外線４ａの照射のＯＮ／ＯＦＦの変化を示している。

また、図２において、成形型下降停止２３は成形型３の下降を停止するタイミングを示しており、紫外線照射開始２４は紫外線照射状態２２の紫外線照射を開始するタイミング（ＯＮ）を示しており、紫外線硬化樹脂の硬化完了２５は紫外線硬化樹脂１の硬化完了タイミングと紫外線照射を終了するタイミング（ＯＦＦ）を示している。
（作用）
次に、本実施の形態の複合光学素子の製造装置Ｍの作用の一例について説明する。

なお、以下の作用における紫外線照射源４からの紫外線４ａの出射（ＯＮ）／出射停止（ＯＦＦ）に連動した成形型３の昇降動作の制御は、サーボコントローラ１３における制御プログラム１３ａの実行によって実現される。

図３のフローチャートは、この制御プログラム１３ａの動作の流れを示しており、以下の説明で、対応する動作には、適宜、図３のステップ番号を付す。
まず、基材２の成形面上に樹脂吐出装置（図示省略）により樹脂を適量塗布し、搬送手段（図示省略）により、当該基材２を基材保持治具５に設置する。

次に、サーボコントローラ１３（制御プログラム１３ａ）は、サーボモータ９でボールネジ機構８のボールネジ８ａを回転させることにより成形型３を下降させ（ステップ２０１）、基材２の成形面に塗布された紫外線硬化樹脂１の表面に成形型３の成形面３ａを当接させて押し広げ、成形面３ａを紫外線硬化樹脂１に光学機能面１ａとして転写した状態で成形型３を停止させる（ステップ２０２）（成形型下降停止２３）。

次に、紫外線照射開始２４のタイミングで紫外線照射源４から基材２の裏面を経由して紫外線４ａが照射され、紫外線硬化樹脂１は硬化を始める（ステップ２０３）（紫外線照射開始２４）。同時に、サーボコントローラ１３（制御プログラム１３ａ）により、サーボモータ９のトルク制限値をボールネジ機構８に固定された成形型３及び付随する駆動機構の重量と釣合うように、現在のトルク制限値Ｔ０からトルク制限値Ｔ１に変更する（ステップ２０４）。これにより、成形型３は外力によって自由に上下動する浮動状態となる。

そして、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮が始まり、この時、収縮硬化力によって成形型３を引き寄せようとする力が発生するので、成形型３は硬化収縮に追随して下降し始め、収縮硬化力が発生している間は下降し、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮が収まると、成形型３の下降も停止し、紫外線硬化樹脂１の硬化完了後、即ち、紫外線硬化樹脂１の硬化完了２５のタイミングで（ステップ２０５）、トルク制限設定値２１をトルク制限値Ｔ１からトルク制限値Ｔ０に戻して、サーボモータ９のトルクによって成形型３を上昇変位させ（ステップ２０６）、紫外線硬化樹脂１の光学機能面１ａから成形面３ａを引き離して紫外線硬化樹脂１の成形が終了する。

なお、硬化完了２５のタイミングでトルク制限設定値２１を、トルク制限値Ｔ１からトルク制限値Ｔ０に復帰させて成形型３の駆動力を回復した後、硬化完了２５から所定の時間だけ成形型３による保持力で紫外線硬化樹脂１を押圧した後に成形型３を上昇させて離型を行わせてもよい。

このように、本実施の形態１では、紫外線硬化樹脂１の硬化開始時に、成形型３を支えているサーボモータ９のトルク制限設定値２１をトルク制限値Ｔ０からトルク制限値Ｔ１に変更することにより、成形型３は自重がキャンセルされた浮動状態となり、紫外線硬化樹脂１から成形型３に作用する硬化収縮力のみで直接的に成形型３を移動させるため、たとえば従来技術のように成形型３に速度指令を与えて制御を行う方法よりも、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮に対する成形型３の位置の追従性は向上する。

この結果、成形型３の成形面３ａが転写される紫外線硬化樹脂１の光学機能面１ａにおける微細なヒケの発生を防止することが可能である。
すなわち、基材２とともに複合光学素子を構成する紫外線硬化樹脂１の光学機能面１ａに、成形時に微細なヒケが生じることを防止し、光学機能面１ａにおける高い光学性能および面精度を実現することができる。
（実施の形態２）
図４は、本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する製造装置の作用の一例を示す線図であり、図５は、本実施の形態の複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すシーケンス図、図６は、本実施の形態の複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すフローチャートである。
（構成）
本実施の形態２では、製造装置Ｍの構成は上述の図１に例示した実施の形態１と同様であり、サーボコントローラ１３における制御プログラム１３ａによるサーボモータ９の制御機能および動作が異なっている。

本実施の形態２では、図５に例示したシーケンス図のようにサーボモータ９による成形型３の昇降動作の制御が行われる。
すなわち、図５のシーケンス図に示されるように、本実施の形態２では、紫外線４ａの照射による紫外線硬化樹脂１の硬化開始（紫外線照射開始２４）から硬化完了２５に至る間に、位置制御再開２７のタイミングで、トルク制限設定値２１を、トルク制限値Ｔ１からトルク制限値Ｔ２に変化させ、硬化完了２５の前に、成形型３を紫外線硬化樹脂１の硬化収縮に追随する浮動状態から、サーボモータ９による位置制御状態に復帰させて位置制御を行う点が、上述の実施の形態１（図２のシーケンス）の制御と異なっている。

このトルク制限値Ｔ２は、上述のトルク制限値Ｔ０およびトルク制限値Ｔ１に対して、たとえば、トルク制限値Ｔ０＞トルク制限値Ｔ２＞トルク制限値Ｔ１、の大小関係にある。

そして、トルク制限設定値２１としてトルク制限値Ｔ２をサーボモータ９に設定した場合には、後述のように、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮によって成形型３に作用する引き寄せ力に抗して、サーボモータ９のトルクによる成形型３の位置制御を行うことが可能な状態となる。

また、図４に例示される本実施の形態２の作用を示す線図では、複合光学素子の成形中の硬化収縮時において、成形型移動指令３０はサーボコントローラ１３からサーボモータ９に出力される成形型３の移動指令１２ａを示しており、成形型の実位置３１は成形型移動指令３０対する実位置（実位置情報１１）を示している。

浮動状態移動時間３２は、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮による引き寄せ力のみで成形型３が移動している時間を示しており、浮動状態移動距離３４は、浮動状態移動時間３２の間における成形型３の移動量を示している。

位置制御移動時間３３は、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮の期間内での位置制御が行われる時間を示しており、位置制御移動距離３５は、位置制御移動時間３３の間における成形型３の移動量を示している。
（作用）
次に、本実施の形態の複合光学素子の製造装置Ｍの作用について説明する。

なお、以下の作用における成形型３の昇降動作の制御は、サーボコントローラ１３における制御プログラム１３ａの実行によって実現される。
図６のフローチャートは、この制御プログラム１３ａの動作の流れを示しており、以下の説明で、対応する動作には、適宜、図６のステップ番号を付す。

なお、図６において、上述の実施の形態１の図３のフローチャートと共通する部分については、同一のステップ番号を付して、重複した説明は省略している。
本実施の形態２の場合、ステップ２０１からステップ２０４までは上述の実施の形態１と同様であり、紫外線照射開始２４のタイミングで、サーボモータ９のトルク制限設定値２１はトルク制限値Ｔ０からトルク制限値Ｔ１に変更され、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮が始まり、この硬化収縮により浮動状態の成形型３を基材２の側に引き寄せる力が発生し、成形型３は硬化収縮に追随して下降する。

この時、浮動状態移動時間３２の期間では、紫外線硬化樹脂１の硬化収縮が大きく、硬化収縮による引き寄せ力のみで成形型３を下降させる。
そして、サーボコントローラ１３（制御プログラム１３ａ）は、移動指令１２ａと実位置情報１１の偏差が所定の値よりも小さくなった時点（位置制御再開２７）で（ステップ２１１）、トルク制限設定値２１を、浮動状態のトルク制限値Ｔ１から、成形型３の位置制御が可能なトルク制限値Ｔ２に変更する（ステップ２１２）。

すなわち、位置制御移動時間３３の期間は、紫外線硬化樹脂１の硬化完了２５の間際で紫外線硬化樹脂１の硬化収縮が微小であるため、サーボモータ９のトルク制限設定値２１を、硬化収縮による引き寄せ力が発生しても成形型３が移動しない程度（トルク制限値Ｔ２）に変更している。

そして、成形型移動指令３０に対する成形型の実位置３１の微小な偏差を監視し（ステップ２１３）、偏差分だけ成形型移動指令３０に足し合わせ（ステップ２１４）、指令値通りの実位置になるように位置制御を行う（ステップ２１５）。これにより、紫外線照射開始２４から硬化完了２５の間における、浮動状態移動距離３４と位置制御移動距離３５とを足し合わせた成形型３の移動量を一定にし、成形型３の基材２に対する高精度な位置決めが可能となり、基材２と成形型３の間に挟まれて成形される紫外線硬化樹脂１の肉厚が一定な複合光学素子の成形が実現可能になる。

以上説明したように、上述の本発明の各実施の形態によれば、基材２と紫外線硬化樹脂１を組み合わせた複合光学素子の成形工程における紫外線硬化樹脂１の成形時の硬化において、紫外線硬化樹脂１の収縮変形に成形型３を的確に追従させることで、紫外線硬化樹脂１に転写される光学機能面１ａに微細なヒケが生じることを防止することが可能となり、成形型３の成形面３ａが転写された紫外線硬化樹脂１の光学機能面１ａに高い面精度を持たせることができる。また、紫外線硬化樹脂１の肉厚が一定な複合光学素子を製造することができる。

この結果、複合光学素子や、当該複合光学素子を組み込んだ製品の品質を安定させることが可能となる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。

たとえば、変位制御機構としてはサーボモータとボールネジ機構の組合せに限らず、他の構成でもよい。
（付記１）
光学素子の基材に樹脂を塗布した後、成形型を降下させて成形を行う複合光学素子の成形装置において、成形型制定位置を保持するトルクを可変可能とすることにより、成形型にかかる上下方向の力を解消しつつ成形を行うことを特徴とする光学素子の成形装置。

（付記２）
付記１記載の成形装置において、指令値に対する実位置の偏差を検出して補正する位置制御を行うことを特徴とする光学素子の成形装置。

本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する製造装置の構成の一例を示す概念図である。 本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すシーケンス図である。 本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すフローチャートである。 本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する製造装置の作用の一例を示す線図である。 本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すシーケンス図である。 本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法および製造装置の作用の一例を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 紫外線硬化樹脂
１ａ 光学機能面
２ 基材
３ 成形型
３ａ 成形面
４ 紫外線照射源
４ａ 紫外線
５ 基材保持治具
６ 土台板
７ 成形型固定板
８ ボールネジ機構
８ａ ボールネジ
８ｂ ナット部
９ サーボモータ
１０ エンコーダ
１１ 実位置情報
１２ トルク制限設定情報
１２ａ 移動指令
１３ サーボコントローラ
１３ａ 制御プログラム
１３ｂ トルク制限値メモリ
２０ 成形型移動位置
２１ トルク制限設定値
２２ 紫外線照射状態
２３ 成形型下降停止
２４ 紫外線照射開始
２５ 硬化完了
２７ 位置制御再開
３０ 成形型移動指令
３１ 実位置
３２ 浮動状態移動時間
３３ 位置制御移動時間
３４ 浮動状態移動距離
３５ 位置制御移動距離
Ｍ 製造装置
Ｔ０ トルク制限値
Ｔ１ トルク制限値
Ｔ２ トルク制限値

Claims (10)

1. 光学素子の基材と成形型の間に樹脂を挟んで成形する複合光学素子の製造装置であって、
   前記基材に対する前記成形型の変位制御を行う変位制御機構と、
   前記樹脂の成形時に前記成形型が浮動状態となるように前記変位制御機構から前記成形型に作用する駆動力を制御する制御手段と、
   を含むことを特徴とする複合光学素子の製造装置。
2. 請求項１記載の複合光学素子の製造装置において、
   前記制御手段は、
   前記樹脂の成形の開始時に前記成形型が前記浮動状態となるように前記変位制御機構から前記成形型に作用する前記駆動力を第１の制限値に制御し、
   前記成形の終了前に、前記成形型の変位の指令値に対する実位置の偏差を検出して補正する位置制御を行うように前記駆動力を第２の制限値に制御することを特徴とする複合光学素子の製造装置。
3. 請求項１記載の複合光学素子の製造装置において、
   前記変位制御機構は、サーボモータと、前記サーボモータの回動変位と前記成形型の直線変位とを相互に変換するボールネジ機構とを含み、前記駆動力は、前記サーボモータのトルクであり、
   前記制御手段は、前記成形型が浮動状態となるように前記サーボモータのトルク制限値を設定することを特徴とする複合光学素子の製造装置。
4. 請求項２記載の複合光学素子の製造装置において、
   前記変位制御機構は、サーボモータと、前記サーボモータの回動変位と前記成形型の直線変位とを相互に変換するボールネジ機構とを含み、前記駆動力は、前記サーボモータのトルクであり、
   前記制御手段は、
   前記樹脂の成形の開始時に前記成形型が浮動状態となるように前記サーボモータの第１のトルク制限値を設定し、
   前記成形の終了前に、前記成形型の変位の指令値に対する実位置の偏差を検出して補正する位置制御を行うように前記サーボモータの第２のトルク制限値を設定することを特徴とする複合光学素子の製造装置。
5. 光学素子の基材と成形型の間に樹脂を挟んで成形する複合光学素子の製造方法であって、
   光学素子の基材に樹脂を塗布する第１工程と、
   前記樹脂に前記成形型を接触させる第２工程と、
   前記成形型を浮動状態にして前記樹脂を硬化させる第３工程と、
   を含むことを特徴とする複合光学素子の製造方法。
6. 請求項５記載の複合光学素子の製造方法において、
   前記第３工程では、前記樹脂の硬化完了の前に前記成形型を浮動状態から位置制御状態に復帰させて前記基材に対する前記成形型の位置制御を行うことを特徴とする複合光学素子の製造方法。
7. 樹脂が塗布された光学素子の基材に対する成形型の変位制御を行う変位制御機構と、前記変位制御機構を制御するコンピュータと、を含む複合光学素子の製造装置の制御プログラムであって、
   前記樹脂の成形時に前記成形型が浮動状態となるように前記変位制御機構から前記成形型に作用する駆動力を制御する機能を前記コンピュータに実現させることを特徴とする制御プログラム。
8. 請求項７記載の制御プログラムにおいて、
   前記樹脂の成形の開始時に前記成形型が前記浮動状態となるように前記変位制御機構から前記成形型に作用する前記駆動力を第１の制限値に制御し、
   前記成形の終了前に、前記成形型の変位の指令値に対する実位置の偏差を検出して補正する位置制御を行うように前記駆動力を第２の制限値に制御する機能を前記コンピュータに実現させることを特徴とする制御プログラム。
9. 請求項７記載の制御プログラムにおいて、
   前記変位制御機構は、サーボモータと、前記サーボモータの回動変位と前記成形型の直線変位とを相互に変換するボールネジ機構とを含み、前記駆動力は、前記サーボモータのトルクであり、
   前記成形型が浮動状態となるように前記サーボモータのトルク制限値を設定する機能を前記コンピュータにて実現することを特徴とする制御プログラム。
10. 請求項８記載の制御プログラムにおいて、
    前記変位制御機構は、サーボモータと、前記サーボモータの回動変位と前記成形型の直線変位とを相互に変換するボールネジ機構とを含み、前記駆動力は、前記サーボモータのトルクであり、
    前記樹脂の成形の開始時に前記成形型が浮動状態となるように前記サーボモータの第１のトルク制限値を設定し、
    前記成形の終了前に、前記成形型の変位の指令値に対する実位置の偏差を検出して補正する位置制御を行うように前記サーボモータの第２のトルク制限値を設定する機能を前記コンピュータにて実現することを特徴とする制御プログラム。