JP2009187949A - ビーム電流キャリブレーションシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 荷電粒子ビーム装置が記載されている。荷電粒子ビーム装置は、1次荷電粒子ビームを放射するために適合したエミッタと、2次および/または後方散乱荷電粒子が1次荷電粒子ビームの衝突時に放出される試料を保持するために適合した試料場所と、2次粒子および/または2次粒子を検出するために適合した検出ユニットと、1次荷電粒子ビームを検出ユニットに衝突させるため1次荷電粒子ビームを検出ユニットへガイドするために適合したビームガイドユニットとを含む。
【選択図】 図1B
Description
Claims (15)
- 1次荷電粒子ビームを放射するために適合したエミッタと、
2次および/または後方散乱荷電粒子が前記1次荷電粒子ビームの衝突時に放出される試料を保持するために適合した試料場所と、
前記2次粒子および/または後方散乱粒子を検出するために適合した検出ユニットと、
1次荷電粒子ビームを前記検出ユニットへ衝突させるため前記1次荷電粒子ビームを前記検出ユニットへガイドするために適合したビームガイドユニットと、
を備える荷電粒子ビーム装置。 - 前記検出ユニットが、
光電子増倍管と、
光ガイドと、
少なくとも1個のシンチレーション要素と、
をさらに備える、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 1次荷電粒子ビームを放射するために適合したエミッタと、
2次および/または後方散乱荷電粒子が前記1次荷電粒子ビームの衝突時に放出される試料を保持するために適合した試料場所と、
シンチレーション要素を含み、荷電粒子ビーム電流を検出するために適合した検出ユニットと、
1次荷電粒子ビームを前記検出ユニットへ衝突させるため前記1次荷電粒子ビームを前記検出ユニットへガイドするために適合したビームガイドユニットと、
を備える荷電粒子ビーム装置。 - 前記検出ユニットが前記2次粒子および/または前記後方散乱粒子を検出するためさらに適合し、
前記検出ユニットがフォトダイオードまたは光電子増倍管をさらに備える、
請求項3に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記1次荷電粒子ビームのための前記ビームガイドユニットが、前記1次荷電粒子ビームを少なくとも1個のシンチレーション要素へ偏向させる偏向要素をさらに備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記光電子増倍管と通信し、前記1次荷電粒子ビームによって生成された信号に適合し、前記1次荷電粒子ビームのビーム電流をキャリブレーションするための評価ユニットをさらに備える、請求項1〜5のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記評価ユニットがキャリブレーションデータを前記評価ユニットへ供給するための電位計およびファラデー箱に接続可能である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 少なくとも1個のシンチレーション要素が2個のシンチレーション要素を含み、第1のシンチレーション要素が前記試料場所と対向し、第2のシンチレーション要素が前記エミッタと対向する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記検出ユニットが前記1次荷電粒子ビームの前記試料への衝突中に前記1次荷電粒子ビームが侵入する開口をさらに備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記検出ユニットが前記第2のシンチレーション要素を前記1次荷電粒子ビーム内に位置合わせするために動かされる、請求項8または9のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 荷電粒子ビームを放射するエミッタと検出ユニットとを有する荷電粒子ビーム装置の1次ビームのビーム電流を測定する方法であって、
信号を生成するため、前記荷電粒子ビーム装置の前記エミッタから放射された1次荷電粒子ビームを前記検出ユニットの少なくとも1個のシンチレーション要素のうちの1個に導くステップと、
前記1個のシンチレーション要素に衝突する1次荷電粒子ビーム電流を表す信号を測定するステップと、
を備える方法。 - 前記検出ユニットが2次および/または後方散乱粒子を検出するために適合し、前記信号が光電子増倍管信号である、請求項11に記載の方法。
- 前記1次荷電粒子ビームを前記少なくとも1個のシンチレーション要素へ導くステップが、前記1次荷電粒子ビームを偏向させる工程を含み、および/または、前記1次荷電粒子ビームを前記少なくとも1個の要素へ導くステップが、前記少なくとも1個のシンチレーション要素のうちの前記1個を動かす工程を含む、請求項11または12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記光電子増倍管信号を電位計測定でキャリブレーションするステップをさらに備える、請求項11〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 荷電粒子ビーム装置の1次ビームのビーム電流をキャリブレーションする方法であって、
請求項11〜14のうちのいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム電流を測定する方法と、
前記荷電粒子ビーム電流を調節するステップと、
を備える方法。
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