JP2009183800A - 純水製造方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】原水槽1から取り出して前処理槽2で前処理をした原水を、供給ポンプ3で第1乃至第4加熱用熱交換器41、42、43、44に順次通した後、脱気装置5と冷却用熱交換器52に通して受水槽6で受水し、RO装置7に供給して純水の分離処理を行い、処理後の処理水をリソグラフィー工程等に送給する。制御部20により、原水槽1内の原水の温度と、受水槽6内の原水の温度に基づいて、RO装置7から第1加熱用熱交換器41に供給するブラインの流量と、冷凍装置101から第2加熱用熱交換器42に供給する熱媒体の流量と、コンプレッサー装置102から第3加熱用熱交換器43に供給する熱媒体の流量と、ボイラー装置103から第4加熱用熱交換器44に供給する熱媒体の流量と制御する。
【選択図】図1
Description
6 受水槽
7 RO装置(逆浸透膜分離装置)
11 第1水温センサ
12 第2水温センサ
20 制御部
41 第1加熱用熱交換器
42 第2加熱用熱交換器
43 第3加熱用熱交換器
44 第4加熱用熱交換器
Claims (4)
- 複数の熱交換器を通して温度制御した原水を逆浸透膜分離装置に通して純水を製造する純水製造方法であって、原水槽及び受水槽内の原水の温度を検出し、その検出温度に応じて、複数の熱交換器の熱出力を制御して受水槽内の原水の温度を所定値に制御し、受水槽から逆浸透膜分離装置に原水を送給することを特徴とする純水製造方法。
- 複数の熱交換器に、逆浸透膜分離装置のブライン廃熱、冷凍廃熱、コンプレッサー廃熱及びボイラー廃熱のうちの少なくとも一つを供給することを特徴とする請求項1記載の純水製造方法。
- 複数の熱交換器を通して温度制御した原水を逆浸透膜分離装置に通して純水を製造する純水製造装置であって、原水槽と、熱媒体の供給量を調整する調整弁が夫々設けられた複数の熱交換器と、受水槽と、逆浸透膜分離装置とをこの順に接続し、原水槽内の原水の温度を検出する第1水温センサと、受水槽内の原水の温度を検出する第2水温センサとに応じて複数の熱交換器の調整弁を制御する制御部を設けたことを特徴とする純水製造装置。
- 複数の熱交換器に、逆浸透膜分離装置のブライン廃熱、冷凍廃熱、コンプレッサー廃熱及びボイラー廃熱で加熱された熱媒体のうちの少なくとも一つを供給することを特徴とする請求項3記載の純水製造装置。
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