JP2009180642A - 物理量センサおよび物理量計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量センサは、半導体レーザ1と、三角波の極大部と極小部とを丸めた波形の駆動電流を半導体レーザ1に供給するレーザドライバ4と、半導体レーザ1から放射されたレーザ光と測定対象10からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段(フォトダイオード2、電流−電圧変換増幅器5)と、干渉波形の情報から、測定対象の物理量を計測する計測手段(フィルタ回路6、計数装置7、演算装置8)とを有する。
【選択図】 図1
Description
L=qλ/2 ・・・(1)
式(1)において、qは整数である。この現象は、測定対象104からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザの共振器101内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
ただし、自己結合型を含め従来の干渉型計測器では、静止した測定対象との距離を計測することはできても、速度を持つ測定対象の距離を計測することはできないという問題点があった。
しかしながら、図10、図12に示した従来の自己結合型のレーザ計測器では、半導体レーザの発振波長を三角波状に変化させているため、三角波の頂点の過渡応答の影響を完全に除くことができないという問題点があった。図14(A)、図14(B)は従来の自己結合型のレーザ計測器の問題点を説明するための図であり、図14(A)は図12の電流−電圧変換増幅器205の出力電圧波形を模式的に示す図、図14(B)は信号抽出回路206の出力電圧波形を模式的に示す図である。
また、本発明の物理量センサの1構成例において、前記駆動電流の波形は、前記三角波の極大部と極小部を正弦波の極大部と極小部に置き換えた波形である。
また、本発明の物理量センサの1構成例において、前記駆動電流の波形は、基本周波数の正弦波とその高次周波数の正弦波とを合成した波形である。
また、本発明の物理量センサの1構成例において、前記計測手段は、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記半導体レーザの発振波長の上昇側の計数期間と前記発振波長の下降側の計数期間の各々について数える計数手段と、前記半導体レーザの最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度の少なくとも一方を算出する演算手段とからなるものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態となる距離・速度計の構成を示すブロック図である。図1の距離・速度計は、測定対象10にレーザ光を放射する半導体レーザ1と、半導体レーザ1の光出力を電気信号に変換する受光器であるフォトダイオード2と、半導体レーザ1からの光を集光して測定対象10に照射すると共に、測定対象10からの戻り光を集光して半導体レーザ1に入射させるレンズ3と、半導体レーザ1を駆動するレーザドライバ4と、フォトダイオード2の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅器5と、電流−電圧変換増幅器5の出力電圧から搬送波を除去するフィルタ回路6と、フィルタ回路6の出力電圧に含まれるMHPの数を数える計数装置7と、MHPの数から測定対象10との距離及び測定対象10の速度を算出する演算装置8と、演算装置8の算出結果を表示する表示装置9とを有する。
以下、説明容易にするために、半導体レーザ1には、モードホッピング現象を持たない型(VCSEL型、DFBレーザ型)のものが用いられているものと想定する。
図3(C)のような合成波形の駆動電流を生成するには、例えばレーザドライバ4内のメモリ(不図示)に図3(C)のような波形の駆動電流のデジタル値を予め設定しておき、このデジタル値をD/Aコンバーター(不図示)でアナログ信号に変換して、レーザドライバ4から出力すればよい。
Lα(t)=λa×λb×(MHP(t−1)+MHP(t))
/{4×(λb−λa)} ・・・(2)
Lβ(t)=λa×λb×(|MHP(t−1)−MHP(t)|)
/{4×(λb−λa)} ・・・(3)
Vα(t)=(MHP(t−1)−MHP(t))×λb/4 ・・・(4)
Vβ(t)=(MHP(t−1)+MHP(t))×λb/4 ・・・(5)
Vcalα(t)=Lα(t)−Lα(t−1) ・・・(6)
Vcalβ(t)=Lβ(t)−Lβ(t−1) ・・・(7)
次に、演算装置8の状態判定部83は、記憶部82に格納された式(2)〜式(7)の算出結果を用いて、測定対象10の状態を判定する(図6ステップS12)。
すなわち、距離・速度確定部84は、測定対象10が微小変位状態で等速度運動していると判定された場合、速度の候補値Vα(t)を測定対象10の速度とし、距離の候補値Lα(t)を測定対象10との距離とし、測定対象10が変位状態で等速度運動していると判定された場合、速度の候補値Vβ(t)を測定対象10の速度とし、距離の候補値Lβ(t)を測定対象10との距離とする。
表示装置9は、演算装置8によって算出された測定対象10との距離及び測定対象10の速度をリアルタイムで表示する。
第1の実施の形態では、三角波の極大部と極小部を正弦波の極大部と極小部に置き換えた波形の駆動電流を半導体レーザ1に供給したが、図1の距離・速度計の構成において、複数の正弦波の合成波形の駆動電流を半導体レーザ1に供給するようにしてもよい。この場合の半導体レーザ1の発振波長の時間変化を図7に示す。
図8は、図1のフィルタ回路6の構成の1例を示す図である。フィルタ回路6は、搬送波(半導体レーザ1の発振波形)除去用のハイパスフィルタ60と、ノイズ除去用のローパスフィルタ61とから構成される。
fc0<fmin ・・・(8)
fmax<fc1 ・・・(9)
10×f=f’<fc0 ・・・(10)
式(8)〜式(10)の条件を満たしつつ、フィルタ回路6の出力に発生する過渡応答波形を充分に小さくするためには、基本周波数fの正弦波と少なくとも3次から7次までの各奇数の高次周波数の正弦波とを合成した発振波形を用いることが望ましい。
その他の構成は第1の実施の形態と同じである。
第1、第2の実施の形態では、MHP波形を含む電気信号を検出する検出手段としてフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅器5とを用いたが、フォトダイオードを使用することなくMHP波形を抽出することも可能である。図9は本発明の第3の実施の形態となる距離・速度計の構成を示すブロック図であり、図1と同様の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の距離・速度計は、第1の実施の形態のフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅器5の代わりに、検出手段として電圧検出回路11を用いるものである。
半導体レーザ1、レーザドライバ4、計数装置7、演算装置8および表示装置9の動作は、第1、第2の実施の形態と同じである。
Claims (10)
- 測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
三角波の極大部と極小部とを丸めた波形の駆動電流を前記半導体レーザに供給するレーザドライバと、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の情報から、前記測定対象の物理量を計測する計測手段とを有することを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1記載の物理量センサにおいて、
前記駆動電流の波形は、前記三角波の極大部と極小部を正弦波の極大部と極小部に置き換えた波形であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1記載の物理量センサにおいて、
前記駆動電流の波形は、基本周波数の正弦波とその高次周波数の正弦波とを合成した波形であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の物理量センサにおいて、
前記測定対象の物理量は、前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度の少なくとも一方であることを特徴とする物理量センサ。 - 請求項4記載の物理量センサにおいて、
前記計測手段は、
前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記半導体レーザの発振波長の上昇側の計数期間と前記発振波長の下降側の計数期間の各々について数える計数手段と、
前記半導体レーザの最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度の少なくとも一方を算出する演算手段とからなることを特徴とする物理量センサ。 - 半導体レーザを用いて測定対象にレーザ光を放射する物理量計測方法において、
三角波の極大部と極小部とを丸めた波形の駆動電流を前記半導体レーザに供給して前記半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の情報から、前記測定対象の物理量を計測する計測手順とを備えることを特徴とする物理量計測方法。 - 請求項6記載の物理量計測方法において、
前記駆動電流の波形は、前記三角波の極大部と極小部を正弦波の極大部と極小部に置き換えた波形であることを特徴とする物理量計測方法。 - 請求項6記載の物理量計測方法において、
前記駆動電流の波形は、基本周波数の正弦波とその高次周波数の正弦波とを合成した波形であることを特徴とする物理量計測方法。 - 請求項6乃至8のいずれか1項に記載の物理量計測方法において、
前記測定対象の物理量は、前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度の少なくとも一方であることを特徴とする物理量計測方法。 - 請求項9記載の物理量計測方法において、
前記計測手順は、
前記検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記半導体レーザの発振波長の上昇側の計数期間と前記発振波長の下降側の計数期間の各々について数える計数手順と、
前記半導体レーザの最小発振波長と最大発振波長と前記計数手順の計数結果とから前記測定対象との距離及び前記測定対象の速度の少なくとも一方を算出する演算手順とを含むことを特徴とする物理量計測方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2460357A1 (en) * | 2009-07-31 | 2012-06-06 | Lemoptix SA | Optical micro-projection system and projection method |
JP2011033525A (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-17 | Yamatake Corp | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
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CN102661817A (zh) * | 2012-06-01 | 2012-09-12 | 杭州欧忆光电科技有限公司 | 一种自动配置参数的分布式光纤温度传感系统及配置方法 |
US9746560B2 (en) * | 2013-02-12 | 2017-08-29 | Faro Technologies, Inc. | Combination scanner and tracker device having a focusing mechanism |
JP2016014616A (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-28 | アズビル株式会社 | 速度変移計測装置および方法 |
DE102017131389B4 (de) * | 2017-12-28 | 2022-05-05 | fos4X GmbH | Verfahren zum Kalibrieren von Nominalfrequenzen |
CN110609568B (zh) * | 2019-09-24 | 2021-01-05 | 广东名阳信息科技有限公司 | 一种大型无人机uav的强自耦pi协同控制方法 |
EP4083567B1 (en) * | 2021-04-30 | 2024-06-12 | TRUMPF Photonic Components GmbH | Laser sensor, system and method for self-mixing interferometry |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02112784A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Tokyo Koku Keiki Kk | 距離検出装置 |
JP2003161775A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 目標検知方法およびレーダ装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB647583A (en) * | 1947-05-09 | 1950-12-20 | Marconi Wireless Telegraph Co | Improvements in radio location and detection arrangements |
JP4087247B2 (ja) * | 2000-11-06 | 2008-05-21 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 入力デバイスの移動の測定方法 |
JP5172077B2 (ja) | 2005-05-06 | 2013-03-27 | アズビル株式会社 | 距離・速度計および距離・速度計測方法 |
US7712955B2 (en) * | 2007-12-17 | 2010-05-11 | Chinhua Wang | Non-contact method and apparatus for hardness case depth monitoring |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02112784A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Tokyo Koku Keiki Kk | 距離検出装置 |
JP2003161775A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 目標検知方法およびレーダ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015145877A (ja) * | 2015-03-31 | 2015-08-13 | アズビル株式会社 | 計数装置、物理量センサ、計数方法および物理量計測方法 |
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