JP2009177031A - 光半導体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光半導体を用いた光モジュールを製造するためのコストの増加を抑えた、基板を透過して光の入射や出射を行う光半導体を提供する。
【解決手段】光透過性を有する基板11と、基板11の表側に形成され、光電変換を行うフォトダイオード部12と、基板11の裏側における、フォトダイオード12の裏側以外の領域に形成された、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと、基板11の表側に形成され、フォトダイオード部12と電気的に接続される表側電極13(表側n電極13a及び表側p電極13b)と、を備え、表側電極13が、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと連絡されている。
【選択図】図2
【解決手段】光透過性を有する基板11と、基板11の表側に形成され、光電変換を行うフォトダイオード部12と、基板11の裏側における、フォトダイオード12の裏側以外の領域に形成された、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと、基板11の表側に形成され、フォトダイオード部12と電気的に接続される表側電極13(表側n電極13a及び表側p電極13b)と、を備え、表側電極13が、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと連絡されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、光半導体及びその製造方法に関する。
図8に示すような、受光素子10がある。この受光素子10は、基板11と、基板の表側に形成されたフォトダイオード部12と、基板11の表側に形成された表側電極13を備えている。この受光素子10が、基板11の表側から受光する際には、図9に示すように、フォトダイオード部12の一部を表側電極13がさえぎるので、受光効率が低下する。
一方、図10に示す受光素子10のような、基板11の裏側から受光する受光素子10、すなわち、基板11を透過して受光する受光素子10がある。図10に示すような受光素子10であれば、フォトダイオード部12を表側電極13がさえぎらないため、受光効率の低下を防ぐことができる。また、保護膜と電極によりミラー構造24を形成でき、透過した光が反射されるため、受光効率を向上することができる。
しかし、図10に示すような、基板11の裏側から受光する受光素子10を用いた光モジュールを実装する際には、図11に示すように、受光素子10をひっくり返すこととなるため、サブマウント40が必要となる。このことは、光モジュールを製造するためのコストの増加につながるおそれがある。
なお、このことは、基板11を透過して受光する受光素子10だけではなく、基板11を透過して光の入射や出射を行う光半導体一般においてもあてはまる。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、光半導体を用いた光モジュールを製造するためのコストの増加を抑えた、基板11を透過して光の入射や出射を行う光半導体を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明に係る光半導体は、光透過性を有する基板と、前記基板の表側に形成され、光電変換を行う光電変換部と、前記基板の裏側における、前記光電変換部の裏側以外の領域に形成された、裏側n電極及び裏側p電極と、前記基板の表側に形成され、前記光電変換部と電気的に接続される表側電極と、を備え、前記表側電極が、前記裏側n電極及び前記裏側p電極と連絡されていることを特徴とする。
また、本発明に係る光半導体の製造方法は、光透過性を有する基板の表側に光電変換を行う光電変換部を形成する工程と、前記基板の表側の前記光電変換部以外の領域に表側凹部を形成する工程と、前記基板の表側凹部の底面を少なくとも含む領域に保護膜を形成する工程と、前記保護膜上に、前記基板の表側に形成され、光電変換を行う光電変換部と電気的に接続される表側電極を形成する工程と、前記基板の表側凹部の裏側に、前記基板の表側凹部の底面に形成された保護膜に到達する裏側凹部を形成する工程と、少なくとも前記裏側凹部の底面を含む領域に、前記表側凹部の底面上に形成された保護膜に接触する、光の反射量を軽減する反射防止膜を形成する工程と、前記保護膜と、該保護膜に接する前記反射防止膜とに、前記表側電極に到達する連続穴を形成する工程と、前記穴を介して前記表側電極と接する裏側n電極及び裏側p電極を、前記基板の裏側における、前記光電変換部の裏側以外の領域に形成する工程とを含むことを特徴とする。
本発明によれば、表側に光電変換部が形成され、裏側に裏側n電極及び裏側p電極が形成されるので、この光半導体を用いた光モジュールを実装する際に、基板を透過して光の入射や出射を行うよう、この光半導体をひっくり返しても、サブマウントが不要となるため、この光半導体を用いた光モジュールを製造するコストの増加を抑えることができる。
また、前記光半導体が備える前記基板には穴が設けられており、前記表側電極が、前記基板に設けられた穴を通って、前記裏側n電極及び前記裏側p電極と連絡されていてもよい。
また、前記光半導体が備える前記基板の裏側に、光の反射量を軽減する反射防止膜が形成されていてもよい。
また、前記光半導体が備える前記表側電極上に保護膜が形成されていてもよい。
以下、本発明の実施形態について図面に基づき詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る光半導体である受光素子10の平面図である。図2は、図1中の矢印II−II方向に沿って切断した切り口を展開した様子を模式的に示した展開断面図である。図3A〜図3Mは、受光素子10の表側を加工する際の主要な製造工程における、図1中の矢印II−II方向に沿って切断した切り口を展開した様子を模式的に示した展開断面図である。図4A〜図4Mは、受光素子10の表側を加工する際の主要な製造工程における平面図である。図5A〜図5Eは、受光素子10の裏側を加工する際の主要な製造工程における、図1中の矢印II−II方向に沿って切断した切り口を展開した様子を模式的に示した展開断面図である。図6A〜図6Eは、受光素子10の裏側を加工する際の主要な製造工程における底面図である。
本実施形態に係る受光素子10は、厚さ100μm程度の平板状の基板11と、厚さ2.0μm程度のフォトダイオード部12と、表側電極13(表側n電極13a、及び、表側p電極13b)、裏側電極14(裏側n電極14a、及び、裏側p電極14b)と、厚さ0.6μm程度の第1保護膜15−1と、厚さ0.4μm程度の第2保護膜15−2と、厚さ0.2μ程度の反射防止膜16と、金属支持部17と、を備えている。
ここで、図1及び図2に示す受光素子10の製造方法を、図3A〜図3M、図4A〜図4M、図5A〜図5E、図6A〜図6Eを参照しながら説明する。
まずは、受光素子10の表側についての製造方法を図3A〜図3M、図4A〜図4Mを参照しながら説明する。
まず、結晶成長やドーピングなどにより、厚さ450μm程度の平板状の基板11上に、厚さ0.3μm程度のn型コンタクト層12a、厚さ1.5μm程度の吸収層12b、厚さ0.2μm程度のp型コンタクト層12cを、順に積み重なるよう形成する(図3A、及び、図4A参照)。
基板11は、光透過性を有しており、例えば、半絶縁性の、鉄をドープしたインジウム燐(Fe−InP)などにより形成されている。n型コンタクト層12aは、例えば、不純物濃度が1.0×1018cm−3程度のインジウム燐(InP)などにより形成されている。吸収層12bは、不純物濃度が5.0×1014cm−3程度のインジウムガリウム砒素(InGaAs)などにより形成されている。p型コンタクト層12cは、不純物濃度が1.0×1019cm−3程度のインジウムガリウム砒素(InGaAs)などにより形成されている。
そして、p型コンタクト層12c上の略中央の領域に、角がまるく形成された四角形断面のマスク18を形成する(図3B、及び、図4B参照)。マスク18は、例えば、フォトレジストや酸化膜などにより形成されている。マスク18によって覆われる領域については、後述するメサエッチングによって削られない。
そして、マスク18で覆われている領域を残して、n型コンタクト層12a、吸収層12b、p型コンタクト層12cについて、1回目のメサエッチングを行う(図3C、及び、図4C参照)。
そして、マスク18をp型コンタクト層12c上から除去する(図3D、及び、図4D参照)。
そして、1回目のメサエッチングの際に、p型コンタクト層12c上を覆ったマスク18よりも小さな略円形のマスク18(図示せず)を、1回目のメサエッチングによって削られていない領域上に形成して、このマスク18で覆われた領域を残して、吸収層12bと、p型コンタクト層12cについて、2回目のメサエッチングを行う。そして、p型コンタクト層12c上を覆ったマスク18を除去する(図3E、及び、図4E参照)。
このようにして、光透過性を有する基板11の表側に光電変換を行うフォトダイオード部12が形成される。具体的には、基板11上に、角が円く形成された方形板状のn型コンタクト層12aと、n型コンタクト層12a上に形成された、n型コンタクト層12aより断面積が小さな略円柱状の吸収層12bと、吸収層12bと同一断面形状の略円板状のp型コンタクト層12cとを含むフォトダイオード部12が形成される。なお、本実施形態においては、フォトダイオード部12は、PINフォトダイオードである。
そして、フォトダイオード部12が覆われるまで半絶縁性Fe−InPで形成された基板11について、結晶再成長を行う(図3F、及び、図4F参照。)
そして、基板11上の四隅付近の方形状領域と、p型コンタクト層12cの周囲を囲むリング状の領域にマスク18(図示せず)を形成し、基板11について、3回目のメサエッチングを行い、マスク18を除去する。そうすると、基板11上の四隅付近に角柱状支持部11aが形成され、フォトダイオード部12の吸収層12b及びp型コンタクト層12cの周囲にガードリング11bが形成される(図3G、及び、図4G参照)。ガードリング11bは、吸収層12b、及び、p型コンタクト層12cの周囲に形成され、リーク電流を低減し、高い信頼性を得る。
そして、フォトダイオード部12を挟んで向かい合う、2つの基板11の辺に沿って隣接する2つの角柱状支持部11aの間の領域をそれぞれエッチングして、2つの表側凹部19(n電極用表側凹部19a、及び、p電極用表側凹部19b)を形成する(図3H、及び、図4H参照)。このようにして、基板11の表側の、フォトダイオード部12以外の領域に表側凹部19が形成される。
そして、基板11の表側に第1保護膜15−1を形成する(図3I、及び、図4I参照)。このとき、基板11の表側に形成されているフォトダイオード部12のp型コンタクト層12c上にも第1保護膜15−1を形成する。このときもちろん、基板11の表側凹部19の底面の領域には少なくとも第1保護膜15−1が形成されている。第1保護膜15−1は、基板11やp型コンタクト層12cを保護する。
第1保護膜15−1は、例えば、基板11上に形成される0.2μm程度の窒化シリコン(SiN)層と、窒化シリコン層上に形成される0.4μm程度の酸化シリコン(SiO2)層との2層を含んで形成されている。
そして、n型コンタクト層12a上に形成された第1保護膜15−1の一部に、n型コンタクト層12aに到達する三日月状溝20を形成する。また、p型コンタクト層12c上に形成された第1保護膜15−1の一部に、p型コンタクト層12cに到達するドーナツ状溝21を形成する(図3J、及び、図4J参照)。
そして、三日月状溝20からn電極用表側凹部19aの底面に至る、n型コンタクト層12aに接触する金属製の表側n電極13aを形成する。すなわち、表側n電極13aは、n型コンタクト層12aと、n電極用表側凹部19aの底面とを連絡している。そして、ドーナツ状溝21からp電極用表側凹部19bの底面に至る、p型コンタクト層12cに接触する金属製の表側p電極13bを形成する。すなわち、表側p電極13bは、p型コンタクト層12cと、p電極用表側凹部19bの底面とを連絡している。また、保護膜と電極よりミラー構造24が形成される(図3K、及び、図4K参照)。このように、表側電極13は、基板11の表側に形成され、フォトダイオード部12と電気的に接続される。これらの表側電極13は、例えば、蒸着などの方法により形成される。もちろん、他のメッキの方法などを用いて表側電極13を形成してもよい。
そして、基板11の表側に、第2保護膜15−2を形成する(図3L、及び、図4L参照)。このとき、表側電極13上にも第2保護膜15−2が形成される。第2保護膜15−2は、例えば、0.4μm程度の酸化シリコン(SiO2)を含んで形成される。第2保護膜15−2によって、表側電極13が露出されないようになっている。
そして、基板11の4つの角に形成された角柱状支持部11a上に、金属を蒸着させて、金属支持部17を形成する(図3M、及び、図4M参照)。もちろん、他の方法により金属支持部17を形成してもよい。
このようにして、受光素子10の表側が加工される。
次に、受光素子10の裏側についての製造方法を図5A〜図5E、図6A〜図6Eを参照しながら説明する。
そして、基板11を、厚さが100μm程度になるまで、裏側から研磨する(図5A、及び、図6A参照)。
そして、基板11の表側凹部19の裏側に、基板11の表側凹部19の底面に形成された第1保護膜15−1に到達する裏側凹部22を形成する。具体的には、基板11上に形成されたn電極用表側凹部19aの裏側と、p電極用表側凹部19bの裏側をそれぞれエッチングして、基板11の表側凹部19の底面に形成された第1保護膜15−1に到達する、2つの裏側凹部22(n電極用裏側凹部22a、及び、p電極用裏側凹部22b)を形成する(図5B、及び、図6B参照)。このことからわかるように、本実施形態に係る受光素子10が備える基板11には、穴が設けられている。
そして、基板11の裏側に反射防止膜16を形成する(図5C、及び、図6C参照)。このとき、2つの裏側凹部22(n電極用裏側凹部22a、及び、p電極用裏側凹部22b)の底面については、第1保護膜15−1と反射防止膜16とが接触することとなる。すなわち、少なくとも裏側凹部22の底面を含む領域に、表側凹部19の底面上に形成された第1保護膜15−1に接触する反射防止膜16が形成される。後述するように、反射防止膜16は、フォトダイオード部12に入射する光の反射量を軽減する。
そして、第1保護膜15−1と、第1保護膜15−1に接する反射防止膜16とに、表側電極13に到達する連続穴23を形成する。具体的には、基板11の裏側に形成された2つの裏側凹部22(n電極用裏側凹部22a、及び、p電極用裏側凹部22b)の底面の反射防止膜16と、反射防止膜16に接触する第1保護膜15−1とに、表側電極13に到達する連続穴23を形成する(図5D、及び、図6D参照)。
そして、基板11の裏側に金属製の裏側n電極14aと、裏側p電極14bと、を形成する。裏側n電極14aは、n電極用裏側凹部22aに近い2つの角のうちの1つに設けられた、角が円く形成された方形板部と、この方形板部とn電極用裏側凹部22aの底面とを基板11の裏側に沿って連絡する連絡部とを含んでいる。裏側p電極14bは、裏側n電極14aの方形板部が設けられた角の反対側の角に設けられた、角が円く形成された方形板部と、方形板部とp電極用裏側凹部22bの底面とを基板11の裏側に沿って連絡する連絡部とを含んでいる。(図5E、及び、図6E参照)。これらの裏側電極14は、例えば、蒸着などの方法により形成される。もちろん、他のメッキの方法などを用いて裏側電極14を形成してもよい。このようにして、基板11の裏側における、フォトダイオード部12の裏側以外の領域に、基板11に設けられた穴を介して表側電極13と接する裏側n電極14a及び裏側p電極14bが形成される。
このとき、表側電極13は、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと連絡されている。具体的には、裏側n電極14aは、n電極用裏側凹部22aの底面(n電極用表側凹部19aの底面でもある。)において、表側n電極13aと連絡されている。また、裏側p電極14bは、p電極用裏側凹部22bの底面(p電極用表側凹部19bの底面でもある。)において、表側n電極13bと連絡されている。このように、本実施形態では、表側電極13は、基板11に設けられた穴を通って、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと連絡されている。このようにして、裏側n電極14aは、n型コンタクト層12aと電気的に接続され、裏側p電極14bは、p型コンタクト層12cと電気的に接続される。
このようにして、図1、及び、図2に示す光電素子10ができあがる。
次に、本発明の一実施形態に係る受光素子10に対して光線が入射する状況を、図7の説明図を参照しながら説明する。
図7は、本発明の一実施形態に係る受光素子10を備えた光モジュール30に対して光線が入射する状況を示す説明図である。図7に示すように、光モジュール30は、ステム31を備えている。そして、ステム31と、角柱状支持部11a上に形成された金属支持部17とを溶接するなどして、受光素子10はステム31上に搭載される。
受光素子10の裏側n電極14a、及び、裏側p電極14bは、光モジュール30が備えるリード線(図示せず)などと電気的に接続された部品と、導電性のワイヤ32によってワイヤボンディングされ、電気的に接続されている。
受光素子10が備えるフォトダイオード部12の吸収層12bが、光透過性を有する基板11を通って入射した光を受けると、電子正孔対が発生し、電子がn型コンタクト層12aへ移動し、正孔がp型コンタクト層12cへ移動する。このことによって光電流が発生する。このようにして発生する光電流に基づく電気的な信号が、ワイヤ32を経由して図示しない通信装置へと伝送される。
このとき、基板11の裏側に形成された反射防止膜16は、光の反射量を軽減する。また、フォトダイオード部12に形成されたミラー構造24は光を反射し、受光効率を向上させる。
このように、本実施形態に係る受光素子10は、基板11を通して光の入射を行うので、フォトダイオード部12を表側電極13がさえぎらないため、受光効率の低下を防ぐことができる。また、サブマウント40を用いることなく、本実施形態に係る、基板11を通して光の入射を行う受光素子10を用いた光モジュールを製造することができる。そのため、本実施形態に係る受光素子10を用いた光モジュールを製造するためのコストを抑えることができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、受光素子10は、第1保護膜15−1や第2保護膜15−2を備えていなくてもよい。また、受光素子10は、反射防止膜16を備えていなくてもよい。また、受光素子10が備える基板11に穴が設けられていなくてもよい。すなわち、表側電極13が、基板11に設けられた穴を通って、裏側n電極14a及び裏側p電極14bと連絡されていなくてもよい。
また、本発明に係る受光素子10が備えるフォトダイオード部12は、本実施形態のような、PINフォトダイオードではなく、アバランシェフォトダイオードなどの他のフォトダイオードであってもよい。
また、フォトダイオード部12を、一般的な光電変換を行う光電変換部に置き換えても構わない。このとき、光電変換を行う光電変換部は基板11の表側に形成されることとなる。すなわち、フォトダイオード部12は、光電変換部の一例にすぎない。このことからわかるように、本発明を、発光ダイオードやレーザダイオードなどを備えた面発光型の発光素子を含め、光半導体一般に適用しても構わない。
また、受光素子10が備える部材の材料は、上記に説明したものに限定されない。
なお、以上の説明において示した具体的な数値は例示であり、示された数値に限定されるものではない。
なお、図1〜図11には、説明のため、厚さや大きさなどが強調して表現されている箇所がある。
10 受光素子、11 基板、11a 角柱状支持部、11b ガードリング、12 フォトダイオード部、12a n型コンタクト層、12b 吸収層、12c p型コンタクト層、13 表側電極、13a 表側n電極、13b 表側p電極、14 裏側電極、14a 裏側n電極、14b 裏側p電極、15−1 第1保護膜、15−2 第2保護膜、16 反射防止膜、17 金属支持部、18 マスク、19 表側凹部、19a n電極用表側凹部、19b p電極用表側凹部、20 三日月状溝、21 ドーナツ状溝、22 裏側凹部、22a n電極用裏側凹部、22b p電極用裏側凹部、23 連続穴、24 ミラー構造、30 光モジュール、31 ステム、32 ワイヤ、40 サブマウント。
Claims (5)
- 光透過性を有する基板と、
前記基板の表側に形成され、光電変換を行う光電変換部と、
前記基板の裏側における、前記光電変換部の裏側以外の領域に形成された、裏側n電極及び裏側p電極と、
前記基板の表側に形成され、前記光電変換部と電気的に接続される表側電極と、
を備え、
前記表側電極が、前記裏側n電極及び前記裏側p電極と連絡されている、
ことを特徴とする光半導体。 - 前記基板には穴が設けられており、
前記表側電極が、前記基板に設けられた穴を通って、前記裏側n電極及び前記裏側p電極と連絡されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光半導体。 - 前記基板の裏側に、光の反射量を軽減する反射防止膜が形成されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光半導体。 - 前記表側電極上に保護膜が形成されている、
ことを特徴とする請求項1乃至3に記載の光半導体。 - 光透過性を有する基板の表側に光電変換を行う光電変換部を形成する工程と、
前記基板の表側の前記光電変換部以外の領域に表側凹部を形成する工程と、
前記基板の表側凹部の底面を少なくとも含む領域に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜上に、前記基板の表側に形成され、光電変換を行う光電変換部と電気的に接続される表側電極を形成する工程と、
前記基板の表側凹部の裏側に、前記基板の表側凹部の底面に形成された保護膜に到達する裏側凹部を形成する工程と、
少なくとも前記裏側凹部の底面を含む領域に、前記表側凹部の底面上に形成された保護膜に接触する、光の反射量を軽減する反射防止膜を形成する工程と、
前記保護膜と、該保護膜に接する前記反射防止膜とに、前記表側電極に到達する連続穴を形成する工程と、
前記穴を介して前記表側電極と接する裏側n電極及び裏側p電極を、前記基板の裏側における、前記光電変換部の裏側以外の領域に形成する工程と、
を含むことを特徴とする光半導体の製造方法。
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