JP2009175146A - 距離測定装置 - Google Patents
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Abstract
できるだけ長期間にわたって測定精度および信頼性が保証されている、高い測定精度を有するカプセル封入されたコンパクトな距離測定装置を提供する。
【解決手段】
測定方向Xに沿って延びる管(24)であって、該管が、前記縦ガイド(12)によって測定方向Xに平行に案内されるように前記第2の測定素子(20)に接続されており、前記ハウジング(11)の開口部(25)を通して封止するように引き出されており、前記連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)が前記管(24)の内部に延び、前記管(24)が、前記管(24)の内部における、前記測定方向Xに直交して進行する前記連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)の補正移動を可能にする管(24)を備えていることにより解決される。
【選択図】 図1
Description
Claims (9)
- 第2の測定素子(20)に対する第1の測定素子(10)の相対移動によって、位置に依存する走査信号を生成可能である、2つの物体(1、2)の相対位置を測定するための距離測定装置であって、
−前記第1の測定素子(10)が割り当てられておりまた前記2つの物体の第1の物体(1)に接続可能であるハウジング(11)と、
−測定方向Xに沿って延びる連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)であって、該連結ロッドが、一方では、前記ハウジング(11)の内部の縦ガイド(12)で測定方向Xに移動可能な前記第2の測定素子(20)に接続されており、前記ハウジング(11)から引き出されているので、他方では、前記ハウジング(11)の外部で前記連結ロッドを前記2つの物体の第2の物体(2)に接続可能であり、前記連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)が、測定方向Xにおいて前記第2の測定素子(20)を前記第2の物体(2)に固定接続するが、前記測定方向Xに直交して進行する補正移動を可能にする連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)と、
を有する距離測定装置において、
−測定方向Xに沿って延びる管(24)であって、該管が、前記縦ガイド(12)によって測定方向Xに平行に案内されるように前記第2の測定素子(20)に接続されており、前記ハウジング(11)の開口部(25)を通して封止するように引き出されており、前記連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)が前記管(24)の内部に延び、前記管(24)が、前記管(24)の内部における、前記測定方向Xに直交して進行する前記連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)の補正移動を可能にする管(24)を備えていることを特徴とする距離測定装置。 - 前記測定素子の一方が、測定部(21)を有するスケール(20)であることと、前記測定素子の他方が、前記スケール(20)を走査する走査ユニット(10)であることを特徴とする請求項1に記載の距離測定装置。
- 前記第1の測定素子が前記走査ユニット(10)であることと、前記第2の測定素子が前記スケール(20)であることを特徴とする請求項2に記載の距離測定装置。
- 前記連結ロッド(22)が、前記測定方向Xに直交して屈曲可能に形成されている縦剛性線材であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の距離測定装置。
- 前記連結ロッド(22.1、22.2、22.3)が、長手方向に互いに離間した複数の継手(30、31、32)を有する縦剛性ロッドであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の距離測定装置。
- 前記継手が屈曲継手(30、31)であることを特徴とする請求項5に記載の距離測定装置。
- 前記管(24)が、前記連結ロッド(22、22.1、22.2、22.3)の前方の前記第2の測定素子(20)の領域において、前記ハウジング(11)の内部空間に対して閉鎖されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の距離測定装置。
- 前記ハウジング(11)の前記開口部(25)が、前記管(24)の外周と協働するスライドリングシールの形態のシール(26)によって封止されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の距離測定装置。
- 前記管(24)が、前記ハウジング(11)の前記開口部(25)において、さらにガイドブッシュ(27)により測定方向Xに案内されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の距離測定装置。
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