KR101512905B1 - 원자로 노즐 검사장치 - Google Patents

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김윤원
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한전케이피에스 주식회사
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Abstract

본 발명은 노즐 검사장치에 관한 것으로, 길이방향으로 긴 형상을 가지며, 길이방향을 따라서 회전가능하게 배치되는 제1 회전축 및 제2 회전축을 구비하는 지지부재와; 상기 지지부재의 일측에 형성되는 수용공간에 마련되며, 상기 제1 회전축에 회전력을 전달하는 제1 구동수단과; 상기 수용공간에 마련되며, 상기 제2 회전축에 회전력을 전달하는 제2 구동수단과; 상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축에 길이방향으로 이동가능하게 마련되며, 상기 제1 회전축의 회전에 의해서 길이방향으로 이동하는 이송체와; 일단이 상기 이송체에 회전가능하게 결합되며, 타단에 검사체가 설치되어 있으며, 상기 제2 회전축의 회전에 의해서 회전하는 이송로드를 포함한다. 이러한 구성을 가지는 본 발명의 노즐 검사장치는, 검사체를 직선운동 및 회전운동시키는 제1 구동수단 및 제2 구동수단을 지지부재에 일측에 마련하고, 검사체와 연결된 이송체가 제1 구동수단에 의해서 직선운동하며, 제2 구동수단에 의해서 검사체에 회전만을 전달하도록 함으로써, 검사체를 직선운동 및 회전운동 시키면서 전체적으로 부피를 줄일 수 있다.

Description

원자로 노즐 검사장치{Nozzle Inspection Apparatus for an Atomic Reactor}
본 발명은 원자로에 형성되어 있는 노즐의 결함을 검사하는 노즐 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사체에 대한 직선운동과 회전운동을 원활하게 제어할 수 있고, 직선운동의 행정(stroke)범위를 크게 할 수 있으며, 아울러 부피를 전체적으로 줄여서 간소화할 수 있는 구조를 가지는 원자로 노즐 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 원자로에는 원자로의 헤드 및 측면을 관통하는 다양한 노즐이 존재한다. 원자로의 헤드에 형성되는 노즐은 제어봉을 장착하기 위한 노즐이며. 또한 원자로의 측면에 형성되는 노즐은 비상용 냉각수를 공급하는 통로를 위한 노즐이다.
원자로에 형성된 노즐은 주기적으로 결함을 검사하여야 할 필요가 있으며, 또한 보수 후에도 결함을 검사하여야 할 필요가 있다. 이때 사용되는 검사체는 초음파 또는 와전류 등을 이용한 비접촉 검사체이다. 이러한 비접촉 검사체는 직선운동을 통해서 검사 위치까지 이동되고, 또한 축에 대한 회전운동을 통해서 노즐의 둘레를 따라서 노즐의 결함을 검사한다.
따라서 노즐 검사장치는, 검사체의 직선운동과 회전운동을 자동으로 조절하도록 구성된다. 종래 노즐 검사장치로는, 대한민국 등록특허 제10-0680482호(특허문헌 1)에 개시된 노즐 검사장치가 있다.
특허문헌 1에 개시된 종래 노즐 검사장치는, 지지대 내에 검사체를 직선운동시키는 직선구동모터와, 검사체를 회전운동시키는 회전구동모터를 구비하고 있다. 구체적으로, 직선구동모터는 지지대의 길이방향을 따라서 회전가능하게 장착된 볼스크류를 회전시키며, 이에 따라서 볼스크류에 장착된 볼너트가 볼스크류를 따라서 직선운동하는 구성으로 되어 있다. 또한 볼너트에는 검사체가 일단에 장착된 지지관이 연결되어 있기 때문에 볼너트의 직선운동에 의해서 검사체가 직선운동한다. 또한 회전구동모터는 위 지지관을 회전시킴으로써 검사체를 회전운동시킨다.
그런데, 이러한 종래 노즐 검사장치는, 직선구동모터의 회전에 의해서 직선운동하는 볼너트에 회전구동모터가 연결되어 있기 때문에, 회전구동모터 역시 지지대 내에서 함께 직선운동을 한다. 따라서 지지대가 회전구동모터의 직선운동을 허용하는 크기를 가져야 하기 때문에 노즐 검사장치의 부피가 커지는 문제점이 있다.
또한 위 종래 노즐 검사장치는 직선구동모터의 회전에 의해서만 검사체가 직선운동을 하기 때문에 그 행정범위에 제한이 있다는 문제점이 있다.
특허문헌 1 : 등록특허 제10-0680482호
본 발명은 앞서 설명한 종래 노즐 검사장치의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 직선구동수단(제1 구동수단)에 의해서 회전구동수단(제2 구동수단)은 길이방향으로 직선운동하지 않으면서 검사체는 직선운동하며, 또한 회전구동수단에 의한 회전에 의해서 검사체를 회전시킬 수 있도록 함으로써 전체적으로 부피를 줄일 수 있으며, 또한 검사체를 2단으로 직선운동시킬 수 있도록 함으로써 검사체의 직선운동 행정범위를 크게 할 수 있는 노즐 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 노즐 검사장치에 관한 것으로, 길이방향으로 긴 형상을 가지며, 길이방향을 따라서 회전가능하게 배치되는 제1 회전축 및 제2 회전축을 구비하는 지지부재와; 상기 지지부재의 일측에 형성되는 수용공간에 마련되며, 상기 제1 회전축에 회전력을 전달하는 제1 구동수단과; 상기 수용공간에 마련되며, 상기 제2 회전축에 회전력을 전달하는 제2 구동수단과; 상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축에 길이방향으로 이동가능하게 마련되며, 상기 제1 회전축의 회전에 의해서 길이방향으로 이동하는 이송체와; 일단이 상기 이송체에 회전가능하게 결합되며, 타단에 검사체가 설치되어 있으며, 상기 제2 회전축의 회전에 의해서 회전하는 이송로드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 제1 회전축은 외주면에 나사산이 형성되어 있는 볼스크류이며, 상기 이송체는 상기 볼스크류에 결합하는 볼너트를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 제2 회전축은 길이방향을 따라서 연장하는 홈 또는 돌기가 형성되어 있이 있으며, 상기 이송체는, 상기 홈 또는 상기 돌기에 대응하는 대응돌기 또는 대응홈이 내주면에 형성되어 있으며 상기 이송체 내에 회전가능하게 장착되는 회전체를 구비하며, 상기 회전체는 상기 제2 회전축의 회전에 의해서 회전되어 상기 이송로드를 회전시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 이송로드는, 중공형상의 실린더 몸체와, 상기 실린더 몸체의 내측에는 공압에 의해서 상기 실린더 몸체에 대해서 신축가능하게 마련된 실린더 로드를 구비하며, 상기 실린더 로드의 선단에 상기 검사체가 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 실린더 로드는 외주면이 각이 진 형상을 가지며, 상기 실린더 몸체의 선단에서 상기 실린더 로드가 통과하는 통과홀은 상기 실린더 로드의 외주면과 대응하는 각이진 형상을 가지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 실린더 몸체의 외측에 고정되는 고정부재와, 상기 이송로드의 길이방향을 따라서 상기 고정부재에 고정되는 고정튜브와, 일단이 상기 고정튜브에 이동가능하게 수용되어 있으며, 타단이 상기 검사체에 고정되어 있는 이동튜브를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 고정튜브 및 상기 이동튜브 내측으로는 상기 검사체와 전기적 신호를 주고받기 위한 전선이 통과하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 노즐 검사장치에 있어서, 상기 수용공간은 외부와는 밀폐되어 있으며, 내측에 퍼지가스가 채워져 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르는 노즐 검사장치는, 검사체를 직선운동 및 회전운동시키는 제1 구동수단 및 제2 구동수단을 지지부재에 일측에 마련하고, 검사체와 연결된 이송체가 제1 구동수단에 의해서 직선운동하며, 제2 구동수단에 의한 회전을 검사체에 전달하도록 함으로써, 종래 노즐 검사장치와 같이 회전구동모터가 직선운동하지 않아도 되기 때문에 전체적으로 부피를 줄일 수 있다.
또한 본 발명에 따르는 노즐 검사장치는 제1 구동수단 및 실린더 로드에 의해서 검사체를 2단으로 직선운동시킬 수 있기 때문에 검사체의 직선운동 행정범위를 종래 노즐 검사장치에 비해서 크게 할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 나타내는 사시도로서, 검사체가 수축된 상태를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 후방에서 본 사시도.
도 3은 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 나타내는 사시도로서, 검사체가 나타내는 신장된 상태를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 나타내는 사시도로서, 검사체가 회전하는 상태를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명에 따르는 노즐 검사장치의 이송체 부분을 확대하여 나타내는 사시도.
도 6은 본 발명에 따르른 노즐 검사장치의 제2 회전축과 이송체와의 결합을 나타내는 단면도.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따르는 노즐 검사장치의 실시형태에 대해서 보다 상세하게 설명한다. 또한 설명의 편의상 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 설명한다.
< 실시형태 >
도 1은 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 나타내는 사시도로서, 검사체가 수축된 상태를 나타내는 도면이며, 도 2는 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 후방에서 본 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 나타내는 사시도로서, 검사체가 나타내는 신장된 상태를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명에 따르는 노즐 검사장치를 나타내는 사시도로서, 검사체가 회전하는 상태를 나타내는 도면이며, 도 5는 본 발명에 따르는 노즐 검사장치의 이송체 부분을 확대하여 나타내는 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따르른 노즐 검사장치의 제2 회전축과 이송체와의 결합을 나타내는 단면도이다. 참고로 설명의 편의상 도 1에 도시된 것과 같이 지지부재(100)의 길이방향을 X방향, 이에 직각인 방향을 Y방향으로 하여 설명하며, 지지부재(100)를 기준으로 하여 -Y방향을 '전방', 그리고 +Y방향을 '후방'으로 하여 설명한다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따르는 노즐 검사장치는 길이방향(X방향)으로 긴 형상을 가지는 지지부재(100), 지지부재(100)에 마련된 제1 구동수단(210) 및 제2 구동수단(220), 지지부재(100)에 대해서 길이방향으로 이동가능하게 마련된 이송체(300), 이송체(300)의 이동에 따라서 이동됨과 아울러 단부에 검사체(500)가 장착되어 있는 이송로드(400)를 포함한다.
지지부재(100)는 대략 직육면체의 형상을 가지고 있으며, 그 상면(101)에는 길이방향을 따라서 눈금이 표시되어 있다. 따라서 길이방향으로 이동하는 이송체(300)의 이동거리 등을 파악할 수 있다.
또한 지지부재(100)의 일측에는 제1 구동수단(210) 및 제2 구동수단(220)이 수용되는 수용공간(130)이 형성되어 있으며, 타측에는 수축된 상태의 검사체(500)가 지지되는 지지판(102)이 마련되어 있다(도 1 참조). 지지판(102)은 중앙에 관통홀이 형성되어 있으며 이 관통홀에 검사체(500)가 수축된 상태에서 지지된다.
그리고, 도 3에 도시된 것과 같이 지지부재(100)에는 길이방향을 따라서 제1 회전축(110) 및 제2 회전축(120)이 회전가능하게 설치되어 있다.
지지부재(100)의 일측에 마련되는 수용공간(130)은, 도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이 수용프레임(131)에 의해서 형성되는 직육면체의 공간(130a)과 이 공간(130a)과 지지부재(100)의 후방으로 연통되는 공간(130b)으로 구성된다. 이 수용공간(130 : 130a, 130b))은 덮개(132) 및 덮개(133)에 의해서 덮여 있으며, 이에 의해서 외부와는 밀봉된 상태를 유지한다.
도 2를 참조하면, 제1 구동수단(210) 및 제2 구동수단(220)은 지지부재(100)의 후방에 마련되는 공간(130b)에 설치되며, 전기적 신호에 의해서 회전하는 DC 모터이다. 도 1을 참조하면, 지지부재(100)의 공간(130a)에는, 제1 구동수단(210)의 회전을 제1 회전축(110)으로 전달하는 회전전달수단(구동풀리(211), 타이밍 벨트(212), 피동풀리(213)) 및 제2 구동수단(220)의 회전을 제2 회전축(120)으로 전달하는 회전전달수단(구동풀리(221), 타이밍 벨트(222), 피동풀리(223))이 설치되어 있다.
구체적으로, 제1 구동수단(210)의 구동축에는 구동풀리(211)가 연결되어 있으며, 구동풀리(211)는 피동풀리(213)와 타이밍 벨트(212)에 연결되어 있고, 피동풀리(213)는 제1 회전축(110)에 연결된다. 또한 제2 구동수단(220)의 구동축에는 구동풀리(221)가 연결되어 있으며, 구동풀리(221)는 피동풀리(223)와 타이밍 벨트(222)에 연결되어 있고, 피동풀리(223)는 제2 회전축(120)에 연결된다.
이와 같이, 제1 및 제2 구동수단(210, 220) 및 이들의 회전을 제1 및 제2 회전축(110, 120)에 전달하는 회전전달수단이 지지부재(100)의 일측에 형성된 수용공간(130)에 마련됨으로써 본 발명에 따르는 노즐 검사장치는, 종래 노즐 검사장치가 대비하여 전체적으로 그 부피를 감소시킬 수 있다.
한편, 제1 회전축(110) 및 제2 회전축(120)은 각각 수용공간(130)을 감싸는 수용프레임(131)을 통과하여 피동풀리(213) 및 피동풀리(223)와 연결되는데, 이때 수용프레임(131)과 제1 회전축(110) 및 제2 회전축(120) 사이에는 2중의 씰링부재(리테이너(retainer), 미도시)가 마련되어 수용공간(130)을 밀봉한다. 또한 수용공간(130)의 내측에 퍼지가스를 주입하여 외부의 압력보다 높게 하여, 외부로부터 물 등이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 제1 회전축(110)은, 일단은 피동풀리(213)에 고정되어 피동풀리(213)의 회전에 의해서 회전하며, 타단은 지지부재(100)에 베어링 등을 매개로 회전가능하게 설치된다. 또한 제2 회전축(210) 역시 일단은 피동풀리(223)에 고정되어 피동풀리(223)의 회전에 의해서 회전하며, 타단은 지지부재(100)에 베어링 등을 매개로 회전가능하게 설치된다.
이송체(300)는 제1 회전축(110)에 대해서 길이방향으로 이동가능하게 장착된다. 구체적으로 제1 회전축(110)은 외주면에 나사산이 형성되어 있는 볼스크류이며, 이송체(300)는 도 5에 도시된 것과 같이 내주면에 나사산이 형성되어 있는 볼너트(310)를 포함하고 있다. 따라서 제1 회전축(110)이 회전하게 되면 볼스크류에 나사결합되어 있는 볼너트(310)가 나사산을 따라서 길이방향으로 이동하게 되고, 그 결과 이송체(300)가 길이방향으로 이동한다.
또한 도 5에 도시된 것과 같이 이송체(300)는 그 내측에 제2 회전축(120)의 회전에 의해서 회전하면서도 이송체(300)의 길이방향 이동을 방해하지 않는 회전체(320)를 구비하고 있다. 이는 제2 회전축(120)과 회전체(320)가 볼스플라인 결합함으로써 가능하다. 구체적으로 도 6에 도시된 것과 같이 제2 회전축(120)을 일측에 길이방향을 따라서 연장하는 홈(121)이 형성되어 있으며, 회전체(320)의 내주면에는 이 홈(121)에 삽입되는 대응돌기(321)가 형성되어 있다. 따라서 제2 회전축(120)이 회전을 하게 되면 홈(121)에 삽입되어 있는 대응돌기(321)로 인해서 회전체(320)가 함께 회전하게 되며, 또한 회전체(320)는 제2 회전축(120)에 대해서는 길이방향으로 이동가능하게 된다.
그리고, 회전체(320)는 외주면에 기어가 형성되어 있으며, 이송체(300)에 회전가능하게 설치된 회전기어(410)와 기어결합하여, 회전체(320)의 회전을 회전기어(410)에 전달한다.
한편, 이송로드(400)는 일단에는 회전기어(410)가 결합되며, 타단에는 검사체(500)가 결합되어 있다. 구체적으로 이송로드(400)의 일단은 도 5에 도시된 것과 같이 연결부재(420)를 통해서 이송체(300) 내에 마련된 회전기어(410)와 결합되어 있다. 따라서 회전체(320)의 회전에 의해서 회전기어(410)가 회전하고, 그 결과 이송로드(400)가 회전한다.
또한, 이송로드(400)는, 도 4에 도시된 것과 같이, 길이방향을 따라서 일정한 길이를 가지며, 일측에 외부로부터 공압이 유입되는 유입홀(431)이 형성된 실린더 몸체(430)와, 유입홀(431)을 통해서 공급된 공압에 의해서 실린더 몸체(430)에 대해서 길이방향으로 신축하는 실린더 로드(440)로 구성되어 있다. 구체적으로 실린더 로드(440)의 일단에는 실린더 몸체(430)의 내측에 이동가능하게 수용되는 피스톤(미도시)이 마련되어 있으며, 타단은 검사체(500)에 고정되어 있다.
따라서, 검사체(500)는 제1 회전축을 따라서 이동하는 이송체(300)의 길이방향으로의 이동에 의한 1차 행정범위를 가짐과 아울러, 공압에 의해서 실린더 로드(440)가 실린더 몸체(430)로부터 신장할 수 있기 때문에 이에 의한 길이방향으로의 2차 행정범위를 추가적으로 가질 수 있다. 그 결과 종래의 노즐 검사장치와 대비하여 검사체(500)의 직선운동의 행정범위를 크게 할 수 있다.
한편, 실린더 로드(440)의 외주면이 각이 진 형상을 가진다. 예를 들면, 4각형상, 6각형상 및 8각형상 등을 가지고 있다. 그리고 실린더 몸체(430)의 단부에서 실린더 로드(440)가 통과하는 통과홀(미도시) 역시 실린더 로드(440)의 외주면의 형상과 대응되는 각이 진 형상을 가지고 있다. 이러한 구성에 의해서 실린더 몸체(430)가 회전하는 경우 실린더 로드(440)도 함께 회전하게 되며, 그 결과 검사체(500)가 회전하게 된다.
또한, 도 1 및 도 4에 도시된 것과 같이, 이송로드(400)에는 실린더 몸체(430)의 외측에 일정 거리를 두고 2개의 고정부재(450)가 고정되어 있으며, 이 고정부재(450)의 사이에 걸쳐서 이송로드(400)의 길이방향을 따라서 고정튜브(460)가 고정되어 있다(본 실시형태에서는 2개). 또한 이송로드(400)에는 고정튜브(460)에 대해서 신축가능하게 장착되는 이동튜브(470)가 마련되어 있다. 구체적으로, 이동튜브(470)는 일단이 고정튜브(460)에 이동가능하게 수용되어 있으며, 타단은 검사체(500)에 고정되어 있다. 따라서 실린더 로드(440)의 신축에 의해서 검사체(500)가 직선운동을 하게 되면, 이 직선운동에 대응하여 이동튜브(470) 역시 신축하게 된다.
또한, 위 고정튜브(460) 및 이동튜브(470)는 속이 비어 있는 중공형상으로 그 내측으로는 검사체(500)와 전기적인 신호를 주고받을 수 있는 전선(미도시)이 통과한다. 이와 같이 전선(510)이 고정튜브(460) 및 이동튜브(470)를 통해서 안내되기 때문에 검사체(500)가 회전함으로 인해서 이송로드(400)에 전선이 꼬이는 것을 방지할 수 있다.
본 실시형태에서는 고정튜브(460) 및 이동튜브(470)를 2개로 설명하였으나, 전선을 안내하는 기능을 하는 것이라면, 개수는 특별히 한정되지 않는다.
이상 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르는 노즐 검사장치는, 검사체를 직선운동 및 회전운동시키는 제1 구동수단 및 제2 구동수단을 지지부재에 일측에 마련하고, 검사체와 연결된 이송체가 제1 구동수단에 의해서 직선운동하며, 제2 구동수단에 의해서 검사체에 회전만을 전달하도록 함으로써, 종래 노즐 검사장치와 같이 회전구동모터가 이동하지 않아도 되기 때문에 전체적으로 부피를 줄일 수 있다.
또한 본 발명에 따르는 노즐 검사장치는 제1 구동수단 및 실린더 로드에 의해서 검사체를 2단으로 직선운동시킬 수 있기 때문에 검사체의 직선운동 행정범위를 종래 노즐 검사장치에 비해서 크게 할 수 있다.
이상은 본 발명에 따르는 노즐 검사장치에 관련한 바람직한 실시형태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명은 이들 실시형태에 한정된 것은 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해서 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경될 수 있다.
예를 들면, 위 실시형태에서는 제2 구동수단의 회전을 이송체에 전달하면서도 이송체의 길이방향 이동을 방해하지 않기 위해서 제2 회전축과 회전체가 볼 스플라인 결합을 하고 있으며, 구체적으로는 제2 회전축에 홈이 형성되고 회전체에 이 홈에 대응하는 대응돌기가 형성되는 것으로 설명하였으나, 역으로 제2 회전축에 돌기가 형성되고 회전체에 이 돌기에 대응하는 대응홈이 형성되어 있어도 된다.
100 : 지지부재 110 : 제1 회전축
120 : 제2 회전축 210 : 제1 구동수단
220 : 제2 구동수단 300 : 이송체
310 : 볼너트 320 : 회전체
400 : 이송로드 410 : 회전기어
430 : 실린더 몸체 440 : 실린더 로드
450 : 고정부재 460 : 고정튜브
470 : 이동튜브 500 : 검사체

Claims (8)

  1. 길이방향으로 긴 형상을 가지며, 길이방향을 따라서 회전가능하게 배치되는 제1 회전축 및 제2 회전축을 구비하는 지지부재와,
    상기 지지부재의 일측에 형성되는 수용공간에 마련되며, 상기 제1 회전축에 회전력을 전달하는 제1 구동수단과,
    상기 수용공간에 마련되며, 상기 제2 회전축에 회전력을 전달하는 제2 구동수단과,
    상기 제1 회전축 및 상기 제2 회전축에 길이방향으로 이동가능하게 마련되며, 상기 제1 회전축의 회전에 의해서 길이방향으로 이동하는 이송체와,
    일단이 상기 이송체에 회전가능하게 결합되며, 타단에 검사체가 설치되어 있으며, 상기 제2 회전축의 회전에 의해서 회전하는 이송로드를 포함하며,
    상기 이송로드는, 중공형상의 실린더 몸체와, 상기 실린더 몸체의 내측에는 공압에 의해서 상기 실린더 몸체에 대해서 신축가능하게 마련된 실린더 로드를 구비하며, 상기 실린더 로드의 선단에 상기 검사체가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 회전축은 외주면에 나사산이 형성되어 있는 볼스크류이며, 상기 이송체는 상기 볼스크류에 결합하는 볼너트를 구비하는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 회전축은 길이방향을 따라서 연장하는 홈 또는 돌기가 형성되어 있이 있으며,
    상기 이송체는, 상기 홈 또는 상기 돌기에 대응하는 대응돌기 또는 대응홈이 내주면에 형성되어 있으며 상기 이송체 내에 회전가능하게 장착되는 회전체를 구비하며,
    상기 회전체는 상기 제2 회전축의 회전에 의해서 회전되어 상기 이송로드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 실린더 로드는 외주면이 각이 진 형상을 가지며,
    상기 실린더 몸체의 선단에서 상기 실린더 로드가 통과하는 통과홀은 상기 실린더 로드의 외주면과 대응하는 각이 진 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 실린더 몸체의 외측에 고정되는 고정부재와,
    상기 이송로드의 길이방향을 따라서 상기 고정부재에 고정되는 고정튜브와,
    일단이 상기 고정튜브에 이동가능하게 수용되어 있으며, 타단이 상기 검사체에 고정되어 있는 이동튜브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 고정튜브 및 상기 이동튜브 내측으로는 상기 검사체와 전기적 신호를 주고받기 위한 전선이 통과하는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 수용공간은 외부와는 밀폐되어 있으며, 내측에 퍼지가스가 채워져 있는 것을 특징으로 하는 노즐 검사장치.
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