JP2009175006A

JP2009175006A - 光源装置

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Publication number: JP2009175006A
Application number: JP2008014035A
Authority: JP
Inventors: Shinjo Ito; 真城伊藤; Kazuo Ueno; 和夫上野; Koji Matsushita; 孝二松下
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2008-01-24
Filing date: 2008-01-24
Publication date: 2009-08-06
Anticipated expiration: 2028-01-24
Also published as: JP5236953B2

Abstract

【課題】本発明は、更なる小型化を図りつつ重水素ランプの光出力の安定性を向上させた光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置は、電源部３と重水素ランプＨとを隔壁Ｗで仕切ることで、電源部３のみを冷却し、電源収容空間部Ｓ１内のみでファン８，９による空気の流動を行わせている。このようにして、重水素ランプＨを、電源部３の温度変動から可能な限り隔絶させている。雰囲気温度の変動による影響を可能な限り無くすために、重水素ランプＨ自体もランプハウス３０によって包囲させている。光源装置１を更に小型化させると、光源収容空間部Ｓ２を小さくすることによって、隔壁Ｗにランプハウス３０が近づくことになり、隔壁Ｗに対向した位置にあるランプハウス３０の側壁３１を隔壁Ｗから離間させる。さらに、このランプハウス３０は、側壁３１に対向する部分に矩形の開放部Ａを有している。
【選択図】図４

Description

本発明は、特に、分析装置や半導体検査装置などの光源として利用されて、紫外光を発生する重水素ランプを備えた光源装置に関するものである。

従来、このような分野の技術として、特開２０００−３１５４１７号公報がある。この公報に記載された光源装置は、サイドオン型の重水素ランプを有し、この重水素ランプは、アルミ製のランプボックス内に収容された状態で、長さ約２６ｃｍ、幅約１６ｃｍ、高さ約１２ｃｍのスチール製の筐体の底板に固定されている。さらに、筐体の背面板に冷却ファンが設けられ、この冷却ファンによって筐体内で強制的な空気の流れを作り出している。このような構成により、外気の温度変化の影響を最も受ける筺体から重水素ランプのランプボックスが熱的に遮断され、筺体の温度変化が重水素ランプの出力特性に影響を与えにくくなり、重水素ランプの安定した動作特性を長時間維持し続けることが可能になっている。これによって、野外や屋内での使用環境に左右されない汎用性の高い装置が実現されている。この光源装置は、例えば、野外での水質検査用分光光度計、工場やプラントの各場所での化学物質の定期検査等に応用可能である。

特開２０００−３１５４１７号公報特開２００６−２２８５７７号公報

しかしながら、使用環境にとらわれず、より広く活用していくためには、前述した従来の光源装置をさらに小形化していくのが好ましい。しかしながら、光源装置の小形化に伴い、その内部空間も小形化していくこととなるため、温度が変化しやすくなり、重水素ランプの光出力の安定性に問題が生じるといった問題があった。

本発明は、更なる小型化を図りつつ重水素ランプの光出力の安定性も高い光源装置を提供することを目的とする。

本発明に係る光源装置は、電源部と、電源部によって動作する重水素ランプと、電源部及び重水素ランプを収容する筐体と、電源部を収容する電源収容空間部内で空気を流動させるファンと、重水素ランプを収容する光源収容空間部と電源収容空間部とを仕切る隔壁と、重水素ランプを収容するランプハウスとを備え、ランプハウスは、開放部を有する。

この光源装置は、重水素ランプを作動させるための様々な電子部品やトランスなどからなる電源部を備えており、電源部を備えることで、別途、電源部を準備する必要がなく、作業性を良好にしている。しかしながら、光源装置が具備した電源部は熱を発生するので、電源部から発生する熱の温度変動は、光源装置の小形化と相俟って重水素ランプの光出力の特性に多大な影響を与える。そこで、本発明では、電源部を収容し、ファンを有する電源収容空間部と重水素ランプを収容する光源収容空間部とを隔壁で仕切ることで、電源収容空間部内のみでファンによる空気の流動を行わせて電源部のみを冷却している。このようにして、重水素ランプを、電源部の温度変動から可能な限り隔絶させているが、光源収容空間部内でも空気は自然対流しており、これによって温度変動が起こっている。そこで、雰囲気温度の変動による影響を可能な限り無くすために、重水素ランプをさらにランプハウスによって包囲させている。光源装置をこのような構成にすることで、重水素ランプの光出力は高い安定性を得ることができるが、光源装置を更に小型化させようとすると、電源収容空間部及び光源収容空間部を更に小さくする必要がある。そして、光源収容空間部を小さくすることで、ランプハウスも小さくする必要がある。そのため、ランプハウスの内部空間が小さくなり、ランプハウス内の温度が高くなりすぎることで、重水素ランプの安定動作に支障を生じてしまう。そこで、本発明では、ランプハウスに開放部を設けている。このような構成を採用することで、ランプハウス内の過度な高温化を抑制し、光源装置を小型化しつつ、重水素ランプの光出力に高い安定性を持たせること（すなわち光出力の安定時間をより短くすること、光出力のバラツキをより小さくすること）ができる。

また、ランプハウスは、隔壁に対向し且つ隔壁から離間して配置された側壁を有すると好適である。
このような構成とすると、光源収容空間部を小さくすることによって、電源収容空間内の温度変化の影響を受けている隔壁にランプハウスが近づいた場合であっても、隔壁の熱をランプハウスの側壁に伝達し難くなる。

また、側壁に対向して開放部が形成されていると好適である。
このような構成を採用すると、隔壁から遠い部分に開放部が形成されるので、隔壁の熱の影響を回避させながら、ランプハウスの過度な高温化を抑制することができる。その結果として、光源装置の小型化しつつ、重水素ランプの光出力に高い安定性を持たせること（すなわち光出力の安定時間をより短くすること、光出力のバラツキをより小さくすること）が最適になされる。

また、ランプハウスは、側壁と、重水素ランプから出射される光が通過する出射窓を有する前壁と、前壁に対向すると共に重水素ランプのステムピンが貫通する後壁と、前壁と後壁と側壁とに連結された上壁と、上壁に対向する底壁とからなり、側壁は、ランプハウスにおいて着脱自在であると好適である。
このような構成によって、隔壁に対向しているランプハウスの側壁が着脱自在であるので、重水素ランプの交換時において、ランプハウスの側壁を外すことで、重水素ランプの交換作業性が良好になる。

また、隔壁は、一端が筐体に接すると共に、ランプハウスの側壁に対して平行に延在する第１の隔壁部と、第１の隔壁部の他端から電源部に向かって延在する第２の隔壁部と、第２の隔壁部の電源部側の端部と筐体の壁面との間で延在する第３の隔壁部とからなり、第２の隔壁部と第３の隔壁部とによって隔壁を電源収容空間部側に張り出させて光源収容空間部を拡張し、この拡張部分に可視光ランプが配置されると好適である。
このような形状の隔壁を採用することで、電源収容空間部側に張り出させている部分に電源部と隔離しながら可視光ランプを配置させることができ、さらに、重水素ランプと可視光ランプとの間を離すことができるため、互いに熱の影響を及ぼし難くなる。従って、紫外光を発生する重水素ランプと可視光を発生する可視光ランプとを備えた広い光帯域で安定した光出力が可能な小型の光源装置を実現させることができる。

本発明によれば、更なる小型化を図りつつ重水素ランプの光出力の安定性を向上させることができる。

以下、図面を参照しつつ本発明に係る光源装置の好適な実施形態について詳細に説明する。

図１〜図４に示すように、光源装置１は、高さ４０ｍｍ幅７０ｍｍ長さ９０ｍｍのアルミニウム製の略矩形の筐体２を有し、この筐体２内は、空気の移動を遮断するためのアルミニウム製の隔壁Ｗによって、電源収容空間部Ｓ１と光源収容空間部Ｓ２とに仕切られている。なお、この隔壁Ｗは、アルミニウムといった金属以外にも、ＰＥＥＫ材といった樹脂により形成しても良い。この電源収容空間部Ｓ１内には、光源収容空間部Ｓ２内に収容された重水素ランプＨ及び可視光ランプとしてのタングステンランプＴを作動させるための電源部３が収容されている。

この電源部３は、電源収容空間部Ｓ１内で平行に配置された２枚の基板４，５上のトランス７や様々な電子部品（例えばトランジスタやコンデンサ）によって構成されている。さらに、筐体２の上壁２ａには、電源部３で発生する熱を外部に放出するための排気用ファン８，９が固定されている。排気用ファン８，９によって、基板４，５上のトランス７や様々な電子部品を冷却し、電源部３の動作の安定性を担保し、隔壁Ｗによって、電源収容空間部Ｓ１内で流動する空気が光源収容空間部Ｓ２に流入しないようにしている。

なお、電源部３は、プラグをもった接続コード（図示せず）によって外部から電力が供給される。また、重水素ランプＨ及びタングステンランプＴの交換を容易にするために、筐体２は、光源収容空間部Ｓ２のみの開閉を可能にする蓋部２ｂを有し、この蓋部２ｂは、ネジによって筐体２に対して着脱可能である。また、筐体２には、吸気口ともなる通風口１０が形成されている。

さらに、図５及び図６に示すように、小型化が図られている重水素ランプＨは、管軸方向に光を出射する、所謂ヘッドオン型であり、ガラス製の密封容器１１と、この密封容器１１内に収容される発光部組立体１２とを備えている。

ガラスからなる密封容器１１は、円筒状の側管部１１ａと、この側管部１１ａの下端側を封止するステム部１１ｂと、上端側を封止する光出射窓１１ｃとで構成され、この密封容器１１内には数百Ｐａ程度の重水素ガスが封入されている。ステム部１１ｂには、所定の円周上に沿って複数（本実施形態では九本）の導電性のステムピン１９ａ〜１９ｉが各々挿通されて密封固定されている。また、ステム部１１ｂの中央には、外方（図示下側）に向かって突出する排気管１１ｄが形成されている。

密封容器１１内に収容されている発光部組立体１２は、紫外線を発生させるためのもので、下から順に、ベース部１３、陽極部１４、放電路制限部固定板１５、放電路制限部１６及び陰極部１７を備え、これらの部品は、陰極部カバー１８で覆われている。

円板状のベース部１３は、電気的絶縁性のセラミックスにより形成され、このベース部１３には、周縁に沿って複数の孔部が形成され、各孔部にステムピン１９ａ〜１９ｉが各々通されている。このベース部１３の上面には、陽極部１４を収容するために、陽極部１４の形状に対応する浅い凹部１３ａが形成されている。

陽極部１４は、導電性の薄板であり、略円板状の本体部分１４ａと、この本体部分１４ａの周縁の二箇所から半径方向に水平に延びる一対の延出部分１４ｂ，１４ｃとを有している。そして、陽極部１４の上面は、ベース部１３の上面と面一になるようにベース部１３の凹部１３ａに収容されている。この陽極部１４の延出部分１４ｂ，１４ｃには、矩形の開口部１４ｄ，１４ｅが形成され、各開口部１４ｄ，１４ｅにステムピン１９ｃ，１９ｄが通され、ステムピン１９ｃ，１９ｄの先端は延出部分１４ｂ，１４ｃに電気的に接続されている。

セラミックスからなる略扇形状の放電路制限部固定板１５は、ベース部１３及び陽極部１４の略中央部分に重なるように載置されている。この放電路制限部固定板１５の略中央には、陽極部１４と陰極部１７との間に放電路を形成するために、陽極部１４の本体部分１４ａを露出させる開口部１５ｘが設けられている。放電路制限部固定板１５の上面には、放電路制限部１６を収容するために、放電路制限部１６の形状に対応する浅い凹部１５ａが形成され、さらに、放電路制限部固定板１５の上面には、孔部１５ｄ，１５ｅを有する凸部１５ｂが設けられている。放電路制限部固定板１５の凹部１５ａには孔部１５ｃが設けられ、この孔部１５ｃにステムピン１９ｅが通されている。また、孔部１５ｄ，１５ｅにステムピン１９ａ，１９ｂが各々通され、ステムピン１９ａ，１９ｂの先端に陰極部１７が電気的に接続されている。

導電性の薄板からなる放電路制限部１６は、略円板状の本体部分１６ａと、この本体部分１６ａの周縁から半径方向に水平に延びる延出部分１６ｂとを有し、放電路制限部１６の上面は、放電路制限部固定板１５の上面と面一と成るようにして放電路制限部固定板１５の凹部１５ａに収容されている。この放電路制限部１６の延出部分１６ｂは矩形の開口部１６ｃを有し、この開口部１６ｃにステムピン１９ｅが通され、放電路制限部１６の先端は、放電路制限部１６に電気的に接続されている。

さらに、放電路制限部１６には、放電路制限部固定板１５の開口部１５ｘと同心のアークボール成形部１６ｄが設けられている。このアークボール成形部１６ｄは、放電によって作り出されたアークボールを収容させて光を効率良く取り出すために、光出射窓１１ｃに向けて広げられたカップ状に形成されている。そして、アークボール成形部１６ｄの底面には、直径０．５ｍｍ程度の小径の放電路狭窄開口１６ｅが設けられ、これにより、アークボール成形部１６ｄ内で扁平なボール状のアークボールを作り出すことが可能とされている。

陰極部１７は、コイル（フィラメントコイル）の部分に熱電子放射物質である例えば酸化バリウム等を塗布してなる。この陰極部１７のコイルの両端部は、放電路制限部固定板１５の凸部１５ｂの孔部１５ｄ，１５ｅに通されたステムピン１９ａ，１９ｂに電気的に接続されている。

円筒状の陰極部カバー１８は、重ねられた状態の陽極部１４と放電路制限部固定板１５と放電路制限部１６とを覆うための陽極側覆部１８ａと、陰極部１７を覆うための陰極側覆部１８ｂとからなる。この陰極側覆部１８ｂに設けられた起立壁１８ｃには、陰極部１７から発生する電子を陰極部カバー１８の外に放出するための開口部１８ｄを有し、陽極側覆部１８ａは、放電路制限部固定板１５の孔部１５ｘと放電路制限部１６の放電路狭窄開口１６ｅと同心上に位置する放電路を形成するための開口部１８ｅを有している。この開口部１８ｅは、放電効率を高めるために放電路制限部１６を必要以上に露出させないような大きさに形成されている。

また、陽極側覆部１８ａには、孔部１８ｆ〜１８ｉが形成され、この孔部１８ｆ〜１８ｉにステムピン１９ｆ〜１９ｉが各々通され、各ステムピン１９ｆ〜１９ｉの先端部は、陽極側覆部１８ａに固定されている。これにより、陰極部カバー１８は各ステムピン１９ｆ〜１９ｉにより保持される。

次に、このように構成された重水素ランプＨの動作を簡単に説明する。重水素ランプＨでは、先ず、放電開始の約２０秒前に、電源部３からステムピン１９ａ，１９ｂを介して１０Ｗ前後の電力を陰極部１７に供給して、陰極部１７のコイル部分を予熱させる。次いで、陰極部１７と陽極部１４との間に電源部３からステムピン１９ｃ，１９ｄを介して１６０Ｖ程度の電位差を印加して、アーク放電の準備を整える。

その後、電源部３から放電路制限部１６と陽極部１４との間にステムピン１９ｅ，１９ｃ，１９ｄを介して所定の電位差、例えば３５０Ｖ程度の電圧を印加する。すると、陰極部１７と放電路制限部１６との間及び陰極部１７と陽極部１４との間に放電が順次発生し、陰極部１７と陽極部１４との間で始動放電が発生する。始動放電が発生すると、陰極部１７と陽極部１４との間でアーク放電（主放電）が維持され、放電路制限部１６の凹部１６ｄ内でアークボールが発生する。そして、このアークボールから取り出される紫外線は、極めて輝度の高い光として光出射窓１１ｃを透過して外部に放出される。なお、陰極側覆部１８ｂは、放電の際に陰極部１７から出るスパッタ物又は蒸発物が光出射窓１１ｃに付着するのを防止している。

図７及び図８に示すように、電源収容空間部Ｓ１内には、前述した小型の重水素ランプＨ及びタングステンランプＴを備えた光源部２０が収容され、この光源部２０は、筐体２のベース板２ｃに固定される底板２１を有している。アルミニウム等の金属からなる底板２１には、重水素ランプＨを収容するためのランプハウス３０と、タングステンランプＴが取り付けられる台座部２２と、重水素ランプＨの集光を可能にするレンズＬ１が装着されたレンズホルダ２３と、タングステンランプＴの集光を可能にするレンズＬ２が装着されたレンズホルダ２４と、レンズＬ１を通る光路を９０度曲げると共に、レンズＬ２を通る光路を直進させるためのハーフミラー２５を保持するためのミラーホルダ２６と、光ファイバ（不図示）を連結するためのコネクタ２７がネジによって固定されるコネクタホルダ２８とが固定されている。なお、底板２１は、重水素ランプ側の第１の底部２１ａと、タングステン側の第２の底部２１ｂとからなっている。

アルミニウム等の金属からなるランプハウス３０は、隔壁Ｗに対向して平行に延在する側壁３１と、レンズＬ１に対向して重水素ランプＨから出射される光を通過させるための出射窓３２を有する前壁３３と、前壁３３に対向して平行に延在すると共に重水素ランプＨのステムピン１９ａ〜１９ｉが固定される後壁３４と、前壁３３と後壁３４と側壁３１とに連結された上壁３５と、上壁３５に対向する底壁３６とからなる。なお、この底壁３６は、第１の底部２１ａの一部をなしている。

さらに、前壁３３と底壁３６とによってＬ字状の壁を形成し、前壁３３は、レンズホルダ２３に密着してネジにより固定されている。また、後壁３４と上壁３５とによってＬ字状の壁を形成し、上壁３５の前端はネジによって前壁３３の上端に固定され、後壁３４に設けられたフランジ部３４ｃはネジによって第１の底部２１ａに固定されている。後壁３４には、ステムピン１９ａ〜１９ｉの貫通と着脱を可能にするソケット部３４ａが固定されていると共に、ステムピン１９ａ〜１９ｉが貫通する円形の開口部３４ｂが形成されている。

側壁３１は、ランプハウス３０において着脱自在であり、側壁３１から直角に延在する腕部３１ａは、上壁３５の端部にネジ３８によって固定されている。このネジ３８によって、隔壁Ｗに対向しているランプハウス３０の側壁３１は着脱自在であるので、重水素ランプＨの交換時において、側壁３１を上壁３５から外すことで、重水素ランプＨをソケット部３４ａ対して容易に着脱することができ、ランプＨの交換作業性が良好になる。さらに、重水素ランプＨの特性等にあわせて、ランプハウス３０の側壁３１の厚みや材質を容易に変更することもできる。さらに、図４で示すように、間隙Ｃをもって、側壁３１は、隔壁Ｗから略０．５ｍｍ以上程度、離間して配置される。また、図７に示すように、ランプハウス３０は、側壁３１に対向する部分が開放され、この開放部Ａは、矩形をなしている。なお、ランプハウス３０において開放部Ａや後壁３４および上壁３５は、筐体２と接触することなく、所定の間隔を持って隔離されているため、筐体２の温度変化の影響を受けにくくなっている。

前述したように、光源装置１は、高さ４０ｍｍ、幅７０ｍｍ、長さ９０ｍｍの小さな矩形の筐体２の内部に重水素ランプＨ及びタングステンランプＴを作動させるための様々な電子部品やトランスなどからなる電源部３を備えており、電源部３を備えることで、別途、電源部を準備する必要がなく、作業性を良好にしている。しかしながら、光源装置１が具備した電源部３は熱を発生するので、容積の小さな筐体２の内部においては、電源部３から発生する熱の温度変動は、重水素ランプＨの光出力の特性に多大な影響を与える。

そこで、電源部３を収容し、ファン８，９を有する電源収容空間部Ｓ１と重水素ランプＨを収容する光源収容空間部Ｓ２とを隔壁Ｗで仕切ることで、電源収容空間部Ｓ１内のみでファン８，９による空気の流動を行わせて電源部３のみを冷却している。このようにして、重水素ランプＨを、電源部３の温度変動から可能な限り隔絶させているが、光源収容空間部Ｓ２内でも空気は自然対流しており、これによって温度変動が起こっている。そこで、雰囲気温度の変動による影響を可能な限り無くすために、重水素ランプＨをさらにランプハウス３０によって包囲させている。

光源装置１をこのような構成にすることで、光源装置１の筐体２の小型化を図りつつ、重水素ランプＨの光出力は高い安定性を得ることができるが、光源装置１を更に小型化させようとすると、電源収容空間部Ｓ１及び光源収容空間部Ｓ２を更に小さくする必要があり、光源収容空間部Ｓ２を小さくすることによって、隔壁Ｗにランプハウス３０が近づくことになり、隔壁Ｗ自体の温度変動も考慮する必要がある。そこで、隔壁Ｗに対向した位置にあるランプハウス３０の側壁３１を隔壁Ｗから離間させている。さらに、光源収容空間部Ｓ２が小さくなることで、ランプハウス３０も小さくする必要がある。そのため、ランプハウス３０の内部空間が小さくなり、ランプハウス３０内の温度が高くなりすぎることで、重水素ランプＨの安定動作に支障を生じてしまう。そこで、ランプハウス３０は、側壁３１に対向する部分に矩形の開放部Ａを有している。このような構成を採用することで、ランプハウス３０に対する隔壁Ｗからの熱の影響を低減するとともに、ランプハウス３０内の過度な高温化を抑制し、光源装置１の小型化しつつ、重水素ランプＨの光出力に高い安定性を持たせる（すなわち出力の安定時間をより短くすること、出力のバラツキをより小さくすること）ができる。

なお、ランプハウス３０内の過度な高温化を抑制するために、ランプハウス３０を構成する壁面のいずれかを開放するにあたっては、この実施形態に関して、どの壁面が良いか考察する。底壁３６は空間的な開放が不可能である。上壁３５を開放した場合には、ランプハウス３０内の温度が過度に低下してしまうため好ましくない。一方、出射窓３２を有する前壁３３と重水素ランプＨのステムピン１９ａ〜１９ｉが固定される後壁３４の開放は、ランプハウス３０内で光軸が安定に保持されるように重水素ランプＨを配置するためには好ましくない。さらに、より高い安定性を求めた場合、ランプハウス３０の側面のうち、側壁３１を設けることで、上記したように、隔壁Ｗからの熱の影響を抑制することができる。よって、側壁３１に対向する部分に矩形の開放部Ａを設けると、適切な光軸を安定に保持しつつランプハウス３０内での温度を適度にコントロールすることが可能となり、総合的に高い安定性を保持することができる。

また、後壁３４と上壁３５とをＬ字型に一体に成型し、後壁３４及び上壁３５にそれぞれ当接する底壁３６と前壁３３とをＬ字型に一体に成型することで、機械精度良く重水素ランプＨを配置することができる。さらに、後壁３４及び上壁３５、底壁３６及び前壁３３を構成する部材の厚みは、側壁３１を構成する部材の厚みよりも大きいため、側壁３１を着脱する際に応力等が生じても、その影響は側壁３１の方へと及び易く、重水素ランプＨの位置決めに重要な後壁３４及び上壁３５、底壁３６及び前壁３３には及び難いため、重水素ランプＨの光軸を適切に安定的に保持することができる。

図２〜図４に示すように、隔壁Ｗは、一端が筐体２に接すると共に、ランプハウス３０の側壁３１に対して平行に延在する第１の隔壁部Ｗ１と、第１の隔壁部Ｗ１の他端から電源部３に向かって、第１の隔壁部Ｗ１に対して直交して延在する第２の隔壁部Ｗ２と、第２の隔壁部Ｗ２の電源部３側の端部と筐体２の壁面２ｄとの間で、第２の隔壁部Ｗ２に対して直交して延在する第３の隔壁部Ｗ３とからなる。

第２の隔壁部Ｗ２と第３の隔壁部Ｗ３とによって、隔壁Ｗを電源収容空間部Ｓ１側に張り出させて光源収容空間部Ｓ２を拡張し、この拡張部分Ｂに可視光ランプの一例であるタングステンランプＴが配置されている。タングステンランプＴは、押え金４０とネジ４１とによって台座部２２に着脱自在に固定される。このような形状の隔壁Ｗを採用することで、電源収容空間部Ｓ１側に張り出された拡張部分Ｂに電源部３と隔離しながらタングステンランプＴを配置させることができ、さら、重水素ランプＨとタングステンランプＴとの間を可能な限り離すことができるため、互いに熱の影響を及ぼし難くなる。従って、紫外光を発生する重水素ランプＨと可視光を発生するタングステンランプＬとを備えた広い光帯域で安定した出力が可能な小型の光源装置を実現させることができる。

図２に示すように、光源装置１は、ソレノイド４３で動作するシャッタ（不図示）を備え、このシャッタは、ミラーホルダ２６とコネクタ２７の間で光路の開閉を行っている。このシャッタによって、重水素ランプＨ及びタングステンランプＴから出力される光をコネクタ２７の入口側で適宜遮断することができる。また、重水素ランプＨ、タングステンランプ及びソレノイド４３は、隔壁Ｗに設けられた円形の開口部４５，４６，４７を通って電源部３から延在する接続コードに結線される。なお、各開口部４５，４６，４７は、電源収容空間部Ｓ１内で流動する空気が光源収容空間部Ｓ２に流入しないようにシールされている。

本発明は、前述した実施形態に限定されないことは言うまでもない。光源部２０に利用される重水素ランプは、前述した実施形態に限定されない。また、開放部の大きさや形状は、矩形状のランプハウスの一面に限らず、設計時に適宜選択されるものである。

本発明に係る光源装置の一実施形態を示す斜視図である。光源装置から蓋部を外した状態を示す斜視図である。光源装置から光源部を外した状態を示す斜視図である。図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。本発明に係る光源装置に適用される重水素ランプを示す分解図である。重水素ランプの断面図である。光源部を示す斜視図である。光源部の側面図である。

符号の説明

１…光源装置、２…筐体、３…電源部、８，９…ファン、１９ａ〜１９ｉ…ステムピン、２０…光源部、３０…ランプハウス、３１…側壁、３３…前壁、３４…後壁、３５…上壁、３６…底壁、Ａ…開放部、Ｂ…拡張部分、Ｃ…間隙、Ｈ… 重水素ランプ、Ｓ１…電源収容空間部、Ｓ２…光源収容空間部、Ｔ…タングステンランプ(可視光ランプ)、Ｗ…隔壁、Ｗ１…第１の隔壁部、Ｗ２…第２の隔壁部、Ｗ３…第３の隔壁部。

Claims

電源部と、
前記電源部によって動作する重水素ランプと、
前記電源部及び前記重水素ランプを収容する筐体と、
前記電源部を収容する電源収容空間部内で空気を流動させるファンと、
前記重水素ランプを収容する光源収容空間部と前記電源収容空間部とを仕切る隔壁と、
前記重水素ランプを収容するランプハウスとを備え、
前記ランプハウスは、開放部を有する光源装置。
前記ランプハウスは、前記隔壁に対向し且つ前記隔壁から離間して配置された側壁を有する請求項１記載の光源装置。
前記側壁に対向して前記開放部が形成されている請求項２記載の光源装置。
前記ランプハウスは、前記側壁と、前記重水素ランプから出射される光が通過する出射窓を有する前壁と、前記前壁に対向すると共に前記重水素ランプのステムピンが貫通する後壁と、前記前壁と前記後壁と前記側壁とに連結された上壁と、前記上壁に対向する底壁とからなり、前記側壁は、前記ランプハウスにおいて着脱自在である請求項３記載の光源装置。
前記隔壁は、一端が前記筐体に接すると共に、前記ランプハウスの前記側壁に対して平行に延在する第１の隔壁部と、前記第１の隔壁部の他端から前記電源部に向かって延在する第２の隔壁部と、前記第２の隔壁部の前記電源部側の端部と前記筐体の壁面との間で延在する第３の隔壁部とからなり、前記第２の隔壁部と前記第３の隔壁部とによって前記隔壁を前記電源収容空間部側に張り出させて前記光源収容空間部を拡張し、この拡張部分に可視光ランプが配置された請求項１〜４のいずれか一項記載の光源装置。