JP2009174907A - 力学量センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】力学量センサが,固定部,変位部,接続部,これらに接続されず,かつ互いに離隔される複数の第1のブロック部材と,を有する,第1の半導体材料の第1の構造体と,台座,重量部,複数の第2のブロック部材とを有する,導電性を有する第2の半導体材料の第2の構造体と,絶縁材料から構成され第1,第2の構造体を接合する接合部と,第2の構造体に積層配置される第1の基体と,第1の構造体に積層配置される第2の基体と,第3の構造体を貫通して,複数の第1,第2のブロック部材をそれぞれ電気的に接続する複数の第1の導通部と,第2の基体を貫通して,複数の第2のブロック部材それぞれと電気的に接続される複数の第2の導通部と,を具備する。
【選択図】図1
Description
とりわけ,特許文献2における配線用柱状体においてはシリコン基板内で電気的に孤立して配置されているため,当該配線用柱状体には陽極接合に必要とされる電圧を印加することができない。すると,当該配線用柱状体部分において上述のような接合不良が起こり,良好な電気接続が得られないことが鋭意実験の結果判った。
図1は,本発明の一実施形態に係る力学量センサ100を分解した状態を表す分解斜視図である。力学量センサ100は,互いに積層して配置される構造体110,接合部120,構造体130,及び基体140,基体150を有する。
構造体110,接合部120,構造体130はそれぞれ,シリコン,酸化シリコン,シリコンから構成可能であり,力学量センサ100は,シリコン/酸化シリコン/シリコンの3層構造をなすSOI(Silicon On Insulator)基板を用いて製造可能である。構造体110,構造体130を構成するシリコンには,全体に例えばボロン等の不純物が含まれる導電性材料を使用することが好ましい。後述するように,構造体110,構造体130を不純物が含まれるシリコンで構成することにより,力学量センサ100の配線を簡略化できる。本実施の形態では,構造体110及び構造体130に不純物が含まれるシリコンを使用している。
また,基体140,基体150はそれぞれ,可動イオンを含むガラス材料から構成できる。なお,ガラスが可動イオンを含むのは,後の陽極接合のためである。
なお,台座131と,ブロック下層部134a〜134jは,互いに高さがほぼ等しく,重量部132は,台座131及びブロック下層部134a〜134jよりも高さが低い。重量部132と基体140との間に間隙(ギャップ)を確保し,重量部132の変位を可能にするためである。台座131と,ブロック下層部134a〜134jと,重量部132は,それぞれ離間して配置される。
枠部131aは,外周,内周が共に略正方形の枠形状の基板であり,固定部111の枠部111aと対応した形状を有する。
突出部131bは,枠部131aの内周のコーナー部に配置され,重量部132bに向かって(X−Y平面のX方向を0°としたとき,0°方向に)突出する略正方形の基板であり,固定部111の突出部111bと対応した形状を有する。
台座131は,接合部120によって固定部111,及び接続部113a〜113dの所定の領域と接続される。
なお,接合部121,122,123は,シリコン酸化膜をエッチングすることで構成可能である。
導通部161は,変位部112と重量部132とを導通するものであり,変位部112a及び接合部122を貫通している。
重量部132以外の構造体130,すなわち台座131及びブロック下層部134a〜134jは,基体140と,陽極接合によって接合される。重量部132は,台座131及びブロック下層部134a〜134jよりも高さが低いため,基体140と接合されない。重量部132と基体140との間に間隙(ギャップ)を確保し,重量部132の変位を可能にするためである。
なお,基体140は,所定位置に錐状貫通孔11が形成された絶縁性基板であれば足り,ポリイミド樹脂などの絶縁性基板を用いることも可能である。この場合,接着剤を塗布して加圧して接合,あるいは共晶接合などの方法により接合できる。
検出用電極144bには,ブロック下層部134cの裏面と電気的に接続される配線層L8,検出用電極144cには,ブロック下層部134dの裏面と電気的に接続される配線層L9,検出用電極144dには,ブロック下層部134gの裏面と電気的に接続される配線層L10,検出用電極144eには,ブロック下層部134hの裏面と電気的に接続される配線層L11がそれぞれ接続されている。
底板部152は,外周が枠部151と略同一の略正方形の基板形状である。
基体150に凹部153が形成されているのは,変位部112が変位するための空間を確保するためである。変位部112以外の構造体110,すなわち固定部111及びブロック上層部114a〜114jは,基体150と,陽極接合によって接合される。
力学量センサ100の配線,及び電極について説明する。
図13は,図9に示す力学量センサ100における6組の容量素子を示す断面図である。図13では,電極として機能する部分をハッチングで示している。なお,図13では6組の容量素子を図示しているが,前述したように力学量センサ100には,10組の容量素子が形成される。
10組の容量素子の一方の電極は,基体150に形成された駆動用電極154a,検出用電極154b〜154e,及び基体140に形成された駆動電極144a,検出用電極144b〜144eである。
もう一方の電極は,変位部112aの上面の駆動用電極E1,変位部112b〜112eの上面にそれぞれ形成された検出用電極E1,重量部132aの下面の駆動用電極E1,及び重量部132b〜132eの下面にそれぞれ形成された検出用電極E1である。すなわち,変位部112及び重量部132を接合したブロックは,10組の容量性結合の共通電極として機能する。構造体110及び構造体130は,導電性材料(不純物が含まれるシリコン)から構成されているため,変位部112及び重量部132を接合したブロックは,電極として機能することができる。
(1)変位部112の振動
駆動用電極154a,E1間に電圧を印加すると,クーロン力によって駆動用電極154a,E1が互いに引き合い,変位部112(重量部132も)はZ軸正方向に変位する。また,駆動用電極144a,E1間に電圧を印加すると,クーロン力によって駆動用電極144a,E1が互いに引き合い,変位部112(重量部132も)はZ軸負方向に変位する。即ち,駆動用電極154a,E1間,駆動用電極144a,E1間への電圧印加を交互に行うことで,変位部112(重量部132も)はZ軸方向に振動する。この電圧の印加は正又は負の直流波形(非印加時も考慮するとパルス波形),半波波形等を用いることができる。
重量部132(変位部112)に加速度αが印加されると重量部132に力F0が作用する。具体的には,X,Y,Z軸方向それぞれの加速度αx,αy,αzに応じて,X,Y,Z軸方向の力F0x(=m・αx),F0y(=m・αy),F0z(=m・αz)が重量部132に作用する(mは,重量部132の質量)。その結果,変位部112にX,Y方向への傾き,およびZ方向への変位が生じる。このように,加速度αx,αy,αzによって変位部112にX,Y,Z方向の傾き(変位)が生じる。
重量部132(変位部112)がZ軸方向に速度vzで移動しているときに角速度ωが印加されると重量部132にコリオリ力Fが作用する。具体的には,X軸方向の角速度ωxおよびY軸方向の角速度ωyそれぞれに応じて,Y軸方向のコリオリ力Fy(=2・m・vz・ωx)およびX軸方向のコリオリ力Fx(=2・m・vz・ωy)が重量部132に作用する(mは,重量部132の質量)。
以上のように,加速度αおよび角速度ωによって,変位部112の変位(傾き)が生じる。検出用電極154b〜154e,144b〜144eによって,変位部112の変位を検出することができる。
検出用電極154b〜154e,144b〜144e,E1から出力される信号には,加速度αx,αy,αz,角速度ωx,ωyに起因する成分の双方が含まれる。これらの成分の相違を利用して,加速度および角速度を抽出できる。
力学量センサ100の作成工程につき説明する。
図14は,力学量センサ100の作成手順の一例を表すフロー図である。また,図15A〜図15Jは,図14の作成手順における力学量センサ100の状態を表す断面図である(図1に示す力学量センサ100をC−Cで切断した断面に相当する)。図15A〜図15Jは,図10の力学量センサ100を上下逆に配置したものに対応する。
図15Aに示すように,第1,第2,第3の層11,12,13の3層を積層してなる半導体基板Wを用意する。
不純物が含まれるシリコン/酸化シリコン/不純物が含まれるシリコンという3層の積層構造をもった半導体基板Wは,不純物が含まれるシリコン基板上にシリコン酸化膜を積層した基板と,不純物が含まれるシリコン基板とを接合後,後者の不純物が含まれるシリコン基板を薄く研磨することで作成できる(いわゆるSOI基板)。
シリコンに含まれる不純物としては,例えばボロンを挙げることができる。ボロンが含まれるシリコンとしては,例えば,高濃度のボロンを含み,抵抗率が0.001〜0.01Ω・cmのものを使用できる。
構造体130の形成は,次のa,bのようにして行われる。
a.ギャップ10の形成(図15B)
第3の層13の上面に,重量部132の形成領域及びその近傍を除いてレジスト層を形成し,このレジスト層で覆われていない露出部分(重量部132の形成領域及びその近傍)を垂直下方へと侵食させる。この結果,重量部の形成される領域の上部に重量部132の変位を可能とするためのギャップ10が形成される。
ギャップ10が形成された第3の層13をエッチングすることにより,開口133,ブロック下層部134a〜134j,及びポケット135を形成し,構造体130を形成する。即ち,第3の層13に対して浸食性を有し,第2の層12に対して浸食性を有しないエッチング方法により,第3の層13の所定領域(開口133)に対して,厚み方向へのエッチングを行う。
図15Cは,第3の層13に対して,上述のようなエッチングを行い,構造体130を形成した状態を示す。
導通部160〜163の形成は,次のa,bのようにして行われる。
a.錐状貫通孔の形成
構造体110及び第2の層12の所定の箇所をウエットエッチングし,第2の層12まで貫通するような錘状貫通孔を形成する。エッチング液としては,構造体110のエッチングでは,例えば,20%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)を用いることができ,第2の層12のエッチングでは,例えば,バッファド弗酸(例えば,HF=5.5wt%,NH4F=20wt%の混合水溶液)を用いることができる。
構造体110の上面及び錐状貫通孔内に,例えばAlを蒸着法やスパッタ法等により堆積させて,導通部160〜162を形成する。構造体110の上面に堆積した不要な金属層(導通部160〜162の上端の縁(図示せず)の外側の金属層)はエッチングで除去する。
a.基体140の作成
絶縁性材料からなる基板(可動イオンを含むガラス基板,例えば,パイレックス(登録商標)ガラス)に,駆動用電極144a,検出用電極144b〜144e,及び配線層L2,L8〜L11を,例えばNdを含むAlからなるパターンによって所定の位置に形成する。また,基体140をエッチングすることにより,配線用端子T1〜T11を形成するための上広の錐状貫通孔10を所定の箇所に11個形成する。
ポケット135にゲッター材料(サエスゲッターズジャパン社製,商品名 非蒸発ゲッター)を入れて,基体140と構造体130とを,陽極接合により接合する。
図15Eは,構造体130と基体140とを接合した状態を示す。
このとき,基体140との陽極接合前に導通部160〜163が形成され,半導体基板の上下に導通がとられているため,第2の層12を貫通していない場合に比べて容易に接合することができる。
基体140の上面及び錐状貫通孔10内に,例えばCr層,Au層の順に金属層を蒸着法やスパッタ法等により形成する。不要な金属層(配線用端子Tの上端の縁の外側の金属層)をエッチングにより除去し,配線用端子T1〜T11を形成する。
第1の層11をエッチングすることにより,開口115を形成し,構造体110を形成する。即ち,第1の層11に対して浸食性を有し,第2の層12に対して浸食性を有しないエッチング方法を用いて,第1の層11の所定領域(開口115a〜115d)に対して,第2の層12の上面が露出するまで厚み方向にエッチングする。
図15Gは,第1の層11に対して,上述のようなエッチングを行い,構造体110を形成した状態を示す。
第2の層12をエッチングすることにより,接合部120を形成する。即ち,第2の層12に対しては浸食性を有し,第1の層11および第3の層13に対しては浸食性を有しないエッチング方法により,第2の層12に対して,その露出部分から厚み方向および層方向にエッチングする。
第1の条件は,不要な部分に酸化シリコン層が残存して重量部132の変位の自由度を妨げることがないようにするために必要な条件である。第2の条件は,既に所定形状への加工が完了しているシリコンからなる構造体110や第3の層13に浸食が及ばないようにするために必要な条件である。
第1の条件は,各層の厚み方向への方向性を持つことである,第2の条件は,シリコン層に対しては浸食性を有するが,酸化シリコン層に対しては浸食性を有しないことである。
この方法では,材料層を厚み方向に浸食しながら掘り進むエッチング段階と,掘った穴の側面にポリマーの壁を形成するデポジション段階と,を交互に繰り返す。掘り進んだ穴の側面は,順次ポリマーの壁が形成されて保護されるため,ほぼ厚み方向にのみ浸食を進ませることが可能になる。
1)基体150の作成
絶縁性材料からなる基板(可動イオンを含むガラス基板,例えば,パイレックス(登録商標)ガラス)をエッチングして凹部153を形成し,駆動用電極154a,検出用電極154b〜244e,及び配線層L1,L4〜L7を,例えばNdを含むAlからなるパターンによって所定の位置に形成する。
構造体110と基体150とを陽極接合により接合する。このとき,陽極接合装置における平板電極(図示せず)上に構造体110と基体150とをアライメントした状態で載置する。そして配線用端子T1〜T11を通じて,構造体110の全体に電圧を印加し,構造体110全体と基体150とを均一に接合することが可能である。即ち,配線用端子T1〜T11,ブロック下層部134(および台座131),および導通部160〜163を経由して,ブロック上層部114および固定部111に電圧が印加され,基体150と真空雰囲気下で陽極接合される。既述のように,導通部163は,陽極接合時におけるセンサ構造体の接合面を略等電位とするための給電用導通部として用いられる。
図15Iは,半導体基板Wと基体150とを接合した状態を示す。センサの可動部は真空封止されている。
例えば,450℃の熱処理によってポケット135中のゲッター材料を活性化した後,互いに接合された半導体基板W,基体150,及び基体140にダイシングソー等で切れ込みを入れて,個々の力学量センサ100に分離する。
・ブロックa〜jの全てについて,導通部160〜163が配置され,構造体110,130間の導通が確保されている。
・基体140を基体150より先に陽極接合している。この順序は,配線用端子T1〜T11の形成の有無と対応する。
全てのブロック上層部114a〜114hに導通部を有する構造を採用することにより,フレーム(固定部)とブロック上層部114の接合面が略等電位に保った状態で陽極接合を行なうことが可能となった。つまり,接合面全域で略同様の陽極接合プロセスが実現される。踏みつけ部で接合が安定し,電気的接続が安定化する。
「スティッキング」とは,陽極接合の際に重量部132が基体に付着することを言う。力学量センサ100の製造時の歩留まりの低下をもたらす。重量部132が基体140,150の何れかに静電引力により引き寄せられて付着し(スティッキング),力学量センサとして機能しなくなる可能性がある。基体150の陽極接合時に,ブロック上層部114a〜114h全てが等電位となる結果,重量部132が常に基体150側に静電引力が生じ,基体150側にのみスティッキング対策を施せば足りる。スティッキング対策として,底板部152にスティッキング防止用の膜,例えば,Crを形成することが挙げられる。フローティング電位をなくすことにより,接合面とは反対側の基体側へのスティッキングによる不良モードが解消される。
本発明の実施形態は上記の実施形態に限られず拡張,変更可能であり,拡張,変更した実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
これに対して,配線用端子T1〜T11を基体150に配置しても良い。この場合,例えば,図16に示す作成手順を採用できる。この図は,図14でのステップS11とステップS15,16,およびステップS13とステップS17が入れ替えられている。この場合でも,配線用端子T1〜T11が形成される基体(基体150),配線用端子T1〜T11が形成されない基体(基体140)の順序で,基体が接合される。この結果,基体140と構造体130の陽極接合時に,配線用端子T1〜T11を経由して,ブロックa〜jへの電圧印加が可能となる。つまり,センサの可動部を真空封止する側(2枚目に接合される)の基体を陽極接合する際,既に接合された他方の基体側に導通部(第2の導通部)を有し,さらにブロック部にその上下に導通をとる導通部(第1の導通部)を形成しておけばよい。また,この順序で製造すると,2枚目の基体の接合時に重量部132と接続部113は2枚目の基体との距離(ギャップ間隔)が異なる。したがって,接続部113には作用する静電引力は重量部132に作用するものよりも小さくなり,接続部113自体が基体へ引き寄せられて破断することを防ぐ効果を期待できる。
110 構造体
111 固定部
111a 枠部
111b,111c 突出部
112(112a-112e) 変位部
113(113a-113d) 接続部
114(114a-114j) ブロック上層部
115(115a-115d) 開口
120,121,122,123 接合部
130 構造体
131 台座
131a 枠部
131b〜131d 突出部
132(132a-133e) 重量部
133 開口
134(134a-134j) ブロック下層部
135 ポケット
150 基体
151 枠部
152 底板部
153 凹部
154a 駆動用電極
154b-154e 検出用電極
140 基体
144a 駆動用電極
144b-144e 検出用電極
160-163 導通部
10 ギャップ
11 錘状貫通孔
L1,L2,L4-L11 配線層
T1-T11 配線用端子
E1 駆動用電極,検出用電極
Claims (4)
- 開口を有する固定部と,この開口内に配置され,かつ前記固定部に対して変位する変位部と,前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と,前記固定部,前記変位部,および前記接続部の何れにも接続されず,かつ互いに離隔される複数の第1のブロック部材と,を有し,かつ第1の半導体材料から構成される第1の構造体と,
前記固定部に接合される台座と,前記変位部に接合される重量部と,前記複数の第1のブロック部材にそれぞれ接合され,かつ互いに離隔される複数の第2のブロック部材とを有し,導電性を有する第2の半導体材料から構成され,かつ前記第1の構造体に積層して配置される第2の構造体と,
絶縁材料から構成され,前記第1,第2の構造体を接合する接合部と,
前記固定部に接続されて前記第1の構造体に積層配置される第1の基体と,
前記台座に接続されて前記第2の構造体に積層配置される第2の基体と,
前記接合部を貫通して,前記複数の第1,第2のブロック部材をそれぞれ電気的に接続する複数の第1の導通部と,
前記第1の基体または前記第2の基体を貫通して,前記複数の第1のブロック部材あるいは前記複数の第2のブロック部材それぞれと電気的に接続される複数の第2の導通部と,
を具備することを特徴とする力学量センサ。 - 第1の半導体材料からなる第1の層,絶縁性材料からなる第2の層,および導電性を有する第2の半導体材料からなる第3の層が順に積層されてなる半導体基板の前記第1の層から,開口を有する台座と,前記開口内に配置される重量部と,前記台座および前記重量部の何れにも接続されず,かつ互いに離隔される複数の第1のブロック部材と,を有する第1の構造体を形成するステップと,
前記第1,2の層を貫通して,前記複数の第1のブロック部材それぞれと前記第3の層を電気的に接続する複数の第1の導通部を形成するステップと,
絶縁性材料から構成され,貫通孔を有する第1の基体を前記台座に接合するステップと,
前記第1の基体に,前記複数の第1のブロック部材とそれぞれに電気的に接続される複数の第2の導通部を形成するステップと,
前記第3の層から,前記台座に接合される固定部と,前記重量部に接合される変位部と,前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と,前記複数の第1のブロック部材に接合され,かつ互いに離隔される複数の第2のブロック部材と,を有する第2の構造体を形成するステップと,
絶縁性材料から構成される第2の基体を前記固定部に陽極接合するステップと,
を具備することを特徴とする力学量センサの製造方法。 - 第1の半導体材料からなる第1の層,絶縁性材料からなる第2の層,および導電性を有する第2の半導体材料からなる第3の層が順に積層されてなる半導体基板の前記第1の層から,開口を有する固定部と,この開口内に配置され,かつ前記固定部に対して変位する変位部と,前記固定部と前記変位部とを接続する接続部と,前記固定部,前記変位部,および前記接続部の何れにも接続されず,かつ互いに離隔される複数の第1のブロック部材と,を有する第1の構造体を形成するステップと,
前記第1,2の層を貫通して,前記複数の第1のブロック部材と前記第3の層を電気的に接続する複数の第1の導通部を形成するステップと,
絶縁性材料から構成され,貫通孔を有する第1の基体を前記固定部に接合するステップと,
前記第1の基体に,前記複数の第1のブロック部材とそれぞれに電気的に接続される複数の第2の導通部を形成するステップと,
前記第3の層から,前記固定部に接合される台座と,前記変位部に接合される重量部と,前記複数の第1のブロック部材に接合され,かつ互いに離隔される複数の第2のブロック部材と,を有する第2の構造体を形成するステップと,
絶縁性材料から構成される第2の基体を前記台座に陽極接合するステップと,
を具備することを特徴とする力学量センサの製造方法。 - 前記第2の基体の接合ステップにおいて,前記第2の導通部を通じて第1,第2のブロック部材に電圧が印加されることを特徴とする請求項2または3に記載の力学量センサの製造方法。
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