JP2009174746A - クリーンルーム用の給気温度制御システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クリーンルームに向けて空気を循環させる循環ファンにその回転数を制御するインバータを付設する。給気温度センサとインバータとの間に第1の温度コントローラを接続し、レターン空気温度センサと冷水制御弁との間に第2の温度コントローラを接続する。給気温度センサからの信号を受けて第1の温度コントローラがインバータの回転数を制御することにより循環ファンの風量を調節し、レターン空気温度センサからの信号を受けて第2の温度コントローラが冷水制御弁の開度を制御することにより冷水供給量を調節し、クリーンルーム内の空気の温度をほぼ一定に制御する。
【選択図】図1
Description
本発明の他の目的は、複雑な機構を設置する必要がなく、しかも運転時に余分なエネルギを使う必要のない省コスト、省エネルギの給気温度制御システムを提供することにある。
A クリーンルームに向けて温度制御された空気を循環させる空調ダクトと、循環ファンと、冷却コイルから成る空調ユニットとを包含する空調ダクト系
B 冷却コイルへ冷水を供給する冷水配管と、冷水ポンプと、冷水供給量を調節する冷水制御弁とを包含する冷水配管系
C クリーンルームへの給気温度センサと、クリーンルームからのレターン空気温度センサと、制御用コントローラとを包含する温度制御系。
(1)プラスマイナス0.01℃程度の微小な温度範囲内での給気温度安定性を実現することができる。
(2)再熱ヒータ制御がないので、省コスト・省エネルギとなり、電磁波の影響を回避することができる。
(3)冷水系はダブルブリードインポンプを必要とせず、シングルブリードインポンプで充分なので省コスト・省エネルギとなる。
(4)構成部品に特殊仕様のものを必要とせず、仕様の詳細が明確な一般部品を利用できるので汎用性に富む。
(5)インバータの特性を活かして、クリーンルーム以外の用途への応用を図ることが可能になる。
以下、添付図面の実施例を参照しながら、本発明についてさらに詳述する。
A クリーンルーム10に向けて温度制御された空気を循環させる空調ダクト12と、循環ファン14と、冷却コイル16から成る空調ユニット18とを包含する空調ダクト系と、
B 冷却コイル16へ冷水を供給する冷水配管22と、冷水ポンプ26と、冷水供給量を調節する冷水制御弁28,30とを包含する冷水配管系と、
C クリーンルームへの給気温度センサ32と、クリーンルームからのレターン空気温度センサ34と、制御用コントローラ36,38とを包含する温度制御系とを備えている。
図2は、比較のために図1と同様の回路配置とし、空調ダクト系に再熱ヒータ60、温度センサ62、温度コントローラ64を挿入して構成した再熱制御システムを表している。
図3は、比較のために図1と同様の回路配置とし、循環ファン14の風量を一定に保つように構成した風量一定制御システムを表している。
図1の例では、第1の温度コントローラ36はインバータ20に接続されているが、図2の例では再熱ヒータ60に接続され、図3の例では制御弁28,30に接続されている点に留意されたい。
(1)制御弁;口径2B以下、動作時間45秒(50Hz)、レンジアビリティ50:1、イコールパーセント特性(自動制御用語)
(2)インバータ;7.5KW以下、加速時間5秒、減速時間10秒、を実現することができる。
(3)他への適用
このインバータ制御を冷水ポンプにも適用すれば冷水供給温度の微小変動を制御できることになる。
14 循環ファン 16 冷却コイル
18 空調ユニット 20 インバータ
22 冷水配管 24,26 冷水ポンプ
28,30 冷水制御弁 32 給気温度センサ
34 レターン空気温度センサ 36,38 温度コントローラ
Claims (1)
- クリーンルームに向けて温度制御された空気を循環させる空調ダクトと、循環ファンと、冷却コイルから成る空調ユニットとを包含する空調ダクト系と、
前記冷却コイルへ冷水を供給する冷水配管と、冷水ポンプと、冷水供給量を調節する冷水制御弁とを包含する冷水配管系と、
クリーンルームへの給気温度センサと、クリーンルームからのレターン空気温度センサと、制御用コントローラとを包含する温度制御系とを備えて成るクリーンルーム用の給気温度制御システムにおいて、
前記循環ファンにその回転数を制御するインバータを付設し、
前記給気温度センサと前記インバータとの間に第1の温度コントローラを接続し、
前記レターン空気温度センサと前記冷水制御弁との間に第2の温度コントローラを接続し、
前記給気温度センサからの信号を受けて前記第1の温度コントローラが前記インバータの回転数を制御することにより前記循環ファンの風量を調節し、
前記レターン空気温度センサからの信号を受けて前記第2の温度コントローラが前記冷水制御弁の開度を制御することにより冷水供給量を調節し、
クリーンルーム内の空気の温度をほぼ一定に制御することを特徴とするクリーンルーム用の給気温度制御システム。
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