JP2009172605A - 洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体を搬送経路1に流して加圧すると共に脈動流を発生させる。気体を前記搬送経路1を流れる液体に供給し加圧溶解させて気体が飽和状態となった液体を生成する。気体が飽和状態となった液体を大気圧まで減圧する。減圧された液体を被洗浄物6に噴射する。被洗浄物6の表面の汚れYと噴射された前記液体との界面に気泡を発生して汚れYを除去する。
【選択図】図1
Description
2 ポンプ
3 加圧溶解部
31 エゼクタ
32 気体分離部
33 圧力開閉弁
4 減圧部
41 弁
5 洗浄液噴射部
50 ノズル
5a 流体素子
51 流入口
52 噴出口
53 主経路
54 フィードバック流路
6 被洗浄物
W 液滴
Y 汚れ
B 微細気泡
Claims (5)
- 液体を搬送経路に流して加圧すると共に脈動流を発生させ、気体を前記搬送経路を流れる液体に供給し加圧溶解させて気体が飽和状態となった液体を生成し、気体が飽和状態となった液体を大気圧まで減圧し、減圧された液体を被洗浄物に噴射し、被洗浄物の表面の汚れと噴射された前記液体との界面に気泡を発生して汚れを除去することを特徴とする洗浄方法。
- 液体が水であることを特徴とする請求項1記載の洗浄方法。
- 気体が空気であることを特徴とする請求項1又は2記載の洗浄方法。
- 減圧された液体を、搬送経路と噴出口とを接続する主経路に流すと共に主経路の下流側から分流して再び主経路の上流側に合流する該主経路の両側にそれぞれ形成される二個のフィードバック流路に交互に流すことにより、発振状態で被洗浄物に噴射することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の洗浄方法。
- 液体を搬送経路に流して加圧すると共に脈動流を発生させるポンプと、気体を前記搬送経路を流れる液体に加圧溶解させて該気体が飽和状態となった液体を生成する加圧溶解部と、加圧溶解部で生成し気体が飽和状態となった液体を大気圧まで減圧する減圧部と、前記減圧部からの液体を被洗浄物に噴射する洗浄液噴射部とを備えて成り、洗浄液噴射部から噴射される液体が、被洗浄物の表面の汚れとの界面で気泡を発生させて汚れを除去する液体であることを特徴とする洗浄装置。
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