JP2009167040A - Method of cutting glass tube - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス管の切断方法に関し、さらに詳細には、石英ガラス、硼珪酸ガラスあるいはソーダガラスなどの各種のガラスにより形成された管体たるガラス管を所望の長さに切断する際に用いて好適なガラス管の切断方法に関する。 The present invention relates to a method of cutting a glass tube, and more specifically, used when cutting a glass tube, which is a tubular body formed of various glasses such as quartz glass, borosilicate glass, or soda glass, to a desired length. It is related with the cutting method of a suitable glass tube.
一般に、ガラス旋盤上でガラス管をリサイズする加工処理においては、ガラス旋盤のチャックにガラス管を取り付けた状態で当該ガラス管を切断することが行われている。 In general, in the processing of resizing a glass tube on a glass lathe, the glass tube is cut in a state where the glass tube is attached to a chuck of the glass lathe.
従来、こうしたガラス旋盤のチャックに取り付けられたガラス管を切断するには、例えば、図1に示すように、ガラス旋盤のチャック100(ガラス旋盤本体の図示は省略した。)に取り付けられたガラス管102における切断所望箇所にバーナー104から高温(例えば、2000℃程度である。)の火炎を放射して軟化するとともに、ガラス管102に対して軸方向に沿ってA矢印方向に引っ張る力を加えて、ガラス管102を引きちぎるようにして切断する手法が用いられていた。
Conventionally, in order to cut a glass tube attached to a chuck of such a glass lathe, for example, as shown in FIG. 1, a glass tube attached to a
しかしながら、こうした手法によるガラス管の切断では、切断箇所近傍に使用できない無駄な部分Bが生じ、歩留まりがよくないという問題点があった。 However, when the glass tube is cut by such a method, there is a problem that a useless portion B that cannot be used is generated in the vicinity of the cut portion, and the yield is not good.
また、ガラス管を切断する他の手法としては、図2に示すように、長尺のままガラス旋盤のチャックから取り外されたガラス管202を、例えば、切断専用の機械旋盤のチャック200などに固定して、固定されたガラス管202の切断所望箇所に水をかけながら、当該切断所望箇所をダイヤブレード204により切断する手法が用いられている。
As another method for cutting the glass tube, as shown in FIG. 2, the
しかしながら、こうした手法によりガラス管を切断するに際しては、ガラス管を切断するために当該ガラス管をガラス旋盤から機械旋盤などの切断専用の別の装置に固定しなければればならなかったり、ダイヤブレードによるガラス管の切断の際にガラスの微粒粉が発生するため、切断したガラス管がクリーンさを要求される半導体製造用の石英ガラス管などの場合には、切断の後の工程に移行する前に必ずHF洗浄などの洗浄処理を行うことが必要となったりするので、製造工程が煩雑になるという問題点があった。 However, when cutting a glass tube by such a method, in order to cut the glass tube, it is necessary to fix the glass tube from a glass lathe to another machine dedicated to cutting such as a machine lathe, or by using a diamond blade. In the case of a quartz glass tube for semiconductor manufacturing where the cut glass tube is required to be clean, the glass powder is generated when the glass tube is cut. Since a cleaning process such as HF cleaning is always required, the manufacturing process becomes complicated.
なお、本願出願人が特許出願時に知っている先行技術は、上記において説明したようなものであって文献公知発明に係る発明ではないため、記載すべき先行技術情報はない。
The prior art that the applicant of the present application knows at the time of filing a patent is as described above and is not an invention related to a known literature, so there is no prior art information to be described.
本発明は、従来の技術の有する上記したような種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、製造工程を煩雑にすることなく、ガラス管を切断する際にガラスの微粒粉を発生することがないようにするとともに、歩留まりを向上することができるようにしたガラス管の切断方法を提供しようとするものである。 The present invention has been made in view of the above-mentioned various problems of the prior art, and the object of the present invention is to make glass when cutting a glass tube without complicating the manufacturing process. It is an object of the present invention to provide a method of cutting a glass tube so as to prevent generation of fine powder and to improve the yield.
上記目的を達成するために、本発明は、ダイヤブレードを用いることなく、ガラス管の周囲にガラス切りなどのカッターでケガキ傷を付けることによりクラックを形成し、当該クラックの発生箇所を急速に冷却することによる材料収縮に伴う内部応力を利用して当該クラックを成長させることにより、当該クラックの発生箇所でガラス管を切断するようにしたものである。 In order to achieve the above object, the present invention forms a crack by scoring scratches with a cutter such as a glass cutter around a glass tube without using a diamond blade, and rapidly cools the occurrence of the crack. The glass tube is cut at the occurrence location of the crack by growing the crack by utilizing the internal stress accompanying the material shrinkage caused by this.
従って、本発明によれば、例えば、ガラス管をガラス旋盤を用いてリサイズ加工する際などにおいて、ガラス管をガラス旋盤のチャックに取り付けたままの状態で、ガラスの微粒粉を発生することなくクリーンに切断することができ、しかも製品の歩留まり向上と製造工程の煩雑さを回避することができる。 Therefore, according to the present invention, for example, when a glass tube is resized using a glass lathe, the glass tube is kept attached to the chuck of the glass lathe and clean without generating fine glass powder. In addition, the yield of the product can be improved and the complexity of the manufacturing process can be avoided.
即ち、本発明のうち請求項1に記載の発明は、ガラス管の外周面あるいは内周面における切断所望箇所にカッターを押しつけて、上記ガラス管と上記カッターとを上記切断所望箇所に沿って相対的に移動させ、上記ガラス管の上記外周面あるいは上記内周面における上記切断所望箇所に上記カッターによりケガキ傷を形成する第1の工程と、上記第1の工程で上記ガラス管の上記外周面あるいは上記外周面における上記ケガキ傷を形成された領域を冷却する第2の工程とを有するようにしたものである。
That is, in the invention according to claim 1 of the present invention, the cutter is pressed against a desired cutting position on the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the glass tube, and the glass tube and the cutter are relatively moved along the desired cutting position. The outer peripheral surface of the glass tube, and the outer peripheral surface of the glass tube and the outer peripheral surface of the glass tube in the first step, the first step of forming a scratch mark by the cutter at the desired cutting position on the outer peripheral surface or the inner peripheral surface of the glass tube Or it has a 2nd process which cools the field in which the above-mentioned scribing crack was formed in the above-mentioned peripheral face.
また、本発明のうち請求項2に記載の発明は、本発明のうち請求項1に記載の発明において、上記第2の工程は、液体窒素により上記ケガキ傷を形成された領域を冷却するようにしたものである。 Further, the invention according to claim 2 of the present invention is that, in the invention according to claim 1 of the present invention, the second step is to cool the area where the scuff marks are formed by liquid nitrogen. It is a thing.
また、本発明のうち請求項3に記載の発明は、本発明のうち請求項1または2のいずれか1項に記載の発明において、上記第1の工程の終了後であって上記第2の工程の開始前に、上記ガラス管における上記ケガキ傷を形成された領域に液体を塗布または散布するようにしたものである。 The invention according to claim 3 of the present invention is the invention according to any one of claims 1 or 2 in the present invention, wherein the second process is performed after the completion of the first step. Prior to the start of the process, the liquid is applied or sprayed onto the area where the scratch marks are formed in the glass tube.
本発明は、以上説明したように構成されているので、製造工程を煩雑にすることなく、ガラス管を切断する際にガラスの微粒粉を発生することがないとともに、歩留まりを向上することができるという優れた効果を奏する。 Since the present invention is configured as described above, the manufacturing process is not complicated, the glass powder is not generated when the glass tube is cut, and the yield can be improved. There is an excellent effect.
以下、添付の図面を参照しながら、本発明によるガラス管の切断方法の実施の形態の一例について詳細に説明するものとする。 Hereinafter, an example of an embodiment of a glass tube cutting method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
ここで、図3(a)(b)(c)には、本発明によるガラス管の切断方法の実施の形態の一例の処理手順を示す説明図が示されている。
Here, FIGS. 3A, 3 </ b> B, and 3 </ b> C are explanatory diagrams showing a processing procedure of an example of the embodiment of the glass tube cutting method according to the present invention.
この本発明によるガラス管の切断方法(以下、「本発明方法」と適宜に称する。)においては、まず、第1工程として、ガラス旋盤のチャック10(ガラス旋盤本体の図示は省略した。)に取り付けられた断面形状が正円筒形状のガラス管12を旋盤により回転させながら、ガラス管12の外周面における切断所望箇所にカッター14を所定の圧力で押しつけて、ガラス管12の回転に伴いガラス管12とカッター14とを相対的に移動させ、ガラス管12の外周面における切断所望箇所にケガキ傷を付ける(図3(a)参照。)。
In this glass tube cutting method according to the present invention (hereinafter referred to as “the present invention method” as appropriate), first, as a first step, a glass lathe chuck 10 (the illustration of the glass lathe body is omitted). While rotating the attached
即ち、この実施の形態においては、断面形状が正円筒形状のガラス管12を軸方向に対して直交するように切断する箇所を切断所望箇所とするものであり、上記した第1工程により、ガラス管12の外周面には、軸線方向と直交する切断所望箇所に沿ってケガキ傷が形成されることになる。
That is, in this embodiment, a portion where the cross-sectional shape of the
なお、第1工程においてガラス管12の外周面にケガキ傷を付ける際には、ガラス管12の外周面に一定の圧力でカッター14を押し当てることが好ましく、また、カッター14としては、例えば、鋼鉄製のチップやダイアモンドチップ、超硬合金製のチップなどの各種のカッターを用いることができる。
In addition, when making a scratch on the outer peripheral surface of the
上記した第1工程を終了すると、第2工程として、ガラス旋盤のチャック10にガラス管12を取り付けた状態において、第1工程で形成されたガラス管12の外周面におけるケガキ傷を形成した領域を液体窒素により急速冷却する。
When the first step described above is completed, as a second step, in a state where the
なお、冷却手段としては、上記した液体窒素の他に液体酸素や液化プロパンなどを用いることができるが、純度的な観点から清浄な液体窒素を使用することが好ましい。 As the cooling means, liquid oxygen, liquefied propane, or the like can be used in addition to the liquid nitrogen described above, but it is preferable to use clean liquid nitrogen from the viewpoint of purity.
具体的には、液体窒素タンク16に連結されたパイプ18から当該液体窒素タンク16内に貯留された液体窒素をガラス管12の外周面におけるケガキ傷を形成した領域に放出して、ガラス管12の外周面におけるケガキ傷を形成した領域を急速に冷却する。
Specifically, the liquid nitrogen stored in the
この際に、ガラス旋盤によりガラス管12を回転させて、ガラス管12とパイプ18から放出される液体窒素とを相対的に移動させ、パイプ18から放出される液体窒素がケガキ傷の軌跡に沿って移動するようにして、ケガキ傷を付けた全領域に対応するガラス管12の外周面の全領域を冷却する。
At this time, the
こうした第2工程を行うと、ガラス管12の外周にケガキ傷を付けることにより形成されたクラックが、液体窒素のガラス管12表面からの急速冷却による温度差からの材料収縮に伴う内部応力により成長して、ガラス管12の外周面におけるケガキ傷から当該ケガキ傷と対向するガラス管12の内周面へ進展して、当該クラックの発生箇所でガラス管12が完全に切断される(図3(c)参照。)。
When such a second step is performed, a crack formed by scratching the outer periphery of the
こうして切断されたガラス管12の切断面は平滑であり、次工程をそのままの状態で行うことができる。
The cut surface of the
なお、切断対象のガラス管12が、例えば、内径(内周の直径)が458mm(φ458mm)であり、管壁の厚さが5.5mmの石英ガラス管である場合に、カッター14、24、34によりガラス管12にケガキ傷を形成する際には、例えば、カッター14、24、34として超硬合金製のチップを用い、カッター14、24、34をガラス管12の周面に押しつける圧力を0.10〜0.25MPaとし、また、カッター14、24、34がガラス管12の周面を相対的に移動する速度は、約14sec/mとすればよい。
When the
また、液体窒素でガラス管12のケガキ傷形成領域を急速冷却する前に、ケガキ傷に純水などの液体を塗布または散布しておくと、ケガキ傷により形成された微細なクラックに液体が入り込むことになり、このクラックに入り込んだ液体が液体窒素で冷却固化されて液相から固相へ相変化すると、この相変化に伴う体積膨張によりクラックが押し広げられることになる。
Moreover, if liquid such as pure water is applied to or sprayed on the scratched scratches before rapidly cooling the scratched scratching region of the
こうしたクラックの押し広げ作用は、液体窒素の急速冷却による材料収縮に伴う内部応力でのクラックの成長を助長する効果があるので、ガラス管12のケガキ傷形成領域を急速冷却する前にケガキ傷に純水などの液体を塗布または散布しておくことが好ましい。
Such a crack spreading action has an effect of promoting the growth of cracks due to internal stress accompanying the material shrinkage due to the rapid cooling of liquid nitrogen, so that the crack formation area of the
なお、液体としては、上記した純水以外の液体を用いることも可能であるが、純度的な観点から清浄な純水を使用することが好ましい。 As the liquid, it is possible to use a liquid other than the pure water described above, but it is preferable to use clean pure water from the viewpoint of purity.
上記において説明したように、本願発明によれば、ガラス管を切断する際にガラスの微粒粉を発生することがなく、ダイヤブレードからの金属不純物の混入がないのでクリーンに切断でき、かつ、ガラス旋盤上でガラス管を取り外すことなく効率よく切断できるため、歩留まりを向上することができる。
As described above, according to the present invention, when the glass tube is cut, fine glass powder is not generated, and no metal impurities are mixed from the diamond blade, so that the glass tube can be cut cleanly, and the glass Since it can cut efficiently, without removing a glass tube on a lathe, a yield can be improved.
また、本願発明によれば、ガラス管をガラス旋盤から取り外すことなく切断でき、かつ、切断面が平滑なため、切断後はそのまま丸封管や尾管などを接合するといった次工程の加工が可能となるため、製造工程の短縮化を図ることができる。
In addition, according to the present invention, the glass tube can be cut without being removed from the glass lathe and the cut surface is smooth, so that the next process such as joining a round sealed tube or a tail tube is possible after cutting. Therefore, the manufacturing process can be shortened.
なお、上記した実施の形態は、以下の(1)乃至(5)に示すように変形することができるものである。
The embodiment described above can be modified as shown in the following (1) to (5).
(1)上記した実施の形態においては、ガラス旋盤にガラス管を回転することにより、ガラス管とカッターとを相対的に移動するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、ガラス管を回転させずにカッターを回転させるようにしてもよいし、ガラス管とカッターとの両方を回転するようにしてもよい。 (1) In the above-described embodiment, the glass tube and the cutter are relatively moved by rotating the glass tube on the glass lathe, but it is of course not limited to this. The cutter may be rotated without rotating the glass tube, or both the glass tube and the cutter may be rotated.
(2)上記した実施の形態においては、切断する対象のガラス管として石英ガラスよりなるガラス管たる石英ガラス管を用いた場合について説明したが、本発明により切断する対象のガラス管はこれに限られるものではないことは勿論であり、本発明によれば石英ガラス以外のガラス、例えば、硼珪酸ガラスあるいはソーダガラスよりなるガラス管を切断することができる。 (2) In the above-described embodiment, the case where a quartz glass tube, which is a glass tube made of quartz glass, is used as the glass tube to be cut, but the glass tube to be cut according to the present invention is not limited thereto. Of course, according to the present invention, a glass tube made of glass other than quartz glass, such as borosilicate glass or soda glass, can be cut.
(3)上記した実施の形態においては、ガラス管12の外周面におけるケガキ傷を形成した領域を液体窒素により冷却したが、これに限られるものではないことは勿論であり、電気冷却装置などによりガラス管12の外周面におけるケガキ傷を形成した領域を冷却するようにしてもよい。
(3) In the above-described embodiment, the region where the scuff marks are formed on the outer peripheral surface of the
(4)上記した実施の形態においては、ガラス管12の外周面にケガキ傷を形成し、ガラス管12の外周面側からケガキ傷を形成した領域に液体窒素を放出して冷却するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論である。
(4) In the above-described embodiment, the scratch marks are formed on the outer peripheral surface of the
即ち、ガラス管12の内周面にケガキ傷を形成し、ガラス管12の内周面側からケガキ傷を形成した領域に液体窒素を放出して冷却するようにしてもよい。
That is, a scratch mark may be formed on the inner peripheral surface of the
また、ガラス管12の外周面にケガキ傷を形成し、ガラス管12の内周面側からケガキ傷を形成した領域に向けて液体窒素を放出して冷却するようにしてもよいし、あるいは、ガラス管12の内周面にケガキ傷を形成し、ガラス管12の外周面側からケガキ傷を形成した領域に向けて液体窒素を放出して冷却するようにしてもよい。
Alternatively, a scratch mark may be formed on the outer peripheral surface of the
(5)上記した実施の形態ならびに上記した(1)乃至(4)に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。 (5) You may make it combine suitably the embodiment shown above and the modification shown in said (1) thru | or (4).
本発明は、石英ガラス、硼珪酸ガラスあるいはソーダガラスなどの各種のガラスにより形成された管体たるガラス管を所望の長さに切断する際に利用することができるものである。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used when a glass tube, which is a tubular body formed of various glasses such as quartz glass, borosilicate glass, or soda glass, is cut to a desired length.
10、100、200 チャック
12、102、202 ガラス管
14 カッター
16 液体窒素タンク
18 パイプ
104 バーナー
204 ダイヤブレード
10, 100, 200
Claims (3)
前記第1の工程で前記ガラス管の前記外周面あるいは前記外周面における前記ケガキ傷を形成された領域を冷却する第2の工程と
を有することを特徴とするガラス管の切断方法。 A cutter is pressed against a desired cutting position on the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the glass tube, the glass tube and the cutter are moved relatively along the desired cutting location, and the outer peripheral surface or the inner surface of the glass tube is moved. A first step of forming a scratch on the periphery of the desired cutting position by the cutter;
A second step of cooling the outer peripheral surface of the glass tube in the first step or a region in which the scratch marks are formed on the outer peripheral surface.
前記第2の工程において、液体窒素により前記ケガキ傷を形成された領域を冷却する
ことを特徴とするガラス管の切断方法。 In the cutting method of the glass tube of Claim 1,
In the second step, the region where the scratch marks are formed by liquid nitrogen is cooled. A method for cutting a glass tube, wherein:
前記第1の工程の終了後であって前記第2の工程の開始前に、前記ガラス管における前記ケガキ傷を形成された領域に液体を塗布または散布する
ことを特徴とするガラス管の切断方法。 In the cutting method of the glass tube of any one of Claim 1 or 2,
A method of cutting a glass tube, comprising: applying or spraying a liquid to an area of the glass tube where the scratches are formed after the first step and before the start of the second step. .
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101232071B1 (en) | 2011-01-05 | 2013-02-12 | 이광일 | Device for cutting glass tube |
JP2017014026A (en) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 日本電気硝子株式会社 | Glass tube cutting method and glass tube cutting device |
JP2017014028A (en) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 日本電気硝子株式会社 | Glass tube cutting method and glass tube cutting device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0585765A (en) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Method for breaking glass plate |
JPH0967136A (en) * | 1995-08-25 | 1997-03-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Cutting device for glass tube |
JP2000063137A (en) * | 1998-08-10 | 2000-02-29 | Toyota Motor Corp | Method for cutting plate glass and apparatus therefor |
JP2002241142A (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for cutting glass tube |
-
2008
- 2008-01-15 JP JP2008005277A patent/JP5085345B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0585765A (en) * | 1991-09-30 | 1993-04-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Method for breaking glass plate |
JPH0967136A (en) * | 1995-08-25 | 1997-03-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Cutting device for glass tube |
JP2000063137A (en) * | 1998-08-10 | 2000-02-29 | Toyota Motor Corp | Method for cutting plate glass and apparatus therefor |
JP2002241142A (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for cutting glass tube |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101232071B1 (en) | 2011-01-05 | 2013-02-12 | 이광일 | Device for cutting glass tube |
JP2017014026A (en) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 日本電気硝子株式会社 | Glass tube cutting method and glass tube cutting device |
JP2017014028A (en) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 日本電気硝子株式会社 | Glass tube cutting method and glass tube cutting device |
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Publication number | Publication date |
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