JP2009164216A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子の移動度を向上させたSBSIデバイスを実現可能とした半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】Si基板1上にSiGe層を形成する工程と、SiGe層上にSi層5を形成する工程と、Si層5及びSiGe層をエッチングして、Si層5及びSiGe層を貫く支持体穴hを形成する工程と、支持体穴hに支持体11を形成する工程と、Si層5をエッチングして、SiGe層を露出させる溝を(紙面の手前と奥側に)形成する工程と、前記溝を介してSiGe層をエッチングすることにより、Si層5とSi基板1との間に空洞部21を形成する工程と、空洞部21にa−Si膜25を形成する工程と、a−Si膜25を熱酸化してSiO2膜27を形成する工程と、を含む。
【選択図】図2
【解決手段】Si基板1上にSiGe層を形成する工程と、SiGe層上にSi層5を形成する工程と、Si層5及びSiGe層をエッチングして、Si層5及びSiGe層を貫く支持体穴hを形成する工程と、支持体穴hに支持体11を形成する工程と、Si層5をエッチングして、SiGe層を露出させる溝を(紙面の手前と奥側に)形成する工程と、前記溝を介してSiGe層をエッチングすることにより、Si層5とSi基板1との間に空洞部21を形成する工程と、空洞部21にa−Si膜25を形成する工程と、a−Si膜25を熱酸化してSiO2膜27を形成する工程と、を含む。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に、半導体基板上にいわゆるSOI(Silicon On Insulator)構造を部分的に形成する技術に関する。
SOI基板上に形成された電界効果型トランジスタは、素子分離の容易性、ラッチアップフリー、ソース/ドレイン接合容量が小さいなどの点から、その有用性が注目されている。特に、完全空乏型SOIトランジスタは、低消費電力かつ高速動作が可能で、低電圧駆動が容易なため、SOIトランジスタを完全空乏モードで動作させるための研究が盛んに行われている。SOI基板としては、例えば、SIMOX(Separation by Implanted Oxygen)基板や貼り合わせ基板などが用いられているが、いずれもその製造法が特殊であり、通常のCMOSプロセスでは作ることができない。
このため、普通のバルクシリコンウェハから、通常のCMOSプロセスでSOI構造を作る方法であるSBSI(Separation by Bonding Silicon Island)法が知られている(例えば、非特許文献1参照)。以下、SBSI法について図を参照しながら説明する。
図11〜図13は、従来例に係る半導体装置の製造方法を示す図である。図11〜図13において、(a)は平面図、(b)は(a)をX11−X´11〜X13−X´13線でそれぞれ切断したときの断面図である。
図11〜図13は、従来例に係る半導体装置の製造方法を示す図である。図11〜図13において、(a)は平面図、(b)は(a)をX11−X´11〜X13−X´13線でそれぞれ切断したときの断面図である。
図11(a)及び(b)に示すように、まず始めに、シリコン(Si)基板101上にシリコンゲルマニウム(SiGe)層111とSi層113とを順次成膜し、そこに支持体用の溝h´1を形成する。Si層113とSiGe層111はエピタキシャル成長法で形成し、支持体用の溝h´1はドライエッチングで形成する。次に、Si基板101上の全面に支持体膜を成膜した後、支持体膜をドライエッチングして、図12(a)及び(b)に示すような支持体122を形成し、さらに、支持体122下から露出しているSi層113/SiGe層111もドライエッチングする。この状態で、SiGe層111を図12(a)の矢印の方向からフッ硝酸溶液でエッチングすると、支持体122にSi層113がぶらさがった形でSi層113の下に空洞部125が形成される。
次に、図13(a)及び(b)に示すように、Si基板101を熱酸化して空洞部125内にシリコン酸化(SiO2)膜131を形成する(BOX酸化工程)。このようにして、SiO2膜131とSi層113とからなるSOI構造をバルクのSi基板(即ち、バルクシリコンウェハ)101上に形成する。SiO2膜131はBOX層ともいい、Si層113はSOI層ともいう。SOI構造を形成した後は、CVD(Chemical Vapor Deposition)によってSi基板101上の全面にSiO2膜(図示せず)を成膜する。そして、SiO2膜と支持体122とをCMPで平坦化し、さらにHF系溶液でウェットエッチング(即ち、HFエッチ)することで、Si層113の表面を露出させる。
T.Sakai et al."Separation by BondingSi Islands(SBSI) for LSI Application",Second International SiGe Technology and Device Meeting,Meeting Abstract,pp.230−231,May(2004) 手塚勉、他7名、「高移動度チャネルを有するひずみSi−on−insulator/ひずみSiGe−on insulator デュアルチャネルCMOSの作成と電気特性」、IEEJ Trans.EIS,VOl.126,Nov,2006 p.1332−1339. A.V−Y.Thean et al."Uniaxial−Biaxial Stress Hybridization For Super−Critical Strained−Si Directly On Insulator(SC−SSOI)PMOS With Different Channel Orientation",IEDM05−515
T.Sakai et al."Separation by BondingSi Islands(SBSI) for LSI Application",Second International SiGe Technology and Device Meeting,Meeting Abstract,pp.230−231,May(2004) 手塚勉、他7名、「高移動度チャネルを有するひずみSi−on−insulator/ひずみSiGe−on insulator デュアルチャネルCMOSの作成と電気特性」、IEEJ Trans.EIS,VOl.126,Nov,2006 p.1332−1339. A.V−Y.Thean et al."Uniaxial−Biaxial Stress Hybridization For Super−Critical Strained−Si Directly On Insulator(SC−SSOI)PMOS With Different Channel Orientation",IEDM05−515
上記のように、SBSI法は、SOI層に形成されるデバイス(以下、SOIデバイスという。)を低コストで提供できる点、及び、バルクのSi基板に直接形成されるデバイス(以下、バルクSiデバイスという。)とSOIデバイスとを同一基板に容易に混載できるという点、で非常に有効な技術である。ただし、SBSI法で形成されるSOIデバイスと、SOIウエーハから形成される一般的なSOIデバイスとを比較した場合、性能の面では差が無い。そのため、SBSI法で形成されるSOIデバイスの性能をSBSIプロセス独特の構造を利用して高めていくことが、SBSI法のメリットをさらに向上させる観点から望まれていた。
一方、現在の一般的な半導体デバイスでは、微細化を進めることで高速化や小型化などの性能向上を果たしている。しかしながら、そういった微細化による性能向上も限界が見え始めたため、さまざまな企業や研究機関において微細化以外の方法によってデバイス性能向上が図られている。その高性能化手段の一つに、チャネルとなる領域(以下、チャネル領域という。)に応力を印加してキャリアの移動度を向上させる技術、いわゆる歪みSiチャネル技術がある(例えば、非特許文献2参照)。歪みSiチャネル技術は、SGOI(SiGe On Insulator)や、SSOI(Strained Silicon On Insulator)などに代表されるグローバル歪み技術と、窒化膜等を使用したローカル歪み技術に大別されるが、一般的に知られている事実として、図14に示すように、平面視でチャネルと略平行な方向(以下、チャネル平行方向という。)に引っ張り応力を与え、平面視でチャネルと略垂直な方向(以下、チャネル垂直方向という。)に引っ張り応力を与えると電子の移動度が向上する(例えば、非特許文献3参照)。
ここで、図11〜図13に示したように、SBSI法は、支持体の形成工程や、空洞部の形成工程、空洞部の埋め込み工程など独特のプロセスを有する。また、このようなプロセスにより形成されるSOIデバイス(以下、SBSIデバイスという。)では、SOI層は平面視で部分的(即ち、島状)に形成される。このため、SBSI法については、SGOIやSSOIなどの従来の歪み技術を適用することができず、チャネル領域に歪を持たせて電子の移動度を向上させたSBSIデバイス(即ち、SBSI法により形成されるSOIデバイス)を実現することはできていなかった。
そこで、この発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、電子の移動度を向上させたSBSIデバイスを実現可能とした半導体装置の製造方法の提供を目的とする。
そこで、この発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、電子の移動度を向上させたSBSIデバイスを実現可能とした半導体装置の製造方法の提供を目的とする。
図9は、本発明者が行った実験結果であり、ウエーハの反りと移動度との関係を示す図である。図9の横軸はゲート電圧Vgであり、縦軸は移動度(Mobility)である。ここでは、図10に示すように、通常のプロセスによって作成したトランジスタが搭載されているウエーハを板に載せ、この板を凸状に反らせてトランジスタの電気特性を測定した。板は、常温で変形することが可能な材質からなり、板を円筒状の金属板に載せ、その両側に冶具を用いて機械的な力を加えることにより、板を凸状に反らせることができる。図9に示すように、反らせていないもの(即ち、反り無し)と反らせたもの(即ち、凸状の反り)とを比較すると、凸状の反りを備えるほうが移動度が高くなっていることが確認できた。これは、凸状の反りによってチャネル領域に引っ張り応力が与えられるためと考えられる。本発明は、このような知見(即ち、何らかの力でウエーハを断面視で凸状に反らせてチャネル領域に引っ張り応力を与えると、移動度が向上するという知見)に基づいてなされたものである。
〔発明1〕 発明1の半導体装置の製造方法は、半導体基板上に第1半導体層を形成する工程と、前記第1半導体層上に第2半導体層を形成する工程と、前記第2半導体層及び前記第1半導体層をエッチングして、前記第2半導体層及び前記第1半導体層を貫く第1溝を形成する工程と、前記第1溝に支持体を形成する工程と、前記第2半導体層をエッチングして、前記第1半導体層を露出させる第2溝を形成する工程と、前記第2溝を介して前記第1半導体層をエッチングすることにより、前記第2半導体層と前記半導体基板との間に空洞部を形成する工程と、前記空洞部に半導体膜を形成する工程と、前記半導体膜を熱酸化する工程と、を含むことを特徴とするものである。
ここで、本発明の「半導体基板」は例えばバルクのシリコン(Si)基板であり、「第1半導体層」は例えば単結晶のシリコンゲルマニウム(SiGe)層であり、「第2半導体層」は例えば単結晶のSi層である。SiGe層及びSi層は、例えばエピタキシャル成長法によって形成することができる。また、本発明の「支持体」は例えばシリコン酸化(SiO2)膜又はシリコン窒化(Si3N4)膜などの絶縁膜からなる。さらに、本発明の「半導体膜」は、例えば、アモルファスシリコン(a−Si)又はポリシリコン(Poly−Si)膜である。
発明1の半導体装置の製造方法によれば、半導体膜を熱酸化して酸化膜を形成する際に、半導体膜から酸化膜への組成変化に伴う体積膨張によって第2半導体層を断面視で凸状に反らせることができる。従って、第2半導体層に外側へ引っ張られる力(即ち、引っ張り応力)を与えることができる。また、このような引っ張り応力の付与により、第2半導体層に歪を持たせて電子の移動度を向上させることができる。
〔発明2〕 発明2の半導体装置の製造方法は、発明1の半導体装置の製造方法において、前記半導体膜を形成する工程は、前記空洞部の前記第1溝側の端部を埋め込み、且つ、前記空洞部の中心部には隙間を残すように前記空洞部に前記半導体膜を形成する工程、であることを特徴とするものである。このような方法によれば、空洞部の第1溝側の端部では半導体膜の酸化が進まず、一方、空洞部の中心部では半導体膜の酸化が進む。その結果、空洞部の第1溝側の端部よりも中心部で体積膨張が顕著となるので、第2半導体層を断面視で凸状に反らせることが容易となる。
〔発明3〕 発明3の半導体装置の製造方法は、発明1又は発明2の半導体装置の製造方法において、前記空洞部を形成する工程と、前記半導体膜を形成する工程との間に、前記空洞部の内部に面する前記半導体基板の表面と前記第2半導体層の裏面とをそれぞれ熱酸化して下地酸化膜を形成する工程、をさらに含み、前記半導体膜を形成する工程では、前記下地酸化膜が形成された前記空洞部に当該半導体膜を形成することを特徴とするものである。このような方法であれば、半導体膜を熱酸化して酸化膜を形成する際に、半導体膜に続いて第2半導体層が連続して酸化されることを防ぐことができる。
〔発明4〕 発明4の半導体装置の製造方法は、発明3の半導体装置の製造方法において、前記空洞部の空洞幅をW1とし、前記下地酸化膜の形成後に前記空洞部に残される隙間の最大空隙幅をW2としたとき、前記空洞部の上下にそれぞれ形成される前記下地酸化膜の膜厚狙い値Toxを前記W1と同じ大きさに設定すると共に、前記空洞部の上下にそれぞれ形成される前記半導体膜の膜厚狙い値Tdepoを、(W2−50[Å])/2 > Tdepo > W2/4、の範囲内となるように設定することを特徴とするものである。ここで、「空洞部の空洞幅」とは空洞部の断面視による高さのことである。また、「隙間の最大空隙幅」とは隙間の断面視による最大高さのことである。このような方法によれば、第2半導体層を再現性良く凸状に反らせることができる。
〔発明5〕 発明5の半導体装置の製造方法は、発明1から発明4の何れか一の半導体装置の製造方法において、前記半導体膜は、アモルファス構造の半導体膜であることを特徴とするものである。このような方法によれば、多結晶構造の半導体膜と比べて、空洞部への半導体膜の埋め込み性を高めることができ、空洞部の奥深いところであっても半導体膜の形成が容易となる。
〔発明6〕 発明6の半導体装置の製造方法は、発明1から発明4の何れか一の半導体装置の製造方法において、前記半導体膜は、多結晶構造の半導体膜であることを特徴とするものである。このような方法によれば、アモルファス構造の半導体膜と比べて、空洞部内で上下方向から堆積してくる半導体膜同士の密着性を高めることができ、例えば、空洞部の第1溝側の端部において隙間の少ない半導体膜を形成することが容易となる。
〔発明7〕 発明7の半導体装置の製造方法は、発明5の半導体装置の製造方法において、前記半導体膜を形成する工程と、前記半導体膜を熱酸化する工程との間に、前記アモルファス構造の半導体膜に熱処理を施して当該半導体膜を多結晶化する工程、をさらに含むことを特徴とするものである。このような方法によれば、空洞部への半導体膜の埋め込み性と、空洞部内での半導体膜の密着性とを共に高めることができる。
〔発明8〕 発明8の半導体装置の製造方法は、発明1から発明7の何れか一の半導体装置の製造方法において、前記半導体膜は、シリコンであることを特徴とするものである。
〔発明8〕 発明8の半導体装置の製造方法は、発明1から発明7の何れか一の半導体装置の製造方法において、前記半導体膜は、シリコンであることを特徴とするものである。
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
(1)製造工程について
図1(a)〜図2(c)は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず始めに、図1(a)において、バルクのシリコン(Si)基板1上にシリコンゲルマニウム(SiGe)層3を形成し、その上に単結晶のシリコン(Si)層5を形成する。これらSiGe層3、Si層5は、例えばエピタキシャル成長法で連続して形成する。次に、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術により、Si層5、SiGe層3をそれぞれ部分的にエッチングする。これにより、素子分離領域(即ち、SOI構造を形成しない領域)と平面視で重なる領域に、Si基板1を底面とする支持体穴hを形成する。このエッチング工程では、Si基板1の表面でエッチングを止めるようにしてもよいし、Si基板1をオーバーエッチングして凹部を形成するようにしても良い。
(1)製造工程について
図1(a)〜図2(c)は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず始めに、図1(a)において、バルクのシリコン(Si)基板1上にシリコンゲルマニウム(SiGe)層3を形成し、その上に単結晶のシリコン(Si)層5を形成する。これらSiGe層3、Si層5は、例えばエピタキシャル成長法で連続して形成する。次に、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術により、Si層5、SiGe層3をそれぞれ部分的にエッチングする。これにより、素子分離領域(即ち、SOI構造を形成しない領域)と平面視で重なる領域に、Si基板1を底面とする支持体穴hを形成する。このエッチング工程では、Si基板1の表面でエッチングを止めるようにしてもよいし、Si基板1をオーバーエッチングして凹部を形成するようにしても良い。
次に、支持体穴hを埋め込むようにしてSi基板1上にシリコン酸化(SiO2)膜を形成する。このSiO2膜は例えばCVDで形成する。そして、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術により、SiO2膜、Si層5及びSiGe層3をそれぞれ順次、部分的にエッチングする。これにより、図1(b)に示すように、SiO2膜からなる支持体11を形成すると共に、素子分離領域と平面視で重なる領域(図示しないが、紙面の手前側と奥側の領域)にSi基板1を底面とする溝を形成する。この溝を形成する工程では、Si基板1の表面でエッチングを止めるようにしても良いし、Si基板1をオーバーエッチングして凹部を形成するようにしても良い。
次に、図1(c)に示すように、図示しない溝を介して例えばフッ硝酸溶液をSi層5及びSiGe層3のそれぞれの側面に接触させて、SiGe層3を選択的にエッチングして除去する。これにより、Si層5とSi基板1との間に空洞部21を形成する。フッ硝酸溶液を用いたウェットエッチングでは、Siと比べてSiGeのエッチングレートが大きい(即ち、Siに対するエッチングの選択比が大きい)ので、Si層5を残しつつSiGe層3だけをエッチングして除去することが可能である。空洞部21の形成後、Si層5は支持体(SiO2膜)11により支えられることとなる。なお、上記のSiGe層3をエッチングする工程では、フッ硝酸溶液の代わりに、フッ硝酸過水、アンモニア過水、或いはフッ酢酸過水などを用いても良い。過水とは過酸化水素水のことである。この場合も、Siと比べてSiGeのエッチングレートが大きいので、SiGe層3を選択的に除去することが可能である。
次に、Si基板1全体に熱酸化処理を施す。これにより、図2(a)に示すように、空洞部21全体に隙間を残しつつ、空洞部21の内部に面するSi基板1の表面とSi層5の裏面とにそれぞれSiO2膜23を形成する。なお、この熱酸化の工程では、支持体(SiO2膜)11とSi層5との熱膨張係数の違いから、若干ではあるが、Si層5が断面視で凸状に反ることとなる。
次に、例えばCVD法によりSi基板1上にアモルファスシリコン(a−Si)膜を堆積する。これにより、図2(b)に示すように、少なくとも空洞部21の中心部に隙間を残しつつ、空洞部21内にa−Si膜25を形成する。なお、このa−Si膜25の形成工程では、図2(b)に示すように、空洞部の支持体穴h側の端部がa−Si膜25で完全に埋め込まれるように、a−Si膜25の形成条件(例えば、厚さ)を調整することが望ましい。
次に、Si基板1全体に熱酸化処理を施す。これにより、図2(c)に示すように、空洞部内のa−Si膜を熱酸化してSiO2膜27を形成する。この熱酸化の工程では、支持体(SiO2膜)11とSi層5との熱膨張係数の違いによって、及び、a−Si膜25からSiO2膜27への組成変化に伴う体積膨張によって、Si層5の中心部(即ち、チャネル領域)がさらに凸状に反ることとなる。
なお、図2(b)に示したように、空洞部の支持体穴h側の端部がa−Si膜25で完全に埋め込まれている場合は、この部分に酸素等が供給されにくく、a−Si膜25の酸化はさほど進まない。一方、空洞部の中心部では隙間が残されているので、a−Si膜の酸化が進む。その結果、空洞部の支持体穴h側の端部よりも中心部で体積膨張が顕著となるので、Si層5を断面視で凸状に反らせることが容易となる。また、この熱酸化の工程では、空洞部の内部に面するSi層5の裏面と、Si基板1の表面はそれぞれSiO2膜で覆われているので、a−Si膜を酸化し過ぎた場合でも、Si層5裏面とSi基板1表面への酸化の進行を防止することができる。その結果、例えば、Si層5の意図しない薄膜化を防ぐことができる。
次に、例えばCVD法により、Si基板1上に例えばSiO2膜(図示せず)を堆積させて、(紙面手前側と奥側の)溝を完全に埋め込む。この際、空洞部に隙間が残されている場合は、このSiO2膜の形成工程で空洞部を完全に埋め込むようにしても良い。
これ以降の工程は、従来のSBSI法と同じである。即ち、SiO2膜を例えばCMP(Chemical Mechanical Polish)により平坦化しながら除去して、Si層5の表面を露出させる。これにより、バルクのSi基板1上にSiO2膜(即ち、BOX層)27とSi層(即ち、SOI層)5とからなるSOI構造が完成する。なお、上記の平坦化工程では、Si層5上にSiO2膜27を僅かに残した状態でCMPを止め、残りのSiO2膜を例えばDHF(Diluted HF:希フッ酸)等を用いたウェットエッチングで除去することが好ましい。これにより、Si層5の表面がCMPによりダメージを受けることを防止することができる。
これ以降の工程は、従来のSBSI法と同じである。即ち、SiO2膜を例えばCMP(Chemical Mechanical Polish)により平坦化しながら除去して、Si層5の表面を露出させる。これにより、バルクのSi基板1上にSiO2膜(即ち、BOX層)27とSi層(即ち、SOI層)5とからなるSOI構造が完成する。なお、上記の平坦化工程では、Si層5上にSiO2膜27を僅かに残した状態でCMPを止め、残りのSiO2膜を例えばDHF(Diluted HF:希フッ酸)等を用いたウェットエッチングで除去することが好ましい。これにより、Si層5の表面がCMPによりダメージを受けることを防止することができる。
その後、Si層5に例えばMOSトランジスタを形成する。具体的には、Si層5の表面にゲート絶縁膜(図示せず)を形成する。ゲート絶縁膜は、例えば、熱酸化により形成されるSiO2膜若しくはシリコン酸化窒化膜(SiON)、又は、High−k材料膜である。次に、このゲート絶縁膜が形成されたSOI基板上の全面にポリシリコン(poly−Si)膜を形成する。このポリシリコン膜の形成は、例えばCVD法により行う。ここでは、ポリシリコン膜に不純物をイオン注入、又は、in−Situ等で導入して、ポリシリコン膜に導電性を持たせる。次に、フォトリソグラフィー技術とエッチング技術により、ポリシリコン膜を部分的にエッチングしてゲート電極(図示せず)を形成する。そして、ゲート電極をマスクにSi層5に不純物をイオン注入し熱処理を施して、ソース又はドレイン(図示せず)を形成する。このようにして、MOSトランジスタを完成させる。
(2)膜厚の設定方法について
次に、SiO2膜27の膜厚と、a−Si膜25の膜厚のそれぞれの設定方法の一例について説明する。
図3(a)〜図6(b)は上記膜厚の設定方法を説明するための断面図である。図3(a)及び(b)に示すように、Siの酸化工程では、Siを酸化することにより形成されるSiO2の膜厚をToxとすると、元のSi表面を中心として上下にそれぞれTox/2の厚さを有するSiO2が形成される。つまり、Siの消費量:形成されるSiO2の膜厚=1:2、の関係である。従って、図4(a)及び(b)に示すように、上下から成長してくるSiO2で空洞部を埋め込む際、上下のSiO2の膜厚狙い値をそれぞれ空洞幅W1(即ち、SiGe層の膜厚)とすると上下のSiO2同士が完全に密着して隙間が消える。ただし、このようなSiO2同士の完全密着は、上下のSiに反りが無い理想的な状態で実現される。
次に、SiO2膜27の膜厚と、a−Si膜25の膜厚のそれぞれの設定方法の一例について説明する。
図3(a)〜図6(b)は上記膜厚の設定方法を説明するための断面図である。図3(a)及び(b)に示すように、Siの酸化工程では、Siを酸化することにより形成されるSiO2の膜厚をToxとすると、元のSi表面を中心として上下にそれぞれTox/2の厚さを有するSiO2が形成される。つまり、Siの消費量:形成されるSiO2の膜厚=1:2、の関係である。従って、図4(a)及び(b)に示すように、上下から成長してくるSiO2で空洞部を埋め込む際、上下のSiO2の膜厚狙い値をそれぞれ空洞幅W1(即ち、SiGe層の膜厚)とすると上下のSiO2同士が完全に密着して隙間が消える。ただし、このようなSiO2同士の完全密着は、上下のSiに反りが無い理想的な状態で実現される。
一方、図5(a)及び(b)に示すように、Si層5に反りが生じる実際のSBSIの場合、上下から成長してくるSiO2膜23の膜厚狙い値をそれぞれW1とすると、支持体穴側の最端部では上下のSiO2膜23同士が密着するが、中心部にいくほど隙間の空隙幅が大きくなっていく。このとき、最大空隙幅W2は反り量Bと同じ値になる。
ここで、図6(a)及び(b)に示すように、a−Si膜25(又は、後述するpoly−Si膜35)による空洞部の埋め込み後、隙間からの酸化によってSi層5をさらに凸状に反らせるためには、a−Si膜25(又は、poly−Si膜35)の埋め込み後も空洞部内に隙間W3を残しておくことが必要となる。W3の適当な範囲は例えば、式(1)の通りである。
ここで、図6(a)及び(b)に示すように、a−Si膜25(又は、後述するpoly−Si膜35)による空洞部の埋め込み後、隙間からの酸化によってSi層5をさらに凸状に反らせるためには、a−Si膜25(又は、poly−Si膜35)の埋め込み後も空洞部内に隙間W3を残しておくことが必要となる。W3の適当な範囲は例えば、式(1)の通りである。
50[Å] < W3 < W2/2 …(1)
このときのa−Si膜25(又は、poly−Si膜35)の埋め込み量、即ち、空洞部内の堆積総膜厚 Tfillの範囲は例えば、式(2)の通りである。
W2−50 > Tfill > W2−W2/2 = W2/2 …(2)
CVDによるa−Si膜25(又は、poly−Si膜35)の堆積工程では、空洞部は上下から成長してくるa−Si膜25(又は、poly−Si膜35)により埋め込まれる。従って、a−Si膜25(又は、poly−Si膜35)のデポ量(即ち、膜厚)Tdepoの範囲は例えば、式(3)の通りとなる。
(W2−50)/2 > Tdepo > W2/4 …(3)
このように、Si層5を上に凸状にするためには、SiO2膜23の膜厚狙い値Toxを空洞幅W1(=SiGe膜厚)と等しくすることが好ましく、また、a−Si膜25(又は、Poly−Si膜35)のデポ量Tdepoを式(3)を満たすように設定することが好ましい。なお、図5(b)に示したように、W2はBOX酸化後に空洞部に残された隙間の最大空隙幅であり、BOX酸化後のアクティブ反り量Bと同じ値である。
上記の実施の形態では、一例として、SiO2膜23の膜厚狙い値Toxを例えば300[Å]に設定すると良い。また、このときのアクティブ反り量B(=W2)は例えば500[Å]となる。さらに、a−Si膜25(又は、poly−Si膜35)のデポ量Tdepoを例えば200[Å]に設定すると良い。W2=500[Å]のときにTdepo=200[Å]に設定することは、式(3´)から明らかなように、Tdepoを厚い側に傾けた設定といえるが、これは、Tdepoを厚い側に傾けて設定したほうが、空洞部内で最終的に残る隙間が小さくなるからである。空洞部内で最終的に残る隙間は、エッチング液の染み込み等を防止する観点から小さいほうが良い。
225[Å] > Tdepo > 125[Å] …(3´)
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、a−Si膜25を熱酸化してSiO2膜27を形成する際に、a−Si膜25からSiO2膜27への組成変化に伴う体積膨張によってSi層5を断面視で凸状に反らせることができる。従って、Si層5に外側へ引っ張られる力(即ち、引っ張り応力)を与えることができる。また、このような引っ張り応力の付与により、Si層5に歪を持たせて電子の移動度を向上させることができる。
図7(a)は、CMP処理後のSOI構造を模式的に示す平面図である。また、図7(b)は、X7−X´7線に沿って上記SOI構造を切断しSEMで撮影した図である。図7(b)に示すように、上記の製造方法により、BOX層は中心部で膨らみを有し、このBOX層の膨らみに沿って、SOI層は断面視で凸状に反っていることが確認された。この凸状の反りにより、Si層5には全体的に引っ張り応力が与えられて、歪を有する状態となっている。
この実施の形態では、Si基板1が本発明の「半導体基板」に対応し、SiGe層3が本発明の「第1半導体層」に対応している。また、Si層5が本発明の「第2半導体層」に対応し、支持体穴hが本発明の第1溝に対応している。さらに、紙面手前と奥側に形成された溝が本発明の「第2溝」に対応し、a−Si膜25が本発明の「半導体膜」に対応している。そして、SiO2膜23が本発明の「下地酸化膜」に対応し、SiO2膜27が本発明の「酸化膜」に対応している。
なお、上記の実施の形態では、本発明の「半導体膜」の一例として、a−Si膜25を用いる場合について説明したが、本発明はこれに限られることはない。例えば、上記の「半導体膜」として、図8に示すように、ポリシリコン(poly−Si)膜35を用いても良い。このような構成であっても、上記の実施形態と同様、チャネル領域のSi層5に引っ張り応力を与えて歪を持たせることができ、電子の移動度を向上させることができる。
ここで、本発明におけるa−Si膜25と、poly−Si膜35のそれぞれ長所を説明すると、「半導体膜」にa−Si膜25を用いた場合は、poly−Si膜35と比べて、空洞部21へのSi膜の埋め込み性を高めることができ、空洞部21の奥深いところであってもSi膜を容易に形成することができる。また、「半導体膜」にpoly−Si膜35を用いた場合は、a−Si膜25と比べて、空洞部21内で上下方向から堆積してくるSi膜同士の密着性を高めることができ、例えば、空洞部21の支持体穴h側の端部において隙間の少ないSi膜を容易に形成することができる。
さらに、本発明では、「半導体膜」として、初めにa−Si膜25を堆積し、SiO2膜27形成のための熱酸化を行う前にa−Si膜25に熱処理を施して当該Si膜を多結晶化しても良い。即ち、SiO2膜27を形成する前に、熱処理により、a−Si膜25をpoly−Si膜35に変化させても良い。このような方法であれば、空洞部21へのSi膜の埋め込み性と、空洞部21内でのSi膜の密着性とを共に高めることができるので、後の熱酸化工程で、隙間の少ないSiO2膜27を形成することができる。
1 Si基板、3 SiGe層、5 Si層、11 支持体(SiO2膜)、21 空洞部、23、27 SiO2膜、25 a−Si膜、h 支持体穴
Claims (8)
- 半導体基板上に第1半導体層を形成する工程と、
前記第1半導体層上に第2半導体層を形成する工程と、
前記第2半導体層及び前記第1半導体層をエッチングして、前記第2半導体層及び前記第1半導体層を貫く第1溝を形成する工程と、
前記第1溝に支持体を形成する工程と、
前記第2半導体層をエッチングして、前記第1半導体層を露出させる第2溝を形成する工程と、
前記第2溝を介して前記第1半導体層をエッチングすることにより、前記第2半導体層と前記半導体基板との間に空洞部を形成する工程と、
前記空洞部に半導体膜を形成する工程と、
前記半導体膜を熱酸化する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体膜を形成する工程は、
前記空洞部の前記第1溝側の端部を埋め込み、且つ、前記空洞部の中心部には隙間を残すように前記空洞部に前記半導体膜を形成する工程、であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記空洞部を形成する工程と、前記半導体膜を形成する工程との間に、
前記空洞部の内部に面する前記半導体基板の表面と前記第2半導体層の裏面とをそれぞれ熱酸化して下地酸化膜を形成する工程、をさらに含み、
前記半導体膜を形成する工程では、前記下地酸化膜が形成された前記空洞部に当該半導体膜を形成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記空洞部の空洞幅をW1とし、
前記下地酸化膜の形成後に前記空洞部に残される隙間の最大空隙幅をW2としたとき、
前記空洞部の上下にそれぞれ形成される前記下地酸化膜の膜厚狙い値Toxを前記W1と同じ大きさに設定すると共に、
前記空洞部の上下にそれぞれ形成される前記半導体膜の膜厚狙い値Tdepoを、
(W2−50[Å])/2 > Tdepo > W2/4、
の範囲内となるように設定することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体膜は、アモルファス構造の半導体膜であることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体膜は、多結晶構造の半導体膜であることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体膜を形成する工程と、前記半導体膜を熱酸化する工程との間に、
前記アモルファス構造の半導体膜に熱処理を施して当該半導体膜を多結晶化する工程、をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体膜は、シリコンであることを特徴とする請求項1から請求項7の何れか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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