JP2009162591A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 光源からの光による参照面からの参照光と被検物からの光との干渉縞を用いて前記被検物の形状を測定する測定方法であって、
   前記被検物の第１番目の干渉縞を取得し、前記第１番目の干渉縞を前記被検物の第１番目の形状に変換するステップと、
   前記被検物を前記参照面の光軸方向に移動した位置において第２番目の干渉縞を取得するステップと、
   前記第１番目の干渉縞の基準点における位相と前記第２番目の干渉縞の基準点における位相とを揃え、前記第２番目の干渉縞をアンラップするステップと、
   アンラップした前記第２番目の干渉縞を前記被検物の第２番目の形状に変換するステップと、
   前記被検物の第１番目の形状と前記被検物の前記第２番目の形状とが一致するか否かを判定する判定ステップと、
   前記判定ステップにおいて、一致しないと判定した場合、アンラップした前記第２番目の干渉縞に前記光源の波長の整数倍を加えて、前記被検物の形状を算出するステップとを有することを特徴とする測定方法。
2. 前記被検物は軸対称非球面であることを特徴とする請求項１に記載の測定方法。
3. 前記第１番目の干渉縞の基準点は、該干渉縞の中心に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の測定方法。
4. 前記被検物が、前記参照面が集光する位置から前記被検物の中心曲率半径だけ離れた位置に配置された状態で前記第１番目の干渉縞が得られることを特徴とする請求項１に記載の測定方法。
5. 前記被検物の半径方向の距離をｈ、高さ方向の距離をｚ’、前記被検物の第１番目の測定位置をＲ_０、該第１番目の測定位置からの走査量をｖ、前記参照面が集光する位置と前記干渉縞を結ぶ直線が前記光軸となす角度をθ、該干渉縞で測定された位相を長さ単位に変換した値をδｐ、前記光源の波長をλとしたとき、整数ｎを推定して、数式（１）からｚ’、数式（２）からｈを導出することを特徴とする請求項１記載の測定方法。
   

   

   
   

   
6. 光源からの光による参照面からの参照光と被検物からの光との干渉縞を用いた前記被検物の形状の測定をコンピュータに実行させるプログラムであって、
   前記被検物の第１番目の干渉縞を取得し、前記第１番目の干渉縞を前記被検物の第１番目の形状に変換するステップと、
   前記被検物を前記参照面の光軸方向に移動した位置において第２番目の干渉縞を取得するステップと、
   前記第１番目の干渉縞の基準点における位相と前記第２番目の干渉縞の基準点における位相とを揃え、前記第２番目の干渉縞をアンラップするステップと、
   アンラップした前記第２番目の干渉縞を前記被検物の第２番目の形状に変換するステップと、
   前記被検物の第１番目の形状と前記被検物の前記第２番目の形状とが一致するか否かを判定する判定ステップと、
   前記判定ステップにおいて、一致しないと判定した場合、アンラップした前記第２番目の干渉縞に前記光源の波長の整数倍を加えて前記被検物の形状を算出するステップと
   を有することを特徴とするプログラム。
7. 被検物の形状を測定する測定装置であって、
   光源と、
   前記光源からの光を用いて、参照面からの参照光と前記被検物からの光との干渉縞を測定する測定部と、
   前記測定部で測定された干渉縞から前記被検物の形状を算出する算出部と、
   前記被検物を前記参照面の光軸方向に移動する移動機構とを有し、
   前記算出部は、前記測定部によって測定された前記被検物の第１番目の干渉縞を前記被検物の第１番目の形状に変換し、
   前記第１番目の干渉縞の基準点における位相と前記被検物を前記参照面の光軸方向に移動した位置において得られた第２番目の干渉縞の基準点における位相とを揃えて前記第２番目の干渉縞をアンラップし、該アンラップした前記第２番目の干渉縞を前記被検物の第２番目の形状に変換し、
   前記被検物の第１番目の形状と前記被検物の前記第２番目の形状とが一致するか否かを判定して一致しないと判定した場合、アンラップした前記第２番目の干渉縞に前記光源の波長の整数倍を加えて前記被検物の形状を算出することを特徴とする測定装置。
8. 前記移動機構による移動量を測定する測定部を備えることを特徴とする請求項７に記載の測定装置。