JP2009150398A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009150398A JP2009150398A JP2008325565A JP2008325565A JP2009150398A JP 2009150398 A JP2009150398 A JP 2009150398A JP 2008325565 A JP2008325565 A JP 2008325565A JP 2008325565 A JP2008325565 A JP 2008325565A JP 2009150398 A JP2009150398 A JP 2009150398A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- stator
- motor
- rotor
- pump according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0606—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven the electric motor being specially adapted for integration in the pump
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/02—Surge control
- F04D27/0261—Surge control by varying driving speed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K29/00—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices
- H02K29/06—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices
- H02K29/12—Motors or generators having non-mechanical commutating devices, e.g. discharge tubes or semiconductor devices with position sensing devices using detecting coils using the machine windings as detecting coil
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/16—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the circuit arrangement or by the kind of wiring
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
- H02P6/14—Electronic commutators
- H02P6/16—Circuit arrangements for detecting position
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
- H02P6/14—Electronic commutators
- H02P6/16—Circuit arrangements for detecting position
- H02P6/18—Circuit arrangements for detecting position without separate position detecting elements
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
- H02P6/14—Electronic commutators
- H02P6/16—Circuit arrangements for detecting position
- H02P6/18—Circuit arrangements for detecting position without separate position detecting elements
- H02P6/182—Circuit arrangements for detecting position without separate position detecting elements using back-emf in windings
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K3/00—Details of windings
- H02K3/04—Windings characterised by the conductor shape, form or construction, e.g. with bar conductors
- H02K3/28—Layout of windings or of connections between windings
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Brushless Motors (AREA)
Abstract
【解決手段】真空ポンプ10は、シャフト14による回転のために取り付けられた真空ポンプ機構12と、シャフトを回転させるためのブラシレスモータ16とを含む。真空ポンプ機構12は、複数のポンプ段を含むターボポンプ機構18と、少なくとも1つのポンプ段を含む分子ドラッグポンプ機構20とを含む。シャフト14は、軸受22によって回転に対して支持される。モータ16は、シャフト14に対して固定された永久磁石ロータ24を含む。ロータ24は、4つの極を有し、ステータ26は、重ならないステータコイルを有する。
【選択図】図1
Description
他の好ましい及び/又は任意的な特徴は、添付の特許請求の範囲に定義される。
図1を参照すると、シャフト14による回転のために取り付けられた真空ポンプ機構12と、シャフトを回転させるブラシレスモータ16とを含む真空ポンプ10が示されている。真空ポンプ機構12は、複数のポンプ段を含むターボポンプ機構18と、少なくとも1つのポンプ段を含む分子ドラッグポンプ機構20とを含む。シャフト14は、軸受22によって回転に対して支持される。
V=IR+L×dI/dt+NA×dB/dt
ここで、ステータ巻線との関連において、Vは電圧であり、Iは電流であり、Rは抵抗であり、Nは巻数であり、Aは断面積であり、Lはインダクタンスであり、Bは磁束密度である。
ここで、ρは電気抵抗であり、μは透磁率であり、fは時間的に変動する磁場の周波数である。電気抵抗が低いアルミニウムのような材料又は透磁率が高い(100相対透磁率より高い)軟鋼といった材料においては、外殻厚さは比較的小さく、したがって、遮蔽効果は比較的大きい。4極ロータの増大した周波数は、さらに、遮蔽効果を増大させる。
WFEα容量×B2×ω2
ここでBは磁束密度、ωは整流周波数である。
12:真空ポンプ機構
14:シャフト
16:ブラシレスモータ
18:ターボポンプ機構
20:分子ドラッグポンプ機構
22:軸受
24:永久磁石ロータ
26:ステータ
Claims (12)
- シャフトにより回転可能な真空ポンプ機構と、前記シャフトを回転させるためのブラシレスモータとを含む真空ポンプであって、前記モータは、
前記シャフトに対して固定され、少なくとも4つの極を有する永久磁石ロータと、
ポンプハウジングに対して固定され、重ならないステータコイルを有するステータと、
前記ロータが前記ステータに対して回転できるように、前記ロータと前記ステータの相対位置に応じて前記ステータコイルを選択的に励磁するためのモータ制御手段と、を含み、
前記モータ制御手段は、1分当たり少なくとも20,000回転で、前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを励磁させるように構成される、
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記真空ポンプ機構は、ターボ分子ポンプ機構を含むことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記ポンプ機構は、ホルベック、ゲーデ、又はシーグバーンポンプ機構のうちの1つを含むことを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。
- 前記モータ制御手段は、前記ロータと前記ステータの前記相対位置を感知する光センサを含むことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記モータ制御手段は、前記ステータコイルにおける磁束の計算により、前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記磁束は、前記ステータコイルにおける電圧及び電流の測定値により計算されることを特徴とする請求項5に記載の真空ポンプ。
- 磁気干渉に敏感な機器のための請求項1に記載される真空ポンプ。
- 前記機器は、計測学、イメージング、又はパターン形成のうちの1つのためのものであることを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。
- 高導電性又は高透磁率の材料で製造されるポンプハウジングを含むことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記材料は、アルミニウム合金で製造されることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。
- 高透磁率の材料で製造されるポンプハウジングを含むことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記材料は、鋼で製造されることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0724837.0A GB0724837D0 (en) | 2007-12-20 | 2007-12-20 | vacuum pump |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009150398A true JP2009150398A (ja) | 2009-07-09 |
Family
ID=39048428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008325565A Pending JP2009150398A (ja) | 2007-12-20 | 2008-12-22 | 真空ポンプ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8608459B2 (ja) |
EP (1) | EP2072831B1 (ja) |
JP (1) | JP2009150398A (ja) |
CN (1) | CN101463825B (ja) |
GB (1) | GB0724837D0 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019526743A (ja) * | 2016-09-05 | 2019-09-19 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ組立体 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102280965B (zh) * | 2010-06-12 | 2013-07-24 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 真空泵用屏蔽电机 |
CN104379931B (zh) * | 2012-07-25 | 2018-04-10 | 松下电器产业株式会社 | 密闭型压缩机和具有其的制冷装置 |
CN103457366B (zh) * | 2013-09-16 | 2015-01-21 | 北京富特盘式电机有限公司 | 一种变频调速盘式电机和真空泵 |
DE102014110073A1 (de) | 2014-07-17 | 2016-01-21 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3224593A4 (en) * | 2014-11-27 | 2018-10-10 | Provtagaren AB | Pump control for low flow volumes |
KR101696710B1 (ko) * | 2015-01-28 | 2017-01-16 | 엘지전자 주식회사 | 비엘디시 모터 및 그를 갖는 청소기 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000220640A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Ibiden Co Ltd | モータ及びターボ分子ポンプ |
JP2002031082A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-01-31 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプ |
JP2002503939A (ja) * | 1998-02-11 | 2002-02-05 | アイ エス モーターコリア カンパニー リミテッド | 無変出力ブラシレス直流モータ |
JP2003153514A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ブラシレスモータ |
JP2003174794A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Daikin Ind Ltd | ブラシレスdcモータ駆動方法およびその装置 |
WO2005113986A1 (en) * | 2004-05-21 | 2005-12-01 | The Boc Group Plc | Pumping arrangement |
WO2007010934A1 (ja) * | 2005-07-19 | 2007-01-25 | Denso Corporation | 交流モータとその制御装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT717632A (ja) | 1963-03-12 | |||
DE3923267A1 (de) | 1989-07-14 | 1991-01-24 | Wap Reinigungssysteme | Elektronisch kommutierter motor fuer staubsauger und dergleichen |
CN1110376A (zh) * | 1994-04-16 | 1995-10-18 | 储继国 | 拖动分子泵 |
JP3518901B2 (ja) * | 1994-09-09 | 2004-04-12 | 株式会社日立製作所 | ブラシレス直流モータの駆動方法及び駆動装置 |
IT235946Y1 (it) * | 1995-09-29 | 2000-07-18 | Bitron Spa | Gruppo di potenza per servosterzo |
FR2753319B1 (fr) * | 1996-09-10 | 1998-12-04 | Soc D Mecanique Magnetique | Dispositif de detection de la position angulaire pour le pilotage d'un moteur synchrone a excitation par aimant permanent |
EP1024294A3 (en) | 1999-01-29 | 2002-03-13 | Ibiden Co., Ltd. | Motor and turbo-molecular pump |
US6450772B1 (en) * | 1999-10-18 | 2002-09-17 | Sarcos, Lc | Compact molecular drag vacuum pump |
JP4249916B2 (ja) | 2000-09-18 | 2009-04-08 | エドワーズ株式会社 | ブラシレスモータの制御回路、ブラシレスモータ装置、及び真空ポンプ装置 |
JP3740083B2 (ja) | 2002-03-19 | 2006-01-25 | 三菱重工業株式会社 | Dcブラシレスモータ及びターボ分子ポンプ |
DE10302987A1 (de) * | 2003-01-25 | 2004-08-05 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät mit einem Einlass |
US7242175B2 (en) * | 2003-08-08 | 2007-07-10 | Stmicroelectronics, Inc. | Determining rotation of a freewheeling motor |
US7021888B2 (en) * | 2003-12-16 | 2006-04-04 | Universities Research Association, Inc. | Ultra-high speed vacuum pump system with first stage turbofan and second stage turbomolecular pump |
GB2410848A (en) * | 2004-02-05 | 2005-08-10 | Dyson Ltd | Voltage compensation in switched reluctance motor |
RU2260140C1 (ru) | 2004-05-17 | 2005-09-10 | Ибадуллаев Гаджикадир Алиярович | Дизельный двигатель внутреннего сгорания |
DE102005041501A1 (de) * | 2005-09-01 | 2007-03-08 | Leybold Vacuum Gmbh | Vakuum-Turbomolekularpumpe |
JP5167631B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2013-03-21 | 株式会社デンソー | モータの制御方法及びそれを利用するモータ制御装置 |
-
2007
- 2007-12-20 GB GBGB0724837.0A patent/GB0724837D0/en not_active Ceased
-
2008
- 2008-12-03 EP EP08170560.0A patent/EP2072831B1/en active Active
- 2008-12-11 US US12/316,292 patent/US8608459B2/en active Active
- 2008-12-19 CN CN2008101839846A patent/CN101463825B/zh active Active
- 2008-12-22 JP JP2008325565A patent/JP2009150398A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002503939A (ja) * | 1998-02-11 | 2002-02-05 | アイ エス モーターコリア カンパニー リミテッド | 無変出力ブラシレス直流モータ |
JP2000220640A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Ibiden Co Ltd | モータ及びターボ分子ポンプ |
JP2002031082A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-01-31 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプ |
JP2003153514A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ブラシレスモータ |
JP2003174794A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Daikin Ind Ltd | ブラシレスdcモータ駆動方法およびその装置 |
WO2005113986A1 (en) * | 2004-05-21 | 2005-12-01 | The Boc Group Plc | Pumping arrangement |
WO2007010934A1 (ja) * | 2005-07-19 | 2007-01-25 | Denso Corporation | 交流モータとその制御装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019526743A (ja) * | 2016-09-05 | 2019-09-19 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ組立体 |
JP7401305B2 (ja) | 2016-09-05 | 2023-12-19 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ組立体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101463825B (zh) | 2013-03-13 |
EP2072831A2 (en) | 2009-06-24 |
EP2072831B1 (en) | 2014-06-25 |
CN101463825A (zh) | 2009-06-24 |
US20090162220A1 (en) | 2009-06-25 |
EP2072831A3 (en) | 2012-11-28 |
US8608459B2 (en) | 2013-12-17 |
GB0724837D0 (en) | 2008-01-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8608459B2 (en) | Vacuum pump | |
US8890387B2 (en) | Stator and motor | |
JP5105029B2 (ja) | 回転検出器用ステータの巻線方法とその構造及び回転検出器を有する電動機 | |
US8766506B2 (en) | Stator core | |
JP5159228B2 (ja) | 磁気誘導子形同期回転機およびそれを用いた自動車用過給機 | |
KR100509381B1 (ko) | 고속회전용 농형 유도 전동기 | |
JP6192854B2 (ja) | 回転角度検出装置、回転電機、及びエレベータ用巻上機 | |
JP5110233B2 (ja) | 回転検出器用ステータの巻線方法とその巻線構造体及び回転検出器を用いた電動機 | |
JP6388066B2 (ja) | ブラシレスモータ | |
JPH09172758A (ja) | 軸流誘導電動機 | |
JP2006197786A (ja) | ブラシレスモータ | |
JPH10288191A (ja) | ポンプ | |
JP7401305B2 (ja) | 真空ポンプ組立体 | |
JP2006230142A (ja) | 小型モータ | |
US10361613B2 (en) | Single phase motor and rotor, having plurality of permanent magnets, of the same | |
JP2016178801A (ja) | スイッチトリラクタンス回転機、及び回転装置 | |
JP2007215321A (ja) | 薄型レゾルバ構造 | |
JP2019170115A (ja) | レゾルバ | |
JP4621661B2 (ja) | 回転機 | |
JPH06133516A (ja) | 3相ブラシレスモータ | |
JP5734509B2 (ja) | モータ | |
CN117501072A (zh) | 旋转检测器 | |
JP2019164067A (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP2008236864A (ja) | ステータ、ロータ、および電動機 | |
JPS6399753A (ja) | 多相ブラシレスモ−タ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110801 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111026 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120827 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121127 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130826 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140214 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140624 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140627 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140924 |