CN102280965B - 真空泵用屏蔽电机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种真空泵用屏蔽电机，包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子热胀装配于主动轴上，所述密闭腔与电机转子均处于真空腔内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直通大气。本发明具有如下优点：电机转子热装配在真空泵轴上，不存在电机与真空泵主动轴的刚性连接问题，可以避免普通电机的起动冲击。电机整体在真空腔体内部，使真空泵结构紧凑，并将真空泵主动轴与泵体与电机定子间的动密封转换为腔体间的静密封，可以避免轴封磨损泄漏问题。电机定子为一体结构，适用于多粉尘等的苛刻工艺环境，如半导体、光伏、制药、冶金等行业。

Description

真空泵用屏蔽电机
技术领域
本发明涉及真空设备领域，具体说是一种真空泵用屏蔽电机。
背景技术
普通电机与真空泵的连接采用刚性联轴器连接，当电机与泵轴通过刚性联轴器传递动力时，起动冲击较大，在高转速情况下还可能出现异常尖锐叫噪声；普通电机与真空泵连接，其主动轴的密封使用轴封，由于高频振动及材料原因，轴封磨损较快，需要频繁更换，容易出现真空腔内介质泄漏的问题。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种解决普通电机使用上由于轴封磨损导致的介质污染问题、刚性联轴器引起的高频振动与起动冲击噪声问题的真空泵用屏蔽电机，并且适合粉尘等恶劣工艺环境。具体方案是：
一种真空泵用屏蔽电机，包括真空泵壳、真空泵壳端盖、电机壳、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子热胀装配于主动轴上，所述密闭腔与电机转子均处于真空腔内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直通大气；
为解决屏蔽电机温升问题，所述电机壳的外壁车削有螺旋槽，还设置有套筒，所述套筒套装电机壳外，并与电机壳过盈配合形成闭合的冷却水槽，冷却水入口孔和出口孔在电机壳端盖上；
电机壳与真空泵壳端盖之间采用两个O型氟橡胶圈密封，使密封圈间的环形空间，可直通大气；
电机转子与屏蔽罩的间隙小于0.2mm；
本发明中，电机转子与真空泵轴为热装配，装配后进行电机转子外径加工，以保证同轴度小于0.015mm；转子需经过动平衡检测，不平衡量小于1gmm。
本发明具有如下优点：本发明的电机转子热装配在真空泵轴上，不存在电机与真空泵主动轴的刚性连接问题，可以避免普通电机的起动冲击。电机整体在真空腔体内部，使真空泵结构紧凑，并将真空泵主动轴与泵体与电机定子间的动密封转换为腔体间的静密封，可以避免轴封磨损泄漏问题。电机定子为一体结构，适合粉尘等恶劣工艺环境。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为左视图。
其中：1、电机壳，2、套筒，3、屏蔽罩，4、端板，5、主动轴，6、转子，7、真空泵腔，8、氟橡胶O圈A，9、氟橡胶O圈B，10、真空泵壳，101、真空泵壳端盖，102、螺旋槽，11、固定用螺纹孔，12、进水口，13、出水口，14、引线孔，15、密封面A，16、密封面B。
具体实施方式
下面结合附图具体说明本发明，如图1所示，本发明为一种真空泵用屏蔽电机，包括真空泵壳10、真空泵壳端盖101、电机壳1、屏蔽罩3、端板4，所述屏蔽罩3、电机壳1、端板4焊接为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子6热胀装配于主动轴5上，所述密闭腔与电机转子6均处于真空腔7内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直通大气。
为解决屏蔽电机温升问题，所述电机壳1的外壁车削有螺旋槽102，还设置有套筒2，所述套筒2套装电机壳1外，并与电机壳1过盈配合形成闭合的冷却水槽，冷却水进水孔12和出水孔13在真空泵壳端盖101上。
氟橡胶O圈A8、氟橡胶O圈B9与密封面A15、密封面B16配合，使电机壳1的侧面形成环形空间，可以直通大气，固定用螺纹孔11、进水口12、出水口13、引线孔14均在此环形空间中，并可直通真空泵外部。闭腔内通过固定用螺纹孔11，由螺钉固定在真空泵壳10上，电机定子由外部水冷降温。
电机转子6与屏蔽罩3的间隙小于0.2mm。
本发明中，电机转子6与真空泵轴5为热装配，装配后进行电机转子6外径加工，以保证同轴度小于0.015mm；转子6需经过动平衡检测，不平衡量小于1gmm。
电机电源接通时，电机转子6带动主动轴5转动，真空腔7被抽成真空状态，此时电机整体在真空室内，泵体与电机之间为静密封。

Claims (6)

1.一种真空泵用屏蔽电机，其特征在于：包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板，所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子热胀装配于主动轴上，所述密闭腔与电机转子均处于真空腔内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直通大气。
2.按权利要求l所述的真空泵用屏蔽电机，其特征在于：所述电机壳的外壁车削有螺旋槽，还设置有套筒，所述套筒套装电机壳外，并与电机壳过盈配合形成闭合的冷却水槽，冷却水入口孔和出口孔在电机壳端盖上。
3.按权利要求l所述的真空泵用屏蔽电机，其特征在于电机壳与真空泵壳端盖之间采用两个O型氟橡胶圈密封。
4.按权利要求1所述的真空泵用屏蔽电机，其特征在于：电机转子与屏蔽罩的间隙小于0.2mm。
5.一种按权利要求1所述的真空泵用屏蔽电机的加工方法，其特征在于电机转子与主动轴为热装配，装配后进行电机转子外径加工，以保证同轴度小于0.015mm。
6.按权利要求5所述的加工方法，其特征在于转子需经过动平衡检测，不平衡量小于1gmm。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9653961B2 (en) 2013-03-14 2017-05-16 Allison Transmission, Inc. Stator sleeve with integrated cooling for hybrid/electric drive motor
CN109931263A (zh) * 2019-03-08 2019-06-25 西安航天动力研究所 一种干式屏蔽真空泵

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2506970B (en) * 2012-08-24 2020-12-30 Borgwarner Inc A shield and coolant guide for an electric machine
CN103545986B (zh) * 2013-10-12 2016-07-06 中国核动力研究设计院 一种屏蔽电机定子腔冷却结构
CN104539102A (zh) * 2014-12-16 2015-04-22 江门市君盛实业有限公司 一种冷却装置
CN106230168A (zh) * 2016-07-28 2016-12-14 上海先越冶金技术股份有限公司 一种满足真空启动的高压气淬水冷电机
CN108616187A (zh) * 2018-07-13 2018-10-02 苏州启承动能科技有限公司 一种真空用水冷高速电机
CN111740527B (zh) * 2020-08-28 2020-12-01 清华大学 具有低温绕组的电机转子附属结构
CN116470689A (zh) * 2023-03-27 2023-07-21 北京通嘉宏瑞科技有限公司 一体轴式真空泵电机

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1585860A (zh) * 2001-11-15 2005-02-23 莱博尔德真空技术有限责任公司 冷却式螺旋真空泵
CN1656318A (zh) * 2002-05-29 2005-08-17 莱博尔德真空技术有限责任公司 两轴真空泵
CN101158353A (zh) * 2006-07-28 2008-04-09 Lot真空股份有限公司 具有罗茨转子和螺旋转子的复合干式真空泵
CN101383534A (zh) * 2007-09-07 2009-03-11 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种真空泵用电机
EP2071186A2 (de) * 2007-12-12 2009-06-17 Pfeiffer Vacuum GmbH Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb
CN101463825A (zh) * 2007-12-20 2009-06-24 爱德华兹有限公司 真空泵
CN201699506U (zh) * 2010-06-12 2011-01-05 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 真空泵用屏蔽电机

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003129979A (ja) * 2001-10-23 2003-05-08 Taiko Kikai Industries Co Ltd 密閉式メカニカルブースタ
DE102004024554B4 (de) * 2004-05-18 2018-01-25 Pfeiffer Vacuum Gmbh Ölgedichtete Drehschiebervakuumpumpe
DE102006022772A1 (de) * 2006-05-16 2007-11-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh Antriebsanordnung für eine Vakuumpumpe

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1585860A (zh) * 2001-11-15 2005-02-23 莱博尔德真空技术有限责任公司 冷却式螺旋真空泵
CN1656318A (zh) * 2002-05-29 2005-08-17 莱博尔德真空技术有限责任公司 两轴真空泵
CN101158353A (zh) * 2006-07-28 2008-04-09 Lot真空股份有限公司 具有罗茨转子和螺旋转子的复合干式真空泵
CN101383534A (zh) * 2007-09-07 2009-03-11 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种真空泵用电机
EP2071186A2 (de) * 2007-12-12 2009-06-17 Pfeiffer Vacuum GmbH Vakuumpumpe und Verfahren zum Betrieb
CN101463825A (zh) * 2007-12-20 2009-06-24 爱德华兹有限公司 真空泵
CN201699506U (zh) * 2010-06-12 2011-01-05 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 真空泵用屏蔽电机

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9653961B2 (en) 2013-03-14 2017-05-16 Allison Transmission, Inc. Stator sleeve with integrated cooling for hybrid/electric drive motor
CN109931263A (zh) * 2019-03-08 2019-06-25 西安航天动力研究所 一种干式屏蔽真空泵

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