CN103107647A - 一种干式真空泵用电机 - Google Patents

一种干式真空泵用电机 Download PDF

Info

Publication number
CN103107647A
CN103107647A CN2011103577996A CN201110357799A CN103107647A CN 103107647 A CN103107647 A CN 103107647A CN 2011103577996 A CN2011103577996 A CN 2011103577996A CN 201110357799 A CN201110357799 A CN 201110357799A CN 103107647 A CN103107647 A CN 103107647A
Authority
CN
China
Prior art keywords
motor
vacuum pump
stator
rotor
dry vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011103577996A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103107647B (zh
Inventor
李昌龙
王光玉
刘在行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sky Technology Development Co Ltd
Original Assignee
Shenyang Scientific Instrument R&D Center of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenyang Scientific Instrument R&D Center of CAS filed Critical Shenyang Scientific Instrument R&D Center of CAS
Priority to CN201110357799.6A priority Critical patent/CN103107647B/zh
Publication of CN103107647A publication Critical patent/CN103107647A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103107647B publication Critical patent/CN103107647B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

本发明属于真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵用电机,包括电机外壳、定子及转子,其中电机外壳内设有带空腔的定子,所述转子安装在干式真空泵的主动轴上、并位于定子的空腔内;所述定子与泵体之间采用止口定位。本发明彻底解决轴封泄露及起动冲击问题,把泵与轴的动密封转变为电机定子与泵的静密封,无须润滑液,彻底解决了轴封泄露及介质污染问题,同时使刚性联轴器引起的高频振动与起动冲击噪声问题也得以解决,电机整体可随意拆卸,方便维修,安装容易、维修工期短,省时省力,降低成本。在抽气过程中可保持真空环境不受污染,适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

Description

一种干式真空泵用电机
技术领域
本发明属于真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵用电机。
背景技术
现如今半导体、新材料、太阳能和生物制药等行业发展迅速,与之相关的真空获得设备也要适应新的要求:一个是极限真空度要尽量高,另一个是获得的真空环境应该是清洁无油的。在这些新要求的引导下,机械无油真空泵应运而生,干式真空泵越来越多地代替了油扩散泵作为系统的主泵,这样大大降低了真空泵向真空室的返油。国外干式真空泵已经比较成熟,国产干式真空泵刚刚起步,而作为干式真空泵驱动力来源的电机,我国种类比较少,目前国产大多数真空泵电机与泵的主轴采用刚性联轴器连接,这种结构对于干式真空泵来说有很大的弊端,主要表现是起动冲击较大,噪音大,影响零件使用寿命,并且不利于节能降耗,对于大抽速转速大于3000r/s以上的泵更加明显,主动轴轴封长期处于高频振动环境以及材料原因磨损较快,导致真空泵向真空室漏油和漏气现象严重,需要频繁更换轴封,影响泵的正常使用寿命和生产效率,不适合干泵的要求。
发明内容
为了克服现有技术中轴封泄露及起动冲击问题,本发明的目的在于提供一种干式真空泵用电机。本发明把泵与轴的动密封转变为电机定子与泵的静密封,彻底解决了轴封泄露及起动冲击问题。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
一种干式真空泵用电机,包括电机外壳、定子及转子,其中电机外壳内设有带空腔的定子,所述转子安装在干式真空泵的主动轴上、并位于定子的空腔内;所述定子与泵体之间采用止口定位。
所述电机外壳上设有水循环冷却管,该水循环冷却管沿定子圆周方向与电机外壳铸造为一体。
所述电机外壳为铸铝合金,电机外壳与定子之间灌注环氧树脂。
所述转子键连接于干式真空泵的主动轴上;在干式真空泵的主动轴的端部设有对转子轴向定位的转子挡板,该转子挡板通过螺钉固定在主动轴上,在转子挡板与转子之间设有套在主动轴上的弹簧,该弹簧分别抵接于转子挡板和转子。
所述弹簧为波形弹簧。
所述转子内部设有过热保护结构。
所述过热保护结构为热敏电阻。
所述转子与定子的内腔之间的间隙小于0.5mm。
所述定子与泵体之间采用O型密封圈密封。
所述干式真空泵用电机设有变频控制器。
本发明具有以下优点:
本发明彻底解决轴封泄露及起动冲击问题,把泵与轴的动密封转变为电机定子与泵的静密封,无须润滑液,彻底解决了轴封泄露及介质污染问题,同时使刚性联轴器引起的高频振动与起动冲击噪声问题也得以解决,电机整体可随意拆卸,方便维修,安装容易、维修工期短,省时省力,降低成本。在抽气过程中可保持真空环境不受污染,适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
其中:1为泵体,2为O型密封圈,3为水循环冷却管,4为主动轴,5为电机键,6为定子,7为转子,8为弹簧,9为转子压板,10为螺钉,11为电机外壳。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
如图1所示,本发明包括电机外壳11、定子6及转子7,其中电机外壳11内设有带空腔的定子6,所述转子7通过电机键5与干式真空泵的主动轴4键连接,并且置于定子6的空腔内。在干式真空泵的主动轴4的端部设有对转子7轴向定位的转子挡板9,该转子挡板9通过螺钉10固定在主动轴4上,在转子挡板9与转子7之间设有套在主动轴4上的弹簧8,该弹簧8分别抵接于转子挡板9和转子7;弹簧8为波形弹簧,螺钉10为M12内六角螺钉。定子6与电机外壳11之间采用模具灌注环氧树脂形成转子7旋转的腔;定子6与泵体1之间采用止口定位、并采用氟橡胶O型密封圈2密封;电机外壳11采用铸铝合金。
电机外壳11及定子6由水循环冷却管3降温。该水循环冷却管3可设置在电机外壳11上,将该水循环冷却管3沿定子6圆周方向与电机外壳11铸造为一体。
为达到电机过热保护,所述电机定子6铁心内部有热敏电阻过热保护结构。热敏电阻的阻值变化可用来控制电机的转速及开关。
为取得更好的技术效果,所述安装在主动轴4上的转子7与定子6的间隙小于0.5mm;所述转子需经过动平衡检测,不平衡量小于1gmm。
为能够实现真空泵的变频启动,减小抽气冲击及增大抽速,本发明的电机还附加变频控制器。所述变频控制器可采用通用型的。
本发明电机电源接通时,变频启动,电机转子7通过电机键5带动主动轴4转动,由于电机定子与泵体1之间采用止口定位,由氟橡胶O圈密2密封,定子6内部被抽成真空,此时转子7在真空室内,泵体1与电机之间为静密封,整个结构中不存在传统的动密封及泄露问题,不存在刚性连接冲击启动问题。

Claims (10)

1.一种干式真空泵用电机,其特征在于:包括电机外壳(11)、定子(6)及转子(7),其中电机外壳(11)内设有带空腔的定子(6),所述转子(7)安装在干式真空泵的主动轴(4)上、并位于定子(6)的空腔内;所述定子(6)与泵体(1)之间采用止口定位。
2.按权利要求1所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述电机外壳(11)上设有水循环冷却管(3),该水循环冷却管(3)沿定子(6)圆周方向与电机外壳(11)铸造为一体。
3.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述电机外壳(11)为铸铝合金,电机外壳(11)与定子(6)之间灌注环氧树脂。
4.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述转子(7)键连接于干式真空泵的主动轴(4)上;在干式真空泵的主动轴(4)的端部设有对转子(7)轴向定位的转子挡板(9),该转子挡板(9)通过螺钉(10)固定在主动轴(4)上,在转子挡板(9)与转子(7)之间设有套在主动轴(4)上的弹簧(8),该弹簧(8)分别抵接于转子挡板(9)和转子(7)。
5.按权利要求4所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述弹簧(8)为波形弹簧。
6.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述转子(7)内部设有过热保护结构。
7.按权利要求6所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述过热保护结构为热敏电阻。
8.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述转子(7)与定子(6)的内腔之间的间隙小于0.5mm。
9.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机,其特征在于:所述定子(6)与泵体(1)之间采用O型密封圈密封。
10.按权利要求1或2所述的干式真空泵用电机,其特征在于:设有变频控制器。
CN201110357799.6A 2011-11-11 2011-11-11 一种干式真空泵用电机 Active CN103107647B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110357799.6A CN103107647B (zh) 2011-11-11 2011-11-11 一种干式真空泵用电机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110357799.6A CN103107647B (zh) 2011-11-11 2011-11-11 一种干式真空泵用电机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103107647A true CN103107647A (zh) 2013-05-15
CN103107647B CN103107647B (zh) 2015-06-03

Family

ID=48315282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110357799.6A Active CN103107647B (zh) 2011-11-11 2011-11-11 一种干式真空泵用电机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103107647B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105305709A (zh) * 2015-10-19 2016-02-03 锦州汉拿电机有限公司 可恢复式电动机转子过热保险装置
CN111697742A (zh) * 2020-06-12 2020-09-22 郭宇 一种防爆节能的直流电机
CN113958489A (zh) * 2020-07-21 2022-01-21 海信(山东)冰箱有限公司 一种真空泵

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5779453A (en) * 1995-03-20 1998-07-14 Ebara Corporation Vacuum pump motor arrangement having reduced heat generation
US20020150484A1 (en) * 2000-07-18 2002-10-17 Jean Luc Rival Monobloc housing for vacuum pump
JP2006342721A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Ulvac Japan Ltd キャンドモータの冷却構造
CN101383534A (zh) * 2007-09-07 2009-03-11 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种真空泵用电机
CN201699506U (zh) * 2010-06-12 2011-01-05 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 真空泵用屏蔽电机
CN201696296U (zh) * 2010-06-12 2011-01-05 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种真空泵结构
CN102062106A (zh) * 2010-12-31 2011-05-18 东莞市众隆电机电器制造有限公司 灌流型无刷电动水泵及其组装方法
CN201893661U (zh) * 2010-11-29 2011-07-06 台山市江口电器制造有限公司 一种气垫床电机
CN202285356U (zh) * 2011-11-11 2012-06-27 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种干式真空泵用电机

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5779453A (en) * 1995-03-20 1998-07-14 Ebara Corporation Vacuum pump motor arrangement having reduced heat generation
US20020150484A1 (en) * 2000-07-18 2002-10-17 Jean Luc Rival Monobloc housing for vacuum pump
JP2006342721A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Ulvac Japan Ltd キャンドモータの冷却構造
CN101383534A (zh) * 2007-09-07 2009-03-11 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种真空泵用电机
CN201699506U (zh) * 2010-06-12 2011-01-05 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 真空泵用屏蔽电机
CN201696296U (zh) * 2010-06-12 2011-01-05 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种真空泵结构
CN201893661U (zh) * 2010-11-29 2011-07-06 台山市江口电器制造有限公司 一种气垫床电机
CN102062106A (zh) * 2010-12-31 2011-05-18 东莞市众隆电机电器制造有限公司 灌流型无刷电动水泵及其组装方法
CN202285356U (zh) * 2011-11-11 2012-06-27 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一种干式真空泵用电机

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105305709A (zh) * 2015-10-19 2016-02-03 锦州汉拿电机有限公司 可恢复式电动机转子过热保险装置
CN105305709B (zh) * 2015-10-19 2018-02-09 锦州汉拿电机有限公司 可恢复式电动机转子过热保险装置
CN111697742A (zh) * 2020-06-12 2020-09-22 郭宇 一种防爆节能的直流电机
CN113958489A (zh) * 2020-07-21 2022-01-21 海信(山东)冰箱有限公司 一种真空泵
CN113958489B (zh) * 2020-07-21 2024-02-27 海信冰箱有限公司 一种真空泵

Also Published As

Publication number Publication date
CN103107647B (zh) 2015-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103104489B (zh) 一种罗茨真空泵
WO2021227262A1 (zh) 一种具有水冷循环结构的永磁直驱渣浆泵
CN103107647B (zh) 一种干式真空泵用电机
CN201699506U (zh) 真空泵用屏蔽电机
CN104410182B (zh) 一种电泵
CN202285356U (zh) 一种干式真空泵用电机
CN204827926U (zh) 新型旋片式真空泵
CN206111603U (zh) 一种高速直连式电动离心气体压缩机
CN110094967B (zh) 一种应用干式螺杆泵的真空炉
CN104100536A (zh) 一种磁力泵的隔离套总成
CN204436813U (zh) 一种泥浆自吸屏蔽泵
CN101383534B (zh) 一种真空泵用电机
CN202391738U (zh) 一种罗茨真空泵
CN203906300U (zh) 一种自冷却双油箱罗茨鼓风机
CN103216422A (zh) 压缩机和真空机械
CN203604104U (zh) 一种新型冷却塔用水轮机
CN109586503A (zh) 一种泵用电机
CN201433908Y (zh) 一种带冷却装置的磁力泵
CN113217402A (zh) 一种水冷智能泵
CN206397751U (zh) 一种液冷离心泵的无轴封结构
CN210343737U (zh) 一种水泵用的水冷电机
CN113107863A (zh) 一种水冷高效多级泵
RU2477814C2 (ru) Электронасос
CN105317697A (zh) 磁力泵与轴承箱总成的连接结构
CN203114743U (zh) 一种单级单吸式化工离心泵

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C53 Correction of patent of invention or patent application
CB02 Change of applicant information

Address after: Xinyuan street Shenyang Hunnan New District of 110168 cities in Liaoning province.

Applicant after: Shenyang Scientific Apparatus Co., Ltd. of Chinese Academy of Sciences

Address before: Xinyuan street Shenyang Hunnan New District of 110168 cities in Liaoning province.

Applicant before: Shenyang Scientific Instrument Research & Mfg. Center Co., Ltd., C.A.S

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: APPLICANT; FROM: SHENYANG SCIENTIFIC INSTRUMENT RESEARCH + MFG. CENTER CO., LTD., C.A.S TO: CAS SHENYANG SCIENTIFIC INSTRUMENT CO., LTD.

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Application publication date: 20130515

Assignee: Shanghai Kai Kai Vacuum Technology Co., Ltd.

Assignor: Shenyang Scientific Apparatus Co., Ltd. of Chinese Academy of Sciences

Contract record no.: 2016210000010

Denomination of invention: Motor for dry-type vacuum pump

Granted publication date: 20150603

License type: Exclusive License

Record date: 20160203

LICC Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model
CB03 Change of inventor or designer information
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Lei Zhenlin

Inventor after: Li Changlong

Inventor after: Wang Guangyu

Inventor after: Liu Zaixing

Inventor before: Li Changlong

Inventor before: Wang Guangyu

Inventor before: Liu Zaixing