JP2009147408A - 撮像装置及び照明装置 - Google Patents

Abstract

【課題】観察すべき試料表面の光学特性が変化しても良好なコントラストの試料像を撮像できる撮像装置を実現する。
【解決手段】本発明による撮像装置は、第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向に沿って異なる波長の照明光を放出する発光素子（Ｒ，Ｙ，Ｇ，Ｂ）が配列されている照明光源（１）と、照明光源から出射した照明光を前記第１の方向及び第２の方向に積分し、観察すべき試料に向けて第１の方向に延在するライン状の混色照明光を投射する光インテグレータ（２）と、第１の方向と対応する方向に沿って配列した複数の受光素子を有し、試料から出射した反射光又は透過光を受光してビデオ信号を出力するリニァイメージセンサ（７）と、試料とリニァイメージセンサとの間に配置した撮像レンズ系（６）とを具える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、マクロビュー用の撮像装置、特に試料表面の光学特性に応じて最適な照明状態で試料像を撮像できる撮像装置に関するものである。
また、本発明は、観察すべき試料の光学特性に応じて最適な輝度分布の照明光を放出する照明装置に関するものである。

フォトマスクの製造工程においては、マスクパターンが正常に形成されているか否かを検査する検査工程が実施されており、例えばレジストパターンが形成された状態のマスク本体について欠陥検査が行われ、最終工程においても欠陥検査が行われている。これら欠陥検査工程においては、検査すべき領域並びに検査の開始点及び終点を特定する必要があるため、フォトマスクの画像を撮像し、操作者はモニタ上に表示されたフォトマスクの画像に基づいて検査の開始点及び終点を特定している。また、製造プロセスの途中においてマスク本体の性状を観察することも重要であり、製造プロセス中にマスク本体を撮像し、所定のプロセスが順調に進行しているか否か検査されている。

プロセス中にフォトマスクを観察する場合、短時間でフォトマスクを撮像できることが要求される。この要求を満たすマクロビュー用の撮像装置として、ＬＥＤをライン状に配列し、光インテグレータを介してライン状の照明光をフォトマスクに投射し、フォトマスクからの反射光をラインセンサで受光する撮像装置が想定される。この型式の撮像装置は、幅の長いライン照明を行っているため、比較的短時間でフォトマスク全域を撮像できる利点がある。

ライン状に配列された複数のＬＥＤと導光体（光インテグレータ）を用いた照明装置は既知である（例えば、特許文献１参照）。この既知の照明装置では、ＲＧＢの各波長域の光を放出するＬＥＤをライン状に交互に配列し、断面が台形の導光体の光入射面に入射させている。導光体の一方の斜面は光出射面として機能し、反対側の斜面には反射層が形成され反射面として機能している。光入射面から入射したＲＧＢの照明光は、反射面で反射し、対向する光出射面から面照明光として出射し、液晶パネルに入射している。

レジストパターンが形成されているマスク本体を観察する場合、レジストパターンは可視域において透明であるため、従来の照明方法を用いて撮像しても、レジストパターンを明瞭に判別できない場合がある。すなわち、マスク本体に照明光が入射した際、レジスト膜の表面からは、レジスト膜表面での反射光と下地膜（例えば、酸化クロム膜）からの反射光との干渉作用により強め合った干渉光が出射する。一方、レジスト膜が形成されていない部位からは下地膜の表面で反射した反射光と共に下地膜の下側に形成された金属クロム膜表面からの反射光との干渉光が出射する。この場合、レジスト膜表面の画像とレジスト膜が形成されていない部位の画像との間にコントラストが形成されにくく、レジストパターンが明瞭に判別されない画像が撮像されてしまう。一方、レジスト材料の光学特性及びレジスト膜の膜厚は、各フォトマスクごとに相違するため、各フォトマスク毎に最適な波長域の照明光を投射する必要がある。

この場合、照明光源として白色光源を用いることが想定される。しかし、白色光源を用いて照明する場合、撮像に寄与しない波長光を含むことになり、照明効率が低下する問題がある。また、ＲＧＢの照明光をそれぞれ放出する光源と光インテグレータとを用い、ＲＧＢの照明光を色混合してライン状の照明光を放出することが想定される。しかしながら、上記特許文献に記載の照明装置では、ＲＧＢのＬＥＤは１列に配置されているだけであり、ＬＥＤの配列ライン方向と直交する方向の色混合は考慮されていない。しかし、観察すべき試料に向けてライン状の照明ビームを投射する照明装置の場合、ライン状照明ビームと直交する方向の色混合が重要であり、適正な色混合が行われない場合、撮像される画像が不鮮明になる不具合が生じてしまう。

本発明の目的は、観察すべき試料表面の光学特性が変化しても良好なコントラストの試料像を撮像できる撮像装置を実現することにある。
本発明の別の目的は、発光素子から放出されたＲＧＢの波長域の光を適正に色混合することができる照明装置を提供することにある。

本発明による撮像装置は、第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向に沿って異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている照明光源と、
照明光源から出射した照明光を前記第２の方向に積分し、観察すべき試料に向けて第１の方向に延在するライン状の混色照明光を投射する光インテグレータと、
前記第１の方向と対応する方向に沿って配列した複数の受光素子を有し、試料から出射した反射光又は透過光を受光してビデオ信号を出力するリニァイメージセンサと、
前記試料とリニァイメージセンサとの間に配置した撮像レンズ系とを具えることを特徴とする。

本発明による撮像装置では、光インテグレータにより、互いに異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている方向（第２の方向）に色混合しているので、観察すべき試料表面に混色照明光が投射される。この結果、レジスト膜の膜厚等の光学特性の変化によりレジスト膜から発生する干渉光の波長が変化しても、適正なコントラストの画像を撮像することが可能になる。

本発明による撮像装置の好適実施例は、照明光源は、発光素子として、少なくとも、赤、緑、及び青の波長域の照明光をそれぞれ放出するＬＥＤを含むことを特徴とする。

本発明による撮像装置の別の好適実施例は、照明光源の各発光素子列は、赤、緑、青、及び黄色の波長光を放出する複数のＬＥＤでそれぞれ構成されていることを特徴とする撮像装置。

本発明による撮像装置の別の好適実施例は、照明光源には調光回路が接続され、赤、緑、及び青の照明光を放出するＬＥＤの発光輝度を試料表面の光学特性に応じてユーザが調整できるように構成したことを特徴とする。本例では、調光回路により混色照明光の光量分布を制御できるので、レジスト膜から発生する強め合った干渉光の波長域の照明光の割合を増大させることができ、一層コントラストの高い試料像を撮像することができる。

本発明による照明装置は、観察すべき試料に向けてライン状の混色照明光を放出する照明装置であって、
第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向にそって異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている照明光源と、
照明光源から出射した照明光を前記第１の方向及び第２の方向に積分し、第１の方向に延在するライン状の混色照明光を放出する光インテグレータとを具え、
前記光インテグレータは、前記照明光源から出射した照明光が入射する光入射面と、光入射面と平行な面であって、前記混色照明光が出射する光出射面と、光入射面と光出射面との間に位置すると共に互いに対向するように形成され、入射した照明光を全反射させる２つの全反射面とを有し、前記２つの全反射面間の間隔は照明光の主たる進行方向に沿って徐々に狭くなるように形成され、前記光出射面は、出射する混色照明光が散乱光として出射するように光散乱面として形成されていることを特徴とする。
本発明による照明装置では、入射した照明光は、第１方向については光出射面の散乱作用により積分され、第２の方向について光インテグレータによる導光中の積分作用と光出射面の散乱作用により混合されるので、良好に混合されたライン状の混色照明光を発生させることができる。

本発明による別の照明装置は、観察すべき試料に向けてライン状の混色照明光を放出する照明装置であって、
第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向に沿って異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている照明光源と、
照明光源から出射した照明光を前記第１の方向及び第２の方向に積分し、第１の方向に延在するライン状の混色照明光を放出する光インテグレータとを具え、
前記光インテグレータは、前記照明光源から出射した照明光が入射する光入射面と、光入射面と平行な面であって、混色照明光が出射する光出射面と、光入射面と光出射面との間に位置する光インテグレータ部及び導光部とを有し、
前記光インテグレータ部は、互いに対向し、照明光の主たる伝搬方向にそって間隔が徐々に狭くなるように設定された２つの全反射面を有し、照明光源から出射した照明光を前記第２の方向に積分し、
前記導光部は、２つの互いに平行な全反射面を有し、前記インテグレータ部により色混合された照明光を全反射により光出射面まで伝搬させ、
前記光出射面は、出射する混色照明光が散乱光として出射するように光散乱面として形成されていることを特徴とする。

本発明による照明装置の好適実施例は、光インテグレータの光入射面は、前記第２の方向に延在する溝又は突状が形成され、入射する照明光は、前記溝又は突条により第１の方向に積分されることを特徴とする。
光インテグレータの光入射面に第２の方向に延在する溝や突条を形成することにより、入射した照明光は第１の方向に積分されることになる。よって、第１の方向については、光入射面による積分効果と光出射面による散乱効果とにより積分され、第２の方向については光インテグレータの導光中の積分効果と光出射面による散乱効果により積分されることになる。この結果、第１及び第２の両方の方向について適切に混合され、ほぼ均一な輝度分布のライン状照明光を試料に向けて投射することができる。さらに、各ＬＥＤの発光輝度差があっても、発光輝度差が補正される照明光を出射させることができる。

本発明による照明装置の別の好適実施例は、光インテグレータの光入射面には、前記第２の方向にそって延在する溝又は突条が形成されている光学的に透明なシート状部材が接着されていることを特徴とする。

本発明による照明装置の別の好適実施例は、照明光源は、発光素子として、少なくとも、赤、緑、及び青の波長域の照明光をそれぞれ放出するＬＥＤを含むと共に各ＬＥＤの発光輝度を調整する調光回路を有し、ＬＥＤの発光輝度を試料表面の光学特性に応じてユーザが調整できるように構成されていることを特徴とする。

本発明では、Ｒ，Ｇ，Ｂの波長の照明光が混合された混色照明光を試料向けて投射しているので、試料表面の光学特性が変化しても、良好なコントラストの試料像を撮像することができる。特に、レジストパターンが形成されているマスク本体を撮像する場合、レジスト膜の膜厚等が変化してレジスト膜から発生する干渉光の波長が変化しても、良好なコントラストのマスク画像を撮像することができる。

図１は本発明による撮像装置の一例を示す線図である。本例では、一例としてレジストパターンが形成されているマスク本体の画像を撮像する例を説明する。勿論、本発明による撮像装置は、マスク本体だけでなく、各種の試料をマクロビューするため撮像装置として利用することが可能である。
照明光源１から第１の方向（紙面と直交する方向）に延在するライン状の照明光が放出され、この照明光は光インテグレータ２により色混合されてマスク本体３に向けて投射される。照明光源１は、Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒの波長域の各照明光をそれぞれ放出する発光ダイオード（ＬＥＤ）列を有し、各色のＬＥＤ列は第１の方向に沿って配列する。従って、照明光源１は、Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒの各波長域の照明光を放出する４列の発光素子列を有し、４色のライン状照明光を放出する。尚、照明光源１には調光回路４が接続され、ユーザは、調光回路４を調整することによりＢ，Ｇ，Ｙ，Ｒの各ＬＥＤの発光出力を試料の光学特性に応じて適宜調整することができる。調光回路は、既知の種々の調光回路を用いることができる。

Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒの４列のＬＥＤ列から出射した照明光は、光インテグレータ２に入射し、ＬＥＤ列の配列方向（第１の方向）と直交する第２の方向に色混合されると共に第１の方向にも混合され、第１の方向に延在するライン状の混色照明光として出射する。観察すべき試料３は試料ステージ５に保持する。試料ステージ５はＸＹステージにより構成され、第１の方向と直交する第２の方向に移動することにより試料３はライン状の照明光により２次元的に走査される。

試料３からの反射光は、縮小光学系である撮像レンズ系６を介してリニァイメージセンサ７に入射する。リニァイメージセンサ７は、第１の方向と対応する方向に整列した複数の受光素子を有し、各受光素子に蓄積された電荷は駆動信号により順次読み出され、増幅器８を経て信号処理回路９に供給される。信号処理回路９において所定の処理がなされた後、ビデオ信号が出力され、モニタ上に試料の２次元画像が表示される。従って、ユーザは、モニタ上に表示されるマスク本体の画像を見ながらマスク本体を観察する。

観察すべき試料であるマスク本体は、ガラス基板上に金属クロム膜が形成され、その上に低反射率の酸化クロム膜又はモリブデンシリサイド膜が形成されている。プロセス中に、酸化クロム膜上にレジスト膜が形成され、ホトリソグラフィー工程によりレジストパターンが形成される。レジスト材料は可視域において光学に透明であるため、レジストパターンに向けて照明光を投射すると、レジスト膜の表面からは、レジスト膜の表面からの反射光と下側の酸化クロム膜表面及び金属クロム表面からの反射光との干渉作用により強め合った干渉光が出射する。レジスト膜の材料や膜厚等の光学特性は各フォトマスクごとに相違するため、レジスト膜から生ずる強め合う干渉光の波長はフォトマスク毎に相違する。従って、単色の照明光や波長範囲の狭い照明光を用いた場合、レジストパターンにコントラストが形成されず、レジストパターンが明確に識別できない画像が撮像されてしまう。これに対して、本発明では、Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒ波長域の照明光が混合された混色照明光が投射されるので、レジスト膜から生ずる干渉光の波長が変動しても、良好なコントラストのマスク画像を撮像することが可能である。さらに、照明光源に接続された調光回路を制御することにより、強め合う干渉光の波長域の照明光の光量分布を増大させることができるので、一層良好なコントラスト画像を撮像することができる。すなわち、例えばレジスト膜から発生する強め合う干渉光の波長域が赤の場合、Ｒ又はＹの波長光を放出するＬＥＤの光量を増大し、Ｂの波長光を放出するＬＥＤの発光輝度が低くなるように調光回路を制御することにより、照明光を効率よく利用することができる。

図２は照明光源１のＬＥＤの配列状態の一例を示す線図的平面図である。照明光源は、基板１０を有し、この基板１０上にＢ，Ｇ，Ｙ，Ｒの各波長光を放出するＬＥＤを第１の方向に沿って列状に配置する。一例として、Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒの波長光を放出するＬＥＤとして、４７５ｎｍ、５３５ｎｍ、５７５ｎｍ、６４０ｎｍの波長光を放出するＬＥＤを用いる。各ＬＥＤは、レンズ部分が六角形の断面形状に加工されたＬＥＤを用いる。このように、レンズ部分が六角形のＬＥＤを用いることにより、各ＬＥＤを互いに隙間なく隣接するように配列することができる。この結果、ＬＥＤの配列密度が高くなり、照明光源のエネルギー密度を相当高くすることができる。

図３は光インテグレータの一例を示す。図３Ａ及びＢにおいて、左側の図は斜視図であり、右側の図は側面図である。図３Ａを参照するに、本例の光インテグレータは可視域において透明な透明アクリルのブロックで構成され、照明光源１から放出されたライン状の照明光が入射する光入射面２１と、光入射面に平行な色混合された照明光が出射する光出射面２２とを有し、これら光入射面と光出射面との間に互いに対向する２つの全反射面２３ａ及び２３ｂを有する。２つの全反射面２３ａ及び２３ｂは、光入射面２１と光出射面２２とを結ぶ方向である照明光の主たる進行方向に沿って間隔が徐々に狭くなるように設定する。光出射面２２は、光入射面から進行してきた照明光が散乱光として出射するように光散乱面とする。光散乱面は、例えばサンドブラスト処理により粗面とすることにより形成される。または、光出射面２２は、砂かけ面や、無数の微小な突起が形成された面とすることができ、或いは光散乱性のシート状部材を装着することもできる。光出射面２２を光散乱面とすることにより、照明光は、第１の方向及び第２の方向に散乱した散乱光として出射する。各ＬＥＤから出射した照明光は、例えば１８°程度の広がり角をもって進行し、光入射面２１に入射する。光入射面２１に入射したＢ，Ｇ，Ｙ，Ｒの照明光は、第２の方向については、一部の照明光は光出射面に直接入射し、残りの照明光は２つの全反射面２３ａと２３ｂで１回又は２回全反射して光出射面に入射し、その間に第２の方向に積分されて色混合される。さらに、色混合した混色状態の照明光は、光散乱面により散乱され、一層良好に色混合されたライン状の混色照明光として出射し、試料表面に入射する。

図３Ｂに示す光インテグレータも同様に透明アクリルのブロックで構成され、照明光源１から出射したＢ，Ｇ，Ｙ，Ｒの照明光が入射する光入射面２４と、光入射面と平行な色混合された照明光が出射する光散乱性の光出射面２５とを有する。これら光入射面と光出射面との間に、Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒの照明光を第２の方向に積分して色混合するインテグレータ部分２６と、色混合された照明光が進行する導光体部分２７を形成する。インテグレータ部分２６は、互いに対向する全反射面２６ａ及び２６ｂを有する。２つの全反射面２６ａと２６ｂとの間の間隔は、照明光の主たる進行方向にそって徐々に狭くなるように設定する。導光体部分２７は、互いに平行な２つ全反射面２７ａ及び２７ｂを有する。

光入射面２１に入射したＢ，Ｇ，Ｙ，Ｒの照明光は、一部の照明光はインテグレータ部分を直進し、残りの照明光は２つの全反射面２６ａと２６ｂで１回又は２回全反射して第２の方向に色混合されて導光部分２７に入射する。さらに、導光部分２７の２つの全反射面２７ａ及び２７ｂで全反射しながら進行して光出射面２５に入射する。混色状態の照明光は、光散乱面により散乱されるので、第１の方向及び第２の方向に積分され、一層良好に色混合された混色照明光として出射する。

図４は光インテグレータの変形例を示す線図である。本例の光インテグレータの全体形状は図３Ａに示す光インテグレータと同一である。図４Ａに示す光インテグレータにおいては、照明光源から出射したＢ，Ｇ，Ｙ，Ｒの照明光が入射する光入射面３０に、第２の方向に互いに平行に延在する多数の溝３１を形成する。これら溝の断面は、例えば半円形に形成する。半円形以外の三角形等の光拡散させる各種形状に形成することが可能である。光入射面３０に入射した照明光は、光入射面において、第１の方向に積分（拡散）される。この結果、光出射面の散乱作用に加えて光入射面３０の拡散作用により、第一の方向に沿って一層均一なライン状混色照明光を出射させることができる。また、ＬＥＤが輝度ムラを有する場合、当該ＬＥＤの輝度ムラが補正される。尚、本例では、光入射面に多数の溝を形成したが、溝の代りに多数の突条を形成しても同様な拡散効果が得られる。また、光入射面に、多数の溝や突条が形成されているシート状部材を接着しても同様な効果が達成される。
図４Ｂに示す光インテグレータにおいては、光出射面に散乱面とする変わりに、入射した照明光を拡散させる拡散板３２を配置した例を示す。例えば、可視域の光に対して拡散作用を有するアクリル製の乳白色の拡散板を用いれば、入射した照明光を全方位にわたって拡散させることができる。

本発明は、上述した実施例だけに限定されず種々の変形や変更が可能である。例えば、上述した実施例では、試料の反射画像を撮像する場合について説明したが、本発明は、試料の透過画像を撮像する場合にも適用される。
さらに、上述した実施例では、Ｂ，Ｇ，Ｙ，Ｒの波長域の照明光を発生する４種類のＬＥＤ列を用いたが、Ｂ，Ｇ，Ｒの３種類のＬＥＤ列を用いる場合にも本発明は有効に適用される。
さらに、Ｒ，Ｇ，Ｂ，Ｙの発光素子の配列は、第２の方向に互いに異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されていれば良く、種々の配列方法に基づいて配列することが可能である。
さらに、上述した実施例では、発光素子としてＬＥＤを用いたが、ＬＥＤ以外の各種発光素子を用いることも可能である。

本発明による撮像装置の一例を示す線図である。 本発明による照明光源の発光素子の配列状態を示す線図である。 本発明による光インテグレータを示す図である。 光インテグレータの変形例を示す図である。

符号の説明

１ 照明光源
２ 光インテグレータ
３ 試料
４ 調光回路
５ 試料ステージ
６ 撮像レンズ
７ リニァイメージセンサ
８ 増幅器
９ 信号処理回路
１０ 基板
２１，２４，３０ 光入射面
２２，２５ 光出射面
２３ａ，２３ｂ，２６ａ，２６ｂ， ２７ａ，２７ｂ 全反射面
２６ 光インテグレータ部分
２７ 導光体部分
３１ 溝
３２ 拡散板

Claims (9)

1. 第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向に沿って異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている照明光源と、
   照明光源から出射した照明光を前記第１の方向及び第２の方向に積分し、観察すべき試料に向けて第１の方向に延在するライン状の混色照明光を投射する光インテグレータと、
   前記第１の方向と対応する方向に沿って配列した複数の受光素子を有し、試料から出射した反射光又は透過光を受光してビデオ信号を出力するリニァイメージセンサと、
   前記試料とリニァイメージセンサとの間に配置した撮像レンズ系とを具えることを特徴とする撮像装置。
2. 前記照明光源は、発光素子として、少なくとも、赤、緑、及び青の波長域の照明光をそれぞれ放出するＬＥＤを含むことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 請求項２に記載の撮像装置において、前記照明光源の各発光素子列は、赤、緑、青、及び黄色の波長光を放出する複数のＬＥＤでそれぞれ構成されていることを特徴とする撮像装置。
4. 請求項２又は３に記載の撮像装置において、前記照明光源には調光回路が接続され、赤、緑、及び青の照明光を放出するＬＥＤの発光輝度を試料表面の光学特性に応じてユーザが調整できるように構成したことを特徴とする撮像装置。
5. 観察すべき試料に向けてライン状の混色照明光を放出する照明装置であって、
   第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向にそって異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている照明光源と、
   照明光源から出射した照明光を前記第１の方向及び第２の方向に積分し、第１の方向に延在するライン状の混色照明光を放出する光インテグレータとを具え、
   前記光インテグレータは、前記照明光源から出射した照明光が入射する光入射面と、光入射面と平行な面であって、前記混色照明光が出射する光出射面と、光入射面と光出射面との間に位置すると共に互いに対向するように形成され、入射した照明光を全反射させる２つの全反射面とを有し、前記２つの全反射面間の間隔は照明光の主たる進行方向に沿って徐々に狭くなるように形成され、前記光出射面は、出射する混色照明光が散乱光として出射するように光散乱面として形成されていることを特徴とする照明装置。
6. 観察すべき試料に向けてライン状の混色照明光を放出する照明装置であって、
   第１の方向にそって配列した複数の発光素子を含む発光素子列を第１の方向と直交する第２の方向にそって複数列有し、第２の方向に沿って異なる波長の照明光を放出する発光素子が配列されている照明光源と、
   照明光源から出射した照明光を前記第１の方向及び第２の方向に積分し、第１の方向に延在するライン状の混色照明光を放出する光インテグレータとを具え、
   前記光インテグレータは、前記照明光源から出射した照明光が入射する光入射面と、光入射面と平行な面であって、混色照明光が出射する光出射面と、光入射面と光出射面との間に位置する光インテグレータ部及び導光部とを有し、
   前記光インテグレータ部は、互いに対向し、照明光の主たる伝搬方向にそって間隔が徐々に狭くなるように設定された２つの全反射面を有し、照明光源から出射した照明光を前記第２の方向に積分し、
   前記導光部は、２つの互いに平行な全反射面を有し、前記インテグレータ部により色混合された照明光を全反射により光出射面まで伝搬させ、
   前記光出射面は、出射する混色照明光が散乱光として出射するように光散乱面として形成されていることを特徴とする照明装置。
7. 請求項５又は６に記載の照明装置において、前記光インテグレータの光入射面には、前記第２の方向に延在する溝又は突状が形成され、入射する照明光は、前記溝又は突条により第１の方向に積分されることを特徴とする照明装置。
8. 請求項５、６又は７に記載の照明装置において、前記光インテグレータの光入射面には、前記第２の方向にそって延在する溝又は突条が形成されている光学的に透明なシート状部材が接着され、入射する照明光は、前記シート部材により第１の方向に積分されることを特徴とする照明装置。
9. 請求項５から８までのいずれか１項に記載の照明装置において、前記照明光源は、発光素子として、少なくとも、赤、緑、及び青の波長域の照明光をそれぞれ放出するＬＥＤを含むと共に各ＬＥＤの発光輝度を調整する調光回路を有し、ＬＥＤの発光輝度を試料表面の光学特性に応じてユーザが調整できるように構成されていることを特徴とする照明装置。

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