JP2009147326A - イメージセンシングデバイス及びそれを備えたcmosイメージセンサー - Google Patents
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Abstract
【課題】イメージセンシングデバイス及びそれを備えたCMOSイメージセンサを提供する。
【解決手段】p‐n接合フォトダイオード、及びp‐n接合フォトダイオードの上面に金属物質のパターン層を備えたイメージセンシングデバイスと、金属物質のパターン層の上方に形成されたマイクロレンズと、を備え、金属物質は、金、銀、銅、アルミニウム及びタングステンからなる群のうち選択された少なくともいずれか一つからなるCMOSイメージセンサーである。
【選択図】図3
【解決手段】p‐n接合フォトダイオード、及びp‐n接合フォトダイオードの上面に金属物質のパターン層を備えたイメージセンシングデバイスと、金属物質のパターン層の上方に形成されたマイクロレンズと、を備え、金属物質は、金、銀、銅、アルミニウム及びタングステンからなる群のうち選択された少なくともいずれか一つからなるCMOSイメージセンサーである。
【選択図】図3
Description
本発明は、フォトダイオードの上部に金属パターンを形成して感度を向上させたCMOSイメージセンサーに関する。
イメージセンサーは、光を感知して光学映像を電気的な信号に変換する光電変換素子であって、映像イメージの保存及び伝送、ディスプレイ装置での光学映像を再現するのに使われる。
シリコン半導体を基板としたイメージセンサーには、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサー及びCMOS(Complimentary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサーがあるが、CMOSイメージセンサーは、CCDイメージセンサーに比べて既存の半導体工程を使用して生産コストを低減でき、製造工程が容易であり、かつ消費電力が低く、周辺回路を同じチップに統合しやすいという利点がある。したがって、CMOSイメージセンサーは、携帯電話及び個人用携帯端末器用カメラのような小型携帯用端末器などに適している。
一般的に、CMOSイメージセンサーは、半導体基板上に行列で配列される複数個の単位画素を備え、それぞれの単位画素は、p‐n接合フォトダイオード及びトランジスタから構成される。前記フォトダイオードは、外部から光を感知して光電荷を生成する。前記トランジスタは、生成された光電荷の電荷量による電気的な信号を出力する。
前記のように、CMOSイメージセンサーは、光信号を検出して生成するフォトダイオードを備え、また、光信号を制御または処理できる制御素子を使用してイメージを具現する。
通常のCMOSイメージセンサーは、一つのチップ上にフォトダイオード及び複数のトランジスタが集積される。
図1は、通常のCMOSイメージセンサーの構造を示す断面図である。図2は、CMOSイメージセンサーの信号歪曲を説明するためのSEM(Scanning Electron Microscope)写真である。図1に示すように、CMOSイメージセンサー1は、フォトダイオード2、周辺回路用の金属配線4、ポリマーカラーフィルタ6及びマイクロレンズ8を備える。前記構成要素間の空間は、絶縁層で形成される。前記フォトダイオード2は、p型シリコン基板2aにn型不純物がドーピングされたn型領域2bを備える。
図2に示すように、前記CMOSイメージセンサー1は、マイクロレンズ8を通過した光が金属配線4などに反射されて隣接した画素のフォトダイオード2に入射され、したがって、信号が歪曲される光学的クロストークが発生しうる。
また、カラーフィルタ6がマイクロレンズ8の直下に配置される。マイクロレンズ8からフォトダイオード2までの距離が5ないし10μm以上である場合、フォトダイオード2のサイズが約3μmから1μmあるいはそれ以下に小さくなる場合、感度が低下するという問題がある。また、光がカラーフィルタ6及び絶縁層を通過しつつ相当量が吸収されて、実際にフォトダイオード2に達する光量が少なくなり、イメージセンサーの感度が不良となりうる。
したがって、前記マイクロレンズ8とフォトダイオード2との距離を狭くするか、またはカラーフィルタ6を代替できる技術が必要である。
本発明の目的は、上部に特定の波長の光により表面プラズモン共鳴を形成する金属パターンが形成されたイメージセンシングデバイスを提供するところにある。
本発明の他の目的は、別途のカラーフィルタなしに特定の波長の光をフィルタリングし、感知できる光量を増加させる金属パターンが上部に形成されたフォトダイオードを備えるCMOSイメージセンサーを提供するところにある。
前記目的を達成するために、本発明によるイメージセンシングデバイスは、p‐n接合フォトダイオードと、前記p‐n接合フォトダイオードの上面に金属物質のパターン層と、を備えている。
前記金属物質のパターン層は、ストリップパターン、互いに独立的な島状パターンまたは金属粒子層でありうる。
また、前記金属物質のパターン層は、コンタクトホールパターンを含む金属薄膜層でありうる。
前記p‐n接合フォトダイオードの上面に誘電膜をさらに備え、前記金属パターン層は、前記誘電膜上に形成されている。
前記誘電膜は、SiO2,SiON,HfO2,Si3N4からなる群のうち選択された少なくともいずれか一つの物質からなる。また、前記誘電膜の厚さは、3ないし100nmでありうる。
本発明によれば、前記金属物質は、金、銀、銅、アルミニウム及びタングステンからなる群のうち選択された少なくともいずれか一つからなる。
本発明の他の実施形態によるCMOSイメージセンサーは、前記イメージセンシングデバイスと、前記金属物質のパターン層の上方に形成されたマイクロレンズと、を備える。
本発明によれば、前記金属物質のパターン層は、複数の画素領域に区分され、前記画素領域に対応する前記金属パターン層は、赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域を備える。
前記各サブ画素領域の金属パターンは、ナノドットでありうる。
本発明によれば、前記赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域の順で順次に前記ナノドットのサイズが小さくなる。
本発明によれば、前記赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域の順で順次に前記ナノドット間の間隔が狭くなる。
本発明によれば、前記ナノドットは、三角形、四角形、五角形、円形及び星形からなる群のうち選択されたいずれか一つの形状を有する。
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施形態によるフォトダイオード及びCMOSイメージセンサーを詳細に説明する。
図3は、本発明の一実施形態によるイメージセンシングデバイス10を示す断面図である。
図3に示すように、イメージセンシングデバイス10は、p‐n接合フォトダイオード12、p‐n接合フォトダイオード12の上部に順次に形成された誘電膜15及び金属パターン13を備える。前記フォトダイオード12は、p型シリコン基板12aにn型不純物がドーピングされたn型領域12bを備える。
前記誘電膜15は、前記金属パターン13により限定された光が前記フォトダイオード12に伝達されるように薄くなければならない。その厚さは、3nmないし100nmが望ましい。
前記誘電膜15は、前記金属パターン13のシード層の役割を行う。前記誘電膜15は、SiO2,SiON,HfO2,Si3N4のうちいずれか一つで形成される。
前記金属パターン13においては、光の電磁波が金属表面の電子と共振により表面プラズモンを形成する。前記プラズモンは、光が前記金属パターン13の近辺にとどまる時間を延長させる役割を行う。
したがって、前記プラズモン現象によって前記フォトダイオード12に入射される光は、前記金属パターン13により前記フォトダイオード12が感知できる時間を延長させて感度を向上させる。
前記金属パターン13は、ストリップパターン、互いに独立的な島状パターンまたは金属粒子層でありうる。また、前記金属パターン13は、金属薄膜にコンタクトホールが形成されたコンタクトホールパターンでありうる。
前記金属パターン13は、前記フォトダイオード12が感知する光によって材質、パターン形状またはパターンサイズを異なって形成することが望ましい。すなわち、前記金属パターン13の材質、形状及びサイズによって前記フォトダイオード12が感知する光が異なるので、前記金属パターン13が従来のカラーフィルタの役割を行う。
前記金属パターン13の材質は、金、銀、銅、アルミニウムまたはタングステンのうち一つでありうる。
図4は、本発明の一実施形態によるイメージセンシングデバイス10を備えたCMOSイメージセンサー11の断面図である。図3での構成要素と実質的に同じ構成要素には同じ参照番号を使用し、詳細な説明は省略する。
図4に示すように、CMOSイメージセンサー11は、イメージセンシングデバイス10、周辺回路用の金属配線14及びマイクロレンズ18を備える。もちろん、前記構成要素以外の空間は、絶縁層(図示せず)で構成される。
前記CMOSイメージセンサー11は、構造的に従来のカラーフィルタが不要であるので、前記マイクロレンズ18と前記イメージセンシングデバイス10との距離が狭く、CMOSイメージセンサー11のサイズをさらに小さくすることができる。また、イメージセンシングデバイス10への入射光の制御が従来より容易であるので、入射光が前記金属配線14で反射されて表れるクロストーク問題を防止できる。すなわち、入射光をさらに正確に前記フォトダイオード12に集中させることができる。
前記イメージセンシングデバイス10は、図3に示した実施形態で形成される。すなわち、イメージセンシングデバイス10は、p型領域12aとn型領域12bとからなるp‐n接合フォトダイオード12を備え、フォトダイオード12上には、誘電膜15及び金属パターン13が順次に形成される。
図5は、プラズモン現象を利用したイメージセンサーのセンシング過程を示す図面である。
図4及び図5に示すように、前記マイクロレンズ18を通過した光は、前記金属配線14領域を通過して前記イメージセンシングデバイス10に達する。前記光は、前記金属パターン13により表面プラズモン共鳴現象を起こし、これによってフィールドエンハンスメントが発生し、イメージセンサー11の感度が向上する。図5において、点線で表示された円は、金属パターン13による表面プラズモン共鳴現象が起こる領域を例示的に示したものである。
図6は、4個の領域に形成された金属パターンを示す平面図である。
図4及び図6に示すように、CMOSイメージセンサー11の一つの画素に該当する領域の誘電膜15は、4個の領域に分割されており、各領域には、相異なる金属パターン13a,13b,13c,13dが形成されている。赤色サブ画素領域Redには、第1サイズで金を備えたナノドット13aが形成されており、緑色サブ画素領域Green1,Green2には、第2サイズで銀を備えたナノドット13b,13dが形成されており、青色サブ画素領域Blueには、第3サイズで金を備えたナノドット13cが形成されている。相対的に波長の長い赤色光を通過させる赤色サブ画素領域Redのナノドット13aのサイズは、緑色サブ画素領域Green1,Green2のナノドット13b,13dより大きく形成されるか、またはナノドット間の間隔がさらに狭く、青色サブ画素領域Blueのナノドット13cのサイズは、緑色サブ画素領域Green1,Green2のナノドット13b,13dより小さく形成されるか、または同じサイズで形成されても、その間隔がさらに広く形成される。
また、前記各サブ画素領域の金属パターン13は、感知しようとする光によって三角形、四角形、五角形、円形または星形でありうる。すなわち、前記各サブ画素領域の金属パターン13は、感知しようとする光の種類によってパターンの形状、サイズ、材質を異ならせれば、光フィルタ効率が変わりうる。
本発明によるイメージセンサーは、光を多量吸収する従来のポリマー材質のカラーフィルタを使用せずにフォトダイオードに達する光量が増加して、光を感知する感度を向上させる。
前記では本発明の望ましい実施形態を参照して説明したが、該技術分野の熟練された当業者は、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることを理解できるであろう。
本発明は、イメージセンサー関連の技術分野に適用可能である。
10 イメージセンシングデバイス
11 CMOSイメージセンサー
12 p‐n接合フォトダイオード
12a p型シリコン基板
12b n型領域
13 金属パターン
14 周辺回路用の金属配線
15 誘電膜
18 マイクロレンズ
11 CMOSイメージセンサー
12 p‐n接合フォトダイオード
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13 金属パターン
14 周辺回路用の金属配線
15 誘電膜
18 マイクロレンズ
Claims (23)
- p‐n接合フォトダイオードと、
前記p‐n接合フォトダイオードの上面に金属物質のパターン層と、を備えたことを特徴とするイメージセンシングデバイス。 - 前記金属物質のパターン層は、ストリップパターン、互いに独立的な島状パターンまたは金属粒子層であることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記金属物質のパターン層は、コンタクトホールパターンを含む金属薄膜層であることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記p‐n接合フォトダイオードの上面に誘電膜をさらに備え、前記金属パターン層は、前記誘電膜上に形成されたことを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記誘電膜は、SiO2,SiON,HfO2,Si3N4からなる群のうち選択された少なくともいずれか一つの物質からなることを特徴とする請求項4に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記誘電膜の厚さは、3ないし100nmであることを特徴とする請求項4に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記金属物質は、金、銀、銅、アルミニウム及びタングステンからなる群のうち選択された少なくともいずれか一つからなることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記金属物質のパターン層は、複数の領域を備え、前記金属物質のパターン層の各領域は、複数のサブ画素領域のうち一つを限定し、前記複数のサブ画素領域は、少なくとも赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域を備えていることを特徴とする請求項1に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記金属パターンは、ナノドットであることを特徴とする請求項8に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域の順で順次に前記ナノドットのサイズが小さくなることを特徴とする請求項9に記載のイメージセンシングデバイス。
- 前記赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域の順で順次に前記ナノドット間の間隔が長くなることを特徴とする請求項9または10に記載のイメージセンシングデバイス。
- p‐n接合フォトダイオードと、前記p‐n接合フォトダイオードの上面に金属物質のパターン層と、を備えたイメージセンシングデバイスと、
前記金属物質のパターン層の上方に形成されたマイクロレンズと、を備えたことを特徴とするCMOSイメージセンサー。 - 前記金属物質のパターン層は、ストリップパターン、互いに独立的な島状パターンまたは金属粒子層であることを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記金属物質のパターン層は、コンタクトホールパターンを含む金属薄膜層であることを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記イメージセンシングデバイスは、前記p‐n接合フォトダイオード上に形成された誘電膜をさらに備え、前記金属パターン層は、前記誘電膜上に形成されたことを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記誘電膜は、SiO2,SiON,HfO2,Si3N4からなる群のうち選択された少なくともいずれか一つの物質からなることを特徴とする請求項15に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記誘電膜の厚さは、3ないし100nmであることを特徴とする請求項15に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記金属物質は、金、銀、銅、アルミニウム及びタングステンからなる群のうち選択された少なくともいずれか一つからなることを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記金属物質のパターン層は、複数の画素領域に区分され、前記画素領域に対応する前記金属パターン層は、赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域を備えたことを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記各サブ画素領域の金属パターンは、ナノドットであることを特徴とする請求項19に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域の順で順次に前記ナノドットのサイズが小さくなることを特徴とする請求項20に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記赤色サブ画素領域、緑色サブ画素領域及び青色サブ画素領域の順で順次に前記ナノドット間の間隔が長くなることを特徴とする請求項20または21に記載のCMOSイメージセンサー。
- 前記ナノドットは、三角形、四角形、五角形、円形及び星形からなる群のうち選択されたいずれか一つの形状を有することを特徴とする請求項20に記載のCMOSイメージセンサー。
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