JP2009137286A5

JP2009137286A5 -

Info

Publication number: JP2009137286A5
Application number: JP2008286980A
Authority: JP
Filing date: 2008-11-07
Publication date: 2013-10-17
Anticipated expiration: 2028-11-07

Claims

押型（１）の構造（１６）を大面積の基板（４）の平坦面（４ｓ）に転写するためのシステムにおいて、
前記基板（４）を基板受容表面（３ａ）上で受け取る基板ホルダ（３）と、
前記基板受容表面（３ａ）に対して平行に方向付けられ、かつ対向して位置することができる、前記押型（１）の構造表面（１ｓ）と、
前記基板受容表面（３ａ）に対して直交して働くアクチュエータデバイス（１０）と、
を有するシステムであって、
前記アクチュエータデバイス（１０）が、前記構造（１６）の転写を確実にする、かつ前記基板受容表面（３ａ）に対して直交することになる力Ｆａを前記押型（１）または基板（４）に加えるために、少なくとも２つの別々に制御可能な、かつ／または調節可能なアクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）を有し、
前記アクチュエータが、前記押型の前記構造の立体形状あるいは前記押型の前記構造の充填率に基づいて制御可能なかつ／または調節可能とされることを特徴とするシステム。
それぞれの場合において、別々に制御可能な、かつ／または調節される引張力および／または圧縮力（Ｆ１、Ｆ２、…Ｆｎ）を、前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）上で調整することができる、請求項１に記載のシステム。
制御ライン（１４）を介して前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）に接続される中央制御デバイス（１５）によって前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）を制御することができる、請求項１または２に記載のシステム。
前記アクチュエータデバイス（１０）が、３つの別々に制御可能な、かつ／または調整可能なアクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）を有する、請求項１から３のいずれか一項に記載のシステム。
前記アクチュエータデバイス（１０）が、前記引張力および／または圧縮力（Ｆ１、Ｆ２、…Ｆｎ）を前記押型（１）に伝達する、特に前記押型（１）を中央位置で受け取る押型ホルダ（２）を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載のシステム。
前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）が、特に１２０°の中間角度αで、前記押型ホルダ（２）の周縁上で均一に分配されて配置される、請求項１から５のいずれか一項に記載のシステム。
前記アクチュエータデバイス（１０）が、前記引張力および／または圧縮力（Ｆ１、Ｆ２、…Ｆｎ）を前記基板ホルダ（３）に伝達する、請求項１から４のいずれか一項に記載のシステム。
前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）が、特に１２０°の中間角度αで、前記押型ホルダ（２）の周縁上で均一に分配されて配置される、請求項７に記載のシステム。
前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）が、前記構造表面（１ｓ）の外側に位置合わせされる、請求項１から８のいずれか一項に記載のシステム。
前記押型（１）と平行に前記基板（４）を並進させ回転方向付けるために、調整デバイス（６）が設けられる、請求項１から９のいずれか一項に記載のシステム。
前記調整デバイス（６）、前記基板ホルダ（３）、前記押型（１）が、下部ベースプレート（９）と、前記下部ベースプレート（９）に対して平行に方向付けられる押型ベースプレート（１２）との間に配置される、請求項１０に記載のシステム。
前記下部ベースプレート（９）が、特に前記ベースプレート（９）および前記押型ベースプレート（１２）の縁部に取り付けられる接続用支持体（７）を介して前記押型ベースプレート（１２）にしっかり接続される、請求項１１に記載のシステム。
前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）が、前記押型ベースプレート（１２）を貫通し、前記押型ベースプレート（１２）に対して直交して前記押型ベースプレート（１２）内に案内されて入る、請求項１１または１２に記載のシステム。
前記引張力および／または圧縮力（Ｆ１、Ｆ２、…Ｆｎ）を測定するために、前記押型（１）または基板（４）と、前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）のそれぞれとの間に、特に圧電型の力測定セル（１０ｋ）が設けられる、請求項１から１３のいずれか一項に記載のシステム。
前記力測定セル（１０ｋ）が、前記制御ライン（１４）を介して前記中央制御デバイス（１５）に接続され、前記中央制御デバイス（１５）が、それぞれの場合において前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）に関連付けられる対応する力測定セル（１０ｋ）の測定値を用いて前記アクチュエータ（１０．１、１０．２、…１０．ｎ）を制御および／または調節するように設計される、請求項１４に記載のシステム。
結果として生じる力Ｆａが、前記アクチュエータデバイス（１０）の制御によって、前記基板（４）と押型（１）の間の接触表面の面積の中心において作用する、請求項１から１５のいずれか一項に記載のシステム。