JP2009136120A - アクチュエータおよび画像形成装置 - Google Patents

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Yasuhide Matsuo
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013057819A (ja) * 2011-09-08 2013-03-28 Fujifilm Corp ミラー駆動装置及びその駆動方法並びに製造方法
CN105712290A (zh) * 2014-12-04 2016-06-29 无锡华润上华半导体有限公司 Mems静电驱动器的制作方法
IT201700046127A1 (it) * 2017-04-28 2018-10-28 St Microelectronics Srl Struttura oscillante ad azionamento piezoelettrico con migliorata compattezza e sistema elettronico includente la struttura oscillante

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