JP2009133845A - ライニングタンクの非破壊検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面または外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とするライニングタンクの非破壊検査方法。
【選択図】なし
Description
[1]剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面または外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とするライニングタンクの非破壊検査方法。
[6]前記ライニングタンクを開放することなく、収容物を該タンク内部へ供給することによって、該タンク内部から該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする前記[1]に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法は、剥離状態のライニング層に起因して発生する、(A)ライニングタンク外表面からライニングタンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、または(B)ライニングタンク内表面からライニングタンク外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする。
図1〜図4は、ライニングタンクにおけるライニング層の浮き部を非破壊的に検出する
、本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法を説明する模式縦断面図(図1、図2)および模式横断面図(図3、図4)である。
浮き部60でのライニングタンク10の内外面を貫く方向X((A)ライニングタンク外表面10A→缶体30→接着剤層70→空気・滲出液層40→ライニング層20→ライニングタンク内表面10B(図1)、または(B)ライニングタンク内表面10B→ライニング層20→空気・滲出液層40→接着剤層70→缶体30→ライニングタンク外表面10A(図2))とでは、
ライニングタンク10の(A)外表面10Aから内表面10B、または(B)内表面10Bから外表面10Aへの熱伝達速度の不均等が生じ、健全部50と浮き部60とで熱伝導率が異なってくる。
本発明の測定対象であるライニングタンク10は、樹脂ライニング法により缶体30の内表面30Bおよび外表面30Aの何れか一方または双方に、接着剤層70を介して、ライニング層20が形成されたライニングタンクであれば特に制限されない。ライニング層20は、耐酸、耐アルカリ性などの耐薬品性に優れた樹脂からなる。なお、図1〜図4には、缶体30の内表面30Bにのみ、ライニング層20が形成されたライニングタンク10が図示されている。
ライニング層20の肉厚が2mmより小さい場合、ライニングタンク外表面10Aに温度むらが出やすく、精度良く非破壊検査を実施しようとすると、(A)ライニングタンク外表面10Aの加熱もしくは冷却に必要となるエネルギー量が多くなる、または(B)ライニングタンク内部150に収容物を供給する際に、加熱もしくは冷却に必要となるエネルギー量が多くなることがある。
本発明で用いられる赤外線サーモグラフィ90は特に限定されず、例えば、「TVS−200EX」(日本アビオニクス(株)製)、「FSV−7000S」((株)アピステ製)などの市販品が挙げられる。
一般に、ライニングタンク10の缶体30の放射率が0.5以下(例えば、ステンレスは文献値0.45)の低い物質を観察対象とする場合であって、かつ、該タンク10の外部(遠方)にヒト(観測者)などの赤外線発生源が存在する場合には、その赤外線発生源から該タンク外表面10Aに向かって放射される赤外線を、該タンク外表面10Aが反射することがある。
そこで、(a)ライニングタンク外表面10Aの放射率が一定値以上になるように、例えば、該タンク外表面10Aに、図4および図5に示す赤外線反射防止用マスキングテープ80を貼付する、放射率の高いペンキなどを塗装する、または(b)測定装置である赤外線サーモグラフィ90と、測定対象のライニングタンク10とを含めた周囲全体を暗幕で囲うなどの方法を取ることができる。
いものであれば特に限定されない。赤外線反射防止用マスキングテープ80としては、例えば、商品名「“スコッチ”印、表面保護用テープNo.341J」(住友スリーエム(株)製)などの市販品が挙げられる。
赤外線反射防止用マスキングテープ80をライニングタンク外表面10Aに貼付することにより、ライニング層20の健全部50と浮き部60との境界が良好に判別でき、ライニング層20の浮き部60の位置および範囲をさらに精度良く検出することができる。
本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法(A)は、剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク外表面からライニングタンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする(以下、単に「本発明(A)」とも記す)。
ライニングタンク10に収容される収容物としては、例えば、塩酸、硝酸、フッ酸、過酸化水素水などの薬液、水などの液体;空気、窒素などの気体が挙げられる。
例えば、上記薬液の中では、特に塩酸、硝酸、フッ酸は、ライニング層20を透過しやすいため、ライニング層20に浮き部60が発生しやすい。さらに、前記薬液は金属製の缶体30に対して腐食性を有し、かつ人体に対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク10を設置場所で開放せずに(すなわち、該タンク10の図示せぬ蓋体を取り外さず、密閉状態で)、ライニング層20の浮き部60を検査することが好
ましい。
ライニングタンク10の使用状況としては、例えば、
(1)収容物が空気であって、ライニングタンク内部150全体が空気で満たされ、ライニングタンク内表面10Bに接する相が気相の場合、
(2)収容物が空気以外の気体であって、ライニングタンク内部150全体が該収容物で満たされ、ライニングタンク内表面10Bに接する相が気相の場合、
(3)収容物が薬液、水その他の液体を含み、(3−1)ライニングタンク内部150の下部に液体110が収容されており、ライニングタンク内部150の上部が気体100で満たされている場合(図6)、(3−2)ライニングタンク内部150全体が液体110で満たされている場合(図示せず)がある。
本発明(A)において、ライニングタンク10の非破壊検査に際し、ライニングタンク外表面10Aを加熱する方法としては、例えば、(a)該タンク外表面10Aの温度よりも高温の加熱用媒体を該タンク外表面10Aに接触させる方法、(b)ハロゲンヒーターなどで該タンク外表面10Aを輻射加熱する方法、(c)ドライヤーなどで該タンク外表面10Aを対流加熱する方法が挙げられる。
本発明(A)において、ライニングタンク10の非破壊検査に際し、ライニングタンク
外表面10Aを冷却する方法としては、例えば、(a)該タンク外表面10Aの温度よりも低温の冷却用媒体を該タンク外表面10Aに接触させる方法、(b)スポットクーラーなどで該タンク外表面10Aを対流冷却する方法、(c)アルコールなどの揮発性有機溶剤を塗布し、気化熱で冷却する方法が挙げられる。
これらの加熱方法および冷却方法においては、何れも、温度が均一に設定された、(a)ライニングタンク外表面10Aの温度よりも高温の加熱用媒体または低温の冷却用媒体を、該タンク外表面10Aに接触させる方法が、該タンク外表面10A全体を温度むら無く、均一に加熱または冷却することができる。このため、ライニング層20の浮き部60の位置および範囲を精度良く検出できる。
(1)本発明(A)において、測定前(すなわち、加熱または冷却前)の健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの温度(α0)と、測定時(すなわち、加熱または
冷却後)の健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの温度(α1)との差の絶
対値(|α0−α1|)は、測定精度の向上、収容物およびライニング層20への悪影響の低減、ならびにエネルギー効率の向上などの観点から、好ましくは1.5℃以上、より好ましくは2〜30℃、さらに好ましくは5〜10℃の範囲にある。
ンク外表面60Xの温度(β1)との差の絶対値(|α1−β1|)は、浮き部60の赤外
線サーモグラフィによる検出が正確かつ容易となり、計測の迅速化となるため、好ましくは0.3℃以上、より好ましくは1〜10℃、さらに好ましくは2〜5℃の範囲にある。
度(γ0)との差の絶対値(|α0−γ0|)は、浮き部60の赤外線サーモグラフィ90
による検出が正確かつ容易となり、計測の迅速化となるため、好ましくは5℃以上、より好ましくは10〜50℃の範囲にある。
高くなり過ぎると、作業性および作業者の安全性の悪化、薬液およびライニング層20への悪影響の発生、ならびにエネルギー効率の悪化などのおそれがある。また、ライニングタンク外表面10Aの温度が低くなり過ぎると、ライニングタンク外表面10Aに結露が発生し、正確に表面温度分布を測定することができなくなるおそれがある。
〔非破壊検査方法(B)〕
本発明に係るライニングタンクの非破壊検査方法(B)は、剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面からライニングタンク外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする(以下、単に「本発明(B)」とも記す)。
なお、本発明(B)において、「収容物」とは、ライニングタンク外表面10Aを該タンク内部150から加熱または冷却するために用いられる、該タンク内部150に供給される検査用の収容物である。このような検査用の収容物は、通常はライニングタンク内部150の汚染のおそれがなく、非破壊検査後に該タンク内部150の洗浄を実質上必要としない収容物が用いられる。
本発明(B)においては、好ましくはライニングタンク10を開放することなく、該タンク外表面10Aの温度と温度差を有する収容物を測定対象の該タンク内部150へ供給することによって、より好ましくは該タンク10の図示せぬ蓋体を取り外すことなく、図示せぬ薬液供給ライン160を介して該収容物を該タンク内部150へ供給することによって、収容物が供給された部分の該タンク10の内表面10B全体を均一に加熱または冷却することができる。
特に、半導体製造における薬液供給システムなどに使用されるライニングタンク10は、収容されている薬液の純粋性を保持することが必要となる。また、薬液の種類や状態などによっては薬液が缶体30に対して腐食性を有し、かつ人体に対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク10を設置場所で開放することが困難になる場合がある。
上記薬液の中では、特に塩酸、硝酸、フッ酸は、ライニング層20を透過しやすいためライニング層20の浮き部60が発生しやすい。さらに、前記薬液は金属製の缶体30に対して腐食性を有し、かつ人体に対して毒性を有するため、環境汚染防止の観点からライニングタンク10を設置場所で開放せずに(すなわち、該タンクの図示せぬ蓋体を取り外さず、密閉状態で)、ライニング層20の浮き部60を検査することが好ましい。
(1)本発明(B)において、収容物が供給される前の健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの温度(α0)と、供給前の収容物の温度(γ0)との差の絶対値(|α0−γ0|)は、ライニングタンク10の缶体30の肉厚、ライニング層20の肉厚などにもよるが、測定精度の向上、検査時のエネルギー効率などの観点から、好ましくは1℃以上、より好ましくは3〜50℃、さらに好ましくは10〜20℃の範囲にある。
限定されず、例えば、水の場合は5〜80℃であることが好ましい。また、塩酸、硝酸、フッ酸などの薬液を収容物とする半導体製造における薬液供給システムなどに使用される薬液タンクでは、薬液やライニング層20への悪影響を低減するため、供給前の収容物の温度(γ0)は、5〜40℃であることが好ましい。
ニングタンク外表面60Xの温度(β1)との差は、缶体30の肉厚、ライニング層20
の肉厚などにより異なるが、経時的に縮まる(ゼロに近づく)。
タンク外表面50Xの温度(α0)と、収容物が供給された後の健全部50における該タ
ンク外表面50Xの温度(α1)との差が大きいほど、該タンク外表面10Aの温度分布
が明確となり、ライニング層20の浮き部60の位置および範囲を精度良く検出することができる。
[A1−1]
<ライニングタンク>
ライニングタンク10として、缶体30(容量300L、内径600mm、高さ1100mm、厚み4mm、材質SUS304製、熱伝導率16.3W/m・℃(20℃))の内表面30Bに、ライニング層20〔PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)からなる層(厚み2mm)〕が、ゴム系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。
ライニングタンク外表面130Aに対応する位置にあるライニング層20を、完全に接着剤層70から剥離し、浮き部60を形成した。浮き部60は、横w:150mm×縦h
:100mm×ライニングタンク内方向の浮き上がりの高さt:5mmの大きさを有する。
浮き部60に対応する位置にあるライニングタンク外表面130Aを被覆するように、赤外線反射防止用マスキングテープ80として、放射率が0.95である「“スコッチ”印 表面保護用テープNo.341J」(住友スリーエム(株)製)を、ライニングタンク外表面10Aの附番81に示す位置に貼り付けた。
赤外線サーモグラフィ90として、「TVS−200EX」(日本アビオニクス(株)製)を用い、分解能0.2℃に設定した。また、赤外線サーモグラフィ90は、ライニングタンク外表面10Aから1m離間した位置に設置した。
加熱(冷却)用媒体としては、横500mm×縦200mm×厚み5mmのウレタンゴムシート(株式会社ミツミ製)を用いた。前記ウレタンゴムシートを予め所定の温度に設定された恒温槽に20分間浸漬して、表1中「ウレタンゴムシートの温度(γ0)」に記
載の温度に設定した。
ライニングタンク内部150全体を空気で満たした。この状態での、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの表面温度(α0)を表1に示す。
イニングタンク外表面50Xの表面温度(α1)、および浮き部60における該タンク外
表面60X(130A)の表面温度(β1)を表1に示す。
浮き部60の位置および範囲を明確に特定できた場合を「A」、浮き部60の位置のみを特定できた場合を「B」、浮き部60の位置および範囲ともに特定できなかった場合を「C」とした。
[A1−2〜A1−9]
上記[A1−1]において、ウレタンゴムシートの温度(γ0)および加熱(冷却)前
の健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの表面温度(α0)を表1に示す温
度に設定したこと以外は上記[A1−1]と同様にして、ライニング層20の浮き部60の測定および評価を行った。
[A2−1〜A2−9]
上記[A1−1]において、ライニングタンク内部150全体を水で満たしたこと、ウレタンゴムシートの温度(γ0)および加熱(冷却)前の健全部50におけるライニング
タンク外表面50Xの表面温度(α0)を表2に示す温度に設定したこと以外は上記[A
1−1]と同様にして、ライニング層20の浮き部60の測定および評価を行った。
[A3−1〜A3−9]
上記[A1−1]において、ライニングタンク10として、缶体30(容量2500L、内径1300mm、高さ2612mm、厚み4mm、材質SUS304製)の内表面30Bに、ライニング層20〔PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)からなる層(厚み3mm)〕が、エポキシ系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いたこと、ウレタンゴムシートの温度(γ0)および加熱(冷却)前の健全部50における
ライニングタンク外表面50Xの表面温度(α0)を表3に示す温度に設定したこと以外
は上記[A1−1]と同様にして、ライニング層20の浮き部60の測定および評価を行った。
測定結果および評価結果を表3に示す。
上記[A3−1]において、ライニングタンク内部150全体を水で満たしたこと、ウレタンゴムシートの温度(γ0)および加熱(冷却)前の健全部50におけるライニング
タンク外表面50Xの表面温度(α0)を表4に示す温度に設定したこと以外は上記[A
3−1]と同様にして、ライニング層20の浮き部60の測定および評価を行った。
図5は、ライニングタンク10の浮き部60の一部(半分)60Aを被覆するように、
ライニングタンク外表面10Aに、赤外線反射防止用マスキングテープ80を附番81に示す位置に貼付した状態を示す説明図である。図4は、ライニングタンク10の模式横断面図である。図9は、満水直後のライニングタンク10の赤外線サーモグラフィ90による熱画像である。図10は、満水5分後のライニングタンク10の赤外線サーモグラフィ90による熱画像である。
ライニングタンク10として、缶体(容量200L、内径600mm、高さ1220mm、厚み4mm、材質SUS304製)の内表面30Bに、ライニング層20〔PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)からなる層(厚み2mm)〕が、ゴム系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は
、16℃であった。
図5の附番60に示す位置に、バールを用いて故意にライニング層20の一部を接着剤層70から剥離して、空気・滲出液層40を作ることにより浮き部60を形成した。浮き部60の横断面図を図4に示す。空気・滲出液層40(ライニング層20の浮き部60)を形成した後、前記バールを引抜き、ライニング層20の一部を完全に接着剤層70から剥離した。浮き部60は、横w:150mm×縦h:370mm×ライニングタンク内方向の浮き上がりの高さt:20mmの大きさを有する。
図5に示すように、上記のように形成した浮き部60の幅wの半分(附番60Aで示す位置)を被覆するように、赤外線反射防止用マスキングテープ80として、放射率が0.95である「“スコッチ”印 表面保護用テープNo.341J」(住友スリーエム(株)製)を、ライニングタンク外表面10Aの附番81に示す位置に貼り付けた。
ライニングタンク10に供給する収容物としては、水道水(水温(γ0)10℃、供給
速度30L/min)を用いた。
赤外線サーモグラフィ90としては、「TVS−200EX」(日本アビオニクス(株)製)を用い、分解能0.2℃に設定した。また、赤外線サーモグラフィ90は、ライニングタンク外表面10Aから2.7m離間した位置に設置した。
上記の条件で、上記水道水をライニングタンク内部150に供給し、ライニングタンク外表面10Aの赤外線サーモグラフィ90による熱画像を観察した。
スキングテープ80の非貼付部82においては、浮き部60Bの境界がやや不明瞭であり、浮き部60Bを検出することは可能であるが、浮き部60Bの位置および範囲を精度よく検出するという観点からは、やや劣る結果となった。
図11は、ライニングタンク10を開放することなく、すなわち、該タンク10の蓋体を取り外すことなく、薬液供給ライン160により上記水道水を該タンク内部150に供給し、該タンク内部150の水面170が浮き部60に達した1分後の該タンク外表面10Aの赤外線サーモグラフィ90による熱画像である。
ライニングタンク10として、缶体(容量300L、外径600mm、高さ1100mm、厚み4mm、材質SUS304製)の内表面30Bに、ライニング層20〔PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)からなる層(厚み2mm)〕が形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。
24.6℃であった。
浮き部60全面を被覆するように、赤外線反射防止用マスキングテープ80として、放射率が0.95である「“スコッチ”印 表面保護用テープNo.341J」(住友スリーエム(株)製)を、ライニングタンク外表面10Aに貼り付けた。
ライニングタンク10に供給される収容物としては、水道水(水温(γ0)76.4℃
、供給速度30L/min)を用いた。
赤外線サーモグラフィ90としては、「TVS−200EX」(日本アビオニクス(株)製、分解能0.1℃)を用いた。また、赤外線サーモグラフィ90は、ライニングタンク外表面10Aから2.7m離間した位置に設置した。
上記の条件で、ライニングタンク10を開放することなく(すなわち、ライニングタンク10の蓋体を取り外すことなく)、薬液供給ライン160により上記水道水を該タンク内部150に供給し、該タンク外表面10Aの赤外線サーモグラフィによる熱画像を観察した。
[B2−2]
上記[B2−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B2−1]と同様に
該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は25.8℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は41.2℃とした。
結果を表5に示す。
上記[B2−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B2−1]と同様に該タンク外表面の熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は23.2℃、該タンク10に供給される水道水の水温(
γ0)は水温25.9℃とした。
[B2−4]
上記[B2−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B2−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は20.7℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温19.7℃とした。
[B2−5]
上記[B2−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B2−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は20.8℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温17.9℃とした。
結果を表5に示す。
上記[B2−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B2−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は22.4℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温12.9℃とした。
熱画像により浮き部60の位置および形状を特定することができた。
結果を表5に示す。
下記のライニングタンク10において、上記[B2−1]と同様に赤外線反射防止用マスキングテープ80を浮き部60全面が被覆されるように貼り付け、該タンク外表面10Aを赤外線サーモグラフィ90により熱画像を観察した。
ライニングタンク10として、缶体(容量2500L、内径1300mm、高さ2612mm、材質SUS304製、4mm厚)の内表面30Bに、ライニング層20〔PTFE(ポリテトラフルオロエチレン重合体)からなる層(厚み3mm)〕が、エポキシ系接着剤を介して形成されたフッ素樹脂ライニングタンクを用いた。
ライニングタンク10に供給される収容物としては、水道水(水温(γ0)61.2℃
、供給速度80L/min)を用いた。
赤外線サーモグラフィ90としては、「TVS−200EX」(日本アビオニクス(株)製)を用い、分解能0.2℃に設定した。また、赤外線サーモグラフィ90は、ライニングタンク外表面10Aから2m離間した位置に設置した。
上記の条件で、ライニングタンク10を開放することなく(すなわち、ライニングタンク10の蓋体を取り外すことなく)、薬液供給ライン160により上記水道水を該タンク内部150に供給し、該タンク外表面10Aの赤外線サーモグラフィ90による熱画像を観察した。
[B3−2]
上記[B3−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B3−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は27.1℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温40.0℃とした。
結果を表6に示す。
上記[B3−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B3−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は25.2℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温23.9℃とした。
[B3−4]
上記[B3−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B3−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面50Xの初期温度(α0)は25.5℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温22.8℃とした。
[B3−5]
上記[B3−1]と同様のライニングタンクにおいて、上記[B3−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク
外表面50Xの初期温度(α0)は25.3℃、該タンク10に供給される水道水の水温
(γ0)は水20.1℃とした。
[B3−6]
上記[B3−1]と同様のライニングタンク10において、上記[B3−1]と同様に該タンク外表面10Aの熱画像を観察した。このとき、健全部50におけるライニングタンク外表面10Aの初期温度(α0)は25.3℃、該タンク10に供給される水道水の
水温(γ0)は水温14.9℃とした。
結果を表6に示す。
10A・・・ライニングタンク外表面
10B・・・ライニングタンク内表面
20・・・・ライニング層
30・・・・缶体
30A・・・缶体外表面
30B・・・缶体内表面
40・・・・空気・滲出液層
50・・・・健全部
50X・・・健全部におけるライニングタンク外表面
60・・・・浮き部
60A・・・浮き部の赤外線反射防止用マスキングテープ貼付部
60B・・・浮き部の赤外線反射防止用マスキングテープ非貼付部
60X・・・浮き部におけるライニングタンク外表面
70・・・・接着剤層
80・・・・赤外線反射防止用マスキングテープ
81・・・・赤外線反射防止用マスキングテープ貼付部
82・・・・赤外線反射防止用マスキングテープ非貼付部
90・・・・赤外線サーモグラフィ
100・・・ライニングタンク内部の空気などの気相部
110・・・ライニングタンク内部の薬液などの液相部
120A・・ライニングタンク内表面に接する相が気相部であるライニングタンク外表面125A・・ライニングタンク内表面に接する相が液相部であるライニングタンク外表面130A・・[A1−1]で形成された浮き部に対応するライニングタンク外表面
140・・・[A1−1]で使用されたウレタンゴムシート
150・・・ライニングタンク内部(薬液などの収容部)
160・・・薬液供給ライン
170・・・ライニングタンク内部における水面
t・・・・・ライニングタンク内方向の空気・滲出液層(浮き部)の高さ
h・・・・・ライニングタンク縦方向の空気・滲出液層(浮き部)の長さ
w・・・・・ライニングタンク横方向の空気・滲出液層(浮き部)の幅
X・・・・・浮き部でのライニングタンクの内外面を貫く方向
Y・・・・・健全部でのライニングタンクの内外面を貫く方向
Claims (8)
- 剥離状態のライニング層に起因して発生する、ライニングタンク内表面または外表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とするライニングタンクの非破壊検査方法。
- 前記ライニングタンク外表面を、加熱または冷却し、剥離状態のライニング層に起因して発生する、該タンク内表面への熱伝達速度の不均等による表面温度分布を、赤外線サーモグラフィを用いて測定することにより、該ライニング層の浮き部を検出することを特徴とする請求項1に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
- 加熱または冷却前の前記ライニングタンクのライニング層が剥離していない健全部における該タンク外表面の温度と、加熱または冷却後の該健全部における該タンク外表面の温度との差の絶対値が、1.5℃以上となるように、前記ライニングタンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする請求項2に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
- 前記ライニングタンク外表面の温度よりも高温の加熱用媒体または低温の冷却用媒体を、該タンク外表面に接触させることによって、該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする請求項2または3に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
- 前記加熱用媒体または前記冷却用媒体が、シート状物であることを特徴とする請求項4に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
- 前記ライニングタンクを開放することなく、収容物を該タンク内部へ供給することによって、該タンク内部から該タンク外表面を加熱または冷却することを特徴とする請求項1に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
- 前記収容物の温度と、収容物が供給される前の前記ライニングタンクのライニング層が剥離していない健全部における該タンク外表面の温度との差の絶対値が、1℃以上であることを特徴とする請求項6に記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
- 前記ライニングタンクが、薬液供給システムに使用される薬液タンクであることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のライニングタンクの非破壊検査方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011137635A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-14 | Shinko Inspection & Service Co Ltd | 熱流束導出方法、この導出方法を含む傷部検出方法、及びこの検出方法を用いた傷部検出装置 |
JP2013036811A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Tosoh Corp | 配管内部被覆層の剥離箇所検出方法 |
JP2016138770A (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | Jfeスチール株式会社 | 内面塩化ビニルライニング鋼管の接着力の検査方法及び検査システム |
JP7024028B1 (ja) | 2020-09-11 | 2022-02-22 | 東芝プラントシステム株式会社 | 残液量の検出装置、検出システム、及び検出方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5747423B2 (ja) * | 1976-12-09 | 1982-10-08 | ||
JPS62179647A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高温容器の内壁部欠陥検査装置 |
JPS63159741A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 配管の腐食部分の検出方法 |
JPS63250554A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-18 | Fujita Corp | 腐食診断法及び診断装置 |
JPH08145922A (ja) * | 1994-11-25 | 1996-06-07 | Nkk Corp | 塗覆装材の欠陥検査方法 |
JPH08334485A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Natl Aerospace Lab | 放射温度計による流体通路検査方法 |
JPH11211682A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 配管の加熱または冷却治具 |
JP2001141627A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 樹脂ライニング層の寿命予測法と寿命予測装置 |
JP2003121424A (ja) * | 2001-10-19 | 2003-04-23 | Hitachi Ltd | ライニング配管の検査方法および装置 |
JP2004361132A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | ライニングの剥離検査方法 |
-
2008
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5747423B2 (ja) * | 1976-12-09 | 1982-10-08 | ||
JPS62179647A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高温容器の内壁部欠陥検査装置 |
JPS63159741A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 配管の腐食部分の検出方法 |
JPS63250554A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-18 | Fujita Corp | 腐食診断法及び診断装置 |
JPH08145922A (ja) * | 1994-11-25 | 1996-06-07 | Nkk Corp | 塗覆装材の欠陥検査方法 |
JPH08334485A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Natl Aerospace Lab | 放射温度計による流体通路検査方法 |
JPH11211682A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 配管の加熱または冷却治具 |
JP2001141627A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 樹脂ライニング層の寿命予測法と寿命予測装置 |
JP2003121424A (ja) * | 2001-10-19 | 2003-04-23 | Hitachi Ltd | ライニング配管の検査方法および装置 |
JP2004361132A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | ライニングの剥離検査方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011137635A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-14 | Shinko Inspection & Service Co Ltd | 熱流束導出方法、この導出方法を含む傷部検出方法、及びこの検出方法を用いた傷部検出装置 |
JP2013036811A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Tosoh Corp | 配管内部被覆層の剥離箇所検出方法 |
JP2016138770A (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | Jfeスチール株式会社 | 内面塩化ビニルライニング鋼管の接着力の検査方法及び検査システム |
JP7024028B1 (ja) | 2020-09-11 | 2022-02-22 | 東芝プラントシステム株式会社 | 残液量の検出装置、検出システム、及び検出方法 |
JP2022047346A (ja) * | 2020-09-11 | 2022-03-24 | 東芝プラントシステム株式会社 | 残液量の検出装置、検出システム、及び検出方法 |
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