JP2009132543A - アモルファスカーボン製造装置及びアモルファスカーボン製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アモルファスカーボンCを成長させるための基材Bをチャンバ11内に収容し、そのチャンバ11内に原料ガスGを供給し、供給した原料ガスGのプラズマPを生成し、生成されたプラズマPの基材Bに到達する際の速度を制御してアモルファスカーボンCの製造を行う。これにより、プラズマPの到達速度に対応させてカーボンの結晶化及び選択的エッチング効果を生じさせることができる。このため、カーボンのsp2/sp3結合比を調整することができ、所望のバンドギャップを有するアモルファスカーボンCを容易に製造することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- アモルファスカーボンを成長させるための基材を収容したチャンバと、
前記チャンバ内に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
前記チャンバ内に前記原料ガスのプラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を制御する速度制御部と、
を備えたアモルファスカーボン製造装置。 - 前記速度制御部は、前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を製造すべきアモルファスカーボンのバンドギャップに対応させて制御することを特徴とする請求項1に記載のアモルファスカーボン製造装置。
- 前記速度制御部は、前記チャンバ内のプラズマ生成領域と前記基材の間に電圧を印加して、前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を制御することを特徴する請求項1又は2に記載のアモルファスカーボン製造装置。
- 前記速度制御部は、前記チャンバ内のプラズマ生成領域と前記基材の間に直流電圧を印加して、前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を制御することを特徴する請求項3に記載のアモルファスカーボン製造装置。
- チャンバ内で原料ガスのプラズマを生成するプラズマ生成工程と、
前記チャンバ内で生成されるプラズマの基材に到達する際の速度を制御する速度制御工程と、
前記基材上にアモルファスカーボンを形成する形成工程と、
を備えたアモルファスカーボン製造方法。 - 前記速度制御工程では、前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を製造すべきアモルファスカーボンのバンドギャップに対応させて制御することを特徴とする請求項5に記載のアモルファスカーボン製造方法。
- 前記速度制御工程では、前記チャンバ内のプラズマ生成領域と前記基材の間に電圧を印加して、前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を制御することを特徴する請求項5又は6に記載のアモルファスカーボン製造方法。
- 前記速度制御工程では、前記チャンバ内のプラズマ生成領域と前記基材の間に直流電圧を印加して、前記チャンバ内で生成されるプラズマの前記基材に到達する際の速度を制御することを特徴する請求項7に記載のアモルファスカーボン製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01294867A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-11-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 炭素または炭素を主成分とする被膜を形成する方法 |
JPH04346667A (ja) * | 1991-05-23 | 1992-12-02 | Ricoh Co Ltd | 基材上に水素化アモルファス炭素膜を形成する方法と装置 |
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2007
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Patent Citations (2)
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JPH01294867A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-11-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 炭素または炭素を主成分とする被膜を形成する方法 |
JPH04346667A (ja) * | 1991-05-23 | 1992-12-02 | Ricoh Co Ltd | 基材上に水素化アモルファス炭素膜を形成する方法と装置 |
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